Baw滤波器的制备流程
巴特沃斯低通滤波器法
巴特沃斯低通滤波器法
巴特沃斯低通滤波器是一种常用的频率域滤波器，用于将高频信号从输入信号中滤除。
它是基于巴特沃斯函数设计的，具有平坦的幅频响应和最小的相位延迟。
巴特沃斯低通滤波器的设计方法如下：
1. 确定滤波器的通带截止频率和阻带截止频率。
通带是指允许信号通过的频率范围，阻带是指需要被滤除的频率范围。
2. 根据所需的通带和阻带性能，选择滤波器的阶数。
阶数越高，滤波器性能越好，但计算复杂度也越高。
3. 根据选择的通带和阻带截止频率，使用巴特沃斯低通滤波器的设计公式计算滤波器的系数。
4. 将计算得到的滤波器系数应用于输入信号进行滤波操作。
巴特沃斯低通滤波器的设计公式和计算方法是比较复杂的，一般需要使用专门的滤波器设计软件或者数学计算工具进行计算。
设计得到的滤波器可以通过软件实现，或者通过硬件电路进行实现。
实验十九 四阶巴特沃斯滤波器
实验十九 四阶巴特沃斯滤波器一、实验目的1． 了解巴特沃斯滤波器的频率响应特性。
2． 掌握根据频率响应特性求网络传递函数()a H s ，并根据()a H s 来设计滤波器的方法。
二、实验内容1． 列写四阶巴特沃斯低通、高通和带通滤波器的网络函数。
2． 用示波器观察四阶巴特沃斯滤波器的幅频特性曲线。
3． 熟悉四阶巴特沃斯滤波器的设计方法。
三、实验仪器1． 信号与系统实验箱 一台 2． 信号系统实验平台3． 四阶巴特沃斯滤波器模块（DYT3000-65） 一块 4． 20MHz 双踪示波器 一台 5． 连接线若干四、实验原理实际的滤波电路往往难以达到理想的要求，如要同时在幅频和相频响应两方面都满足要求就更为困难。
因此，只有根据不同的实际需要，寻求最佳的近似理想特性。
例如，可以主要着眼于幅频响应，而不考虑相频响应；也可以从满足相频响应出发，而把幅频响应居于次要位置。
介绍一种最简单也是最常用的滤波电路——巴特沃斯滤波电路（又叫最平幅度滤波电路）。
这种滤波电路对幅频响应的要求是：在小于截止频率c ω的范围内，具有最平幅度的响应，而在c ωω>后，幅频响应迅速下降。
对于低通滤波电路来说，3dB 截止角频率c H n ωωω==。
n 阶低通滤波电路幅频响应的一般形式()cj A ωω=（式19-1）因为2()cj A ωω是偶次函数，所以c ω的奇次幂会出现。
考虑到在1c ω<时，巴特沃斯低通滤波电路的幅频响应是平坦的。
而在1c ω<时，主要是c ωω的低次项对分母起作用而使()cj A ωω下降。
如果()cj A ωω只与c ωω的高次项有关，则能较好的满足上述条件。
因此式19-1可写成()cj A ωω=（式19-2）这就是巴特沃斯低通滤波电路的特性方程。
由于1c ω=时，增益减小3dB ，由式19-2有2222(1)o o n A A K =+，可得21n K =，因而式19-2变为()cj A ωω=（式19-3）为便于归一化处理，引用归一化复频率S （c c S s j ωω==），这样在式中用s j 代替c ω，则得222()1(1)on nA A s S =+- （式19-4） 根据数学关系式2()()C jD C jD C jD +=+-，所以有222()()()1(1)on nS j cA A s A s A s S ωω==-=+- 则()()A s A s -的极点应满足21(1)0nnS +-= （式19-5）由式19-4的根便可以求出滤波电路的网络函数A （S ）。
巴特沃斯滤波器的设计
目录1数字滤波器的设计1.1滤波器的分类1.2数字滤波器性能指标1.3数字滤波器设计方法概述1.4巴特沃斯滤波器1.5用冲击响应不变法设计IIR数字低通滤波器1.6用双线性变换法设计IIR数字低通滤波器2本次课程设计中相关MATLA函数2.1循环结构for语句2.2 buttord 函数2.3 butter 函数2.4 freqz 函数2.5 impz 函数3程序设计及运行结果4心得体会5参考文献5参考文献[1] 阙大顺.数字信号处理学习指导与考研辅导.武汉：武汉理工大学出版社，2007[2] 陈怀琛.MATLA及在电子信息课程中的应用（第2版）.北京：电子工业出版社，2003[3] 刘泉.数字信号处理原理与实现（第2版）.北京：电子工业出版社，2009[4] 郑阿奇.MARTLAB实用教程（第2版）.北京：电子工业出版社，2007[5] Emmanuel C. Ifeachor, Barrie W. Iervis. Digital Signal Processing, A Practical Approach （Sec ond Editi on）. Publishi ng House of Electr onics In dustry,20031数字滤波器的设计1.1滤波器的分类按功能划分经典滤波器可分为低通、高通、带通、带阻四种滤波器按结构划分经典滤波器可分为递归系统、非递归系统按实现方法经典滤波器可分为无限长单位脉冲响应数字滤波器IIR和有限长单位脉冲响应数字滤波器FIR。
1.2数字滤波器性能指标.H a(2)u O p O c Q s u图1典型模拟低通滤波器幅频特性及其指标描述Q P是通带边界频率，Q c是阻带边界频率，Q s是3db截止频率。
用a p表示通带最大衰减（或称为通带峰值波纹）«=20lgJ ---------- dB匕越小，通带越平坦月艸（严卩用表示阻带最小衰减（以分贝（dB）表示波纹）亿越大，阻帶衰减越大1.3数字滤波器设计方法概述设计IIR数字滤波器一般有以下两种方法：1、模拟滤波器：首先设计一个合适的模拟滤波器，然后将它转换成满足给定指标的数字滤波器，这种方法适合于设计幅频特性比较规则的滤波器，例如低通、高通、带通、带阻等。
基于MATLAB做巴特沃斯低通滤波器
基于MATLAB设计巴特沃斯低通滤波器课程设计专业：XXXXXX姓名：XXX学号： XX指导老师：XXX2011年11 月26日通信系统仿真课程设计任务书院（系）：电气信息工程学院目录1 绪论 (1)1.1 引言 (1)1.2 数字滤波器的设计原理 (1)1.3 数字滤波器的应用 (2)1.4 MATLAB的介绍 (3)1.5 本文的工作及安排 (3)2 滤波器分类及比较 (4)2.1 滤波器的设计原理 (4)2.2 滤波器分类 (4)2.3 两种类型模拟滤波器的比较 (6)3 巴特沃斯低通滤波器 (7)3.1 巴特沃斯低通滤波器简介 (7)3.2 巴特沃斯低通滤波器的设计原理 (7)4 MATLAB仿真及分析 (11)4.1 MATLAB工具箱函数 (11)4.2 巴特沃斯低通滤波器的MATLAB仿真 (11)另附程序调试运行截图： (13)5.1 总结 (13)5.2 展望 (13)1 绪论1.1 引言凡是有能力进行信号处理的装置都可以称为滤波器。
滤波器在如今的电信设备和各类控制系统里面应用范围最广、技术最为复杂，滤波器的好坏直接决定着产品的优劣。
自60年代起由于计算机技术、集成工艺和材料工业的发展，滤波器发展上了一个新台阶，并且朝着低功耗、高精度、小体积、多功能、稳定可靠和价廉方向努力，其中小体积、多功能、高精度、稳定可靠成为70年代以后的主攻方向。
使以数字滤波器为主的各种滤波器得到了飞速的发展，到70年代后期，数字滤波器的单片集成已被研制出来并得到应用。
80年代，致力于各类新型滤波器的研究，努力提高性能并逐渐扩大应用范围。
90年代至现在主要致力于把各类滤波器应用于各类产品的开发和研制。
当然，对数字滤波器本身的研究仍在不断进行。
[1]滤波器主要分成经典滤波器和数字滤波器两类。
从滤波特性上来看，经典滤波器大致分为低通、高通、带通和带阻等。
本文主要对低通数字滤波器做主要研究。
1.2 数字滤波器的设计原理所谓数字滤波器，是指输入、输出均为数字信号，通过数值运算处理改变输入信号所含频率成分的相对比例，或者滤除某些频率成分的数字器件或程序。
巴特沃斯数字滤波器的设计与仿真实现
总770期第三十六期2021年12月河南科技Henan Science and Technology信息技术巴特沃斯数字滤波器的设计与仿真实现黄波（成都大学电子信息与电气工程学院，四川成都610106）摘要：数字通信系统传输数字信号时经常混杂着各种频率的干扰信号，数字滤波器可以利用数值运算，起到其他模拟滤波器根本无法实现的杂波滤除作用。
本文首先讨论了数字滤波器的原理，进一步给出了巴特沃斯数字滤波器的设计思路，然后利用MATLAB软件实现了对巴特沃斯数字滤波器的仿真试验，分析了巴特沃斯数字滤波器的各类幅频特性、相关的设计方法和对应的设计步骤等。
通过巴特沃斯数字滤波器的设计与实现，完成了低通滤波、高通滤波、带通滤波、带阻滤波的仿真试验，最后得到巴特沃斯数字滤波器的幅频特性曲线，并研究了巴特沃斯数字滤波器的相关幅频特性。
关键词：数字滤波器；巴特沃斯；MATLAB；幅频特性中图分类号：TN951文献标识码：A文章编号：1003-5168（2021）36-0010-03Design and Simulation of Butterworth Digital FilterHUANG Bo(School of electronic information and electrical engineering,Chengdu University,Chengdu Sichuan610106)Absrtact:When transmitting digital signals,digital communication systems are often mixed with interference signals of various frequencies.Digital filters can use numerical operation to achieve clutter filtering that other analog filters can not achieve at all.This paper first discusses the principle of digital filter,further gives the design idea of Butter⁃worth digital filter,then realizes the simulation of Butterworth digital filter by using MATLAB software,and analyzes various amplitude frequency characteristics,relevant design methods and corresponding design steps of Butterworth digital filter,through the design and implementation of Butterworth digital filter,the simulation of low-pass filter, high pass filter,band-pass filter and band stop filter are completed.Finally,the amplitude frequency characteristic curve of Butterworth digital filter is obtained,and the related amplitude frequency characteristics of Butterworth digi⁃tal filter are studied.Keywords:digital filter;butterworth;MATLAB;amplitude frequency characteristic数字滤波器作为数字信号处理的基础单元，可以完成对数字信号实现信号过滤、信号检测和相关参数估计等处理工作。
c 2巴特沃斯低通滤波器的设计方法
2.数字滤波器的技术指标
我们通常用的数字滤波器一般属于选频滤波器。假设数字滤 波器的传输函数H(ejω)用下式表示：
H (e j ) H (e j ) e j ()
通带纹波幅度 阻带纹波幅度 通带截止频率 3dB通带截止频率 阻带截止频率
数字低通滤波器的技术要求
5
通带内和阻带内允许的衰减一般用dB数表示，通带内允许的
脉冲响应不变法 阶跃响应不变法 双线性变换法
Desired IIR
7
5.2 模拟滤波器的设计
模拟滤波器的理论和设计方法已发展得相当成熟， 且有若干典型的模拟滤波器供我们选择，如巴特沃斯 (Butterworth)滤波器、切比雪夫(Chebyshev)滤波器、椭 圆(Elliptic)滤波器、贝塞尔(Bessel)滤波器等，这些滤 波器都有严格的设计公式、现成的曲线和图表供设计 人员使用。
输函数
Ha ( p) N 1 1
( p pk )
(5.2.12)
k 0
15
式中，pk为归一化极点，用下式表示：
pk
sk c
最大衰减用ap表示，阻带内允许的最小衰减用as表示，ap和as分别 定义为：
H (e j0 ) ap 20 lg H (e jp ) dB
H (e j0 ) as 20 lg H (e js ) dB
(5.1.3) (5.1.4)
如将|H(ej0)|归一化为1，(5.1.3)和(5.1.4)式则表示成：
11
2.巴特沃斯低通滤波器的设计方法
幅度平方函数：
Ha(
j) 2
1 (
1
)2N
c
(5.2.6) 两个参数：N, Ωc
(整理)巴特沃斯高通数字滤波器设计
巴特沃斯高通数字滤波器设计要求：3dB 数字截止频率为rad c πω2.0=，阻带下边频πω05.0=s rad ，阻带衰减为dB A s 48≥。
一、课程设计目的：数字信号处理（Digital Signal Processing DSP ）是20世纪60年代以来，随着信息学科和计算机学科的高速发展而迅速发展起来的一门新兴学科。
数字信号处理是利用计算机或其他专用处理设备，以数值计算的方法对信号进行采集、变换、滤波、压缩、传输、估值与识别等加工处理，借以达到提取信息和便于应用的目的的一种技术。
数字信号处理随着计算机技术信息技术的进步获得了飞速的发展。
数字信号处理已广泛应用于科学研究和工程技术的各个领域，是新一代IT 工程师必须掌握的信息处理技术。
它在越来越多的应用领域中迅速替代传统的模拟信号处理技术，并且开辟出许多新的领域。
数字信号处理有很多深奥的数学概念，理论也相对抽象，而且是一门理论与实践密切结合的课程。
我们通过课程设计深入掌握课程内容，深入理解与消化关于巴特沃斯滤波器的基本理论，锻炼我们独立解决问题的能力，培养我们的创新意识，加强我们的实践学习。
二、设计原理：1、数字滤波器所谓数字滤波器，是指输入输出均为数字信号，通过数字运算处理改变输入信号所含频率成分的相对比例，或者滤除某些频率成分的数字器件或程序。
正因为数字滤波通过数值运算实现滤波，所以数字滤波器处理精度高、稳定、体积小、重量轻、灵活、不存在阻抗匹配问题，可以实现模拟滤波器无法实现的特殊滤波功能。
按照不同的分类方式，数字滤波器可以有很多种类型，但总起来可以分为两大类：经典滤波器和现代滤波器。
经典滤波器的特点是其输入信号中有用的频率成分和希望滤除的成分分别占有不同的频带，通过一个合适的选频滤波器滤除干扰，得到纯净信号，达到滤波目的。
但是，如果信号和干扰的频谱相互重叠，则经典滤波器无法有效滤除干扰，最大限度恢复信号，这就需要现代滤波器。
现代滤波器是根据随机信号的一些统计特性，在某种最佳准则下，最大限度抑制干扰，同时最大限度恢复信号，达到最佳的滤波效果的目的。
巴特沃斯滤波器设计
二、巴特沃斯（Butterworth）低通滤波器的设计巴特沃斯低通滤波器的幅度平方函数定义为（5-8）其中C为一常数参数，N为滤波器阶数，为归一化低通截止频率,。
式中N为整数，是滤波器的阶次。
巴特沃斯低通滤波器在通带内具有最大平坦的振幅特性，这就是说，N阶低通滤波器在处幅度平方函数的前2N-1阶导数等于零，在阻带内的逼近是单调变化的。
巴特沃斯低通滤波器的振幅特性如图5-5所示。
滤波器的特性完全由其阶数N决定。
当N增加时，滤波器的特性曲线变得更陡峭，这时虽然由（5-8）式决定了在处的幅度函数总是衰减3dB，但是它们将在通带的更大范围内接近于1，在阻带内更迅速的接近于零，因而振幅特性更接近于理想的矩形频率特性。
滤波器的振幅特性对参数N的依赖关系如图5-5所示。
设归一化巴特沃斯低通滤波器的归一化频率为，归一化传递函数为，其中，则由（5-6）式和（5-8）式得：由于（5-9）所以巴特沃斯滤波器属于全极点滤波器。
1、常用设计巴特沃斯低通滤波器指标：通带截止频率；：通带衰减，单位：dB；：阻带起始频率；：阻带衰减，单位：dB。
说明：（1）衰减在这里以分贝（dB）为单位；即（2）当时为通常意义上的截止频率。
（3）在滤波器设计中常选用归一化的频率，即2、巴特沃斯低通滤波器设计实质根据设计指标要求，，，确定归一化巴特沃斯低通滤波器幅度平方函数中的待定系数C及滤波器的阶数N；然后再根据幅度平方函数确定巴特沃斯低通滤波器的传递函数H(s)。
（1）将实际频率归一化得，，再根据已知的，，幅度平方函数确定C和N。
（2）求C和N由并带入，，，得即因为，所以由两边取对数得：其中这样可以求出C和N。
注意：当时，，即C=1，此时巴特沃斯滤波器只剩下一个参数N。
（3）确定巴特沃斯滤波器的传递函数H(p)。
由于由，解得极点为：将p左半平面的极点赋予即其中为了便于设计，工程上已将当时，各阶巴特沃斯低通滤波器系统函数设计成表格供查阅，该表如表5-1所示。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
Baw滤波器制备流程
（1）设计流程
Saw 和 Baw 滤波器不同频段的滤波器设计难度不同，提供全频段的设计能力公司寥寥无几。
Baw滤波器的设计流程可总结为下图。
首先可以根据滤波器带外抑制的指标，确定滤波器的初始阶数和结构。
然后根据中心频率、带宽的指标要求，确定滤波器中Fbar的各膜层厚度和有源区的面积，完成滤波器的初始设计。
完成初始设计后需要对Baw 滤波器进行优化设计，主要优化串、并联Fbar的面积比。
根据优化结果可以微调Fbar膜层厚度来满足带内纹波的指标要求。
优化设计结果满足指标后对滤波器版图进行设计，并采用声-电磁联合仿真方法对滤波器性能进行验证。
如果仿真结果不满足设计指标要求，则要根据所述的设计方法，改变滤波器的拓扑结构，再次对滤波器的各项结构参数进行设计优化，直到满足指标为止。
若出现寄生耦合现象，则要对滤波器的版图进行调整。
图104:Baw滤波器的设计流程
资料来源：《Baw滤波器设计方法研究》，国元证券研究中心
①确定滤波器阶数
在Fbar 声学激励范围之外足够远的频率点处，电路模型的电容性分压器特性会影
响一阶梯形滤波器的阻带抑制。
要提高带外抑制，必须增加滤波器的阶数或增大并联
Fbar 和串联 Fbar 的电容比，但这样会导致带内插损的增大。
故要综合考虑阶数和
并、串联 Fbar 电容比对滤波器带外抑制性能的影响。
②确定滤波器结构
Baw 滤波器基本上可以划分为梯形和网格形两种结构。
梯形Baw滤波器包括串联和
并联的谐振器，一个串联的谐振器加一个并联的谐振器称为一个段（stage），整个梯
形Baw滤波器可能由好几个段组成。
网格形 Baw 滤波器与梯形滤波器在工作原理上
很相似，但网格形Baw滤波器不具有传输零点，且滚降较慢，矩形系数差，设计时往
往需要与梯形滤波器结合以满足高性能要求，且设计时必须考虑使用平衡-不平衡变
换器才能实现其差分特性。
而梯形 Baw 滤波器具有较好的矩阵系数，在邻近通带外
的抑制效果明显。
故通常采用梯形结构来设计 Baw 滤波器。
在设计滤波器时，还需
将并、串联Fbar 的面积比控制在一定范围，通过增加阶数来提高滤波器的阻带抑
制和通带性能。
图105:梯形Baw滤波器图106:网格形Baw滤波器
资料来源：《Baw滤波器设计方法研究》，国元证券研究中心资料来源：《Baw滤波器设计方法研究》，国元证券研究中心
③确定Fbar各膜层厚度和面积
可以根据 Fbar 的工作原理来调整 Fbar 膜层厚度，以此改变其谐振频率，一般根
据中心频率与带宽来调节并确定各Fbar 的叠层结构与膜层厚度。
但通常不会减小
压电薄膜的厚度来增加Fbar 的谐振频率，这是由于压电薄膜厚度越薄，压电性能
就越差。
而压电薄膜的平面宽与厚度比越大，产生的寄生谐振也会越小。
在通过调谐
串联Fbar电极厚度来满足中心频率等指标时，因为工艺因素，一般串、并联Fbar的
底电极厚度要相同但不能太薄，底电极太薄会增加Fbar的欧姆损耗而降低Fbar的
品质因数。
此外，Fbar的面积也会影响滤波器的通带性能。
④Fbar单元各膜层材料及参数
Fbar各膜层的材料也需要选定。
选择压电薄膜的材料一般需要综合考虑：机电耦合
系数、纵波声速、介质损耗、介电常数及频率温度系数等。
选取电极材料通常需要考
虑：低电阻率和高声速、低密度、高声阻抗等。
支撑层是底电极和衬底之间添加的一层低应力材料，能够增强Fbar器件的机械强度。
根据滤波器指标的中心频率，在确定了滤波器中串联、并联Fbar的初始结构参数，包括串联、并联Fbar的膜层厚度及串联、并联谐振器结构参数等参数之后，即组成初始电路模型。
⑤确定Fbar有源区面积
Fbar 的有源区面积不会影响 Fbar 的谐振频率，然而会影响其阻抗特性中的串、并联处的阻抗值。
故在设计滤波器时，需要根据压电层厚度和滤波器的中心频率点，确定Fbar的有源区面积。
⑥Baw的优化设计
确定了Baw滤波器的初始结构后，需要进行优化设计。
面积参数，即串联Fbar 的有源区面积和串联、并联Fbar 有源区面积之比通常被设置为优化变量。
优化目标则为滤波器所需的回波损耗、带内插损及带外抑制等，优化目标通常设置的较为严格以保证优化更易达到指标要求。
对串联、并联 Fbar面积比优化后，若滤波器的性能还未能较好的满足指标，可以继续把串联、并联 Fbar的顶电极和底电极的厚度添加为优化变量。
考虑到工艺，设计时一般所有Fbar的底电极厚度相同，所有串、并联Fbar的顶电极厚度相同。
但要注意的是，调节顶、底电极的厚度会改变滤波器的中心频率，所以变量只需要对厚度进行微调即可，尽量减小滤波器的带内纹波，避免滤波器通带内出处“中间高、两边低”的现象，达到使通带更加平坦的目的。
（2）制造材料
Saw器件只能应用钽酸锂或铌酸锂这样特殊的单晶作为基底。
Baw器件利用可选的任意基底，比如硅就是很好的基底材料，Baw制备可以直接利用主流IC制造厂现有的工艺、设备和基底结构。
石英作为常见的压电材料，在高电压和高压力的情况下表现出线性反应，但还没有合适的方法把石英做成薄膜沉积在Si衬底上。
合适的Baw 压电材料需要高机电耦合系数、低机电损失、热稳定性高，还要符合IC工艺技术。
目前最常用的Baw压电材料有PZT（lead zirconate titanate）、AlN（aluminum nitride）和ZnO（zinc oxide）。
（3）制造工艺
Baw滤波器的最基本结构是两个金属电极夹着压电薄膜（石英基板在2GHz下厚度为2um），声波在压电薄膜里震荡形成驻波。
为了把声波留在压电薄膜里震荡，震荡结构和外部环境之间必须有足够的隔离才能得到最小损耗和最大Q值。
制作Baw所需的大多数工序可以直接在标准IC生产设备上完成，而不需要任何改变。
光刻要求则是0.8 微米的特征尺寸即可。
Baw器件所需的光刻步骤在5个到10个之间。
其中，缺陷密度也影响不大，因为大颗粒也不会导致谐振器失效。
Baw滤波器最
关键的工序是高品质的压电层淀积。
压电层虽然是多晶的，但所有晶粒的 C 轴方向必须完全一致。
方向不一致的晶粒会严重降低品质因子和压电耦合因子。
Baw滤波器的压电层厚度必须在几微米级，其工艺包括薄膜沉积、微机械加工技术实现谐振器结构。
Baw滤波器的工艺和器件设计需要协同优化。
工艺实现中可考虑的一种技术是Baw-SMR（Solidly Mounted Resonator），在震荡结构下方形成布拉格反射器，把声波反射到压电层里面。
该反射器由好几层高低交替阻抗层组成，每层阻抗层的声波阻抗大小相间，且每层的厚度是声波的λ/4，从而能够反射大部分波，和原来的波叠加。
这种结构整体效果相当于和空气接触，大部分声波被反射回来。
图107:Baw-SMR原理图
资料来源：EDN，国元证券研究中心
以下为Baw-SMR滤波器的一种制备方法，由多层材料用于多个谐振器部分的圣波反射，每个谐振器部分至少包括夹在顶部电极和底部电极之间的压电层，该方法包括以下步骤：
（a）用作声波反射的材料层选择介电材料，为其他层选择金属材料；
（b）沉积一层金属层，通过蚀刻工艺将金属层上蚀刻出凹槽，去除要放置谐振器位置处的金属层，从而在两个谐振器下面的金属层之间蚀刻出隔离区域；
其中步骤（b）包括以下步骤：
（i）依次沉积声波反射层，从金属层开始，一直延伸到最接近谐振器的层，使介电层与金属层交替；
（ii）蚀刻金属层，以在基板上留下至少一个金属层的药盒型结构；
（iii）沉积介电材料作为填充剂填充入蚀刻去除部分，沉积深度足以允许将填充剂抛光至最后沉积的金属层图案的顶部；。