真空镀膜操作规程
真空镀膜机操作方法
真空镀膜机操作方法
真空镀膜机是一种常用的表面处理设备，主要用于在物体表面形成薄膜。
以下是一般的真空镀膜机操作方法的简要步骤：
1. 准备物体：将需要进行镀膜的物体清洁干净，确保表面没有灰尘、油脂或其它污染物。
2. 准备镀膜材料：根据需要的薄膜材料类型，准备相应的镀膜材料，一般为金属或者陶瓷材料。
3. 设置真空环境：将物体放置在真空镀膜室中，并确保室内的真空度达到所需的要求。
这通常需要使用真空泵和其他辅助设备。
4. 启动真空系统：打开真空系统的开关，开始抽取室内空气，直到达到设定的真空度。
5. 加热：在达到所需真空度后，加热镀膜材料使其蒸发。
加热的温度和时间取决于材料的性质和所需的薄膜厚度。
6. 沉积：薄膜材料从加热源蒸发出来后，会沉积在物体的表面。
这个过程需要一定的时间，以确保薄膜厚度均匀。
7. 冷却：在薄膜沉积完毕后，将镀膜室冷却至室温，以固化薄膜并使其附着在物体表面。
8. 释放真空：关闭加热源和真空系统，并逐渐恢复大气压力，最终打开镀膜室门让物体取出。
请注意，以上步骤是一个大致的操作流程，不同型号的真空镀膜机可能会有些差异。
在使用真空镀膜机之前，请务必详细阅读设备的操作手册，并根据实际情况进行操作。
真空镀膜机安全操作规程
真空镀膜机安全操作规程一．开机前作到：1.检查工作环境清洁、干净。
2.检查电线无破损，接地牢固。
3.检查真空室、镀膜转架及工位器具清洁、无油污。
4.机械泵、罗茨泵油位过半。
5.检查四只阀加注满3#真空脂，真空室转轴加注满3#真空脂。
6.罗茨泵转轴处油杯加满机械泵油。
7.准备相关工位器具，适量J-7钨丝、ABOO型99.99％的铝丝。
8.接通水、气、电，气压0.5-0.6Mpa，水压0.3-0.4Mpa。
二．操作要点：1.通电，开启机械泵，3分钟后开启阀3，开扩散泵，预热1-1.5小时。
2.镀膜转架装夹产品、铝丝、钨丝，转架进烘箱预热（温度、时间符合工艺）。
3.开阀4，开启真空室，转架进真空室，卡销定位，试转动平稳无异常振动。
4.关闭真空室，关阀4，关阀3，开阀2，开始抽气，开启复合真空计。
5.当真空度达至-0.1Mpa时，开启罗茨泵。
6.当真空度达到1-1.5Pa（52-64格）时，关阀2，开阀3，开阀1。
7.当真空度达到2×10-2Pa时，开启转动（转速符合工艺），分二次进行蒸镀（电压、时间符合工艺），蒸镀结束关复合真空计。
8.停止蒸镀0.5-1分钟后关转动，关阀1，关罗茨泵。
9.开阀4，开真空室，拉出镀膜转架，取下成品，换装待镀产品，装上铝丝，进行下次工作。
10.严守开关阀、泵的顺序步骤，防止损坏设备。
11.生产中注意产品安装到位牢固。
12.注意转架电极、紧固件是否松脱，及时加固补全。
13.及时更换断裂、积球、老化的钨丝。
三．关机及保养：1.拉出转架后，关扩散泵，冷却1-1.5小时，后关阀3，关机械泵。
2.关整机电源，关冷却水、关高压空气。
3.每星期检查清洁镀膜转架工装。
4.每三个月检查更换机械泵油。
5.每六个月检查更换罗茨泵油、扩散泵油。
制定：王思忠审批：时间：2002.09.10 时间：。
真空镀膜机安全操作规程
真空镀膜机安全操作规程
1.打开总电源，打开总水源，打开中气源。
2.打开机械泵冷水阀门并启动机械泵，开始对管道抽真空。
3.开预阀，对扩散泵抽真空（延时自动启动罗茨泵）同时打开扩散泵上下冷却阀门及水冷挡板冷却阀门。
4.开扩散泵，约一小时左右后，扩散泵处于正常工作状态。
5.开启放气阀，打开箱门。
6.装入待镀元件，关闭箱门，关闭放气阀。
7.当扩散泵处于正常工作后，关闭预阀，打开低阀，延时120秒后自动启动罗茨泵，对蒸发室抽低真空，当蒸发真空度达到 1.0-0Pa 时，关闭低阀，开预阀，开高阀，对蒸发室抽高真空。
8.逐步调试增加蒸发室内温度。
9.蒸发室内温度及正空度达到所需求值时，打开膜厚仪，预热枪灯丝后开始蒸镀。
10.蒸镀完成后，关闭膜厚仪及枪灯丝，关闭高阀及扩散泵。
11.逐步降低蒸发室内温度。
12.待达到规定温度时（大于1小时）关闭低阀和机械泵。
13.关总电源，关总水源，关总气源。
真空镀膜机安全操作规程(3篇)
第1篇一、前言真空镀膜机是一种精密设备，用于在各种材料表面镀制薄膜，广泛应用于光学、电子、精密仪器等领域。
为确保操作人员的人身安全和设备正常运行，特制定本安全操作规程。
二、适用范围本规程适用于所有真空镀膜机的操作人员。
三、操作前的准备1. 熟悉真空镀膜机的结构、性能、操作方法和注意事项。
2. 检查设备外观，确保无损坏、无松动。
3. 检查电源、水源、气源等是否正常，并确保各连接部件牢固可靠。
4. 检查真空系统是否完好，确保真空度达到要求。
5. 检查设备内是否有残留物质，如有，应清理干净。
四、操作步骤1. 开启设备电源，启动真空泵，确保真空度达到要求。
2. 将工件放置在镀膜腔内，注意工件放置平稳，避免碰撞。
3. 根据镀膜要求，调整温度、压力、功率等参数。
4. 启动工件转动装置，确保工件转动平稳。
5. 启动电子枪，调节束偏转角、阳极电压、束流等参数。
6. 观察设备运行状态，如发现异常，立即停止操作，查找原因并排除故障。
五、注意事项1. 操作人员必须穿戴好防护用品，如防静电手套、防护眼镜等。
2. 操作过程中，严禁触摸高温部件，避免烫伤。
3. 严禁将金属物体带入设备内部，以防损坏设备。
4. 避免在设备附近吸烟、使用明火，防止火灾发生。
5. 操作过程中，注意观察设备运行状态，如发现异常，立即停止操作。
6. 严禁在设备运行过程中进行维修、调整等操作。
六、操作后的维护1. 关闭设备电源，停止真空泵运行。
2. 清理设备内部，清除残留物质。
3. 检查设备各部件是否完好，如有损坏，及时更换。
4. 定期对设备进行保养、维护，确保设备正常运行。
七、紧急情况处理1. 发生火灾时，立即切断电源，使用灭火器进行灭火。
2. 发生触电事故时，立即切断电源，进行急救。
3. 发生设备故障时，立即停止操作，查找原因并排除故障。
八、附则1. 本规程由设备管理部门负责解释。
2. 本规程自发布之日起实施。
通过以上真空镀膜机安全操作规程，可以有效保障操作人员的人身安全和设备正常运行，提高生产效率。
真空镀膜机操作规程
真空镀膜机操作规程真空镀膜机是一种高精度的设备，操作规程的合理执行可以确保设备的正常运行并保证产品的质量。
下面是一份真空镀膜机的操作规程，供参考：一、操作前准备1. 检查设备的电源和附属设施，确保运行环境安全正常。
2. 检查真空镀膜机内部是否有异物或污染物，清洁设备确保表面干净。
二、设备开启与调试1. 打开设备的电源，并按照操作手册正确操作所有开关与按钮，确保设备的正常运行。
2. 设备初次开启或长时间未使用后，需打开辅助泵进行抽真空，待真空度达到标准值后再进行下一步操作。
3. 真空镀膜机应设有校准装置，操作人员应根据实际需要进行相应的校准，确保设备的稳定性和精度。
三、样品处理与准备1. 将待镀膜的样品放置在有效位置，确保样品的平整，并避免样品之间的碰撞。
2. 样品表面应清洁干净，不存在污染和油渍，否则会影响镀膜质量。
四、真空镀膜操作1. 打开样品舱门，将样品放置在样品架上，确保样品与样品架之间没有杂质。
2. 关闭样品舱门，设定镀膜参数，如镀膜材料、镀膜时间、镀膜温度、反应气体等。
3. 执行真空镀膜程序，按照操作手册的步骤进行操作，确保每一个程序的稳定运行。
4. 在镀膜过程中，操作人员应经常观察反应室内的状态，如真空度、压力、温度等参数，并及时调整。
5. 镀膜结束后，将样品从样品架上取下，放置在准备好的容器中，注意避免样品与其他物体接触，避免污染。
五、设备关闭与清洁1. 关闭设备的各个开关和电源，确保设备停止运行。
2. 清洁设备内部，包括反应室和样品架，确保设备内部干净整洁。
3. 清洁设备外部，特别是控制面板和触摸屏，避免灰尘或污渍附着在上面。
4. 检查设备的附属设施，如冷却系统，确保其正常运行。
六、操作注意事项1. 操作人员应穿戴好相应的防护用品，如手套、口罩、护目镜等，确保工作安全。
2. 镀膜材料和反应气体应储存妥善，避免与火源、高温、湿度等有害物质接触。
3. 真空镀膜机应定期进行维护保养，如更换密封圈、清洁真空管道、校准仪器等。
真空镀膜实验操作步骤
真空镀膜本实验应用真空蒸发的方法：即在真空中把制作薄膜的材料加热蒸发，使其淀积在适当的表面上来获得一质量优良的金属膜。
●真空镀膜机真空镀膜机结构图●蒸发系统蒸发系统蒸发源蒸发源的形状如下图，大致有螺旋式(a)、篮式(b)、发叉式(c)和浅舟式(d)等。
蒸发源真空蒸发实验的具体操作步骤：1. 检查真空镀膜机及复合真空计上各开关，并它们全部置在“关”的位置（特别是复合真空计上的规管电源一定要置在“关”的位置）；2. 接通真空镀膜机总电源，再把钟罩操作旋钮拨至“钟罩升”，等钟罩升至适当位置后拨至“关”；3. 把制作薄膜的铝材处理后放置在蒸发源的适当位置，再用挡板挡住蒸发源；把经清洗、干燥处理后的玻璃片放置在工作架的适当位置；然后把钟罩操作旋钮拨至“钟罩降”使钟罩降至最低位置后拨至“关”；4. 接通复合真空计电源，校准“测量2”的加热电流为98 mA，然后旋钮旋到“测量2”；5. 接通真空镀膜机冷却水源，再接通真空镀膜机的“机械泵及扩散泵”电源，“拉”低阀，用“测量2”监测钟罩内的气压变化，记录相应的P（t）～t 曲线，直到钟罩内的气压值下降为5Pa后，“推”低阀，改用“测量1”监测系统内的气压变化（确认“测量1”的加热电流为98 mA），直到系统内的气压值为5Pa时，“开”高阀；6. 再次采用“测量2”监测钟罩内的气压变化，记录相应的P（t）～t 曲线，直到钟罩内的气压值为0.1Pa后，接通复合真空计上的规管电源，启用电离规管对钟罩内的气压变化进行监测并记录相应的P（t）～t 曲线，直到钟罩内的气压值下降为0.015Pa 以下；7. 用电源插销接通所选用的蒸发源“电极”，再接通“烘烤、蒸发”电源，调节其电流强度为30 A并维持约1分钟，移开挡板，继续增大电流至45A并维持30秒，然后把电流强度调节为零，同时关闭复合真空计上的规管电源！！！8. 在进行抽气10分钟后，“关”高阀，“机械泵及扩散泵”改接为“机械泵”；9. 机械泵继续开动，水源不关，开风扇吹扩散泵……30分钟后接通“充气阀”对钟罩内“充气”，待充气完成后升钟罩，取出镀膜片；10. 再经半小时后关机械泵、水源及总电源。
真空镀膜机操作流程
真空镀膜机操作流程
真空镀膜机是一种非常重要的设备，它能够将金属薄膜均匀地沉
积在不同的基材上。
这种设备广泛应用于电子领域、医疗领域、航空
领域和化学领域等众多领域中。
本文将会为大家讲述真空镀膜机的操
作流程。
一、设备准备
在使用真空镀膜机之前，我们需要检查设备的运行状态，并检查
真空室内部是否存在瑕疵或污垢。
接着，清洁真空室内的所有夹具和
样品，并确保样品表面没有杂质和气泡。
二、真空抽气
将已经准备好的样品夹具放入真空室中，打开机器上的电源开关。
接下来，需要将真空室抽气直到其内部真空度达到所需的水平。
通常，我们将需要达到 1*10^-6 Torr 的真空度，这些都需要根据具体的样
品和需求而定。
三、样品镀膜
当真空度达到预定水平后，可启动样品镀膜程序。
在这个阶段，
你需要调整设备上的参数，例如反应气体、沉积速率以及沉积时间等等。
这些参数都需要根据样品的材料和形状进行调节。
最终目的是均
匀地沉积薄膜层。
四、停止反应
沉积时间用完后，需要切断电源并停止气体反应。
然后将真空室
压力调整为标准的大气压。
最后取出已经完成镀膜过程的样品，在放
回原位之前清洁表面上的杂质和污垢。
总结
以上为真空镀膜机的操作流程。
在进行操作时，我们必须保证设
备运行的正常和安全。
特别需要注意的是在各个阶段需要调整设备上
的参数，以保证样品能够得到最佳的效果。
有了这些基本的操作步骤，你可以轻松操作真空镀膜机，并为你的研究和生产工作创造更加优秀
的成果。
山东真空镀膜机操作规程
山东真空镀膜机操作规程一、引言山东真空镀膜机是一种用于将薄膜材料均匀镀覆在基板上的设备，适用于电子、光学、化工等领域。
为了确保设备的正常运行以及操作人员的安全，制定了本操作规程。
二、操作环境要求1.操作场所应通风良好，避免高温、潮湿等环境；2.操作面积应保持整洁，并备有灭火器等消防设备；3.操作面积应无杂物堆放，废弃物应及时清理。
三、操作人员要求1.操作人员需熟悉设备的结构、原理以及操作步骤，并经过培训合格后方可操作设备；2.操作人员应穿戴良好的防静电服装，并佩戴防护眼镜、手套等防护用具；3.操作人员应保持专注，避免分心操作。
四、设备操作步骤1.打开设备电源，确保所有指示灯正常亮起；2.打开真空泵，将设备的真空度调整至要求的范围内；3.打开底部喷涂系统，将待镀膜的基板平放在喷涂位置；4.调整镀膜机的加热功率和镀膜材料的喷涂速度，确保均匀喷涂；5.确保基板完成镀膜后，关闭喷涂系统；6.关闭真空泵，并等待真空度恢复至安全范围内；7.关闭设备电源。
五、设备维护1.每日使用后，对设备进行清洁，特别是镀膜室及其周围；2.定期检查镀膜机的各项传感器和阀门是否正常工作，并及时更换损坏的零件；3.定期对设备进行润滑维护，保持设备的正常运行；4.设备的大修、维护应委托专业技术人员进行，严禁非专业人员随意操作。
六、安全注意事项1.镀膜机在工作时会产生高温、高压等危险，请严禁触碰设备；2.镀膜机运行时，禁止将手、衣物等物品靠近设备；3.操作人员在操作设备时应保持冷静，避免突发情况发生；4.镀膜材料可能含有有害物质，请操作人员佩戴防护用具。
七、紧急处置措施1.在发生火灾时，及时启动灭火器进行灭火，并立即报警；2.在设备发生故障或意外停机时，应立即关闭电源，并通知技术人员进行维修；3.在操作过程中，如果发生急情况，应立即停止操作，并通知上级处理。
以上便是山东真空镀膜机的操作规程，希望每一位操作人员都能严格按照规程进行操作，确保设备的正常运行和人员的安全。
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真空镀膜操作规程
准备：
1、开启设备总电源，稳压器，确认三相供电电压正常：370—
440V；
2、开启电容补偿器；
3、确认水池冷却水水量充足（见浮标尺）打开循环水泵；
4、根据工艺要求，确定是否需要启动冷水机以及启动几台冷水机；启动
前应确认冷水机入口水压-3kg ，内部增压泵旋转正常，可采用自动或手动方式启动；
5、确认各部分冷却水循环系统完好，确认扩散泵循环水工作正
常，紧急冷却系统准备就绪；
6、确认工艺气体气压不低于20 个大气压
7、装基膜：
A 、领膜：镀膜工按生产任务单要求，从净化室中领到基膜时，应立即检
查该膜是否合格，有无花纹、斑点、划伤、污迹，收卷是否整齐等直接观测到的问题，如有应立即向生产主管报告，以决定是否采用；
B、装轴：操作时必须带手套，将合格的基膜放在专用膜托架上，取一对尺
寸相同的轴安装好，安装时请注意膜的正反面，确认一切准备就绪了，即可吊装。
吊装时必须轻拿轻放，严禁碰撞，必须保持基膜水平，以
免膜打滑引起螺纹状；
C、装膜：确认冷辊无冷凝水后，即可装膜，装膜时不要对着膜讲话，
以保持膜面干净。
注意不要碰透过率分析仪的探头，装膜时应保证
膜在冷辊的中心；
D、按任务书车速要求设置镀膜速度、张力；
E、试卷：引膜完成后，手动预卷几圈，打开张力控制器，启动冷辊、
收卷、卷膜（其中ITO膜卷1 —2m,前档膜和建筑膜卷20m ）。
仔细观察膜是否走正，启动是否容易，冷辊是否与膜同步，走速是否
平稳，膜是否变形、起皱、划伤等等，并及时处置，最后用记号笔
在放料端画起始标志线；
8、按生产任务书要求确认各靶位、布气系统、电源配置正确，
靶材量充足，确认无其他物品遗忘在真空室内或小车上，关闭真空室；
抽真空
1、扩散泵预加热（约需40 分钟）：启动维持泵，确认运转正常后，打开维持阀（灯亮），逐一打开扩散泵；
2、低抽：确认真空室门已关闭启动计算机，进入镀膜系统监控程序，充气阀关闭，启动机械泵（ 1 、2），确认机械泵正常运行后，开预抽阀，五分钟后打开复合真空计，打开罗茨泵开关，
（当真空达到1500Pa 时，罗茨泵允许信号灯（红灯）亮，再延
迟25 秒后，罗茨泵自动启动）；
3、高抽：当罗茨泵启动五分钟后，打开热偶真空计，当真空度达到5Pa
时，开高阀允许信号灯（红灯）亮，此时确认扩散泵预热已完成（加热
40 分钟或油窗油面达到规定位置情况下），关闭预抽阀，依次打开各
前级阀，关维持阀、关维持泵。
依次打开各路高阀，确认到位开关灯
亮，开始高抽。
真空度进入10-2Pa 后，打开电离真空计测量高真空，
直到工艺规定的背景真空，真空进入6x10-3Pa后，打开靶电源总开关及透过率分析仪预热，与计算机系统完成通讯连接；
三、镀膜：
1、确认已达背景真空，关闭电离真空计，打开冷辊、隔离槽、靶电
源、冷却水，确认工作正常；
2、打开所需各路供气电磁阀，抽取残留杂质气体，确认到达背景真空，
按工艺要求设置各路气体流量，打开总气阀、减压阀、气体控制器开
关，用中真空计观察工艺气体总压，稳定后进行透过率分析仪初始
化整定（此时需关闭真空室照明灯）；
3、镀膜：
启动传动系统，确认收放卷工作正常，按靶1—靶 5 依次设置各靶
镀膜功率，关照明灯，观察记录透过率变化情况，开照明灯，观察镀膜后剩余反射光、外观、颜色、质量是否符合工艺要求，在稳定工作的情况下，做好工艺记录，不断巡查设备运转状况，
合理处置各种随机问题，镀膜结束时，依次关闭传动、靶电源，工艺气体、冷却水、（扩散泵水除外），依次关闭各路高阀，启动维持泵，开维持阀，依次关各路前级阀、罗茨泵、机械泵、各真空测量仪，对冷辊升温，如不继续镀膜，关闭扩散泵，保持冷却水，降温 3 小时后，关
维持阀和维持泵；
四、恢复大气压力：
确认冷辊高于露点温度后，打开充气阀，充气完成后，打开真空室门；
五、质量检验：在收卷一侧压紧辊处用记号笔标记镀膜终止位置横线，对镀
膜质量进行必要的观测检验记录；
六、卸膜：
将镀膜剩余引膜收卷完毕，用吊车小心将成品膜吊装到专用托架上，送交净化室；
七、分卷、分切、入库保存；
八、包装、出库、运输；
九、特别提示：
当系统发生故障或供电系统问题引起突然停电时，应立即启动扩散泵紧急冷却系统，方法是：关闭扩散泵主循环阀，打开自来水总开关，对炉盘强制冷却，冷却后应在下一次使用前用气管将急冷水吹干。