扫描电镜的应用及发展
扫描电镜技术原理及应用
扫描电镜技术原理及应用摘要: 扫描电镜一种新型的多功能的，用途最为广泛的电子光学仪器。
数十年来，扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展。
关键词：扫描电镜;应用1938 年德国的阿登纳制成了第一台扫描电子显微镜，1965 年英国制造出第一台作为商品用的扫描电镜，使扫描电镜进入实用阶段。
近 20 年来，扫描电镜发展迅速，多功能的分析扫描电镜（即扫描电镜带上能谱仪、波谱仪、荧光仪等）既能做超微结构研究，又能做超微结构分析，既能做定性、定量分析、又能做定位分析,具有景深大，图像富有立体感，分辨率高，图像放大倍数高，显像直观，样品制备过程相对简单，可连接EDAX（X-射线能谱分析仪）进行微区成分分析等特点，被广泛应用于生物学、医学、古生物学、地质学、化学、物理、电子学及林业等学科和领域［1-2］。
1扫描电镜的工作原理与技术特点1.1 扫描电镜的工作原理扫描电镜( SEM) 的工作原理是由电子枪发射出来直径为50μm（微米）的电子束，在加速电压的作用下经过磁透镜系统会聚，形成直径为5nm（纳米）的电子束，聚焦在样品表面上，在第二聚光镜和物镜之间偏转线圈的作用下，电子束在样品上做光栅状扫描，同时同步探测入射电子和研究对象相互作用后从样品表面散射出来的电子和光子，获得相应材料的表面形貌和成分分析［3］。
从材料表面散射出来的二次电子的能量一般低于50 eV，其大多数的能量约在2 ～ 3 eV。
因为二次电子的能量较低，只有样品表面产生的二次电子才能跑出表面，逃逸深度只有几个纳米，这些信号电子经探测器收集并转换为光子，再通过电信号放大器加以放大处理，最终成像在显示系统上。
扫描电镜工作原理的特殊之处在于把来自二次电子的图像信号作为时像信号，将一点一点的画面“动态”地形成三维的图像。
1.2 扫描电镜的技术特点［4］扫描电子显微镜测试技术特点主要有:( 1) 聚焦景深大。
扫描电子显微镜的聚焦景深是实体显微镜聚焦景深的50倍，比偏反光显微镜则大500 倍，且不受样品大小与厚度的影响，观察样品时立体感强。
中国扫描电镜市场现状分析
中国扫描电镜市场现状分析目前，中国扫描电镜市场主要分为两大类产品，分别是透射电子显微镜（TEM）和扫描电子显微镜（SEM）。
这两种产品的应用领域不同，具有不同的特点和需求。
首先，透射电子显微镜（TEM）在生物医学领域具有广泛的应用。
随着医学技术的进步，越来越多的研究人员开始使用TEM观察和研究细胞、组织和病原体等微观结构。
透射电子显微镜能够提供高清晰度的图像和高分辨率的成像，对于研究细胞构造和病毒感染机制等有着重要作用。
其次，扫描电子显微镜（SEM）在材料科学领域得到广泛应用。
扫描电子显微镜能够提供三维表面图像和高分辨率的成像，对于研究材料的形貌、表面结构和组织等具有优势。
在材料科学领域，SEM被广泛应用于材料分析、纳米材料研究和材料缺陷分析等。
另外，随着科学技术的进步和应用领域的拓展，扫描电镜市场也出现了一些新的发展趋势。
例如，电子束制造技术的发展使得微纳加工技术得到快速发展，为扫描电镜的应用提供了新的机会；冷场发射电子显微镜的出现使得对生物样本的观察更加方便和准确；原位观察技术的应用使得对材料变化过程的研究更加方便和详细。
然而，中国扫描电镜市场也面临一些挑战和问题。
首先，高端扫描电镜设备的进口依赖程度较高，国内企业在技术和产品质量上仍然存在差距。
其次，扫描电镜市场竞争激烈，行业内企业数量庞大，各个企业之间的竞争较为激烈。
最后，扫描电镜市场的应用领域还不够广泛，需要进一步拓展应用领域，增加市场需求。
针对以上问题，中国扫描电镜市场可以采取一些措施来促进市场的发展。
首先，加强自主创新和研发能力，提升国产扫描电镜的技术水平和质量。
其次，加大对扫描电镜市场的政策支持和资金投入，鼓励企业加大研发力度和技术改造。
最后，拓展扫描电镜的应用领域，促进市场需求的增长。
综上所述，中国扫描电镜市场具有广阔的发展前景和潜力。
随着科学技术的不断进步和应用领域的拓展，扫描电镜在医学、材料科学等领域的应用将越来越广泛。
同时，中国扫描电镜市场也面临一些问题和挑战，需要采取一些措施来推动市场的发展。
扫描电镜在细胞生物学中的历史与应用
扫描电镜在细胞生物学中的历史与应用发布者：飞纳电镜第一张真核细胞的电子显微镜图像诞生于1945年，Ruska家族不仅开发了电子显微镜（EM），而且还在传染病源（如细菌和病毒）的成像领域开创了先河。
1949年，人们将细胞镶嵌在聚合物中，切成薄片，最终获得了细胞内部结构。
在早期的研究中，研究者们的焦点集中在细胞器上，其中线粒体和内质网被研究得非常透彻。
脑组织的细胞结构也开始使用透射电子显微镜（TEM）来观察。
在使用透射电子显微镜（TEM）来进行研究期间，扫描电子显微镜（SEM）才刚刚开始成为观察样品表面形貌的工具，直到20世纪60年代和70年代才被正式运用[1]。
这篇博客提供了一些最近在细胞生物学应用研究中涉及到扫描电镜（SEM）的案例。
图1：电子显微镜在细胞生物学研究中的应用史图2：飞纳电镜下的丝状伪足图3：飞纳电镜下的细胞如何使用扫描电镜（SEM）观察高尔基体基质蛋白对斑马鱼纤毛功能的影响Bergen等人[2]给出了一个很好的例子。
他们在研究中使用高尔基体基质蛋白，并使用扫描电镜观察其对斑马鱼纤毛功能的影响。
通过扫描电镜对嗅觉神经上皮细胞纤毛成像分析，可以证明它在两种形态下的不同。
为了能够用二次电子探测器对纤毛进行成像，他们必须将样品固定在多聚甲醛中，然后逐级脱水，再使用临界点干燥仪进行干燥，最后进行喷金处理。
从图像中可以看出在体内的再生表型和短干扰DNA的转染，会导致光滑的纤毛变成球状纤毛。
因此，它们可以显示出最大的高尔基体基质蛋白—巨蛋白，在纤毛生成和纤毛长度的控制中起着重要作用。
如何使用扫描电镜（SEM）观察经过碳纳米管处理后人类巨噬细胞的功能另一个案例延伸到人体的免疫机能。
Sweeney等人[3]观察了经过碳纳米管处理后人类巨噬细胞的功能变化。
肺泡巨噬细胞能够清除肺泡空间的外来物质（微生物或粒子），是免疫细胞防御的第一道防线。
在用扫描电镜观察巨噬细胞之前，先用乙醇对细胞脱水，然后，在喷金前使用专用的容器进行封存。
扫描电镜在材料中的应用
扫描电镜在材料中的应用扫描电镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是一种广泛应用于材料科学领域的高分辨率显微镜。
它利用电子束与样品相互作用产生的信号来获取样品的形貌和成分信息，具有优越的分辨率和放大倍数，因此在材料研究中有着重要的应用。
在材料科学中，扫描电镜能够提供高分辨率的表面形貌观察。
与光学显微镜相比，扫描电镜具有更高的放大倍数和更好的分辨率，能够观察到更细微的表面细节。
对于材料的表面形貌分析，扫描电镜能够帮助科研人员更全面地了解材料的结构特征、表面纹理和形貌变化等。
例如，在金属材料研究中，通过扫描电镜观察到的晶粒大小、晶界分布和表面缺陷等信息，可以为材料的性能提供重要的参考。
扫描电镜在材料中的应用还包括成分分析。
通过能谱仪等附加设备的配合，扫描电镜可以获取样品的元素成分信息。
利用能谱仪的能量分析功能，可以准确地确定材料中各种元素的含量和分布情况。
这对于材料的组分分析、杂质检测和成分控制等方面都非常重要。
例如，在半导体材料研究中，扫描电镜能够提供有关材料中杂质元素的存在情况和分布特征，并为材料的纯度和质量评估提供可靠的依据。
扫描电镜还可以应用于材料的微观结构研究。
通过扫描电镜观察材料的断口面，可以获取材料的断裂形态和断口特征。
这对于研究材料的断裂机制、强度和韧性等性能具有重要意义。
例如，在材料的力学性能研究中，扫描电镜可以观察到材料的断裂面形貌，进而分析材料的断裂方式和断裂机制，为材料的强度和韧性提供深入理解。
扫描电镜还可以应用于材料的表面形貌工程。
通过在材料表面进行局部处理，如蚀刻、涂覆等，可以改变材料的表面形貌和结构，从而调控材料的性能。
通过扫描电镜观察处理后的材料表面，可以评估处理效果，并优化处理参数。
例如，在涂层材料研究中，扫描电镜可以观察到涂层的厚度、均匀性和结构特征，为涂层材料的性能优化提供依据。
扫描电镜在材料科学中有着广泛的应用。
它可以提供高分辨率的表面形貌观察、成分分析、微观结构研究和表面形貌工程等方面的信息，为材料的研究和应用提供了重要的支持。
扫描电镜在材料学中的应用
扫描电镜在材料学中的应用材料学是第二次工业革命重要的基础学科之一，它涉及到材料的制备、性能、结构和应用，而材料结构又是材料性能和应用的基础。
如何研究材料的结构成为材料学者关注的重点之一。
最近几十年，随着科学技术的发展，扫描电镜成为研究材料结构的有力工具之一。
一、扫描电镜原理扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种基于电子束和物质交互作用的高分辨率显微镜，可用于研究材料的表面形貌、元素组成及晶体结构等微观结构特征。
扫描电镜技术是用高能电子束照射样品，当电子束与样品的原子或分子相互作用时，会产生散射、透射、反射和吸收等过程，从而得到一系列的信号。
这些信号通过探测器收集和处理，可以反映样品的表面形貌、元素组成及其他微结构的像素信息。
二、扫描电镜在材料学中的应用扫描电镜在材料学的应用非常广泛。
以下将从以下几个方面介绍它在材料学中的应用。
1.材料的表面形貌观测扫描电镜可以清晰地观测材料表面的形貌特征，如晶体、孔洞、颗粒、尖峰、裂痕、纹理等，其分辨率可达到亚纳米量级。
例如，用SEM观测晶体的形貌，可以分辨出其晶体形态、晶面和晶缺陷等，有助于研究材料的生长机制和晶体的结构性质。
2.材料元素分布探测扫描电镜还可以探测材料各元素分布情况，Semi-Quantitative Analysis，如EDX（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy）能够快速获取样品在不同位置的元素组成，并可以建立元素含量的分布图。
通过这种方法可以鉴定材料的成分，判断晶体缺陷的构型和原子位置，并分析材料的迁移和相互作用等物理过程。
3.材料的电学性质研究扫描电镜成像技术可以用于分析材料的导电性和电荷转移特性，如SEM-EBSD组合技术可以分辨材料中不同晶向的晶界和晶体缺陷，通过视频测量、晶体学计算和模拟，可以获得材料的电学特性。
这对于新型芯片材料、电池材料和光催化材料等的设计、制备和改进至关重要。
扫描电镜在材料科学中的应用
扫描电镜在材料科学中的应用材料科学是研究物质组成、结构、性能和制备的学科，是现代化工、轻工、航天、军工等领域重要的基础科学。
扫描电镜是材料科学领域常用的一种研究手段，具有高分辨率、表面形貌优异、化学成分分析等特点。
本文将结合扫描电镜的原理、分类、特点以及应用，阐述其在材料科学中的意义和价值。
一、扫描电镜的原理扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种通过电磁透镜或电子光学技术将高能的电子聚焦到样品表面上，通过电子束和样品的相互作用产生信号，进而得到样品表面形貌和成分信息的一种显微镜。
回顾电子学发展的历史，SEM是由美国物理学家尤金·韦格纳于1931年创制的。
随着电子学技术和计算机技术的不断进步，SEM已经成为研究材料科学、生物学、纳米技术等领域实验室必备的工具。
二、扫描电镜的分类按照样品准备状态，扫描电镜可以分为常规扫描电镜和低温扫描电镜；按照电子源的类型，扫描电镜可以分为热阴极扫描电镜和场致发射扫描电镜；按照所用探针类型，扫描电镜可以分为电子束探针扫描电镜和离子束探针扫描电镜等多种类型。
不同类型的扫描电镜，各有其应用领域和研究重点。
三、扫描电镜的特点相比其他显微镜，SEM具有如下几点特点：1.高分辨率。
SEM透镜系统比传统光学显微镜的透镜系统负担更多的对样品形貌和成分信息的分辨力，可以实现nm量级的表面形貌显示。
2.大视场。
SEM的视场比传统显微镜大得多，在对大尺寸样品准备时更加有优势。
3.成分分析能力。
SEM可以与EDS（Energy Dispersive Spectroscopy）联用，实现对材料的成分分析。
4.3D高清显示。
SEM可以使用倾斜探针的方法来获得大角度信息，进而完成一些三维图像的重建。
四、1.材料学研究。
SEM的应用领域广泛，其中最重要的应用是通过SEM观察材料的微观结构，进而研究其性能、机制分析和加工工艺优化等方面。
例如，使用SEM可以对材料的疲劳、裂纹扩展、质量控制、晶体结构研究进行深入研究。
扫描电镜技术在催化剂研究中的应用
扫描电镜技术在催化剂研究中的应用
扫描电镜技术是一种用于研究催化剂的高精度分析技术，在最近几十年来已经被广泛应用于催化剂研究中。
扫描电镜技术可以用来准确地测量催化剂表面的特征，包括其尺寸、形状、布局、表面结构以及表面能。
这种技术可以解决催化剂的形成机理问题、催化剂的结构表征问题、催化剂的表面能量分布问题等。
此外，扫描电镜技术还可以用来研究催化剂的表面形貌，包括表面的凹凸结构，表面的毛细结构，以及表面的尖端形状等。
这些表面信息可以帮助我们了解催化剂的性质，以及表面上发生的化学反应等。
此外，扫描电镜技术还可以用来研究催化剂表面的吸附性能。
通过测量催化剂表面的吸附能力，我们可以了解催化剂的表面结构，以及催化剂表面上发生的化学反应的特性。
扫描电镜技术还可以用来分析催化剂表面的电子结构。
可以通过测量催化剂表面的电子层结构，更好地理解催化剂表面上发生的化学反应以及催化剂的性质。
综上所述，扫描电镜技术是一种高精度分析技术，可以用来研究催化剂的表面结构、表面能量分布以及表面的吸附性能等。
因此，扫描电镜技术可以为催化剂研究提供重要的科学依据，有助于深入理解催化剂的性质和表面上发生的化学反应。
扫描电镜技术在材料科学中的应用
扫描电镜技术在材料科学中的应用材料科学是一门应用学科，它研究各种物质的性质、结构、制备和应用等方面的科学问题。
在材料科学中，有很多研究方法和分析技术，其中扫描电镜技术是一种非常重要的方法。
本文将从扫描电镜技术的概念、优点以及在材料科学中的应用，探讨该技术在材料科学领域中的价值和发展前景。
一、扫描电镜技术的概念扫描电镜技术（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种常用的材料表征、分析、观察的技术。
该技术利用高能电子束照射样品，观察样品在电场作用下发生的不同电子过程，通过收集样品表面反射、吸收、透射等电子的各种信号，进而获得样品表面形态、表面元素分布、晶体结构等信息。
扫描电镜技术主要分为三个步骤，包括样品制备、电子显微镜成像和信号检测等。
首先，样品需要进行处理和制备，以便于观察和分析，比如需要进行切片、抛光等处理。
然后，采用电子显微镜照射样品，通过收集样品表面反射、背散射等电子信号，来获得样品的形貌和结构等信息。
最后，通过图像的处理和分析，以及各种数据的比对和分析，来进一步分析样品的性质和结构等。
二、扫描电镜技术的优点扫描电镜技术的优点主要包括以下几个方面：1.分辨率高：扫描电镜技术的分辨率非常高，能够观察到极小的表面形貌和微观结构，甚至能够研究到纳米级别的材料结构。
2.实时性好：扫描电镜技术能够实时进行样品观察和分析，并且可以通过调整各种参数来达到最佳的显影效果和分析结果，具有成像速度快、操作简便等特点。
3.多功能性强：扫描电镜技术可以观察样品的形貌、成分分布、晶体结构等多方面信息，而且可以进行高分辨率的成像、分析、比对等操作，多功能性非常强。
4.适用范围广：扫描电镜技术适用于多种材料和样品，比如金属材料、半导体材料、生物医学材料等，在材料科学、生物医学等多领域有着广泛应用。
三、扫描电镜技术在材料科学领域中的应用非常广泛，主要应用于材料结构、形貌、成分、性能、缺陷等方面的研究。
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扫描电镜的新发展
陈散兴
扫描电镜的原理
扫描电镜( Scanning Electron Microscope, 简写为SEM) 是一个复杂的系统, 浓缩了电子光学技术、真空技术、精细机械结构以及现代计算机控制技术。
成像是采用二次电子或背散射电子等工作方式, 随着扫描电镜的发展和应用的
拓展, 相继发展了宏观断口学和显微断口学。
扫描电镜是在加速高压作用下将电子枪发射的电子经过多级电磁透镜汇集
成细小( 直径一般为1-5 nm)的电子束(相应束流为10- 11-10- 12A)。
在末级透镜上方扫描线圈的作用下, 使电子束在试样表面做光栅扫描( 行扫+ 帧扫)。
入射电子与试样相互作用会产生二次电子、背散射电子、X 射线等各种信息。
这些信息的二维强度分布随试样表面的特征而变( 这些特征有表面形貌、成分、晶体取向、电磁特性等等) , 将各种探测器收集到的信息按顺序、成比率地转换成视频信号, 再传送到同步扫描的显像管并调制其亮度, 就可以得到一个反应试样表面状况
的扫描图像。
如果将探测器接收到的信号进行数字化处理即转变成数字信号,
就可以由计算机做进一步的处理和存储。
扫描电镜主要是针对具有高低差较大、粗糙不平的厚块试样进行观察, 因而在设计上突出了景深效果, 一般用来分析断口以及未经人工处理的自然表面。
扫描电镜的主要特征如下:
( 1) 能够直接观察大尺寸试样的原始表面;( 2) 试样在样品室中的自由度非
常大;( 3) 观察的视场大;( 4) 图像景深大, 立体感强;( 5) 对厚块试样可得到高分
辨率图像;( 6) 辐照对试样表面的污染小;( 7) 能够进行动态观察( 如动态拉伸、压缩、弯曲、升降温等) ;( 8) 能获得与形貌相对应的多方面信息;(9) 在不牺牲扫描电镜特性的情况下扩充附加功能, 如微区成分及晶体学分析。
近代扫描电镜的发展主要是在二次电子像分辨率上取得了较大的进展。
但对不导电或导电性能不太好的样品还需喷金后才能达到理想的图像分辨率。
随着材料科学的发展特别是半导体工业的需求, 要尽量保持试样的原始表面, 在不做
任何处理的条件下进行分析。
早在20 世纪80 年代中期, 便有厂家根据新材料( 主要是半导体材料) 发展的需要, 提出了导电性不好的材料不经过任何处理
也能够进行观察分析的设想, 到90 年代初期, 这一设想就已有了实验雏形, 90 年代末期, 已变成比较成熟的技术。
其工作方式便是现在已为大家所接受的低真空和低电压, 最近几年又出现了模拟环境工作方式的扫描电镜, 这就是现代扫
描电镜领域出现的新名词/ 环扫0, 即环境扫描电镜。
低电压扫描显微镜
在扫描电镜中, 低电压是指电子束流加速电压在1 kV 左右。
此时, 对未经导电处理的非导体试样其充电效应可以减小, 电子对试样的辐照损伤小, 且二次电子的信息产额高, 成像信息对表面状态更加敏感, 边缘效应更加显著, 能够适应半导体和非导体分析工作的需要。
但随着加速电压的降低, 物镜的球像差效应增加, 使得图像的分辨率不能达到很高, 这就是低电压工作模式的局限性。
低真空扫描显微镜
低真空为是为了解决不导电试样分析的另一种工作模式。
其关键技术是采用了一级压差光栏, 实现了两级真空。
发射电子束的电子室和使电子束聚焦的镜筒必须置于清洁的高真空状态,一般用1 个机械泵和扩散泵来满足之。
而样品室不一定要太高的真空, 可用另一个机械泵来实现样品室的低真空状态。
当聚焦的电子束进入低真空样品室后, 与残余的空气分子碰撞并将其电离,这些离化带有正电的气体分子在一个附加电场的作用下向充电的样品表面运动, 与样品表面充电的电子中和, 这样就消除了非导体表面的充电现象, 从而实现了对非导体样品自然状态的直接观察, 在半导体、冶金、化工、矿产、陶瓷、生物等材料的分析工作方面有着比较突出的作用。
环境扫描电镜
上述低真空扫描电镜样品室最高低真空压力为400 Pa, 现在有厂家使用专利技术, 可使样品室的低真空压力达到2 600 Pa, 也就是样品室可容纳分子更多, 在这种状态下, 可配置水瓶向样品室输送水蒸气或输送混合气体, 若跟高温或低温样品台联合使用则可模拟样品的周围环境, 结合扫描电镜观察, 可得到环境条件下试样的变化情况。
环扫实现较高的低真空, 其核心技术就是采用两级压差光栅和气体二次电子探测器, 还有一些其它相关技术也相继得到完善。
它是使用1 个分子泵和2 个机械泵, 2 个压差( 压力限制) 光栅将主体分成3 个抽气区, 镜筒处于高真空, 样品周围为环境状态, 样品室和镜筒之间存在一个缓冲过渡状态。
使用时, 高真空、低真空和环境3 个模式可根据情况任意选择, 并且在3 种情况下都配有二次电子探测器, 都能达到3. 5 nm 的二次电子图像分辨率。
ESEM 的特点是:
(1) 非导电材料不需喷镀导电膜, 可直接观察, 分析简便迅速, 不破坏原始形貌;
(2) 可保证样品在100% 湿度下观察, 即可进行含油含水样品的观察, 能
够观察液体在样品表面的蒸发和凝结以及化学腐蚀行为;
(3) 可进行样品热模拟及力学模拟的动态变化实验研究, 也可以研究微注入液体与样品的相互作用等。
因为这些过程中有大量气体释放, 只能在环扫状态下进行观察。
环境扫描电镜技术拓展了电子显微学的研究领域, 是扫描电子显微镜领域的一次重大技术革命, 是研究材料热模拟、力学模拟、氧化腐蚀等过程的有力工具, 受到了国内广大科研工作者的广泛关注, 具有广阔的应用前景。
高温样品台功能
利用高温台在环境模式下对样品进行加热并采集二次电子信号可进行适时动态观察。
而在普通高真空扫描电镜和低真空扫描电镜中, 只能对极少数特殊样品在高温状态下进行观察, 并要求在加热过程中不能产生气体、不能发出可见光和红外辐射, 否则, 会破坏电镜的真空, 并且二次电子图像噪音严重, 乃至根本无法成像。
高温台配有专用陶瓷GSED( 气体二次电子探头) , 可在环境模式下, 在高达1 500 e 温度下正常观察样品的二次电子像。
加热温度范围从室温到1 500 e , 升温速度每分钟1~ 300 e 。
环境扫描电镜的专利探测器可保证在足够的成像电子采集时抑制热信号噪音, 并对样品在高温加热时产生的光信号不敏感。
而这些信号足以使其它型号扫描电镜中使用的普通二次电子探头和背散射电子探头无法正常工作。
动态拉伸装置
最新的动态拉伸装置配有内部马达驱动器、旋转译码器、线性位移传感器, 由计算机进行控制和数据采集, 配合视频数据采集系统, 可实现动态观察和记录。
可从材料表面观察在动态拉伸条件下材料的滑移、塑性形变、起裂、裂纹扩展( 路径和方向) 直至断裂的全过程等。
该装置还可附带3 点弯曲和4 点弯曲装置, 具有弯曲功能, 从而可以研究板材在弯曲状态下的形变、开裂直至断裂的情况。
最大拉伸力为2 000 N, 3 点弯曲最大压力为660N。
动态拉伸装置可配合多种扫描电镜工作。
结语
新一代环境扫描电镜与能谱仪和EBSD 配合, 可在得到较好的试样形貌像
的前提下同时得到成分信息和晶体学的信息。
最近几年实现了拉伸台与计算机的完美结合, 有比较完善的材料动态拉伸扫描电镜, 研究才有可能开展得更为深入。
环境扫描电镜真空系统和探测器等相关技术的成熟使得高温样品台的应用更安全可靠。
可以预期, 高温样品台、动态拉伸台、能谱仪、EBSD 和环境扫描电镜组合, 必将在现代材料研究方面发挥更大的作用。