半导体材料的发展现状及趋势

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半导体材料的发展现状及趋势

半导体材料的发展现状及趋势

半导体材料的发展现状及趋势一、发展现状随着信息技术的飞速发展,对半导体材料的需求不断增加,并且对其性能也提出了更高的要求。

目前半导体材料的主要应用领域是集成电路和光电器件。

在集成电路方面,硅材料是目前主要的基础材料,其优点是成本低廉、生产工艺成熟。

但是随着集成度的提高,硅材料的性能已经无法满足需求,因此研究人员开始寻找更好的材料替代硅。

例如,砷化镓(GaAs)材料具有较高的电子迁移率,可以用于制造高速电子器件;碳化硅(SiC)材料则具有较高的耐高温和耐辐照性能,适用于高功率器件。

此外,研究人员还在探索新型半导体材料,如石墨烯、量子点等,以进一步拓展半导体材料的应用领域。

在光电器件方面,半导体材料在激光器、LED等领域有着广泛应用。

例如,氮化镓(GaN)材料可以制造高亮度、高效率的LED,被广泛应用于照明和显示领域;砷化镓(GaAs)材料则可制造高效率的激光器,广泛应用于通信和雷达领域。

此外,随着可再生能源的发展,太阳能电池也成为半导体材料的重要应用领域之一、砷化镓太阳能电池具有高效率、较低的制造成本等优点,被认为是未来太阳能电池的发展方向。

二、发展趋势1.多功能材料:随着电子器件的不断发展,对材料的要求越来越多样化。

未来的半导体材料将发展为多功能材料,既能满足传统的电子器件需求,又能应用于新兴领域如能源存储、量子计算等。

2.新型材料的探索:目前已经发现的半导体材料种类有限,而且大部分材料的性能有限。

因此,未来的研究重点将放在新型材料的探索上,例如石墨烯、钙钛矿等。

这些新型材料具有独特的结构和性能,可以应用于更多领域。

3.制备工艺的改进:半导体材料的制备工艺对于材料性能的影响至关重要。

未来的发展将着重改进和发展现有的制备工艺,以提高材料的质量和性能。

4.芯片尺寸的进一步缩小:随着电子器件的不断进化,芯片的尺寸也在不断缩小。

未来的趋势是进一步缩小芯片尺寸,提高器件性能和集成度。

5.环保可持续发展:随着人们对环保意识的提高,对于材料的环境友好性和可持续性也提出了更高的要求。

半导体技术的发展现状与趋势

半导体技术的发展现状与趋势

半导体技术的发展现状与趋势随着信息技术的迅猛发展,半导体技术也在不断进步。

今天我们将探讨半导体技术的发展现状和趋势。

1.半导体技术的发展现状半导体技术已经成为现代电子和信息技术的基础。

随着新材料、新工艺和新技术的不断涌现,半导体行业正经历着快速的发展。

以下是半导体技术的几个方面发展的现状:(1)材料:半导体材料是半导体技术的基础。

传统的硅材料已经被广泛应用,但随着技术的发展,新的半导体材料不断出现。

比如,碳化硅材料具有更高的耐高温和高电压性能,被广泛应用于电力电子和汽车电子领域。

此外,氮化镓、氮化铝等宽禁带半导体材料也在光电器件领域得到了广泛应用。

(2)工艺:半导体工艺的发展是推动半导体技术进步的关键。

微影技术是半导体工艺中的重要一环,随着纳米技术的发展,微影技术已经进入到亚纳米甚至纳米级别。

此外,三维集成技术、柔性电子技术、封装技术等都在不断进步。

(3)设备:半导体设备是支撑半导体制造的关键。

随着半导体工艺的不断精密化,半导体设备也在不断更新换代。

光刻机、离子注入机、薄膜沉积设备等在技术上都在不断改进。

(4)市场:半导体市场也在不断扩大。

随着5G、人工智能、物联网等新兴技术的发展,对半导体的需求也在增加。

同时,新兴市场的崛起也为半导体行业带来了新的机遇。

2.半导体技术的发展趋势半导体技术的发展有以下几个趋势:(1)新材料的发展:随着半导体器件尺寸的不断缩小,对新材料的需求也在增加。

新的宽禁带半导体材料、二维材料、纳米材料等都成为了半导体技术的研究热点。

(2)新工艺的研究:微纳米加工技术、三维集成技术、柔性电子技术等新工艺的研究将成为未来的发展方向。

这些新工艺将有助于提高器件的集成度、性能和功能。

(3)智能制造的发展:随着人工智能、大数据等技术的发展,智能制造将成为未来半导体制造的主要趋势。

半导体制造设备将实现智能化,生产过程将更加精密和高效。

(4)生态可持续发展:半导体工艺和设备的研发将更加注重环保和节能。

半导体技术的发展现状与未来趋势分析

半导体技术的发展现状与未来趋势分析

半导体技术的发展现状与未来趋势分析近年来,半导体技术得到了迅猛的发展,成为当代科技领域的重要支柱之一。

从早期的硅晶体管到现在的微电子器件,半导体技术不断刷新着人们对科技的认知。

本文将对半导体技术的发展现状与未来趋势进行分析。

1. 发展现状半导体技术的发展在电子器件的微小化和功耗降低方面取得了显著成果。

目前,集成电路已经实现了纳米级别的制造工艺,芯片上的晶体管密度大大增加,使信息处理的速度和效率大幅提升。

同时,半导体材料的研究也在不断深入,新型材料如氮化镓、碳化硅等的应用使得电子器件性能得到了进一步提升。

在应用方面,半导体技术的广泛应用推动了数字化、智能化时代的到来。

从计算机、通信设备、家电到汽车、医疗器械,半导体技术成为了各个领域不可或缺的核心。

尤其是人工智能技术的兴起,对计算能力和数据处理速度提出了更高的要求,半导体技术的进一步发展势在必行。

2. 未来趋势(1)三维芯片目前的芯片制造技术主要是二维平面的,但是随着晶体管密度的提高,芯片上的线路越来越密集,产生了热耗散和信号传输的问题。

为了解决这些问题,未来的发展方向是引入三维芯片技术。

三维芯片能够将晶体管层叠起来,减少线路长度,提高信号传输速度,并且增加散热面积,降低功耗。

(2)新型半导体材料传统的硅材料在发展到一定程度后会出现物理性能上的瓶颈,因此,研发新型半导体材料成为了近年来的热点。

氮化镓、碳化硅等新型材料具有较高的电子迁移率和热导率,能够在高温、高频、高功率环境下工作稳定。

新型材料的应用将进一步提高芯片的运行速度和效率。

(3)光电集成光电集成技术是半导体技术未来的重要方向之一。

相比传统的电子设备,光电器件具有无电磁干扰、高速传输、低损耗等优点。

通过将光电器件与半导体器件集成在一起,可以实现基于光信号的信息处理和传输,使得电子器件的处理速度更快、效率更高。

(4)人工智能应用人工智能技术的兴起对计算能力提出了更高的要求。

为了满足人工智能算法的运行和训练需求,未来半导体技术将朝着更加专业化和定制化的方向发展。

半导体材料的发展前景和趋势

半导体材料的发展前景和趋势

半导体材料的发展前景和趋势半导体材料,在现代科技领域具有举足轻重的地位,是电子产业和信息技术发展的基石。

随着科技的日新月异,半导体材料也展现出无限的发展潜力。

本文将对半导体材料的发展前景和趋势进行深入探讨。

一、新型半导体材料的崛起传统的半导体材料,如硅,虽然在许多领域中仍占据主导地位,但已逐渐不能满足日益增长的技术需求。

因此,新型半导体材料如氮化镓(GaN)、碳化硅(SiC)和氧化锌(ZnO)等正逐渐崭露头角。

这些材料具有更高的电子迁移率、高热导率和大禁带宽度等特点,使得电子设备能够实现更高的频率、更大的功率以及更低的能耗。

二、柔性电子材料的广泛应用随着可穿戴设备和智能家居的普及,柔性电子材料的需求日益增长。

柔性电子材料具有良好的柔韧性和可延展性,能够适应各种复杂形状的表面,为电子产品提供了更大的设计空间。

同时,柔性电子材料在医疗、军事等领域也有着广泛的应用前景。

三、生物相容性半导体材料的研究进展在生物医学领域,半导体材料的应用越来越广泛。

生物相容性半导体材料是指那些对生物体无毒、无害、无刺激,且能与生物体相容的材料。

这类材料在组织工程、药物传递和生物成像等领域具有巨大的应用潜力。

随着研究的深入,未来有望为生物医学领域带来革命性的突破。

四、量子点及二维材料的潜力量子点和二维材料是近年来备受瞩目的新兴领域。

量子点材料具有独特的光电性能,可应用于显示、照明和太阳能电池等领域。

而二维材料如石墨烯和过渡金属二卤化物等则展现出超常的力学、电学和热学性能,为新一代电子器件和光电器件的发展提供了可能。

五、智能化和定制化趋势随着人工智能和物联网技术的发展,半导体材料的智能化和定制化成为未来发展的必然趋势。

通过集成各种传感器和执行器,半导体材料将能够实时感知环境变化并做出相应调整,从而实现智能化。

同时,基于3D打印等技术,可以根据特定需求定制化生产半导体材料,进一步提高生产效率和满足个性化需求。

六、绿色环保和可持续发展在可持续发展的大背景下,半导体材料的绿色环保和可持续发展也成为关注的焦点。

半导体技术的发展现状与趋势

半导体技术的发展现状与趋势

半导体技术的发展现状与趋势半导体技术是当今世界上最具前景和发展潜力的技术之一,其在电子、通信、能源、医疗等领域都有着广泛的应用。

随着移动互联网、人工智能、物联网等新兴技术的兴起,半导体技术的发展也呈现出日新月异的趋势。

本文将对半导体技术的发展现状和趋势进行深入探讨,分析其在各个领域的应用和未来的发展方向。

一、半导体技术的发展现状半导体技术是一种以半导体材料为基础的电子器件制造技术,其最早的应用可以追溯到20世纪50年代,自那时起,半导体技术就开始不断地发展和进步。

目前,半导体技术已经成为现代电子工业的核心技术,其在微处理器、存储器、传感器、光电子器件、功率器件等领域都有广泛的应用。

1.微处理器微处理器是半导体技术的重要应用领域之一,它是现代电子设备的核心部件,其性能直接关系到整个设备的运行速度和稳定性。

当前,微处理器的制造技术已经进入到纳米级别,其性能和功耗方面都有了显著的提升。

随着人工智能、大数据等新兴技术的兴起,微处理器的需求也在不断增加,为了满足这些需求,半导体技术在微处理器领域的研发也在持续不断地进行着。

2.存储器存储器是另一个重要的半导体技术应用领域,其在电子设备中主要用于存储数据和程序。

当前,随着移动互联网、云计算等新兴技术的迅速发展,对存储器的需求也在不断增加。

为了提高存储器的容量和速度,半导体技术在存储器领域的研发也在进行着,目前,固态硬盘已经代替了传统的机械硬盘成为了主流产品。

3.传感器传感器是半导体技术在物联网、智能制造等领域的重要应用之一,它可以将各种信号转换为电信号,并通过电路进行处理,最终输出所需的信息。

随着物联网和智能制造的兴起,传感器的需求也在不断增加,为了满足这些需求,半导体技术在传感器领域的研发也在持续不断地进行着。

4.光电子器件光电子器件是半导体技术在光通信、光存储等领域的重要应用之一,它可以将电信号转换为光信号,并通过光纤进行传输。

当前,随着5G技术的逐步成熟和光纤网络的不断建设,对光电子器件的需求也在不断增加。

半导体材料的现状及未来五至十年发展前景

半导体材料的现状及未来五至十年发展前景

半导体材料的现状及未来五至十年发展前景半导体材料是现代科技领域的重要组成部分,其在电子、光电子、能源、生物医学等领域具有广泛的应用。

本文将探讨半导体材料的现状以及未来五至十年的发展前景。

首先,我们来看半导体材料的现状。

目前,硅仍然是主流的半导体材料,但由于其局限性,人们开始寻找新的替代材料。

其中,砷化镓、氮化镓和碳化硅等宽禁带半导体材料因其优异的电学性能逐渐受到重视。

宽禁带材料具有更高的电子迁移率和更好的热传导性能,使得电子器件的速度更快、效能更高。

另外,有机半导体材料作为一类新兴的半导体材料,也备受瞩目。

有机半导体材料具有高度可调性和可加工性,可制作出柔性电子器件,如可弯曲的显示器、可卷曲的太阳能电池等。

与传统的硅基半导体材料相比,有机半导体材料的制备成本更低,可以大幅度降低电子设备的生产成本。

在未来五至十年的发展前景方面,半导体材料行业仍然面临一些挑战和机遇。

挑战之一是将新材料应用到实际电子器件中。

虽然新材料具有出色的性能,但目前仍面临着制备难度高、成本高昂等问题。

因此,未来需要进一步研发新的制备工艺和技术,将新材料应用于实际生产中。

另一个挑战是实现更高的集成度和更快的速度。

随着科技的发展,人们对电子器件的要求也越来越高。

未来的半导体材料需要具备更高的电子迁移率、更低的能耗和更好的散热性能。

目前,二维材料如石墨烯、硫化钼等被认为是能够满足这些要求的候选材料。

除了这些挑战,半导体材料的未来发展还有许多机遇。

例如,人工智能、物联网、5G等新兴技术的快速发展将带动对高性能半导体材料的需求。

此外,新能源技术的推进也将为半导体材料行业带来新的机遇,例如太阳能电池、光电转换器等。

综上所述,半导体材料作为现代科技的基石,其现状和未来发展前景都备受关注。

新材料的发展将为电子器件的性能提升提供新的可能性,同时也将面临着制备和集成等技术挑战。

未来五至十年,半导体材料行业将进一步推动科技的发展,为社会的进步和经济的繁荣做出重要贡献。

半导体行业的市场现状与发展趋势

半导体行业的市场现状与发展趋势

半导体行业的市场现状与发展趋势一、行业概况半导体原指半导体材料,在研究半导体材料中所取得的技术成果的基础上,人们成功地制造出了半导体器件。

半导体器件不像电子管那样需要高压电源,而是只需几伏的小电压就能够工作。

因此被广泛应用于电子计算、通信、信息储存等等领域。

半导体产业经过多年的发展,已然成为现代社会最重要的基础产业之一。

二、市场现状半导体行业的市场现状主要表现在以下三个方面:(一)龙头企业占据市场主导地位全球半导体市场规模约为4600亿美元,其中,美国、韩国、中国、日本等国的企业是半导体行业的龙头企业,近年来也是占据市场份额的主要力量。

(二)技术更新换代加速半导体是最具创新力的产业之一,在过去一段时间里,因为人工智能、互联网、物联网、5G等技术的崛起,导致半导体行业在技术更新换代方面加速。

技术的不断更新对半导体行业发展趋势有着极大的影响。

(三)产业整合层次不断提高在半导体行业的竞争中,中小型半导体企业都在积极寻求和合作,企业之间的合作得到了日益加深。

产业整合层次也逐步提升并形成了竞争格局。

三、发展趋势半导体行业在市场的发展过程中也面临着一系列的机遇和挑战,以下是半导体行业的发展趋势:(一)技术趋势在半导体行业中,进一步微小化是未来每家半导体公司都会追求的目标。

另外,为了应对人工智能、物联网等新技术的崛起,人们需要一些特定的芯片技术来支持这些情况,因此产业链结构可能会进一步优化。

(二)应用趋势随着5G技术的崛起,应用能够带来更多的移动数据和高速数据连接,同时移动端设备将拥有更多的计算任务,都将使得个人计算机行业出现一定程度的规模增长。

另外,随着智能家居、无人驾驶等领域的快速发展,Now,消费电子、汽车、智能家居等领域也将会持续保持增长。

(三)政策引领随着各国政府对高科技产业的重视,包括国内的半导体产业投入、补贴和政策红利落地的加速,预计有助于行业的投资,增加行业的信心和潜在盈利度。

四、结论半导体行业的未来发展前景不仅仅是市场空间无限,而且在技术和应用的领域也具有广阔的发展空间。

半导体行业的战略规划和未来发展趋势

半导体行业的战略规划和未来发展趋势

半导体行业的战略规划和未来发展趋势随着科技的不断进步和社会的快速发展,半导体行业作为现代工业的基础和支撑,扮演着至关重要的角色。

本文将探讨半导体行业的战略规划和未来发展趋势,以期为该行业的相关企业和从业人员提供一定的参考和启示。

一、行业现状与发展趋势半导体作为新兴产业,目前全球市场规模已达数千亿美元,并且呈现出持续增长的趋势。

在技术方面,半导体行业的发展主要集中在以下几个方向:1.新一代半导体材料的研发为了满足高性能计算、人工智能、物联网等领域的需求,半导体材料的研发和应用成为行业关注的热点。

例如,石墨烯、硅光子、氮化镓等新材料的出现,为半导体行业带来了更多的发展机遇。

2.集成电路技术的创新集成电路是半导体行业的核心产品之一,其技术的创新一直是行业发展的关键。

随着技术的不断进步,集成电路的制程工艺越来越先进,芯片的规模越来越小,功耗和成本也大幅降低,这将为半导体行业带来更广阔的市场前景。

3.半导体设备制造的进步半导体设备制造业作为半导体行业的重要组成部分,其技术的进步直接关系到整个行业的发展水平。

目前,半导体设备制造业正朝着高性能、高可靠性和低能耗的方向发展,并且在智能制造、自动化生产等方面取得了重要的突破。

二、战略规划针对半导体行业的特点和发展趋势,企业在制定战略规划时应注重以下几个方面:1.技术研发与创新作为高科技产业,技术研发和创新是半导体行业的核心竞争力。

企业应加强研发投入,提高科研水平,不断开展创新性工作,推动新技术、新产品的研发和产业化。

2.市场拓展和业务发展市场拓展是企业战略规划的重要环节。

企业应根据自身特点和竞争优势,在全球范围内积极寻找市场机会,拓展业务版图,加强与客户的合作,并加大对新兴市场的布局。

3.人才培养和团队建设半导体行业需要大量高素质、高技能的人才。

企业应注重人才培养和创新团队的建设,建立良好的激励机制,吸引和留住优秀的人才,从而提升企业的核心竞争力。

三、未来发展趋势根据对半导体行业的发展趋势的分析,我们可以预见未来几年该行业将呈现以下几个发展趋势:1.人工智能与半导体的深度融合人工智能技术的快速发展对半导体行业提出了更高的要求。

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从表1看出,选择宽带隙半导体材料的主要理由 是显而易见的。氮化镓的热导率明显高于常规 半导体。这一属性在高功率放大器和激光器中 是很起作用的。带隙大小本身是热生率的主要 贡献者。在任意给定的温度下,宽带隙材料的 热生率比常规半导体的小10~14个数量级。这 一特性在电荷耦合器件、新型非易失性高速存 储器中起很大的作用,并能实质性地减小光探 测器的暗电流。
将宽禁带(Eg>2.3eV)的氮化镓、碳化硅、硒化 锌和金刚石等称为第三代半导体材料。
上述材料是目前主要应用的半导体材料,三代 半导体材料代表品种分别为硅、砷化镓和氮化 镓。
材料的物理性质是产品应用的基础,表1 列出了主要半导体材料的物理性质及应用
情况。表中禁带宽度决定发射光的波长, 禁带宽度越大发射光波长越短(蓝光发射); 禁带宽度越小发射光波长越长。其它参数
≤4.9
≤4.2
≤3.6
≤3.0
局部平整度/nm
100
70
60
35
中心氧含量/×1017cm-3 ±9.0/15. ±9.0/15. ±9.0/15. ±9.0/15.
5
5
5
5
Fe浓度/1010cm-3
<1
<1
<1
<1
复合寿命/μs
≥325
≥350
≥350
≥400
(1)多晶硅
多晶硅是制备单晶硅和太阳能电池的原料。 半导体级多晶硅的生产技术现多采用改良西门 子法,这种方法的主要技术是:
宽带隙半导体材料的高介电强度最适合用 于高功率放大器、开关和二极管。宽带隙 材料的相对介电常数比常规材料的要小, 由于对寄生参数影响小,这对毫米波放大 器而言是有利用价值的。电荷载流子输运 特性是许多器件尤其是工作频率为微波、 毫米波放大器的一个重要特性。
宽带隙半导体材料的电子迁移率一般没有 多数通用半导体的高,其空穴迁移率一般 较高,金刚石则很高。宽带隙材料的高电 场电子速度(饱和速度)一般较常规半导体 高得多,这就使得宽带隙材料成为毫米波 放大器的首选者。

经过多年的发展和竞争,国际硅材料行业 出现了垄断性企业,日本、德国和美国的 六大硅片公司的销量占硅片总销量的90% 以上,其中信越、瓦克、SUMCO和 MEMC四家的销售额占世界硅片销售额的 70%以上,决定着国际硅材料的价格和高 端技术产品市场,其中以日本的硅材料产 业最大,占据了国际硅材料行业的半壁江 山。
霍尔元件 激光调制器 高速集成电路 太阳能电池
激光器件 发光二极管 紫外探测器
集成电路
主要用途 通讯、雷达、广播、电视、自动控制 各种计算机、通讯、广播、自动控制、电子钟表、仪表
整流 整流、直流输配电、电气机车、设备自控、高频振荡器
原子能分析、光量子检测 太阳能发电
雷达、微波通讯、电视、移动通讯 光纤通讯
产业规模已超过日本位居世界第二(同期 日本信息产业销售收入只有1900亿美
元),成为中国第一大支柱产业。半导体
材料及应用已成为衡量一个国家经济发展、 科技进步和国防实力的重要标志。
在半导体产业的发展中,
硅、锗称为第一代半导体材料;
将砷化镓、磷化锢、磷化镓、砷化锢、砷化铝 及其合金等称为第二代半导体材料;
半导体材料的发展现状及趋势
半导体材料是指电阻率在10-3~108Ωcm, 介于金属和绝缘体之间的材料。半导体材 料是制作晶体管、集成电路、电力电子器 件、光电子器件的重要基础材料,支撑着 通信、计算机、信息家电与网络技术等电 子信息产业的发展。
电子信息产业规模最大的是美国。近几年 来,中国电子信息产品以举世瞩目的速度 发展,2003年中国电子信息产业销售收 入1.88万亿元,折合2200~2300亿美元,

半导体硅材料自从60年代被广泛应用于各类电 子元器件以来,其用量平均大约以每年12~ 16%的速度增长。目前全世界每年消耗约 18000~25000吨半导体级多晶硅,消耗 6000~7000吨单晶硅,硅片销售金额约60~80 亿美元。可以说在未来30~50年内,硅材料仍 将是LSI工业最基础和最重要的功能材料。电子 工业的发展历史表明,没有半导体硅材料的发 展,就不可能有集成电路、电子工业和信息技 术的发展。
数值越高,半导体性能越好。电子迁移速
率决定半导体低压条件下的高频工作性能,
饱和速率决定半导体高压条件下的高频工 作性能。
表1 主要半导体材料的比较
材料

禁带宽度(ev)
理 性
饱和速率(×10-7cm/s)

热导(W/c·K)
击穿电压(M/cm)
电子迁移速率(cm2/V·s)
Si 1.1 1.0
1.3 0.3 1350

半导体硅材料分为多晶硅、单晶硅、硅外延片 以及非晶硅、浇注多晶硅、淀积和溅射非晶硅 等。现行多晶硅生产工艺主要有改良西门子法 和硅烷热分解法。主要产品有棒状和粒状两种, 主要是用作制备单晶硅以及太阳能电池等。生 长单晶硅的工艺可分为区熔(FZ)和直拉(CZ)两 种。其中,直拉硅单晶(CZ-Si)广泛应用于集成 电路和中小功率器件。区域熔单晶(FZ-Si)目前 主要用于大功率半导体器件,比如整流二极管, 硅可控整流器,大功率晶体管等。单晶硅和多 晶硅应用最广。

硅是集成电路产业的基础,半导体材料中 98%是硅。半导体器件的95%以上是用硅 材料制作的,90%以上的大规模集成电路 (LSI)、超大规模集成电路(VLSI)、甚大规 模集成电路(ULSI)都是制作在高纯优质的 硅抛光片和外延片上的。硅片被称作集成 电路的核心材料,硅材料产业的发展和集 成电路的发展紧密相关。
GaAs 1.4 2.1
0.6 0.4 8500

光学应用
用 情
高频性能

高温性能
发展阶段
相对制造成本
无 差 中 成熟 低
红外 好 差
发展中 高
GaN 3.4 2.7
2.0 5.0 900
蓝光/紫外 好 好
初期 高
硅材料具有储量丰富、价格低廉、热性能 与机械性能优良、易于生长大尺寸高纯度
晶体等优点,处在成熟的发展阶段。目前,
硅材料仍是电子信息产业最主要的基础材 料,95%以上的半导体器件和99%以上的 集成电路(IC)是用硅材料制作的。在21世 纪,它的主导和核心地位仍不会动摇。但
是硅材料的物理性质限制了其在光电子和 高频高功率器件上的应用。
砷化镓材料的电子迁移率是硅的6倍多, 其器件具有硅器件所不具有的高频、高速 和光电性能,并可在同一芯片同时处理光 电信号,被公认是新一代的通信用材料。 随着高速信息产业的蓬勃发展,砷化镓成 为继硅之后发展最快、应用最广、产量最 大的半导体材料。同时,其在军事电子系 统中的应用日益广泛,并占据不可取代的 重要地位。
多晶硅
未来多晶硅的发展方向是进一步降低各种 杂质含量,提高多晶硅纯度并保持其均匀 性,稳定提高多晶硅整体质量和扩大供给 量,以缓解供需矛盾。另外,在单晶大直 径化的发展过程中,坩埚增大直径是有一 定限度的。对此,未来粒状多晶硅将可能 逐步扩大供需量。
(1)在大型反应炉内同时加热许多根金属丝, 减小炉壁辐射所造成的热损失;
(2)炉的内壁加工成镜面,使辐射热反射,减 少散热;
(3)提高炉内压力,提高反应速度等措施; (4)在大型不锈钢金属反应炉内使用100根以
上的金属丝。
单位电耗由过去每公斤300度降低到80度。 多晶硅产量由改良前每炉次100~200公 斤提高到5~6吨。其显著特点是:能耗低、 产量高、质量稳定。表4给出了德国瓦克 公司的多晶硅质量指标数据。
多晶硅
峨嵋半导体材料厂和洛阳单晶硅厂1999 年多晶硅生产能力分别为60t/a和20t/a。 峨嵋半导体材料厂1998年建成的100t/a规 模的多晶硅工业性生产示范线,提高了各 项经济技术指标,同时该厂正在积极进行 1000t/a多晶硅项目建设的前期工作。洛 阳单晶硅厂将多晶硅产量扩建至300t/a。
氮化镓材料的禁带宽度为硅材料的3倍多, 其器件在大功率、高温、高频、高速和光 电子应用方面具有远比硅器件和砷化镓器 件更为优良的特性,可制成蓝绿光、紫外 光的发光器件和探测器件。
近年来取得了很大进展,并开始进入市场。 与制造技术非常成熟和制造成本相对较低 的硅半导体材料相比,第三代半导体材料 目前面临的最主要挑战是发展适合氮化镓 薄膜生长的低成本衬底材料和大尺寸的氮 化镓体单晶生长工艺。
表3 现代微电子工业对硅片关键参数的要求
首批产品预计生产年份
2பைடு நூலகம்05
2008
2011
2014
工艺代(特征尺寸/nm)
100
70
50
30
晶片尺寸/mm
300
300
300
450
去边/mm
1
1
1
1
正表面颗粒和COP尺寸
50
35
25
25
/mm
颗粒和COP密度/mm-2
0.10
0.10
0.10
0.10
表面临界金属元素密度 /109at.mm-2
多晶硅
目前全世界每年消耗约22000吨半导体级多晶硅, 世界多晶硅的年生产能力约为28000吨,生产高 度集中于美、日、德3国,海姆洛克(美国)、 瓦克ASIM(德国),德山曹达(日本)、 MEMC(美国)占据了多晶硅市场的80%以上。 其中,美国哈姆洛克公司产能达6500t/a,德国 瓦克化学公司和日本德山曹达公司产能超过 4500t/a,美国MEMC公司产能超过2500t/a。
小功率红外光源 磁场控制 激光通讯
高速计算机、移动通讯 太阳能发电
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