第36节微机械及其微细加工技术
再生资源综合利用先进适用技术目录 - 中华人民共和国工业和信息化部
附件1再生资源综合利用先进适用技术目录(第二批)工业和信息化部2014年1月再生资源综合利用先进适用技术目录(第二批)一、废弃电器电子产品综合利用技术1.废旧锂离子电池、镍氢电池资源综合利用技术2.多晶硅生产过程副产品综合利用技术二、废金属综合利用技术3.自动化钢桶翻新再利用生产线技术4.利用废旧金属材料消失模铸造技术5.有色金属液在线除氢技术三、废塑料综合利用技术6.废旧垃圾塑料综合利用与新型化学建材产品生产工艺技术7.医疗废塑料废橡胶热解气化成套装备及技术8.废弃聚四氟乙烯资源回收利用设备及技术9.模块式双向蓄排水立体绿化技术10.利用废弃塑料再生新型棉花包装材料技术四、废橡胶轮胎综合利用技术11.载重系列轮胎硫化橡胶粉技术12.废旧轮胎常温机械法制取橡胶粉自动化生产线13.利用废旧轮胎生产高性能再生橡胶技术14.废旧轮胎橡胶粉在橡胶沥青中的应用技术15.密炼法生产乙丙复原橡胶新工艺及再生技术16.废橡胶复合微纤维补强材料制造技术17.硫化丁基橡胶多段脱硫再生复原技术18.工业化集成控制废弃胶胎低温热解工艺及成套设备五、建筑废弃物综合利用技术19.陶瓷废渣生产轻质陶瓷板材新技术20.建筑垃圾资源化技术21.废玻璃生产泡沫玻璃绝热隔音材料综合利用技术六、农林废弃物综合利用技术22.林区生物质炭电联产设备及关键技术23.移动式沼渣清除设备及资源化加工技术24.新型微生物可溶性秸秆腐熟剂研发技术25.高效转化利用畜禽粪和秸秆生产食用菌和有机肥技术26.农林废弃物热化学转化生态炭技术及其自动化成套设备27.超级杂交水稻专用肥及土壤生态调理剂组合应用技术28.植物秸秆全组分综合利用技术29.生物质气发电与热电联供技术30.固体有机废弃物生物发酵技术31.利用农林废弃物与废旧塑料生产高分子木塑复合型材资源综合利用技术32.稻壳砂浆轻质节能复合墙体加工技术33.秸秆制炭、气、油规模化联产技术34.利用废豆渣生产可溶性大豆多糖及大豆膳食纤维生产技术35.节能循环法纤维板生产工艺36.发酵草禾烃酿造重烃制备轻质燃料油的方法七、其他综合利用技术37.全加氢型废润滑油加氢再生技术再生资源综合利用先进适用技术目录(第二批)一、废弃电器电子产品综合利用技术（2项）编号技术名称主要内容及技术经济指标技术应用情况及推广前景1 废旧锂离子电池、镍氢电池资源综合利用技术该技术可将废旧锂离子电池、镍氢电池或其生产、流通过程中产生的废料，破碎至一定粒度，再分选出钴、镍、铁、铝、铜等主要成分；经湿法冶金处理后，作为原料制备先进电池材料镍钴锰酸锂。
食品工艺(36)
食品工艺(36)第一章绪论第一节食品的加工概念一、食物与食品1 食物——供人类食用的物质称为食物。
是人体生长发育、更新细胞、修补组织、调剂机能必不可少的营养物质，也是产生热量保持体温、进行体力活动的能量来源。
除少数物质如盐类外，几乎全部来自动植物和微生物。
2 食品——通过加工制作的食物统称为食品。
食品的种类对食品不同的人关怀的侧面不同；不同地区也有不同的情形食品分类的方法：按加工工艺分；按原料种类分；按产品特点分；按使用对象分：老年、儿童、婴儿、妇女、运动员、航空、军用。
二. 食品的功能食品对人类所发挥的作用；人类吃食品的目的；人类对食品的要求；1．营养功能（第一功能）蛋白质、碳水化合物（糖）、脂肪、维生素、矿物质、膳食纤维。
提供营养和能量，为了生存——营养功能（吃饱）。
2．感观功能（第二功能）为了满足视觉、触觉、味觉、听觉的需要，使多吃吃好。
外观：大小、形状、色泽、光泽、稠度；质构：硬度、粘性、韧性、弹性、酥脆；风味：气味、香臭。
味道酸、甜、苦、辣、咸、鲜、麻。
3．保健功能（第三功能新进展的功能）调剂人体生理功能，起到增进健康、复原疾病、延缓衰老、美容等作用。
三、食品的特性1．安全性无毒无害卫生；2．方便性食用使用运输；3．保藏性有一定的货架寿命。
四、加工工艺1．1．食品加工概念将食物（原料）通过劳动力、机器、能量及科学知识，把它们转变成半成品或可食用的产品（食品）的过程。
原料——产品加工加工预处理：清洗分离粉碎；单元操作：加热冷却干燥；关键工序：杀菌消毒；食品添加剂：调味储存；包装：坚持由于加工操作带来的产品的特点。
2．食品加工的目的满足消费者要求；延长食品的储存期；增加多样性；提高附加值。
食品加工过程或多或少都含有这些目的，但要加工一个特定产品其目的性可能各不相同。
比如冷冻食品的目的要紧是保藏或延长货架寿命；糖果工业的要紧目的是提供多样性。
然而要达到各个产品的目的却并不简单，并不是买来设备就能够生产，或达到生产出食品并赢利的目的3．食品工艺依照技术上先进、经济上合理的原则，研究食品的原材料、半成品和成品的加工过程和方法的一门应用科学。
饲料加工技术PPT课件可编辑全文
二、青干草、草粉、草块（草饼）的调制技 术
•1 . 青 干 草 •干 燥 方 法 ：
①田间干燥法 ②草架干燥法 ③化学制剂干燥法 ④人工干燥法
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• 品质评定 ① 标准含水量应为15%～17% ② 基本颜色应为绿色 ③ 清新芳香的气味 ④ 植物学营养成分损失少 ⑤ 叶片多
（三）生物方法
利用乳酸菌、纤维分解菌、酵母菌等一些有益微生物和酶在适宜的条件下， 使其生长繁殖，分解饲料中难以被家畜消化利用的纤维素和木质素，同时可增加 一些菌体蛋白质、维生素及对家畜有益的物质，软化饲料，改善味道，提高适口 性和营养价值.
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常见的生物方法：
•自 然 发 酵 •加 精 料 发 酵 •人 工 瘤 胃 发 酵 •秸 秆 微 贮
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第三节 青贮饲料调制
• 青贮饲料：把青饲料填入密闭的青贮窖（或壕塔）中经过微生物的发酵作用 而调制成的饲料
• 特点：柔软多汁、气味芳香、营养丰富、容易贮藏、可供冬春季家畜饲用。
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一、青贮饲料的优越性
• 1．有效地保存青绿植物的营养成分 • 2．保持原料青绿时的鲜嫩汁液 • 3．扩大饲料资源 • 4．保存饲料经济而安全的方法 • 5．青贮可以消灭害虫及杂草
5.青贮注意事项
• 一、原料要有较高的含糖量。 • 二、原料水分含量要适当。 • 三、创造无氧的环境。 • 四、青贮原料要适时收割，切短、压实、封严。 • 五、注意经常检查，保证不透气、不漏水。
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（二）特种青贮饲料的调制
• 1．低水分青贮法 • 2．混合青贮法 • 3．添加剂青贮法
（1）硫酸亚铁浸泡法 （2）碱处理法 • 2．加热处理 • 3．微生物发酵去毒法
物联网论文
《物联网导论》课程论文物联网关键技术摘要：2009年以来，物联网概念在国内乃至全球都成为热潮，物联网被称为继计算机、互联网之后世界信息产业第三次浪潮。
物联网产业规模是互联网的30倍，是一个万亿元级的产业。
本文先介绍了物联网的由来，阐述了其发展过程及国内外物联网发展状况，然后详细分析了物联网的关键技术，并在此基础上研究了制约物联网进一步发展的问题，提出了一些可行的解决方案。
关键词：物联网；RFID；传感器；传感器网络1 引言1.1 物联网发展由来1995年比尔·盖茨就在其著作《未来之路》中提出物联网（The Internet of things）的概念，但是由那时无线网络、硬件及传感设备发展的限制，并未引起重视。
后来随着技术不断进步，互联网、通信网均发展到较高层次，2005年11月17日，在突尼斯举行的信息社会世界峰会上，国际电信联盟发布了《互联网报告2005：物联网》，正式提出物联网概念，并指出无所不在的物联网时代即将来临，世界上所有的物体，轮胎到牙刷，从房屋到纸巾都可以通过因特网主动进行信息交换。
温家宝总理2009年8月在江苏无锡考察时提出了“感知中国”，推进物联网发展，11月底，温总理在江苏南京考察时再次表示，当前，流通行业大力运用网络技术，特别是物联网技术，实现流通现代化 。
日本提出的“i-Japan”以及IBM所倡导的“智慧地球”，点燃这一概念的产业化热情。
物联网技术是指通过射频识别（RFID）、红外感应器、全球定位系统、激光扫描器等信息传感设备，按约定的协议，将任何物品与互联网相连接，进行信息交换和通讯，以实现智能化识别、定位、追踪、监控和管理的一种网络技术叫做物联网技术。
我国也把物联网称之为“传感网”。
1.2 国内外物联网应用发展状况我国中科院早在1999年，就启动了传感网的研究，并已建立了一些实用的传感网。
有关专家认为，物联网对于全世界而言都刚起步，各个国家都基本处于同一起跑线，中国应抓住这个难得的战略机遇，把建设物联网上升为国家战略，培养相关人才，从而掌握国际话语权。
第36节微机械及其微细加工技术
➢ 光开关、波分复用器、集成化RF组件、打印喷头
娱乐消费类
➢ 游戏棒、虚拟现时眼镜、智能玩具
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3.6 微机械及其微细加工技术
微机电技术已经受到工业发达国家的 高度重视。从微机电发展的总体水平看， 许多关键技术已经突破，正处于从实验 室研究走向实用化、产业化阶段。
• 美国国家自然科学基金、先进研究计划、 国防部等投资1.4亿美元进行微机电系统 技术的研究。
精度高，重量轻，惯性小。
2.性能稳定，可靠性高。 微机械器件体积极小，封装后几乎
可以摆脱热膨胀、噪声和挠曲等因素的 影响，具有较高的抗干扰性，可以在比 较恶劣的环境下稳定工作。
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3.6 微机械及其微细加工技术
3.能耗低，灵敏性和工作效率高（响应时 间短） 。 完成相同的工作，微机械所消耗的 能量仅为传统机械的十几或几十分之一， 却能以数十倍以上的速度运作。微机电 系统不存在信号延迟等问题，从而更适 合高速工作。
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3.6 微机械及其微细加工技术
2. MEMS在医疗和生物技术领域的应用 生物细胞的典型尺寸为1～10um，生
物大分子的厚度为纳米量级，长度为微 米量级。微型器件尺寸也在这范围之内， 因而适合操作生物细胞和生物大分子。 另外，临床分析化验和基因分析遗传诊 断所需要的各种微泵、微阀、微镊子、 微沟槽、微器皿和微流量计等。
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3.6 微机械及其微细技术加工
• 我国的微系统研究起步并不晚，目前从 事微机电系统研究的单位有60多个，主 要集中在高校、中科院及信息产业部的 研究所。已积累了一些基础技术，取得 了一些传感器和微执行器的研究经验和 科研成果，多数为实验室产品，商品化 工作刚刚起步，离产业化要求相距甚远。
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机械制造技术基础-加工方法
钻孔、扩孔、铰孔
立式钻床
通过移动工件位置 使被加工孔中心与主 轴中心对中，操作不 便，生产率不高。适 于单件小批生产中加 工中小型零件。
摇臂钻床
摇臂可绕立柱回转和升降，主轴箱可在摇臂上作水平移动。 工件固定不动，可方便地移动主轴，使主轴中心对准被加工 孔中心。适于单件小批生产中加工大而重的零件。
2. 车刀的结构形式
整体式（HSS)、焊接式、机械夹固式（重磨式、可转位式）
可转位式车刀的组成：
可转位刀片、刀垫、刀杆、夹紧机构 切削性能好，辅助时间短，生产率高
刀片夹紧方式： 1）上压式 夹紧力大，
定位可靠，阻碍流屑
2）偏心式 结构简单，
不碍流屑，夹紧力不大
3）综合式 夹紧力大，
耐冲击，结构复杂
1. CA6140型卧式车床的组成 （1）主轴箱 （2）进给箱 （3）溜板箱
（4）刀架 （5）尾架 （6）床身
2. CA6140型卧式车床的传动系统分析
为便于了解和分析机床的运动和传动情况， 常用机床的传动系统图。传动系统可分解为主 运动传动链和进给运动传动链。进给运动传动 链又可分为纵向机动和横向机动进给传动链、 螺纹进给传动链，还有刀架快速移动传动链。
车削加工
2.2.2 车床
车床占机床总数的20%～30% 车床种类：卧式、立式、转塔、仿形、自动和半自动、
专门化车床（曲轴、凸轮轴车床、铲齿车床）
CA6140 通用性好，加工范围广，能加工中小型轴类、盘
套类零件内外回转面、端面，加工米制、英制、模数制、径节制四种 标准螺纹及加大螺距、非标准螺距螺纹等。但结构复杂，自动化程度 低，适于单件小批生产及修配车间。
2.4.4 铣削方式
1）端铣和周铣 2）顺铣和逆铣 周铣有顺铣和逆铣两种方式。 顺铣切削厚度大，接触长度 短，铣刀寿命长，加工表面光 洁，但不宜加工带硬皮工件，且进给丝杠与螺母间应消除间 隙。否则，应采用逆铣。
先进制造技术-5-6微机械及微细加工技术
五、微机械及微细加工技术1、微机械简介现代制造技术的发展有两大趋势：一是向着自动化、柔性化、集成化、智能化等方向发展，使现代制造成为一个系统，即现代制造系统的自动化技术。
另一个就是寻求固有制造技术的自身微细加工极限。
探索有效实用的微细加工技术，并使其能在工业生产中得到应用。
微机械由于具有能够在狭小空间内进行作业而又不扰乱工作环境和对象的特点，在航空航天、精密仪器、生物医疗等领域有着广阔的应用潜力，受到世界各国的高度重视并被列为21世纪的关键技术之首。
比如，美国宇航局投资1亿美元着手研制“发现号微型卫星”；说明：卫星有大型、小型卫星、微型卫星和纳米卫星，区别是：小型卫星为一种可用常规运载器发射的航天器，质量为100～500kg；微型卫星定义为所有的系统和子系统都全面体现了微型制造技术，质量为10～100kg；纳米卫星是一种尺寸减小到最低限度的微卫星，质量为1～10 kg。
在航天发展史上，由于受运载能力及技术水平的限制，早期研制的卫星都采用小卫星方案，其重量只有几十千克。
70年代末，由于大推力运载火箭的研制成功和设计与制造能力的提高，大型多功能卫星开始出现，卫星体积不断增大，功能也越来越复杂。
随之而来的是成本不断攀升，风险逐渐增加。
如一枚“大力神”／“半人马座”运载火箭连同所发射的侦察卫星价值可达10.5亿美元以上，一旦发射失败就会造成严重的损失。
而且，卫星一旦被淘汰，形成严重的太空污染。
为此，航天界又将目光重新投向了小卫星。
由于技术的进步，特别是微电子技术的进步，新一代的小卫星采用了许多小型高性能电子部件，但它们同样具有一些大型卫星才有的功能，并为小卫星进一步微型化，进而为微型卫星、纳米卫星的发展奠定了基础。
纳米卫星的概念最早是由美国宇航公司于1993年在一份研究报告中首次提出的，它带来了小卫星设计思想上的根本变革。
纳米卫星是以微机电一体化系统(MEMS)技术和由数个MEMS组成的专用集成微型仪器(ASIM)为基础的一种全新概念的卫星，重量在10千克以下，甚至可降低到0.1千克以下。
《机械制造技术》课教案.doc
《机械制造技术》课程教案扬州大学机械工程学院机械制迭教科部二00三年六月第四章机械加工质量分析与控制一、内容概述木章将机械制造质量分成加工精度和表面质星两个方而来研究。
随着科学技术的发展和市场竞争的加剧，对零件机械加工质量的要求也越来越高，因此，对机械加工质量的深入研究与解决，不仅已成为机械制造工艺师的首要任务，而且是机械制造工艺学的核心内容, 机械加工质量分析与控制就成为木课程内容屮十分重要的一章。
二、本章重点1.在加工误差的单因素分析屮，着重掌握机床误差、工艺系统受力变形、热变形及工件残余应力等原始谋茅对加工谋差的影响；2.在加工误差的统计分析屮，着重掌握分布图在误羌分析屮的应用。
三、课时分配木章课时：讲课：16学时，实验：4学时第一节概述（1学时）加工误差的来源，原始误善和加工误差的关系。
第二节影响加工精度的因素（8学时）一、原理误差二、机床的几何误差三、：T艺系统具它几何误差四、工艺系统受力变形引起的加工误差工艺系统刚度、部件刚度及其特点、切削力作用点位置变化对加I：误差的影响、误差复映五、工艺系统热变形引起的加工误差六、工件内应力引起的变形笫三节加T谋羌的统计分析（3学时）第四节机械加工表面质量（4学时）笫四节机械加丁屮的振动（4学时）四、授课方式多媒体教学五、实验%1三向刚度测定法%1加工误差统计分析六、习题与思考题4-1试分析在卧式车床上加工时，产生下述误差的原因：1）在卧式车床上弾孔时，引起被加工孔圆度误差和圆柱度误差。
2）在卧式车床（用三爪自定心卡盘）上镣孔时，引起内孔与外圆同轴度误差、端面与外圆的垂真度误差的原因。
4-2在卧式车床上用两顶尖装夹工件车削细长轴时，出现图4・la、b、c所示的误差是什么原因，分别采用什么办法来减少或消除？b)c)图4— 14-3设已知一工艺系统的误差复映系数为0・25,工件在木工序前有圆度误差0.45mm, 若木工序形状精度规定允差0. Olmm,试问至少要走刀几次方能使形状精度合格？4-4在车床上加T丝杠，T件总长为2650mm,螺纹部分的长度L=200mm, T件材料和母丝杠材料都是45钢，加丁时室温为20°C,加T.JU.T件温度升至45°C,母丝杠温升至30°C。
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微加速度计：用于汽车安全气袋系统中，检测和 监控前面和侧面的碰撞。
微角速度计：用于车轮侧滑和打滚控制。
微型继电器等。
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第36节微机械及其微细加工技术
3.6 微机械及其微细加工技术
4. MEMS军事应用展望 军事领域是微机电系统技术的最早应用 领域。
微细加工技术：微机械的技术关键，目前 常用的方法包括起源于半导体IC加工工艺 的硅微细加工、微细电火花加工等特种精 密加工、LIGA技术、微组装技术等。
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第36节微机械及其微细加工技术
3.6 微机械及其微细加工技术
微系统测量技术：设计材料的机械性能、 微构件或微系统参数与性能测试等，微型 薄膜构件的弹性模量、泊松比、拉伸强度、 残余应力、韧性等。在测量基础上建立相 关的数据库和数学、力学模型，从而进一 步服务于以后的设计、制造、改进以及测 量过程。
当尺寸缩小到一定范围时，许多物理现象 与宏观世界有很大差别。在微观尺寸领域， 与尺寸L的高次方成比例的惯性力、电磁力 (L8)等的作用相对减小，而与尺寸的低次方 成比例的黏性力、弹性力(L2)、表面张力 (L1)、静电力(L0)等的作用相对增大，同时 表面积(L2)与体积(L3)之比增大，热传导、 化学反应等加速和表面间的摩擦力显著增 大。
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第36节微机械及其微细加工技术
•3.6 微机械及其微细加工技术
微机械具有以下几个基本特点：
1.体积小(特征尺寸范围为lnm～10mm) ， 精度高，重量轻，惯性小。
2.性能稳定，可靠性高。
微机械器件体积极小，封装后几乎 可以摆脱热膨胀、噪声和挠曲等因素的 影响，具有较高的抗干扰性，可以在比 较恶劣的环境下稳定工作。
第36节-微机械及其微细 加工技术
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2020/11/25
第36节微机械及其微细加工技术
3.6 微机械及其微细加工技术
微机械是80年代末出现的一门崭新的 学科，被誉为21世纪最具代表性的技术之 一。
微机电系统与微电子学、信息学、材 料科学和纳米技术的发展等密切相关。被 公认为21世纪的重点发展学科，是国家重 点发展的高技术产业。
微机电系统是微电子技术的延伸和拓 宽，通过传感器、致动器、信号处理、控 制等多项功能，与外部世界有机联系起来。
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第36节微机械及其微细加工技术
3.6 微机械及其微细加工技术
微机电系统的概念始于20世纪80年代， 一般泛指尺度在亚微米至亚毫米范围内 的装置。在不同国家和地区有不同的术 语和解释：
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第36节微机械及其微细加工技术
•3.6 微机械及其微细加工技术
2.与一般机械相比，微机械所表现出的智 能化程度更高、实现的功能更趋于多样 化。
国外一些有实力的半导体公司和研 究机构对微机械的研究非常重视，已研 制开发出许多有特色的产品。
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第36节微机械及其微细加工技术
(3) 微型化学传感器及微型粘度仪
利用微机械薄膜（厚度仅3um）对化学分子的 吸收，改变薄膜的体积，导致性能发生改变。
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第36节微机械及其微细加工技术
•3.6 微机械及其微细加工技术
2. MEMS在医疗和生物技术领域的应用
生物细胞的典型尺寸为1～10um，生 物大分子的厚度为纳米量级，长度为微 米量级。微型器件尺寸也在这范围之内， 因而适合操作生物细胞和生物大分子。 另外，临床分析化验和基因分析遗传诊 断所需要的各种微泵、微阀、微镊子、 微沟槽、微器皿和微流量计等。
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第36节微机械及其微细加工技术
3.6 微机械及其微细加工技术
微系统的集成与控制：涉及系统设计、微 传感器或微执行器与控制处理电路的集成、 能源供给、接口通讯等。
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第36节微机械及其微细加工技术
3.6 微机械及其微细加工技术
3、应用研究
微机械在精密仪器、生物医学，特别是空 间狭小、操作精度高、功能高度集成的航 空航天设备领域，有着巨大的应用潜力。
游戏棒、虚拟现时眼镜、智能玩具
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第36节微机械及其微细加工技术
3.6 微机械及其微细加工技术
微机电技术已经受到工业发达国家的 高度重视。从微机电发展的总体水平看， 许多关键技术已经突破，正处于从实验 室研究走向实用化、产业化阶段。
• 美国国家自然科学基金、先进研究计划、 国防部等投资1.4亿美元进行微机电系统 技术的研究。
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•3.6 微机械及其微细加工技术
3.能耗低，灵敏性和工作效率高（响应时 间短） 。
完成相同的工作，微机械所消耗的 能量仅为传统机械的十几或几十分之一， 却能以数十倍以上的速度运作。微机电 系统不存在信号延迟等问题，从而更适 合高速工作。
4.多功能和智能化。集约高技术成果，附 加价值高。
• 日本制定了纳米制造计划、埃技术计划、 微型机器人计划。目前日本共有以企业
为中心的60多个微机电系统研究组。成 立了微机械中心和微机械学会。
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3.6 微机械及其微细技术加工
• 我国的微系统研究起步并不晚，目前从 事微机电系统研究的单位有60多个，主 要集中在高校、中科院及信息产业部的 研究所。已积累了一些基础技术，取得 了一些传感器和微执行器的研究经验和 科研成果，多数为实验室产品，商品化 工作刚刚起步，离产业化要求相距甚远。
• 美国称作 Micro Electro-Mechanical System - MEMS（微型电-机系统）
微型电-机系统是由电子和机械组成的集 成化器件或系统，采用与集成电路兼容 的大批量处理工艺制造，尺寸在微米到 毫米之间。
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•3.6 微机械及其微细加工技术
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3.6 微机械及其微细技术加工
二、微机电系统材料
• 硅材料 微机械加工源自于微电子集成制造，所 以在微机电系统材料中，硅是最常用的 材料。硅具有良好的机电合一特性。
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第36节微机械及其微细加工技术
3.6 微机械及其微细技术加工
特点：
1、既有足够的机械强度，又有良好的电 性能，便于实现机电器件的集成化。
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•3.6 微机械及其微细加工技术
二 微型机械发展现状及展望
1. 微型仪器
微型仪器实际上就是具有仪器功能 的MEMS产品，是MEMS技术与微电子技术 综合集成的产物。它具有一般仪器具有 的监测、测量、分析、诊断、控制和执 行功能，是一种新型的智能结构。其基 本结构模式为：
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第36节微机械及其微细加工技术
3.6 微机械及其微细加工技术
因此，许多宏观物理量进入微观尺度 后甚至需要重新定义。相关学科，如微电 子学、微机械学、微光学、微动力学、微 流体力学、微热力学、微摩擦学、微结构 学和微生物学等共同构成了微机械研究的 理论基础。
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第36节微机械及其微细加工技术
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第36节微机械及其微细加工技术
3.6 微机械及其微细加工技术
• 增高体温法治疗癌症：利用超声波或无 线电波的能量把身体某一部位加热到 430C以杀死癌细胞。 在治疗时温度不够效果就不好，温度 过高又会伤害周围的组织，医生很难判 断肿瘤部位是否达到这个温度。美国斯 坦福大学研究所研制的微型温度传感器 可注射到肿瘤中去。
•3.6 微机械及其微细加工技术
目前，微机械的研究正在从基础 研究逐步迈向研制开发与实用阶段。 许多微传感器、微执行器以及微光 学部件已经在某些行业得到应用。
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第36节其微细加工技术
目前微机械研究分为理论研究、技术基础 研究及应用研究三部分。
1、理论基础
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第36节微机械及其微细加工技术
•3.6 微机械及其微细加工技术
3. MEMS在汽车工业的应用
汽车内安装的微型传感器已达几十个，用来传感 气囊、压力、温度、湿度等的情况，以及进行智 能控制。其中用于制导、卫星控制的微惯性传感 器及微型惯性测量组合在汽车中可用于自动驾驶、 防撞气囊、防报死系统（ABS）等。
微传感器+信号和数据处理电路（含控 制软件）+外显示器或微执行器
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第36节微机械及其微细加工技术
•3.6 微机械及其微细加工技术
(1) 微光谱仪
(2) MEMS显示器
美国Texas Instruments研究用于投影显示装置 的数字驱动微镜阵列芯片（Digital Micromirror device-DMD）。已成功利用 768×576像素的DMD芯片制出彩色电视投影仪。 DMD芯片利用硅表面微加工工艺制作，一个微 镜的尺寸仅16um×16um。
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第36节微机械及其微细加工技术
3.6 微机械及其微细加工技术
• 血管成形手术：在动脉中推动一个小气 球来清除动脉壁上的硬化瘢块。 通过注射或吞服法将微机械加工法 制成的微型压力传感器放到气球里面， 医生通过它可以知道瘢块清除工作进行 得怎样。
• 通过微机械加工技术已经能够制造出可 以夹起一个红细胞的微型镊子。
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第36节微机械及其微细加工技术
3.6 微机械及其微细加工技术
汽车工业
安全气囊加速计、发动机压力计、自动驾驶陀螺
武器装备
制导、战场侦察（化学、震动）、武器智能化
生物医学