电子级氢氟酸质量标准

高纯氢氟酸的介绍与生产

高纯氢氟酸的介绍与生产一、概述高纯氢氟酸英文名 hydrofluoric acid，分子式 HF，分子量 20.01。

为无色透明液体，相对密度 1.15～1.18，沸点112.2℃，在空气中发烟，有刺激性气味，剧毒。

能与一般金属、金属氧化物以及氢氧化物发生反应，生成各种盐类。

腐蚀性极强，能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。

易溶于水、醇，难溶于其他有机溶剂。

高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂，可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置使用，主要应用于集成电路（IC）和超大规模集成电路（VLSI）芯片的清洗和腐蚀，是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一，还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。

目前，在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业，其它方面用量较少。

二、高纯氢氟酸的分类国际SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）标准化组织根据高纯试剂在世界范围内的实际发展情况，按品种进行分类，每个品种归并为一个指导性的标准，其中包括多个用于不同工艺技术的等级，具体见下表1。

表1 SEMI国际标准等级国内有的高纯试剂生产企业拥有自己的企业标准，其中，BV 系列标准比较常见，该标准共分为七个等级。

如：北京化学试剂用的就是BV系列标准，具体见下表2。

表2 国内高纯试剂常用规格目前，因各微电子生产企业对高纯氢氟酸要求的标准不同，可将其划分为四个档次：①低档产品，用于>1.2μmIC工艺技术的制作；②中低档产品，适用于0.8～1.2μmIC工艺技术的制作；③中高档产品，适用于0.2～0.6μmIC工艺技术的制作；④高档产品，适用于0.09～0.2μm和＜0.09μm IC工艺技术的制作。

三、制备方法与工艺目前国内外制备高纯氢氟酸的常用提纯技术有精馏、蒸馏、亚沸蒸馏、气体吸收等技术，这些提纯技术各有特性，各有所长。

有的提纯技术如亚沸蒸馏技术只能用于制备量少的产品，而有的提纯技术如气体吸收技术可以用于大规模的生产。

电子级氢氟酸生产工艺和质量指标介绍

电子级氢氟酸生产工艺和质量指标介绍电子级（高纯）氢氟酸是一种重要的化工原料，在半导体、电子、光学和其他精细化工领域有广泛应用。

其主要用途是用于刻蚀硅片和清洗半导体材料。

电子级（高纯）氢氟酸的生产工艺一般包括氟化矾石法和电解法两种。

氟化矾石法是将氢氟酸的原料矿石矾石与浓硫酸进行反应，生成氟化铝，然后用热蒸汽进行气化，生成气态氟化氢。

接下来，将气态氟化氢与空气中的水蒸气反应，生成氢氟酸。

这种方法可获得较高纯度的氢氟酸，但反应过程中需要高温和高压，工艺复杂，对设备要求较高。

电解法是将电解质性透明盐岩溶解在水中，经过电解，阳极会产生氧气，而阴极则产生氢气和氟气，从而通过电解生成氢氟酸。

这种方法的优点是工艺相对简单、操作方便，并且可连续生产。

但由于电解过程中存在多种杂质和杂质侵入的问题，所以其产出的氢氟酸需要经过进一步的纯化处理，以获得高纯度的电子级氢氟酸。

电子级（高纯）氢氟酸的质量指标主要包括纯度、水分、杂质和金属离子含量等。

一般来说，电子级（高纯）氢氟酸的纯度要求在99.999%以上，水分含量应控制在100ppm以下，杂质含量如氯离子、硫酸根离子等应低于1ppm。

金属离子如铁离子、铜离子等也应低于1ppm。

此外，颜色应无色透明、无悬浮物。

为了确保电子级（高纯）氢氟酸的质量，需要对生产过程进行严格的控制和监测。

比如，在氟化矾石法中，需要控制反应温度和压力，确保反应的高效进行，同时还要进行杂质的去除和纯化处理。

在电解法中，需要选用合适的电解质以及控制电化学条件，以减少杂质的产生。

而在后续的纯化过程中，常采用蒸馏、吸附等技术，去除残余的杂质和离子。

总而言之，电子级（高纯）氢氟酸的生产工艺和质量控制对于实现高纯度和稳定质量至关重要。

只有通过科学合理的工艺流程和严格的质量控制，才能生产出符合要求的电子级（高纯）氢氟酸，以满足精细化工产业的需求。

电子级氢氟酸国家标准

电子级氢氟酸国家标准电子级氢氟酸是一种重要的化工原料，广泛应用于半导体、光伏、电子等领域。

为了规范电子级氢氟酸的生产和使用，保障产品质量，国家相关部门制定了电子级氢氟酸国家标准，以下将对该标准进行详细介绍。

首先，电子级氢氟酸国家标准对产品的物理性质、化学性质、纯度、杂质含量、包装、标识等方面进行了规定。

其中，物理性质包括外观、密度、沸点等指标；化学性质包括PH值、水溶液外观、氟化硅含量等指标；纯度方面要求氢氟酸的纯度不低于99.99%，杂质含量严格控制在ppm级别以下。

此外，标准还对电子级氢氟酸的包装和标识做出了具体规定，以确保产品在运输和使用过程中的安全性和可追溯性。

其次，电子级氢氟酸国家标准对生产工艺和质量控制提出了严格要求。

生产工艺应符合国家相关法律法规，采用先进的生产设备和工艺流程，确保产品质量稳定可靠。

质量控制方面，标准要求生产企业建立健全的质量管理体系，对原材料、中间品和成品进行全程跟踪和控制，确保产品符合标准要求。

此外，电子级氢氟酸国家标准还对产品的储存和运输提出了具体要求。

储存环境要求干燥、通风、避光，避免与氧化剂、碱类物质混存，避免阳光直射。

运输过程中要采取防止产品泄漏的措施，确保产品安全到达目的地。

总的来说，电子级氢氟酸国家标准的制定和实施，对于规范产品质量、促进行业健康发展具有重要意义。

生产企业应严格按照标准要求进行生产，加强质量管理，确保产品符合标准，为电子行业的发展提供高质量的原材料保障。

同时，相关部门和监管机构应加强对标准的执行和监督，确保产品质量和安全，为行业发展营造良好的环境。

在未来，随着电子行业的不断发展，电子级氢氟酸的需求量将会进一步增加，国家标准也将不断完善和更新，以适应市场需求和技术发展的要求，推动行业持续健康发展。

通过对电子级氢氟酸国家标准的介绍，相信大家对该标准有了更深入的了解。

希望生产企业和相关行业能够严格遵守标准要求，共同努力，推动电子级氢氟酸行业的发展和进步。

电子级氢氟酸项目实施方案

电子级氢氟酸项目实施方案规划设计/投资分析/实施方案电子级氢氟酸项目实施方案我国氢氟酸产能“小而散”，高准入门槛及相关政策严控产能产量。

氢氟酸是氟化氢（化学式：HF）的水溶液，其与水的恒沸物中含38%（质量分数）HF，为一种弱酸。

而无水氢氟酸（AHF）为液态氟化氢，其酸性极强，是氟化工产业链的关键中间产品，为大多数氟化物最普遍和最基本的原料，可用于制备下游氟烷烃、氟化盐、含氟精细化学品、含氟聚合物等。

工业中的AHF由浓硫酸与酸级萤石精粉（氟化钙纯度高于97%）反应制得，其具有强腐蚀性、毒性、易对人体及环境造成危害等特点，属于危化品。

从行业格局上看，我国氢氟酸上下游主要配套在萤石资源丰富的区域内，以华东为主，产能“小而散”，生产存在污染严重、产能分散且利用率低、行业集中度低等问题。

近年来国家各部委和部门出台了一系列条例和准则来规范行业发展，氢氟酸的生产、贮藏、运输等环节均受到国家严格管控与限制，氢氟酸装置开工条件及产能投放等均受到制约。

该电子级氢氟酸项目计划总投资9245.97万元，其中：固定资产投资6835.28万元，占项目总投资的73.93%；流动资金2410.69万元，占项目总投资的26.07%。

达产年营业收入19113.00万元，总成本费用14377.14万元，税金及附加174.33万元，利润总额4735.86万元，利税总额5563.41万元，税后净利润3551.89万元，达产年纳税总额2011.51万元；达产年投资利润率51.22%，投资利税率60.17%，投资回报率38.42%，全部投资回收期4.10年，提供就业职位287个。

坚持安全生产的原则。

项目承办单位要认真贯彻执行国家有关建设项目消防、安全、卫生、劳动保护和环境保护的管理规定，认真贯彻落实“三同时”原则，项目设计上充分考虑生产设施在上述各方面的投资，务必做到环境保护、安全生产及消防工作贯穿于项目的设计、建设和投产的整个过程。

......电子级氢氟酸是半导体制作过程中应用最多的电子化学品之一，在氟化氢行业频遭限制的情况下，高纯电子级氟化氢却逆势而上，不断有企业增扩电子级氟化氢产能。

氢氟酸电子级指标

Electronic grade hydrofluoric acid
Quality Standard:
Item
Index
EL
UP
UP-S
Hydrogen Fluoride (HF), w/ %
49±0.5
49±0.5
49±0.5
Color,hazen≤
≤10
≤10
≤10
SilicofluoricAcid, H2SIF6ppb ≤
--
--
Tlppb ≤
--
≤10 ppb
≤1 ppb
Snppb ≤
≤20 ppb
≤10 ppb
≤1 ppb
Sbppb ≤
--
≤10 ppb
≤1 ppb
Ti ppb ≤
≤100 ppb
≤10 ppb
≤1 ppb
V ppb ≤
--
≤10 ppb
≤1 ppb
Zn ppb ≤
≤100 ppb
≤10 ppb
≤1 ppb
Packing: The product is filled in a 25 kg polythene plastic drum;Alsofill it on consumer requests.
≤10 ppb
≤1 ppb
Pbppb ≤
≤50 ppb
≤10 ppb
≤1 ppb
Li ppb ≤
≤20 ppb
≤5 ppb
≤1 ppb
Mg ppb ≤
≤100 ppb
≤10 ppb
≤1 ppb
Mnppb ≤
≤100 ppb
≤10 ppb
≤1 ppb

电子级氢氟酸质量标准

电子级氢氟酸福建省邵武市永飞化工有限公司电子级氢氟酸的质量标准
质量标准：
UP-S级:适用0.35-0.8微米集成电路加工工艺,金属杂质含量小于1ppb,经过0.05微米孔径过滤器过滤，控制0.2微米粒子,在100级净化环境中灌装达到SEMI C8标准.
UP级:适用1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺,金属杂质含量小于10ppb,经过0.2微米孔径过滤器过滤，控制0.5微米粒子,在100级净化环境中灌装,达到SEMI C7标准EL级:金属杂质含量小于100ppb,控制1微米粒径粒子,达到SEMI C1 C2标准,适合中小规模集成电路及电子元件加工工艺
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•巨化凯圣氟化学有限公司
•电子级氢氟酸up级。

电子级氢氟酸研究进展

第52卷第8期辽宁化工 Vol.52，No. 8 2023年8月 Liaoning Chemical Industry August，2023收稿日期： 2021-08-23 电子级氢氟酸研究进展朱博超，章志成（浙江森田新材料有限公司，浙江金华 321200）摘要：随着电子信息时代的到来，电子芯片逐渐成为国家未来大力发展的主要产业。

电子级氢氟酸作为芯片制作过程必需的化学品，也成为此产业上未来主要发展的方向。

介绍了氢氟酸一般生产流程、等级分类以及电子级生产工艺、技术难点等。

关键词：氢氟酸；分类；电子级中图分类号：TQ124.3 文献标识码： A 文章编号： 1004-0935（2023）08-1217-032021年3月13日，《中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要》（以下简称《纲要》）发布，《纲要》中提到，加快智能制造、高端芯片等领域关键核心技术突破和应用。

未来五年，中国力争在芯片、人工智能、量子计算等先进技术领域取得领先的地位[1]。

围绕“光芯屏端网”等，攻克一批卡脖子技术，推动“临门一脚”关键技术产业化，增强产业核心竞争力[2]。

打造“光芯屏端网”等具有国际竞争力的万亿产业集群。

集成电路是指采用一定的工艺，将近亿晶体管等半导体器件与电阻、电容、电感等基础电子元件连接集成于小块基板，然后封装于管壳内，将组装为微型电子部件的集成电路通常称为芯片。

电子级多晶硅（以下简称“硅料”）是国家大力发展的一种战略性原材料，也是集成电路产业不可缺少的基础性原料[3]。

目前，西方等发达国家企业掌握其主要生产技术，而中国市场上的集成电路用多晶硅材料基本为国外生产，同时我国生产电子级氢氟酸的企业还未达到10家[4-5]，所以攻克电子级多晶硅关键生产技术可以增强产业在国际上的核心竞争力[6-7]。

硅料化学清洗作为电子级多晶硅生产关键核心工序，可以有效去除硅料表面颗粒及化学性沾污。

行业标准电子工业用高纯氢氟酸中痕量杂质元素含量的测定

行业标准电子工业用高纯氢氟酸中痕量杂质元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法（讨论稿）编制说明工作简况项目的必要性简述1 项目背景和立项意义近年来随着极大规模集成电路产业的发展，高纯氢氟酸的使用范围越来越广，使用量也越来越大，集成电路产业对氢氟酸的纯度要求也越来越高。

高纯氢氟酸作为清洗半导体材料的重要原料，其阳离子含量如钠、镁、铝、钾、钙、铬、铁、镍、铜、钴、锌、锡、钛、钒、铅、锂、锰等会对半导体材料的品质造成严重的影响。

目前国内生产氢氟酸的厂家很多，且产能也在不断的扩大，但每个厂家对氢氟酸的技术指标规定不统一，执行标准也不一致，已不能满足极大规模集成电路产业发展的需求，因此，急需建立一个适用于集成电路产业用高纯氢氟酸杂质元素检测的技术标准和检测方法标准，促使国内企业提高高纯氢氟酸的产品质量，统一高纯氢氟酸的技术规格和检测标准，为高纯氢氟酸的生产、销售、采购及使用提供参考依据，对促进我国极大规模集成电路产业发展具有重要的意义。

目前国外先进标准有《SEMI C28-0611 Specifications For Hydrofluoric Acid》，国内标准有《GB/T 620-2011化学试剂氢氟酸》、《GB/T 7744-2008工业氢氟酸》、《GB/T 31369-2015太阳电池用电子级氢氟酸》、《HG/T 4509-2013工业高纯氢氟酸》，这些标准中规定的技术规格较低，已不能满足国内极大规模集成电路产业发展的需求。

2 任务来源根据中国有色金属工业协会《关于下达2019年第一批协会标准制修订计划的通知》（中色协科字[2019]17号）的要求，《电子工业用高纯氢氟酸中痕量杂质元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法》由青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司牵头负责起草，计划编号：2019-007-T/CNIA，要求于2020年完成。

3 标准项目编制单位简况青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司为青海黄河上游水电开发有限责任公司的内部核算单位，负责电子级多晶硅项目的生产运营、市场销售及技术研发管理，目前公司已建成年产2500吨电子级多晶硅的改良西门子法工艺生产线。