简单介绍一下半导体工厂AMHS系统的搬运机器人

简单介绍一下半导体工厂AMHS系统的搬运机器人

alexjornne 发表于: 2010-6-26 23:20 来源: 半导体技术天地

写得不好，请大家多多指教。

OHS（Over Head Shuttle ）

可以在安装在天井下轨道上高速移动的自动搬运装置。

一般是用于成膜、洗浄等各个保管设备间FOUP搬运

OHT （Overhead Hoist Transfer ）

是安装在天井下轨道下高速移动的自动搬运小车。

由升降装置马达驱动BELT，使GRIPPER自动抓取设置在port的foup。

这是300mm晶圆厂运用最广防的搬运工具。GRIPPER有不同的类型可以搬运不同类型的foup。

从第一代10几年前只能低速走行单线轨道，移载设置于其正下方port的foup，

到第二代可以高速走行在分歧轨道，

第三代不仅可以走行在分歧轨道，还可以左右移载设置在STS，UTS上的FOUP 再到第四代450mm搬运小车，更新速度可谓非常之快。

中国国内半导体厂商使用第一代，第二代自动搬运小车，目前国内还没有使用第三代自动搬运小车的客户。

AGV （Automated Guided Vehicle）

车上安装了多关节手臂机器人，用于搬运保管设备和制造设备之间的foup。

本搬运小车由于安装了大容量的电池，可以自动走行在工厂的地板上，并按照程序设置，可以走行比较复杂的路径。

台湾，韩国有半导体厂商很多使用这种小车的案例。

RGV （Automated Guided Vehicle）

本小车走行在安装在地板上的轨道，可以高速搬运保管设备和制造设备之间的foup。和AGV同样搭载了多关节手臂机器人，但是小车走行速度大大高于同类型的AGV。韩国半导体厂商有使用这种小车的案例。

STOCKER

是fab里面的一时自动保管仓库。

可以把半成品的硅片暂时存放于此。

有好几种类型。

其中一种塔形仓库可以实现foup楼层之间的搬运。

以后有空再说说FPD工厂的搬运机器人