单晶制备方法
单晶材料的制备及其应用

单晶材料的制备及其应用单晶材料是指由一个完整的晶格构成,无晶界和杂质的材料。
由于其在热处理、力学性能、光学和电学性能等方面与多晶材料不同,因此在现代材料科学和工程学中应用广泛。
一、单晶材料的制备1. 垂直凝固法这种方法是通过在平稳表面的液态金属或合金中拉出一个细长的晶芯,使晶体在顶部生长。
由于重力的作用,晶胞沿垂直方向排列成单晶。
2. 溶液法在溶液中加入溶解度高的化合物,缓慢地降低温度,使晶体在液体中生长,这种方法又称为溶液生长法。
目前最常用的是氧化铝晶体的制备方法。
3. 熔融法将材料融化后在晶体生长室中生长晶体。
例如,在加热到真空中的含有铜元素的陶瓷中放置La2CuO4粉末,待孔隙中的La2CuO4基质被熔化后,再慢慢冷却,就可以获得单晶La2CuO4。
4. 拉伸法这种方法是通过将晶体置于机械控制的拉伸装置中,在高温或室温下拉伸。
这种方法可以用于生长非常大的单晶。
5. 分离法这种方法实际上是从多晶条带中得到单晶。
通过拉伸或有机膜转移等方法把单晶从多晶中分离出来。
二、单晶材料的应用1. 光电领域在光电领域,单晶材料的应用非常广泛。
例如,单晶硅是光电子学器件的核心材料,具有优异的光电特性。
2. 半导体器件单晶材料在半导体器件制造中也非常重要。
例如,锗晶片是电子元件中的核心材料,可用于生产晶体管和光电二极管等。
3. 材料科学单晶材料还可以用于材料科学研究,如研究材料的结构和结构性质等。
4. 超导研究单晶铜氧化物是超导体研究中的重要材料。
单晶铜氧化物具有非常高的超导性能和晶格结构。
5. 生物医学领域单晶材料在生物医学领域中也有广泛的应用。
例如,用单晶硅制作出的基于光学测量和控制的生物芯片,可以应用于生物分析、药物筛选等方面。
总之,单晶材料的制备和应用是材料科学领域中的重要方向。
通过研究单晶材料的制备方法和应用,可以为现代工业和科技进步做出更大的贡献。
单晶制备方法范文

单晶制备方法范文单晶制备是一种重要的晶体制备方法,用于制备高纯度、大尺寸和高质量的单晶材料。
本文将介绍几种常见的单晶制备方法。
1.熔融法熔融法是制备单晶材料最常用的方法之一、该方法首先将原料粉末加入坩埚中,通过加热坩埚使其熔化。
然后,将熔融体缓慢冷却,使其中的原子或分子有足够的时间重新排列成为有序的晶体结构。
最后,通过剖析、切割或溶解等方法得到单晶。
2.水热法水热法是通过在高温高压的水环境中进行晶体生长的方法。
该方法通常使用混合溶液,将试样和溶剂一起装入高压釜中。
随着温度升高和压力增加,试样溶解,晶体逐渐从溶液中生长。
通过控制温度、压力和溶液成分,可以实现单晶的生长。
3.气相输运法气相输运法是通过在高温气氛中使试样在晶界和界面扩散的方法。
首先,将原料制成粉末,然后将粉末放入烧结体中,在高温下加热。
粉末在高温气氛中扩散,形成晶体生长的条件。
最终得到单晶。
4.化学气相沉积法化学气相沉积法是通过在合适的气氛中,使气态反应物沉积到衬底表面上形成单晶的方法。
该方法通常使用低温和大气压或低气压条件下进行。
通常先将衬底加热到合适的温度,然后通过输送反应气体,使气体中的原子或分子在衬底表面沉积,并逐渐形成单晶。
5.溶液法溶液法是通过在适当的溶剂中将试样溶解并逐渐冷却结晶得到单晶的方法。
溶解试样后,通过逐渐控制溶液的温度和溶剂挥发的速度,使溶液中的试样逐渐结晶为单晶。
溶液法适用于生长一些不易用其他方法制备的化合物单晶。
总结单晶制备方法相对复杂,需要仔细选择适合的方法和条件。
除了以上几种常见的方法外,还有其他一些专用的单晶制备方法,例如激光熔融法、分子束外延法等。
单晶制备方法的选择要考虑材料的物化性质、成本和实际需求等因素。
单晶的制备对于材料科学研究和器件制造都具有重要的意义。
单晶制备方法综述

单晶制备方法综述单晶制备是一种制备高质量单晶材料的方法,其单晶结构具有高度的有序性和完整度,具有优异的光学、电学和磁学性能,被广泛应用于光电子、半导体器件、光学器件等领域。
本文将综述几种常用的单晶制备方法。
一、卤素热解法卤素热解法是一种基于卤化物的单晶制备方法。
通常采用溶液法得到溶液,再通过卤素热解使其结晶得到单晶。
这种方法制备单晶材料成本低、效率高,被广泛应用。
例如,用氯化钙和硫酸钾溶液制备氯化钡单晶。
二、溶液法溶液法是一种常见的单晶制备方法,通过溶解物质使其达到过饱和状态,再缓慢降温结晶得到单晶。
这种方法适用于许多无机和有机物质的制备。
例如,用硫酸铈和硝酸铈溶液制备铈酸铈单晶。
三、气相输运法气相输运法是利用气相中的化合物在特定的温度和压力下进行热分解、制备单晶材料。
该方法适用于高熔点、低挥发度的物质。
例如,用二氧化钛和氧气气氛在高温下热分解制备二氧化钛单晶。
四、激光熔融法激光熔融法是利用激光束对材料进行局部加热,使其熔化并在快速冷却过程中形成单晶结构。
这种方法可以制备多组分复合材料和高温高压条件下的单晶材料。
例如,用激光束对熔融硅进行快速凝固制备硅单晶。
五、浸渍法浸渍法是将待制备的单晶物质放入溶液中,通过化学反应或溶液中的成分沉积形成单晶。
该方法可以制备各种复杂结构和复合材料的单晶。
例如,用溶液浸渍法制备钛氧化物纳米线单晶。
六、气相沉积法气相沉积法是通过在基底上以气相形式沉积制备单晶薄膜。
该方法具有高纯度、均匀性好和控制性较高等优点,广泛应用于薄膜材料的制备。
例如,用有机金属气相沉积法制备锗硅单晶薄膜。
七、Zone Melting法Zone Melting法是一种通过电熔和定向凝固制备单晶材料的方法。
在电熔过程中,选定的样品会被部分熔化,然后通过固体-液体界面的移动形成单晶结构。
该方法可以制备大面积的单晶材料。
例如,用Zone Melting法制备硅单晶。
综上所述,单晶制备方法种类繁多,每种方法适用于不同类型的材料和特定的应用领域。
单晶制备方法综述

单晶制备方法综述单晶是指物质中具有高度有序排列的晶体,具有优异的物理、化学和电学性能。
单晶制备是实现高性能材料研制和工业应用的重要一环。
本文将综述几种常见的单晶制备方法。
1.液相生长法:液相生长法是最常见的单晶制备方法之一、它基于溶剂中溶解度随温度变化的规律,利用溶剂中存在过饱和度来实现晶体生长。
在溶液中加入适量的晶种或原料,通过恒温、搅拌等条件控制溶液中的过饱和度,使得晶体在液相中逐渐生长。
液相生长法具有适用范围广、成本低廉、晶体尺寸可控等优点,被广泛应用于多种单晶材料的制备。
2.熔体法:熔体法是通过将材料加热至高温使其熔化,然后再进行快速冷却来制备单晶。
熔体法适用于熔点较高的材料,如金属和铁电材料等。
具体实施时,将原料加热至熔点以上,然后迅速冷却至晶体生长温度,通过控制冷却速率和成核条件等参数,使得材料在熔体状态下形成单晶。
熔体法制备的单晶具有高纯度、低缺陷密度等特点。
3.化学气相沉积法(CVD):化学气相沉积法是将气体、液体或固体混合物送入反应器中,通过化学反应生成气体中的原子或离子,然后在合适的衬底上生长晶体。
CVD法的主要控制参数包括反应原料、反应条件和衬底选择等,通过优化这些参数可以得到高质量的晶体。
CVD法适用于制备半导体晶体、薄膜和光纤等材料。
4.硅热法:硅热法是指通过将石英管内的硅砂与待制备材料在高温下反应,生成有机金属气体,通过扩散至冷却区域后与基片上的晶种接触形成晶体。
硅热法制备的单晶一般适用于高温超导材料、稀土金属等。
5.水热法:水热法是指在高温高压的水热条件下,利用溶液中溶质的溶解度、晶种和反应物之间的反应动力学及溶质活度等热力学因素来实现晶体生长。
水热法适用于很多无机非金属单晶材料的制备,如氧化物、硅酸盐等。
水热法可以自主调控晶体形貌和尺寸等物理性能。
综上所述,单晶制备方法涵盖了液相生长法、熔体法、化学气相沉积法、硅热法和水热法等多种方法。
不同的方法适用于不同的材料,通过合理选择和控制制备条件,可以得到高质量、尺寸可控的单晶材料,应用于各个领域的研究和应用。
单晶材料的制备方法介绍

单晶材料的制备方法介绍单晶材料,指的是具有完全单一晶体结构的材料,其晶粒呈现为整体性完整的晶体。
这种材料的制备方法包括单晶增长法、气相转化法和物理气相沉积法等。
下面将对这些方法进行详细的介绍。
(一)单晶增长法单晶增长法是目前制备单晶材料最常用的方法之一、其主要原理是通过液相或气相中的原料溶液或气体在晶体表面上沉积,并利用材料的热和质量迁移,使晶体逐渐增长,最终形成单晶。
1.液相法液相法是一种常见的制备单晶材料的方法。
其主要过程包括晶种的培养、溶液配制、溶解和淬火等步骤。
首先,选择一个适合的晶种,在高温下使晶种与溶液接触,晶种逐渐增大。
然后,配制溶液,将材料溶解于溶剂中,形成适合生长晶体的溶液。
接下来,将晶种放入溶液中,通过控制温度和溶液浓度等参数,晶体逐渐从溶液中生长出来。
最后,取出晶体并进行淬火处理,使其冷却到室温。
2.气相法气相法是一种通过蒸发气体使晶体逐渐生长的方法。
其主要过程包括晶种选择、反应气体制备、晶种遗忘和生长阶段等步骤。
首先,选择一个合适的晶种,将其放入反应器中。
然后,制备反应气体,根据晶体材料的要求选择适当的气体进行气相反应。
接下来,将反应气体通过外部加热的方式在晶体表面进行蒸发,晶体逐渐生长。
最后,取出晶体并进行后续处理。
(二)气相转化法气相转化法是一种通过气体中的化学反应在晶体表面上形成单晶的方法。
其主要过程包括原料选择、反应条件控制、晶体生长和后续处理等步骤。
首先,选择适合的原料,在高温高压下使其在气氛中发生化学反应。
然后,通过控制反应条件,使得反应物在晶体表面发生转化反应,逐渐形成单晶。
接下来,将晶体取出并进行后续处理,例如清洗和退火等。
(三)物理气相沉积法物理气相沉积法是一种利用物理沉积技术制备单晶材料的方法。
其主要过程包括蒸发源制备、蒸发和沉积等步骤。
首先,制备一个蒸发源,将所需材料放入蒸发源中。
然后,通过加热蒸发源,使其产生气态物质。
接下来,将气态物质从蒸发源中输送到晶体表面,通过沉积在晶体表面上,逐渐形成单晶。
半导体晶体制备

半导体晶体的制备主要包括单晶制备和晶圆制备两个步骤。
单晶制备的方法主要有:
从熔体中拉制单晶:使用与熔体相同材料的小单晶体作为籽晶,当籽晶与熔体接触并向上提拉时,熔体依靠表面张力也被拉出液面,同时结晶出与籽晶具有相同晶体取向的单晶体。
区域熔炼法制备单晶:使用一籽晶与半导体锭条在头部熔接,随着熔区的移动,结晶部分即成单晶。
从溶液中再结晶。
从汽相中生长单晶:包括液相外延和汽相外延两种方法。
液相外延是将所需的外延层材料溶于某一溶剂成饱和溶液,然后将衬底浸入此溶液,逐渐降低其温度,溶质从过饱和溶液中不断析出,在衬底表面结晶出单晶薄层。
汽相外延生长则是用包含所需材料为组分的某些化合物气体或蒸汽通过分解或还原等化学反应淀积于衬底上。
晶圆制备的过程则包括切割、抛光和清洗等步骤。
首先,将生长好的晶体进行切割,得到薄片状的晶圆。
然后,通过机械和化学方法对晶圆进行抛光,以获得平整的表面。
最后,对晶圆进行清洗,去除表面的杂质和污染物。
在制备过程中,还可能涉及到掺杂的步骤,掺杂是为了改变半导
体材料的导电性能,通常将杂质原子引入晶体中。
掺杂分为两种类型:n型和p型。
n型半导体是通过掺入少量的五价元素(如磷)来增加自由电子的浓度,而p型半导体则是通过掺入少量的三价元素(如硼)来增加空穴的浓度。
掺杂可以通过不同的方法实现,如扩散、离子注入和分子束外延等。
以上是半导体晶体制备的简要步骤和方法,实际制备过程可能因材料、设备和技术等因素而有所不同。
单晶制备方法综述

单晶材料的制备方法综述前言:单晶(single crystal),即结晶体内部的微粒在三维空间呈有规律地、周期性地排列,或者说晶体的整体在三维方向上由同一空间格子构成,整个晶体中质点在空间的排列为长程有序。
单晶整个晶格是连续的,具有重要的工业应用。
因此对于单晶材料的的制备方法的研究已成为材料研究的主要方向之一。
本文主要对单晶材料制备的几种常见的方法进行介绍和总结。
单晶材料的制备也称为晶体的生长,是将物质的非晶态、多晶态或能够形成该物质的反应物通过一定的化学的手段转变为单晶的过程。
单晶的制备方法通常可以分为熔体生长、溶液生长和相生长等[1]。
一、从熔体中生长单晶体从熔体中生长晶体的方法是最早的研究方法,也是广泛应用的合成方法。
从熔体中生长单晶体的最大优点是生长速率大多快于在溶液中的生长速率。
二者速率的差异在10-1000倍。
从熔体中生长晶体的方法主要有焰熔法、提拉法、冷坩埚法和区域熔炼法。
1、焰熔法[2]最早是1885年由弗雷米(E. Fremy)、弗尔(E. Feil)和乌泽(Wyse)一起,利用氢氧火焰熔化天然的红宝石粉末与重铬酸钾而制成了当时轰动一时的“日内瓦红宝石”。
后来于1902年弗雷米的助手法国的化学家维尔纳叶(Verneuil)改进并发展这一技术使之能进行商业化生产。
因此,这种方法又被称为维尔纳也法。
1.1 基本原理焰熔法是从熔体中生长单晶体的方法。
其原料的粉末在通过高温的氢氧火焰后熔化,熔滴在下落过程中冷却并在籽晶上固结逐渐生长形成晶体。
1.2 合成装置和过程:维尔纳叶法合成装置振动器使粉料以一定的速率自上而下通过氢氧焰产生的高温区,粉体熔化后落在籽晶上形成液层,籽晶向下移动而使液层结晶。
此方法主要用于制备宝石等晶体。
2、提拉法[2]提拉法又称丘克拉斯基法,是丘克拉斯基(J.Czochralski)在1917年发明的从熔体中提拉生长高质量单晶的方法。
2O世纪60年代,提拉法进一步发展为一种更为先进的定型晶体生长方法——熔体导模法。
单晶材料制备方法介绍

单晶材料制备方法介绍单晶材料是指具有完全一致的晶体结构的材料,即在整个样品中只存在单一的晶体方向。
单晶材料具有优异的物理、化学、电子、光学等性能,被广泛应用于多个领域,如电子器件、光学元件、能源材料等。
单晶材料的制备方法主要包括凝固法、气相法以及液相法。
1.凝固法凝固法是制备大尺寸、高质量单晶材料的主要方法之一、常用的凝固法有慢凝固法、快凝固法、定向凝固法和浮区法等。
其中,慢凝固法通过缓慢控制合金温度降低,使晶体在凝固过程中缓慢生长,从而获得质量较高的单晶材料。
而快凝固法则是通过快速降温,迫使晶体在短时间内形成,适用于那些高温下易于分解的材料。
定向凝固法则通过控制凝固过程中的温度梯度和晶体生长方向,使晶体逐渐生长并满足特定的晶体取向要求。
浮区法是在材料晶体表面加热、熔化的同时,通过拉伸和旋转晶体生长方向,从而制备出单晶材料。
2.气相法气相法是单晶材料制备中的重要方法之一,包括气相转化法、化学气相沉积法和物理气相沉积法。
气相转化法是指将气体中的单质或化合物通过化学反应转化为单晶材料。
化学气相沉积法则通过在气体流中加入各种反应物,通过化学反应沉积形成单晶材料。
物理气相沉积法是在真空或惰性气氛中通过热蒸发或溅射的方式沉积单晶材料,该方法制备的单晶材料通常具有高纯度和良好的微观结构。
3.液相法液相法是指通过溶液中的各种物质反应生成单晶材料。
常用的液相法有溶胶凝胶法、溶液扩散法和气体溶剂法。
溶胶凝胶法是将适当物质溶液加热、干燥,使溶液中的物质逐渐沉淀,并形成固体凝胶。
再通过热处理,使凝胶转变为单晶材料。
溶液扩散法是将适当物质溶解在溶剂中,通过扩散使得溶液中的物质结晶生长成单晶材料。
气体溶剂法则是将气体作为溶剂,通过高温高压的条件,使溶液中的物质转变为单晶材料。
除了以上几种常见的单晶材料制备方法,近年来还出现了一些新的制备技术,如熔融法、生长法等。
这些方法利用高温高压或者特殊气氛下,通过熔融或生长的方式制备单晶材料。
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直拉法制单晶硅和区熔法晶体生长第一节概述多晶硅是单质硅的一种形态。
熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。
多晶硅可作拉制单晶硅的原料,多晶硅与单晶硅的差异主要表现在物理性质方面。
例如,在力学性质、光学性质和热学性质的各向异性方面,远不如单晶硅明显;在电学性质方面,多晶硅晶体的导电性也远不如单晶硅显著,甚至于几乎没有导电性。
在化学活性方面,两者的差异极小。
多晶硅和单晶硅可从外观上加以区别,但真正的鉴别须通过分析测定晶体的晶面方向、导电类型和电阻率等。
多晶硅由很多单晶组成的,杂乱无章的。
单晶硅原子的排列都是有规律的,周期性的,有方向性。
当前生长单晶主要有两种技术:其中采用直拉法生长硅单晶的约占80%,其他由区溶法生长硅单晶。
采用直拉法生长的硅单晶主要用于生产低功率的集成电路元件。
例如:DRAM,SRAM,ASIC电路。
采用区熔法生长的硅单晶,因具有电阻率均匀、氧含量低、金属污染低的特性,故主要用于生产高反压、大功率电子元件。
例如:电力整流器,晶闸管、可关断门极晶闸管(GTO)、功率场效应管、绝缘门极型晶体管(IGBT)、功率集成电路(PIC)等电子元件。
在超高压大功率送变电设备、交通运输用的大功率电力牵引、UPS电源、高频开关电源、高频感应加热及节能灯用高频逆变式电子镇流器等方面具有广泛的应用。
直拉法比用区溶法更容易生长获得较高氧含量(12`14mg/kg)和大直径的硅单晶棒。
根据现有工艺水平,采用直拉法已可生产6`18in (150`450mm)的大直径硅单晶棒。
而采用区溶法虽说已能生长出最大直径是200mm的硅单晶棒,但其主流产品却仍然还是直径100`200mm的硅单晶。
区熔法生长硅单晶能够得到最佳质量的硅单晶,但成本较高。
若要得到最高效率的太阳能电池就要用此类硅片,制作高效率的聚光太阳能电池业常用此种硅片。
第二节直拉法晶体生长直拉法:直拉法又称乔赫拉尔基斯法(Caochralski)法,简称CZ法。
它是生长半导体单晶硅的主要方法。
该法是在直拉单晶氯内,向盛有熔硅坩锅中,引入籽晶作为非均匀晶核,然后控制热场,将籽晶旋转并缓慢向上提拉,单晶便在籽晶下按照籽晶的方向长大。
拉出的液体固化为单晶,调节加热功率就可以得到所需的单晶棒的直径。
其优点是晶体被拉出液面不与器壁接触,不受容器限制,因此晶体中应力小,同时又能防止器壁沾污或接触所可能引起的杂乱晶核而形成多晶。
直拉法是以定向的籽晶为生长晶核,因而可以得到有一定晶向生长的单晶。
直拉法制成的单晶完整性好,直径和长度都可以很大,生长速率也高。
所用坩埚必须由不污染熔体的材料制成。
因此,一些化学性活泼或熔点极高的材料,由于没有合适的坩埚,而不能用此法制备单晶体,而要改用区熔法晶体生长或其他方法。
直拉法单晶生长工艺流程如图所示。
在工艺流程中,最为关键的是“单晶生长”或称拉晶过程,它又分为:润晶、缩颈、放肩、等径生长、拉光等步骤。
图:直拉法工艺流程1、将多晶硅和掺杂剂置入单晶炉内的石英坩埚中。
掺杂剂的种类应视所需生长的硅单晶电阻率而定。
2、熔化当装料结束关闭单晶炉门后,抽真空使单晶炉内保持在一定的压力范围内,驱动石墨加热系统的电源,加热至大于硅的熔化温度(1420℃),使多晶硅和掺杂物熔化。
3、引晶当多晶硅熔融体温度稳定后,将籽晶慢慢下降进入硅熔融体中(籽晶在硅熔体中也会被熔化),然后具有一定转速的籽晶按一定速度向上提升,由于轴向及径向温度梯度产生的热应力和熔融体的表面张力作用,使籽晶与硅熔体的固液交接面之间的硅熔融体冷却成固态的硅单晶。
4、缩径当籽晶与硅熔融体接触时,由于温度梯度产生的热应力和熔体的表面张力作用,会使籽晶晶格产生大量位错,这些位错可利用缩径工艺使之消失。
即使用无位错单晶作籽晶浸入熔体后,由于热冲击和表面张力效应也会产生新的位错。
因此制作无位错单晶时,需在引晶后先生长一段“细颈”单晶(直径2~4毫米),并加快提拉速度。
由于细颈处应力小,不足以产生新位错,也不足以推动籽晶中原有的位错迅速移动。
这样,晶体生长速度超过了位错运动速度,与生长轴斜交的位错就被中止在晶体表面上,从而可以生长出无位错单晶。
无位错硅单晶的直径生长粗大后,尽管有较大的冷却应力也不易被破坏。
5、放肩在缩径工艺中,当细颈生长到足够长度时,通过逐渐降低晶体的提升速度及温度调整,使晶体直径逐渐变大而达到工艺要求直径的目标值,为了降低晶棒头部的原料损失,目前几乎都采用平放肩工艺,即使肩部夹角呈180°。
6、等径生长在放肩后当晶体直径达到工艺要求直径的目标值时,再通过逐渐提高晶体的提升速度及温度的调整,使晶体生长进入等直径生长阶段,并使晶体直径控制在大于或接近工艺要求的目标公差值。
在等径生长阶段,对拉晶的各项工艺参数的控制非常重要。
由于在晶体生长过程中,硅熔融体液面逐渐下降及加热功率逐渐增大等各种因素的影响,使得警惕的散热速率随着晶体的长度增长而递减。
因此固液交接界面处的温度梯度变小,从而使得晶体的最大提升速度随着警惕长度的增长而减小。
7、收尾晶体的收尾主要是防止位错的反延,一般讲,晶体位错反延的距离大于或等于晶体生长界面的直径,因此当晶体生长的长度达到预定要求时,应该逐渐缩小晶体的直径,直至最后缩小成为一个点而离开硅熔融体液面,这就是晶体生长的的收尾阶段。
直拉法晶体生长设备的炉体,一般由金属(如不锈钢)制成。
利用籽晶杆和坩埚杆分别夹持籽晶和支承坩埚,并能旋转和上下移动,坩埚一般用电阻或高频感应加热。
制备半导体和金属时,用石英、石墨和氮化硼等作为坩埚材料;而对于氧化物或碱金属、碱土金属的卤化物,则用铂、铱或石墨等作坩埚材料。
炉内气氛可以是惰性气体也可以是真空。
使用惰性气体时压力一般是一个大气压,也有用减压的(如5~50毫托)。
对于在高温下易于分解且其组成元素容易挥发的材料(如GaP,InP),一般使用“液封技术”,即将熔体表面覆盖一层不与熔体和坩埚反应而且比熔体轻的液体(如拉制GaAs单晶时用B2O3),再在高气压下拉晶,借以抑制分解和挥发。
为了控制和改变材料性质,拉晶时往往需要加入一定量的特定杂质,如在半导体硅中加入磷或硼,以得到所需的导电类型(N型或P型)和各种电阻率。
此外,熔体内还有来自原料本身的或来自坩埚的杂质沾污。
这些杂质在熔体中的分布比较均匀,但在结晶时就会出现分凝效应(见区熔法晶体生长)。
如果在拉晶时不往坩埚里补充原料,从杂质分凝来说,拉晶就相当于正常凝固。
不同分凝系数的杂质经正常分凝后杂质浓度的分布如图2。
由图可见,分凝系数在接近于1的杂质,其分布是比较均匀的。
K远小于1或远大于1的杂质,其分布很不均匀(即早凝固部分与后凝固部分所含杂质量相差很大)。
连续加料拉晶法可以克服这种不均匀性。
如果所需单晶体含某杂质的浓度为c,则在坩埚中首先熔化含杂质为c/K的多晶料。
在拉单晶的同时向坩埚内补充等量的、含杂浓度为c的原料。
这样,坩埚内杂质浓度和单晶内杂质量都不会变化,从而可以得到宏观轴向杂质分布均匀的单晶。
例如,使用有内外两层的坩埚。
内层、外层中熔体杂质浓度分别为c/K和c。
单晶自内坩埚拉出,其杂质浓度为c。
内外层之间有一细管连通,因而内坩埚的熔体减少可以由外坩埚补充。
补充的熔体杂质浓度是c,所以内坩埚熔体浓度保持不变。
双层坩埚法可得到宏观轴向杂质分布均匀的单晶。
为了控制硅单晶中氧的含量及其均匀性,提高硅单晶的质量和生产效率,在传统的直拉硅单晶生长工艺基础上又派生出磁场直拉硅单晶生长工艺和连续加料的直拉硅单晶生长工艺,称为磁拉法。
在普通直拉炉中总是存在着热对流现象,因而不稳定。
利用外加磁场可以抑制热对流而使热场稳定。
磁拉法已用于硅和其他半导体材料的单晶制备,可提高单晶的质量。
第二节区熔法晶体生长悬浮区熔法(float zone method, 简称FZ法)是在20世纪50年代提出并很快被应用到晶体制备技术中,即利用多晶锭分区熔化和结晶来生长单晶体的方法。
在悬浮区熔法中,使圆柱形硅棒用高频感应线圈在氩气气氛中加热,使棒的底部和在其下部靠近的同轴固定的单晶籽晶间形成熔滴,这两个棒朝相反方向旋转。
然后将在多晶棒与籽晶间只靠表面张力形成的熔区沿棒长逐步移动,将其转换成单晶。
区熔法可用于制备单晶和提纯材料,还可得到均匀的杂质分布。
这种技术可用于生产纯度很高的半导体、金属、合金、无机和有机化合物晶体(纯度可达10-6~10-9)。
在区溶法制备硅单晶中,往往是将区熔提纯与制备单晶结合在一起,能生长出质量较好的中高阻硅单晶。
区熔法制单晶与直拉法很相似,甚至直拉的单晶也很相象。
但是区熔法也有其特有的问题,如高频加热线圈的分布、形状、加热功率、高频频率,以及拉制单晶过程中需要特殊主要的一些问题,如硅棒预热、熔接。
区溶单晶炉主要包括:双层水冷炉室、长方形钢化玻璃观察窗、上轴(夹多晶棒)、下轴(安放籽晶)、导轨、机械传送装置、基座、高频发生器和高频加热线圈、系统控制柜真空系统及气体供给控制系统等组成。
区域熔化法是按照分凝原理进行材料提纯的。
杂质在熔体和熔体内已结晶的固体中的溶解度是不一样的。
在结晶温度下,若一杂质在某材料熔体中的浓度为c L,结晶出来的固体中的浓度为c s,则称K=c L/c s为该杂质在此材料中的分凝系数。
K的大小决定熔体中杂质被分凝到固体中去的效果。
K<1时,则开始结晶的头部样品纯度高,杂质被集中到尾部;K>1时,则开始结晶的头部样品集中了杂质而尾部杂质量少。
晶体的区熔生长可以在惰性气体如氩气中进行,也可以在真空中进行。
真空中区熔时,由于杂质的挥发而更有助于得到高纯度单晶。
图2为经过一次区熔后不同K值的杂质分布。
区熔可多次进行,也可以同时建立几个熔区提纯材料。
通常是在提纯的最后一次长成单晶。
有时,区熔法仅用于提纯材料,称区熔提纯。
区熔夷平是使熔区来回通过材料,从而得到杂质均匀分布的晶锭。
区熔法生长晶体有水平区熔和垂直浮带压熔两种形式。
水平区熔法将原料放入一长舟之中,其应采用不沾污熔体的材料制成,如石英、氧化镁、氧化铝、氧化铍、石墨等。
舟的头部放籽晶。
加热可以使用电阻炉,也可使用高频炉。
用此法制备单晶时,设备简单,与提纯过程同时进行又可得到纯度很高和杂质分布十分均匀的晶体。
但因与舟接触,难免有舟成分的沾污,且不易制得完整性高的大直径单晶。
垂直浮带区熔法用此法拉晶时,先从上、下两轴用夹具精确地垂直固定棒状多晶锭。
用电子轰击、高频感应或光学聚焦法将一段区域熔化,使液体靠表面张力支持而不坠落。
移动样品或加热器使熔区移动(图3)。
这种方法不用坩埚,能避免坩埚污染,因而可以制备很纯的单晶和熔点极高的材料(如熔点为3400℃的钨),也可采用此法进行区熔。