黄如-北京大学科学研究部
中国青年科技奖获奖者
第十三条 本规定第二条第一、二、三项所称第一审案 件已经发生法律效力的判决、裁定、调解书，于 2019 年 1 月 1 日前作出，对其依法申请再审、抗诉、再审的，适用《中 华人民共和国民事诉讼法》《中华人民共和国行政诉讼法》 有关规定。
第十四条 本规定施行前经批准可以受理专利、技术秘 密、计算机软件、垄断第一审民事和行政案件的基层人民 法院，不再受理上述案件。
责任编辑：郑英姿
北京大学信息科学技术学院 黄如 教授
86 【院士语录】 绿色篇 : 绿色经济的本质是以生态、经济协调发展为核心的可持续发展经济，是以维护人类生存环境，合理保护资源、能源以及 有益于人体健康为特征的经济发展方式，是一种平衡式经济。——中国科学院院士 何鸣元 （实习编辑谭天）
责任编辑Байду номын сангаас彭 苏
北京大学医学部 尚永丰 教 授
北京大学医学部尚永丰教授荣获第九届中国青年科技奖。尚永丰教授 主要从事基因转录调控的表观遗传机制及性激素相关妇科肿瘤分子机理的 研究。提出并验证从分子机理上诠释雌激素受体转录起始复合体在靶基因 启动子上循环反复结合的假说以及雌激素受体所介导的基因转录具有“双 相性”和“两维性”的特点，为基因转录调控的理论增添了新的内容。揭 示了雌激素受体拮抗剂三苯氧胺诱发子宫内膜癌的分子机理，克隆了多个 肿瘤相关基因，为肿瘤分子生物学的理论发展做出了贡献。揭示了组蛋白 去乙酰化和组蛋白去甲基化在染色质重塑中协调作用的机理，对认识表观 遗传调控的分子机制具有创新性的理论意义。在世界上首次建立了哺乳动 物细胞染色质免疫沉淀技术（ChIP），为研究 DNA 与蛋白质的相互作用作 出了重要贡献。曾获中华医学科技奖、教育部自然科学奖、国家自然科学奖、 中国高等学校十大科技进展等荣誉等。（北京大学科协供稿）
2011年北京市优秀博士学位论文公示名单
单位代码 10001 10001 10001 10001 10001 10001 10001 10002 10002 10003 10003 10003 10003 10003 10003 10003 10003 10003 10004 10004 单位名称 北京大学 北京大学 北京大学 北京大学 北京大学 北京大学 北京大学 中国人民大学 中国人民大学 清华大学 清华大学 清华大学 清华大学 清华大学 清华大学 清华大学 清华大学 清华大学 北京交通大学 北京交通大学 论文作者 论文题目 指导教师 陈苏镇 夏晓虹 朱小华 张传茂 黄如 王龙 涂传诒 杨瑞龙 喻国明 张希良 杭间 段文晖 李衍达 雒建斌 骆广生 钟毅 李亚栋 朱静 简水生 马志明 陈侃理 儒学、数术与政治——中国古代灾异政治文化研究 黄湘金 清末民初小说内外的女学生 周斌 环流形上的极值度量——存在性和K稳定性
戴洪兴 张爱林 薛留根 李晓光 房建成 郭林 杨树兴 吴爱祥 陈国良 陈建峰 段雪 郭军 陆雅海 杨汉春 刘国琴 尹伟伦 袭荣文 李坤成 王拥军 褚欣平 董奇 晁福林 刘大禾
熊芬芬 不确定性条件下的层次系统多学科设计优化研究 尹升华 浸出过程多相介质耦合作用机理及调控技术研究 吴渊 赵宏 多尺度下金属玻璃变形行为研究 超重力过程强化；纳微药物技术
加央平措 关帝信仰在藏传佛教文化圈演化成格萨尔崇拜的文化现象解析 田立晓 条约在中国适用问题研究--国际私法视角 吴洪淇 证据法的运行环境与内部结构 胡瑾秋 系统耦合故障诊断与预警方法研究 刘琰 川西北雪宝顶W-Sn-Be矿床矿物学特征和形成机制
黄静宁 深层次致矿异常信息提取及其找矿应用研究 陈庆 典型光电功能分子表面组装结构多样性及转化规律的SPM研究
光电子与微电子器件及集成重点专项
“光电子与微电子器件及集成”重点专项
2019年度项目申报指南编制专家名单
序号姓名工作单位职称职务
1祝宁华中国科学院半导体研究所研究员/副所长2黄如北京大学院士/院长3周军华中科技大学教授/主任4崔一平东南大学教授/主任5苏翼凯上海交通大学教授/主任6张宝顺中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所研究员/主任7林文雄中国科学院福建物质结构研究所研究员/副所长8江风益南昌大学教授/副校长9罗毅清华大学教授
10闫连山西南交通大学教授/主任11魏少军清华大学教授
12徐炜遐国防科技大学研究员/总工
—1—。
北大导师
三．师资队伍介绍按照建设世界一流大学的总体规划和要求，软件与微电子学院坚持面向全球招聘教师，坚持学生是主体、教师是主导、质量是准绳的师资队伍建设原则。
并从多方面入手，保证师资队伍的质量： 1 、学院聘请具有国际声望的著名专家和教授担任国际顾问和专业顾问，为学院的学科建设把关； 2 、选聘国内外著名专家、教授担任系主任（已经聘任的 9 位系主任，7 位是外籍），依靠系主任整合国内外优秀资源，促进学院课程体系建设与国际接轨，注重培养原创性人才，快速建设一流教学环境； 3 、面向全球选聘教师，包括专职教师、兼职教师，实现“项目驱动”教学方法，加速精品课程和教材建设，加强论文指导力度，深入开展与企业密切结合的应用研究； 4 、聘请部分北大其他院系教师，承担基础课程和部分前沿技术课程的教学，保证基础教学的质量。
（一）学位委员会：北京大学学位评定委员会工程硕士专业学位分会由杨芙清院士任主席，陈钟教授任副主席；委员有：白志强、苏渭珍、王立福、何小峰、张天义、吴中海、王千祥、刘晓彦、柳翔。
（二）学术委员会：北京大学软件与微电子学院学术委员会主任由王阳元院士担任，陈钟教授任副主任；委员有：杨芙清、王新安、白志强、朱青生、李晓明、何小锋、邵维忠、周锡令、俞士汶、梅宏、雷明、郝一龙、张兴。
（三）国际顾问：许浚、 Hector de J. Ruiz 、 Richard Wirt 、 Richard Larson 、 Angel Jordon 、 CarlK. Chang 、 Nicholas M. Donofrio 。
（四）专业顾问：沈向洋、王玮、陈永正、陈玲生、穆汗·库莫、邹贵华、朱敏、郑妙勤、李实恭、郭维德。
（五）客座教授：王文汉、郭百宁、周可风、 Ken Sakamura 、李长明、唐骏、芮祥鳞、胡问鸣、 Burt 、黄友义、文四立。
（六）研究生导师：软件技术系：田江森、王立福、周立新、屈婉玲、郁莲、蒋严冰、邵维忠、孙家骕、张世琨、王捍贫、王千祥、谢冰、麻志毅、焦文品、赵海燕、王腾蛟、孙艳春、赵俊峰、白志强、潘懋、秦其明、王亚沙、张路、王雷、张晨东、徐晋晖等服务科学与工程系：童缙、李伟平、杭诚方、李冰、张宁、陈立军、高军等嵌入式系统系：吴中海、柳翔、林金龙、陈向群、周可风、杨雅辉、何家胜、段晓辉、孙利民、胡卫明、马洪兵、杜平、郭文海等网络与通信技术系：高培椿、张德昭、王平、杨正、杨雅辉、何家胜、张英、徐恪、严伟、向勇、焦秉立、金野、赵玉萍、刘志敏、段晓辉、王道宪、杨光临、刘新元、陈徐宗、郭弘、张志刚等集成电路设计与工程系：张兴、于敦山、曹喜信、黄雅东、刘晓彦、康晋锋、金玉丰、黄如、张大成、冯建华、陈中建、王漪、孙雷、张盛东、宁先捷、宋惠远、王瀚晟、白书俊、吴亚东、邓磊等管理与技术系：李宗南、窦文章、姜家齐、苏渭珍、白志强、王立福、黎怡兰、周立新、薛岩、刘建军、马振华、陈钢等金融信息工程系：陈钟、陈向群、何小峰、周伟民、窦尔翔、梁循、李伟平、尹恒、舒萍等信息安全系：陈钟、卿斯汉、沈晴霓、文伟平、唐礼勇、胡建斌、翟起滨、许榕生、袁文恭、徐国爱、吉增瑞、赵学志、李德全等数字艺术系：马克宣、 Robert 、 Yina 、 Jerry 、 Kenneth 、王强、刘书、许晓栋、王伟、朱青生、汪国平、吴中海等语言信息工程系：俞士汶、王逢鑫、王厚峰、孙斌、常宝宝、李素建、穗志方、刘扬、何卫、钱多秀等（七）部分师资介绍：杨芙清院士中国科学院院士、教授、博导。
科技成果评价工作创新途径探析
众文化、 构建创新型社会等方面的促进作用ꎮ
技成果评价工作体制ꎬ 并明确各参与主体的权责ꎬ 确
评价体系方面ꎬ 在过去一段时间内ꎬ 我国科技成
定有哪些社会主体可参与评价ꎬ 哪些评价机构符合认
果评价工作单一化、 定量化、 功利化问题显著ꎮ 如ꎬ
释或定义不详细、 不具体ꎬ 如科技成果技术创新程度
这一评价指标的含义ꎬ 是 “ 自主创新技术在总体技术
中的比重” ꎬ 这一指标虽然能够体现科技成果的创新
程度ꎬ 但却没有对比重与比例作出详细说明ꎮ 在经济
效应的评价中ꎬ 大多也只使用了 “ 明显” “ 显著” 等
词语ꎬ 没有严格的定量指标和对应等级ꎬ 且评价指标
用创新形式的科技成果评价ꎬ 发挥出科技成果对社会
术方面ꎬ 应明确提出该科技成果的重大技术发明ꎬ 评
经济发展的促进作用ꎬ 以此强化科技成果的高质量供
定其在解决技术问题、 困境与瓶颈破解方面的成果ꎬ
给以及成果绩效转化价值 [３] ꎮ
２ ２ 全面精准性原则
以及核心关键技术突破ꎬ 重大技术创新等方面取得的
表论文的课题ꎬ 而不愿意去研究一些具有更高实际应
内容等工作做出进一步细化ꎬ 为创新科技成果评价工
用价值的内容ꎮ 究其根本ꎬ 出现这类问题的原因是对
作提供行为依据ꎮ 相关部门应积极出台科技成果评价
科研成果评价总体认知不准确ꎬ 评价的分类与体系不
从业人员的资质认证标准ꎬ 如设计专业考试获取从业
健全ꎮ 实际上ꎬ 对科研成果的评价是科研活动的 “ 指
证标准且专业性、 独立性足够ꎬ 随后ꎬ 出台科技成果
一部分科技的研究成果只是单纯用来验证某些原理ꎬ
评价条例与相关规范制度ꎬ 为科技成果评价工作的有
高校2013年度国家科技进步奖
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工程应用
长大跨桥梁结构状态评
李爱群，郭 彤，张宇峰，李兆霞， 东南大学(1)， 长安大学 王春生，王 浩，何旭辉，江祥林， (3)，中南大学(4) 梁新政，王 莹
螺旋锥齿轮数控加工关
王树新，柴宝连，郭晓东，霍津海， 天津大学(1)， 重庆理工 张连洪，何柏岩，杜鸿起，陈永亮， 大学(3) 王 威，刘德全
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键技术与成套装备
大吨位系列履带式起重
刘金江，徐格宁，李明奇，秦绪起， 太原科技大学(2)
机关键技术与应用 （注： 彭继文，廖虎灵，谢 军，韩凤磷，
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2012 年转到今年授奖的 项目） 刘士杰，陈 康
2
南方葡萄根域限制与避 雨栽培关键技术研究与 示范
王世平，杨国顺，李世诚，石雪晖， 上海交通大学(1)， 湖南 吴 江，陶建敏，蒋爱丽，白先进， 农业大学(2)
单传伦，许文平
3
杨梅枇杷果实贮藏物流 核心技术研发及其集成 应用
陈昆松，徐昌杰，孙 钧，孙崇德， 浙江大学(1) 李 张 莉，张泽煌，江国良，郑金土， 波，王康强
6
北京鸭新品种培育与养 殖技术研究应用
侯水生，胡胜强，刘小林，黄
苇， 西北农林科技大学(3)
郝金平，谢 明，李国臣，樊红平， 闫 磊，张慧林
7
建鲤健康养殖的系统营 养技术及其在淡水鱼上 的应用
周小秋，邝声耀，戈贤平，王尚文， 四川农业大学(1) 冯 琳，刘 扬，唐 凌，高启平，
姜维丹，唐 旭
8
巴美肉羊新品种培育及 关键技术研究与示范
刘池阳，任战利，李子颖，王震亮， 西北大学(1)， 西安石油 王 毅，吴柏林，徐高中，赵红格， 大学(5)
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成藏理论技术创新与多 种能源矿产协同勘探
FinFET器件结构发展综述
FinFET器件结构发展综述熊倩1，马奎⑺，杨发顺1王(1.贵州大学大数据与信息工程学院，贵州贵阳550025；2.半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心，贵州贵阳550025)摘要：随着集成电路技术日新月异的发展，器件尺寸不断缩小，当场效应晶体管沟道缩短至22nm以后，传统平面场效应晶体管不再满足发展的需求。
FinFET是一种新型的三维器件，由于良好的性能目前被广泛研究应用。
主要介绍了FinFET器件的基础结构以及基础工艺流程，以及在基础结构上所发展起来的一些改良后的FinFET器件结构。
最后结合实际对未来FinFET器件结构的发展寄予展望。
关键词：场效应晶体管；FinFET；器件结构；工艺中图分类号：TN386文献标识码：A DOI:10.16157/j.issn.0258-7998.200512中文引用格式：熊倩，马奎，杨发顺.FinFET器件结构发展综述[J].电子技术应用，2021,47(1)：21-27.英文弓I用格式：Xiong Qian,Ma Kui,Yang Fashun.Overview of F inFET device structure development[J].Application of Electronic Technique,2021,47(1)：21-27.Overview of FinFET device structure developmentXiong Qian1,Ma Kui1，2,Yang Fashun1，2(1.College of Big Data and Information Engineering,Guizhou University,Guiyang550025,Chnia；2.Semiconductor Power Device Reliability Engineering Research Center of Ministry of Education,Guiyang550025,China)Abstract:With the rapid development of integrated circuit technology,the size of devices continues to shrink.When the channel of the field effect transistor is shortened to22nm,the traditional planar field effect transistor no longer meets the development needs.FinFET is a new type of three-dimensional device,which is currently widely researched and applied due to its good performance.It mainly introduces the basic structure and basic process flow of FinFET devices,as well as some improved FinFET device structures developed on the basic structure.Finally,combined with the reality,the future development of FinFET device structure is expected.Key words:field effect transistor；FinFET；device structure；process0引言晶体管最重要的性能是控制电流的开断，当晶体管的沟道缩短到一定程度时，晶体管的沟道电流很难关紧。
享受科学之美
1月16日，第十一届“中国青年女科学家奖”颁奖典礼在北京举行，10位获奖者依次为：国家纳米科学中心研究员陈春英、中国科学院上海生命科学院研究员于翔、北京大学信息科学技术学院教授黄如、中山大学肿瘤防治中心研究员贾卫华、华南农业大学亚热带农业生物资源保护与利用国家重点实验室教授廖红、北京大学工学院研究员段慧玲、华北电力大学资源与环境研究院教授李永平、中国科学院云南天文台研究员陈雪飞、中国航天员科研训练中心研究员李英贤、西北大学地质系教授刘建妮。
“中国青年女科学家奖”由中华全国妇女联合会、中国科学技术协会、中国联合国教科文组织全国委员会及欧莱雅中国于2004年联合设立，每年评选10位45岁以下的优秀青年女科学家，迄今为止共有96位女性获奖。
在“中国青年女科学家论坛”上，10位女科学家与100多名女中学生围绕“爱上科学的理由”及“发现科学之美”两个话题进行了对话和互动。
女科学家们讲述了自己如何走上科研道路，如何体会科学带来的无限乐趣，用亲身经历向正处于求学道路上的女生们展现了科学的魅力。
刘建妮的幼年在山间的农村度过，别的女孩避之不及的小虫子，她却兴趣盎然，甚至时时把玩，终于，在一次观察蜘蛛网时被一只蜘蛛咬伤，虽然她幸运地没有中毒，也没有因此变成“蜘蛛人”，但蜘蛛网却引发了她更大的兴趣――蜘蛛为什么会结网，蜘蛛网有什么用？于是，在高考时她毫不犹豫地选报了生物学专业，将自己对生命的浓厚兴趣延续为始终探寻的追求。
陈雪飞小时候也生活在山清水秀的乡村，不过最吸引她的不是脚下的虫子，而是头顶浩渺的星空。
一路走来，当年神秘的星空已成为她的研究对象，在云南天文台与星空为伴的生活，正是她理想中的生活，对她而言，通过自己的努力去探索宇宙中的奇妙景象，是一种浪漫的追寻。
于翔小时候是个特别爱干净的小姑娘，她不喜欢虫子，不喜欢海藻，不喜欢手被弄脏的感觉，但在读高中时她喜欢上了蛋白质、碳水化合物、基因这些看不见摸不着的生命物质，现在的她，很享受在实验室里身穿白大褂、干干净净的感觉。
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项目名称：新型低功耗多栅MOS器件的实验与理论研究
完成单位：北京大学
完成人：黄如、王润声、张兴、王阳元
项目简介：
随着集成电路特征尺寸进入纳米尺度，传统半导体器件面临诸多科学和技术难题的挑战，导致严重的功耗问题，必须从器件结构及相关工艺和机理等方面寻求突破，以促进集成电路技术代向亚十纳米节点推进。
本项目面向深纳米尺度器件存在的挑战以及电路和系统功耗降低的迫切需求，围绕具有强栅控能力的多栅新结构器件中的关键基础问题展开研究，包括结构设计及工艺实现、输运特性和随机涨落性等在内的器件物理以及如何兼顾兼容性和设计要求进一步降低功耗的方法等，取得了多栅器件理论及实验研究的系列成果，揭示了薄体强限域结构中特殊物理现象及根源，并延拓其低功耗应用能力。
科学发现点和成果主要包括：
1. 提出了多栅 BOI FinFET和硅纳米线器件的结构设计和工艺实现的新方法，揭示了关键工艺在深纳米尺度下的物理性质，成功研制了基于多栅新器件的实验电路，验证了其在低功耗集成电路应用中的显著潜力。
2. 揭示了多栅硅纳米线器件载流子输运中特殊的本征物理特性和非本征效应的影响。
发现亚40纳米沟长的硅纳米线器件就可在室温达到准弹道输运，发现表象迁移率与沟长的特殊依赖关系并建立了物理模型，发现并研究了硅纳米线多栅器件中特有的寄生参量和较为严重的自加热等非本征效应对器件载流子输运的影响。
3. 揭示了多栅硅纳米线器件中特殊的随机涨落性质。
率先实验研究了硅纳米线多栅器件的低频闪烁噪声，发现其具有新特性和新机制；发现了该器件中随机电报噪声的新机制，并建立了全量子物理模型；研究了关键涨落源对硅纳米线多栅器件的影响，发现了其工艺偏差的物理起源和特殊涨落规律，实验提取并分析了主要涨落源对其器件和电路参数波动的影响。
4. 揭示了可以兼顾兼容性和设计要求的混合栅控技术的器件物理及低功耗延拓潜力。
发现混合栅控器件不同于传统半导体器件的新工作机制，提出了新的器件分析方法，并从实验上进行了验证；进一步将混合栅控技术应用于超低功耗的实际电路，设计并研制出可在0.4V超低电压下工作的射频模块电路。