基于 MEMS 技术的气体传感器
mems气体传感器分类
mems气体传感器分类Mems气体传感器分类一、引言Mems（Microelectromechanical Systems）气体传感器是一种基于微机电系统技术制造的气体传感器。
它的特点是体积小、功耗低、响应快，广泛应用于空气质量监测、工业安全、环境监测等领域。
本文将对Mems气体传感器进行分类，以便更好地了解其应用领域和特点。
二、基于工作原理分类1. 热敏电阻型（Thermal Resistor）热敏电阻型Mems气体传感器是通过测量气体的热导率变化来检测气体浓度的。
当目标气体与热敏元件接触时，气体的热导率会改变，从而引起热敏电阻的电阻值发生变化。
通过测量电阻值的变化，可以间接得到气体的浓度。
2. 电容型（Capacitive）电容型Mems气体传感器是利用电容的变化来检测气体浓度的。
当目标气体进入传感器的感测腔体时，会改变感测腔体的介电常数，进而改变电容值。
通过测量电容值的变化，可以得到气体的浓度信息。
3. 电化学型（Electrochemical）电化学型Mems气体传感器是利用电化学反应来检测气体浓度的。
传感器内部有一对电极，当目标气体进入传感器时，会引发电化学反应，产生电流信号。
通过测量电流信号的变化，可以了解气体的浓度。
4. 光学型（Optical）光学型Mems气体传感器是利用光学原理来检测气体浓度的。
传感器内部有特定的光学材料或光学结构，当目标气体与光学材料或结构发生相互作用时，会改变光的传播特性。
通过测量光的变化，可以推断出气体的浓度。
5. 声波型（Acoustic Wave）声波型Mems气体传感器是利用声波的传播特性来检测气体浓度的。
传感器内部有特定的声波谐振器件，当目标气体进入传感器时，会改变声波的传播速度和衰减情况。
通过测量声波的变化，可以获得气体的浓度信息。
三、基于应用领域分类1. 空气质量监测Mems气体传感器在空气质量监测中起到了至关重要的作用。
通过监测各种有害气体的浓度，可以及时发现并防止空气污染，保障人们的健康。
基于MEMS技术的气体微流控器的设计与实现
基于MEMS技术的气体微流控器的设计与实现随着技术的不断发展，MEMS技术也逐渐成为了各个领域的研究热点。
在众多的MEMS应用中，气体微流控器也备受关注。
本文将介绍基于MEMS技术的气体微流控器的设计与实现。
一、气体微流控器的概念气体微流控器是微电子机械系统（MEMS）的一种应用，主要用于精确控制气体流动。
该技术可以有效地控制气体的输送和分配，从而应用于气体传感器、气体分析仪器以及化学反应等方面。
由于其独特的优势，气体微流控器已经成为了可扩展化、可集成化、低成本、高性能的气体芯片的核心组成部分。
二、气体微流控器的设计与实现1.设计方案气体微流控器的设计方案主要包括微加工流程、气流模型及数值分析等方面。
首先进行的是微加工流程的设计，确定基板材料和采用的加工工艺等因素。
然后，可以根据气体流体学的原理进行气流模型的设计，并对气体流动进行数值分析。
通过模拟结果，可以对气体微流控器的结构进行优化，提高气体控制效果。
2.制备工艺气体微流控器的制备工艺主要包括微纳加工技术、微流体学技术、高精度控制技术等。
其中，微纳加工技术在气体微流控器的制备中占有非常重要的位置。
采用微纳加工技术可以对气体微流控器的微结构进行精细控制，保证其性能优异、稳定可靠。
3.工作原理气体微流控器是一种基于微纳米加工技术的微型装置，主要由进气口、出气口、控制电路等组成。
在加压的作用下，气体在进气口进入微通道，经过微细结构的调节，最终在出气口得到控制，实现气体流量的准确控制。
4.实现方法基于MEMS技术的气体微流控器的实现方法主要有两种：薄膜振动式控制和微喷嘴式控制。
其中，薄膜振动式控制是一种基于薄膜振动驱动气体流动的方法，可以实现微小气体流量的准确控制。
而微喷嘴式控制则是一种通过微喷嘴调节气体流动的方法，具有结构简单、使用方便等特点。
三、气体微流控器的应用1.气体传感器：气体微流控器可以用于开发高精度的气体传感器。
通过精确控制气体流量和流向，可以提高传感器的灵敏度和响应速度。
基于MEMS技术的气体检测传感器设计与制备
基于MEMS技术的气体检测传感器设计与制备随着科技的不断进步，MEMS技术（微电子机械系统）在各个领域的应用越来越广泛。
其中，气体检测传感器是MEMS技术的一个重要应用领域。
本文将从气体检测传感器的原理、设计和制备等方面进行探讨。
一、气体检测传感器原理气体检测传感器是通过测量气体与传感器之间的相互作用来检测气体的存在和浓度。
其原理可以分为两种常见的类型：化学传感器和物理传感器。
化学传感器是基于气体与特定化学物质之间的化学反应来进行检测的。
传感器表面涂覆有特定的化学物质，当目标气体与化学物质发生反应时，会产生电信号。
这种传感器常用于检测有毒气体，如一氧化碳、硫化氢等。
物理传感器则是通过测量气体与传感器之间的物理性质变化来进行检测的。
例如，热导传感器是通过测量气体传导热量的变化来检测气体浓度的。
当气体浓度增加时，传感器表面的温度变化也会相应增加。
二、气体检测传感器设计在设计气体检测传感器时，需要考虑传感器的灵敏度、选择性、响应时间和功耗等因素。
首先，传感器的灵敏度是指传感器对目标气体浓度变化的敏感程度。
为了提高灵敏度，可以采用微纳米加工技术制备传感器，使传感器的表面积增大，从而增加与气体接触的面积。
其次，传感器的选择性是指传感器对不同气体的识别能力。
为了提高选择性，可以在传感器表面引入特定的化学物质或使用多个传感器进行组合，以实现对多种气体的检测。
另外，传感器的响应时间是指传感器从感知到气体变化到输出电信号的时间。
为了缩短响应时间，可以采用微纳米加工技术制备传感器，减小传感器的尺寸，从而缩短气体与传感器之间的扩散距离。
最后，传感器的功耗是指传感器在工作过程中所消耗的能量。
为了降低功耗，可以采用低功耗的电路设计，或者利用能量回收技术，将传感器所消耗的能量回收利用。
三、气体检测传感器制备气体检测传感器的制备主要包括传感器芯片的制备和封装。
传感器芯片的制备是通过MEMS技术进行的。
首先，需要选择合适的材料，如硅、玻璃等。
mems传感器 气体检测 原理
mems传感器气体检测原理
MEMS传感器是一种基于微电子机械系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）技术制造的传感器。
它通常由微机电系
统制造技术制造而成，利用微观尺寸的机械结构感知和测量物理量或化学量。
气体检测是MEMS传感器的一种常见应用。
MEMS气体传感器通常利用气体分子与传感器表面作用产生
的物理或化学变化来测量气体的存在或浓度。
其原理可以分为以下几个步骤：
1. 气体吸附：传感器表面涂覆着一层特殊的材料，具有与目标气体分子相互吸引的特性。
当气体分子接触到传感器表面时，它们会吸附在表面上。
2. 物理或化学变化：吸附的气体分子会改变传感器的物理或化学性质。
例如，它们可能会改变传感器的电导率、弹性模量等。
3. 信号检测：传感器会通过改变的物理或化学性质来产生电信号。
这些信号可以由传感器内部的电路进行放大和处理。
4. 数据分析：通过对传感器输出的电信号进行分析，可以确定气体的存在或浓度。
通常需要与事先建立好的气体浓度-传感
器输出曲线进行比较，从而获得准确的测量结果。
MEMS气体传感器具有体积小、响应速度快、功耗低和成本
较低等优点，因此在环境监测、工业安全和医疗诊断等领域得到广泛应用。
基于MEMS技术的气体传感器
性 ， 合 ＭＥ 结 ＭＳ结 构 制 作 的 传 感 器 ， 表 种 类 有 声 光 光 谱 代
量 ；） 体碰撞产生热效应 ；） ３气 ４ 气体 受热膨 胀产生 热声 波 ，
频 率 与 调 制 光 频 率 相 同 ； ） 灵 敏 麦 克 风 对 热 声 波 进 行 采 ５高
样 。光声效 应气体传感器其灵敏度 与尺寸成反 比， 因此 ， 目 前多采用半 导体激光 器做 微 型调制 光源 ， Ｍ ＭＥ Ｓ技术 制作 光声池 和微型高灵敏 度麦 克风 。Ｌ ｄｒ ａ ｎＮ等 人针 对这 ｅｅｍ ｎ 种检测方法 采用 压 电微 悬臂 梁 的原 理制 作 了高灵 敏麦 克
法和光谱法 ； ） ２ 采用 气 体敏 感膜 的化 学 吸附 机理 ， 表种 代
类 有 电导 变 化 型 、 臂 梁 型 和 声 表 面 波 型 ； ） 对 易 燃 易 悬 ３针
风 ， 士 Ｂ ｓｏ Ｐ等人研究 的 ＭＥ 瑞 ｅｓｎＪ ＭＳ气 体传感 器对 甲
烷可 以实现 ０ ５× ０ 的检测 ， ． １ 对氯化 氢气体可 以检 测 ３×
ａ ｄＭｅｈ ｎ ｌｇ ， ｓ ｇ ｕ ｉ ｒｉ ， ｅ ｉｇ１ ０ ８ ， ｈｎ ） ｎ ｃ ａ ｏｏ ｙ Ｔ ｉ ｈ ａＵｎｖ ｓ ｙ Ｂ ｉｎ ０ ０ ４ Ｃ ｉａ ｎ ｅ ｔ ｊ
MEMS 气体传感器简介ppt课件
图4 FA IMS气体传感器原理
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Here is a question of
time.
.
1.1气体声光效应法 气体的光声效应(photoacoustic spectroscopy)早在1880
年就由贝尔发现,但直到20世纪80年代,随着激光器和高灵敏麦克 风技术的成熟, 才在气体传感器领域得到研究。
光声气体传感器由调制光源（modulated light source）、 光声池（photoacoustic cell ）、高灵敏麦克风（High sensitive microphone ）系统3个主要部分组成(如图1) 。
.
4、高场非对称波形离子迁移谱(Field Asymmetric Ion Mobility Spectrometry )技术气体传感器
FA IMS技术是基于离子迁移谱技术( IMS)发展而来, 原理如图4。载 气与样品混合电离后经过离子门送到离子飘移区,在高压(大于11 000V / cm)交变电场的作用下,不同离子的迁移速性有关,因此,高电场可以区分低电场迁移相近的 离子。对于交变电场再增加一个直流偏置电压,抵消待检测气体离子的高 电场迁移效果,即可使得特定离子通过飘移区达到检测电极。在样品检测 过程中对直流偏置电压进行扫描即可分析样品气体中的成分。
2.2电导型气体传感器
2.3谐振式微悬臂梁气体传感器
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2.1声表面波型气体传感器
比较电路
产生声表面波
图3 SAW气体传感器原理图
.
接收声表面波
3、Gas sensor for inflammable and explosive gas catalytic combustion
催化燃烧式气体传感器的原理源自宏观的气体传感 器,主要用于甲烷, CO等易燃易爆气体检测领域。通过 MEMS技术将催化剂制做为薄膜,对其加热。当空气中有易 燃易爆气体存在时,气体分子在催化剂表面发生催化氧化 反应（catalytic oxidation reaction）,并放出热量。经 过热敏元件将温度变化转换为电信号,与参比薄膜进行比 对得到气体体积分数变化,热敏元件常用热敏电阻器,常用 催化剂有氧化Pd, Pt等。MEMS工艺实现催化剂薄膜化、 微型化,并对加热电极、热敏元件进行集成,从而有效减小 传感器的体积。
mems气体传感器
MEMS气体传感器简介MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）气体传感器是一种集成了微电子技术和微机械技术的气体测量设备。
它基于微纳技术制造，采用微小的传感器件和集成电路芯片，能够实现对气体的快速、准确的检测和测量。
MEMS气体传感器广泛应用于环境监测、工业安全、医疗设备以及智能家居等领域。
工作原理MEMS气体传感器主要基于气体与特定材料之间的化学反应原理。
它的工作原理可以简单描述为以下几个步骤：1.气体进入传感器：气体通过传感器的入口进入，与传感器内部的敏感层发生反应。
2.化学反应：不同的气体与敏感层发生特定的化学反应，产生可测量的电信号。
3.信号测量：传感器将产生的电信号转化为电压或电流信号。
4.数据处理：测量电信号通过数字转换器进行转换，并通过内部算法进行处理，得到测量结果。
5.输出结果：测量结果通常以数字形式在显示屏上显示，或通过通信接口输出给外部设备。
特点与优势MEMS气体传感器具有以下特点和优势：1.微小尺寸：MEMS技术的应用使得传感器的尺寸大大减小，可以轻松集成到各种设备中，适用于空间有限的场景。
2.高灵敏度：传感器采用微纳技术制造，敏感层与气体接触面积大，因此具有高灵敏度和快速响应的特点。
3.低功耗：传感器使用集成电路芯片，功耗较低，适用于需要长期稳定运行的应用。
4.高精度：传感器具有高精度的测量能力，可以在不同气体浓度下进行准确的测量。
5.多样性应用：MEMS气体传感器可以应用于各种气体的检测，例如二氧化碳、一氧化碳、甲醛等。
应用领域MEMS气体传感器在以下领域得到广泛应用：1. 环境监测MEMS气体传感器可以检测大气中的各种有害气体，监测环境空气的质量，例如检测二氧化碳浓度、一氧化碳浓度、VOC（挥发性有机物）等。
它们在室内空气质量监测、工业排放监测等方面发挥着重要作用。
2. 工业安全MEMS气体传感器可用于工业场所的安全监测。
它们可以检测爆炸性气体、有毒气体等，并及时报警，保障工人的安全。
新型气体传感器的研发
新型气体传感器的研发随着工业和科技的发展，气体传感器的研发逐渐成为一个重要的领域。
传统的气体传感器，无论是红外线传感器还是电化学传感器，都存在着一些问题，如响应速度慢、稳定性差、精度不高等等。
为了解决这些问题，科学家们不断探索新型的气体传感器技术，并取得了一些显著的进展。
一、基于纳米材料的气体传感器近年来，基于纳米材料的气体传感器技术受到了广泛的关注。
这种传感器利用纳米材料的独特性质，如比表面积大、生物相容性好、传感性能高等等，来实现对气体的快速、准确检测。
其中，纳米氧化锌、氧化钨、氧化锡等纳米材料被广泛应用于气体传感器领域。
这些材料具有高度的光电响应性能，能够对气体的电、热、光等作出反应。
此外，这些材料不仅响应速度快，而且具有很高的灵敏度和选择性。
二、基于光纤技术的气体传感器基于光纤技术的气体传感器具有响应速度快、精度高、干扰小等优点。
这种传感器通过将光纤传感单元与光谱分析技术结合起来，可以实现对各种气体的快速、精确检测。
该技术主要是通过光纤中的反射、透射、吸收等光学现象，实现气体成分的检测。
具体地，当气体进入光纤时，会导致光的传输特性发生变化，从而形成信号，通过光谱分析，可以确定气体的种类和浓度。
三、基于MEMS技术的气体传感器MEMS（微电子机械系统）技术是一种制造微型传感器和微型机械设备的技术。
基于此技术的气体传感器，可实现对气体的高灵敏度、高选择性、高稳定性的检测。
该技术通常采用热膨胀、热板微结构、压电材料等方法来实现气体的检测。
具体地，当气体进入传感器时，会导致传感器中的结构发生微小变化，从而产生电信号，通过信号的处理和分析，可以确定气体的种类和浓度。
四、基于电学性质的气体传感器基于电学性质的气体传感器技术，主要是通过欧姆定律、热电效应、电容变化等原理，实现对气体的检测。
这种传感器通常具有响应速度快、精度高、灵敏度高、稳定性好等特点。
该技术中，热电传感器、电化学传感器、电容式传感器等是比较常见的检测器。
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基于 MEMS 技术的气体传感器
摘要：气体检测广泛应用于人们的生产生活，特别是安全生产中。
如矿井作业、毒气的生产运输、石油化工产业等，气体传感器直接关系到人们的生命财产安全。
微机电系统(MEMS)技术是基于微电子技术的微器件加工制造方法,最先发展在加
速度计,压力传感器领域。
随着微细加工技术的进步和薄膜技术的发展，MEMS传
感器近年来在化学气体检测领域引起了广泛的关注。
关键词：MEMS技术；气体；传感器；
一、MEMS传感器发展现状
作为目前传感器领域研究的重点，MEMS传感器在世界范围内得到了迅速的
发展，各个国家的相关科研院所、高校和企业都十分重视此方面的研究。
欧美发
达国家由于较早进入这一领域的研究，使其在该领域具有很大的技术优势。
虽然
我国某些院校和科研机构也对MEMS传感器技术进行了研究且获得了一些研究成果，然而与欧美发达国家相比，国内的研究在可靠性和灵敏度方面还有一定的差距。
MEMS传感器目前已获得了大量实际应用，其应用领域主要为航空航天、消
费类电子、汽车及医疗等。
这些领域使用的MEMS传感器主要集中在压力、加速度、陀螺仪等为数不多的几类产品。
1.MEMS压力传感器。
该类传感器是最早开始研制的MEMS产品，也是MEMS技术中最成熟、最早产业化的产品。
从信号检测方式区分该类传感器主要
有压阻式和电容式2类。
MEMS压力传感器在汽车工业方面的应用主要用来测量
燃油、机油等的液压以及气囊、进气管道、轮胎等的气压；在航空航天应用领域，其主要用来测量飞船、飞行器、卫星、火箭等的腔体压力及表面压力，并提供相
关的控制补偿参数。
在生物医学应用领域，MEMS压力传感器主要用来检测被测
对象的腔体压力及内外压差，并为诊断提供可靠的数据。
2.MEMS加速度传感器，该类传感器也是较早进入商业应用的MEMS传感器
之一。
其主要类型有压阻式、谐振式、电容式和力平衡式。
MEMS加速度传感器
可用于多种领域和场合。
在消费电子产品领域，如笔记本电脑通常使用该类型传
感器检测硬盘的振动，防止硬盘过振引起存储信息失效；在汽车领域其主要用于
汽车的导航系统、安全气囊系统、ABS系统等；在医疗器械方面，可以利用该类
型传感器对身体及各方面的生命体征进行监测；同时在航空航天领域也有加速度
传感器的多方面的应用。
3.MEMS陀螺仪具有较复杂的几何结构和较高的精准度。
MEMS陀螺仪基本都是谐振式陀螺仪，目前常用的MEMS陀螺仪主要有双平衡环结构、悬臂梁结构、
音叉结构、振动环结构等。
MEMS陀螺仪主要应用于汽车的导航和航空航天器的
控制。
低精度的MEMS陀螺仪主要用于对精度要求较低的方面，如机器人方向方
位的控制系统以及汽车上的行车导航系统等；中精度MEMS陀螺仪主要用来检测
和控制飞行器的姿态和航向；高精度MEMS陀螺仪主要用于航天器的空间定位等。
二、基于气体自身光声学与光学特性的MEMS气体传感器
1.气体声光效应法。
气体的光声效应(photoacoustic spectroscopy)早在1880年
就由贝尔发现,但直到20世纪80年代,随着激光器和高灵敏麦克风技术的成熟,才
在气体传感器领域得到研究。
光声气体传感器由调制光源、光声池、高灵敏麦克
风系统3个主要部分组成。
原理过程共分为5个步骤:1)特定调制频率的光源照射
气体,使气体分子处于激发态;2)受激的气体分子以碰撞的方式释放吸收的能量;3)气体碰撞产生热效应;4)气体受热膨胀产生热声波,频率与调制光频率相同;5)高灵敏麦
克风对热声波进行采样。
光声效应气体传感器其灵敏度与尺寸成反比,因此,目前
多采用半导体激光器做微型调制光源,M EM S技术制作光声池和微型高灵敏度麦
克风。
针对这种检测方法采用压电微悬臂梁的原理制作了高灵敏麦克风,研究的M EM S气体传感器对甲烷可以实现0.5 x10-6的检测,对氯化氢气体可以检测3x10-6。
2.气体光谱法。
气体的光谱效应有吸收光谱法、荧光光谱法和拉曼光谱法。
MEMS气体光谱仪的核心元件是可调节光学滤镜,该光谱仪利用金属与硅的热膨胀
率不同实现对Bragg镜角度的变化,从而实现光谱分析。
三、基于敏感材料吸附原理的气体传感器
金属氧化物(如,ZnO,SnO,TiO 2),还有掺杂有机高分子聚合物对特定的一类气体
有溶解吸附效应,称其为气体敏感材料。
气体敏感材料吸附了气体分子以后,其材
料特性会发生物理化学变化,如,电阻率改变、热效应出现、密度改变等。
对于这
一原理的应用,也是MEMS气体传感器的一大研究方向。
1.声表面波型气体传感器。
声表面波(SAW)型气体传感器是1981年首度提出
将SAW用于气体敏感研究,并设计了敏感层吸附气体的SAW气体传感器模型。
随
着MEMS技术发展,SAW气体传感器已经得到小型化,灵敏度、选择性等性能参数
都得到提高。
其原理是SAW的相速幅值在传播过程中因敏感材料的性状(压电、
介电、导电)的变化而发生改变。
其中,叉指式换能器结构与敏感材料涂覆图形化
都是采用MEMS工艺技术实现。
将接收器的信号与发射器信号比较即可得到敏感
材料的变化信息,从而分析气体种类与体积分数变化。
对多层结构的SAW气体传
感器进行了设计,并分析了LiNbO3层的敏感特性。
采用ZnO作为超声材料用Li TaO3作为敏感层,对H2,NH3,NO 2分别实现了(0.030-1.0)x10-2,(30-1 000)x10-
6,(1~10)x10-6的检测。
2.电导型气体传感器。
电导型MEMS气体是利用电极间半导体材料,有机高分
子材料或者碳纳米管吸附气体后其导电特性发生了变化,通过检测电流或者热效应
分析环境气体状态。
研究的环境气体检测仪,采用SnO2CeO2PdOx敏感材料对
CO,NO2,CH4等多种有害气体敏感,并实现报警通风。
采用GaAs作为热敏材料,制
作了用于气体传感器的热敏元件。
3.谐振式微悬臂梁气体传感器。
谐振式微悬臂梁气体传感器的基本结构是M EMS微悬臂梁。
微悬臂梁工作于谐振状态下,悬臂梁频率可用下式表示式中fi为第i阶谐振频率;L为悬臂梁长;A为悬臂梁截面积;E为悬臂梁材料杨
氏模量;I为惯性矩;为密度;i为第i阶模态常数。
对于尺寸固定、材料性能稳定的
微悬臂梁而言,其谐振频率主要与密度,即质量相关。
微悬臂梁气体传感器是在微
悬臂梁表面通过IC光刻工艺涂覆可吸附气体分子的敏感层,常用材料为
SnO2,TiO2,ZnO,掺杂聚酰亚胺、聚异丁烯等。
敏感层通过化学物理原理可以实现
对某一类或某一种气体的吸附,吸附量同环境气体体积分数变化成线性关系。
微悬
臂梁吸附气体分子,即改变了质量,谐振频率也随之发生改变。
通过检测谐振频率
即可得知环境气体变化。
谐振式微悬臂梁气体传感器的谐振驱动形式有3种:压阻
式驱动,静电电容式驱动和压电薄膜驱动。
采用溶胶凝胶法制作了PZT压电薄膜微
谐振悬臂梁在特定敏感层下最小可以检测3.5x10-9 g氟利昂气体,灵敏度达-0.002
4x104。
设计的压阻式微悬臂梁,实现了真空下达到38 000,低真空下也有13000的
高Q值设计。
四、易燃易爆气体的催化燃烧式气体传感器
催化燃烧式气体传感器的原理源自宏观的气体传感器,主要用于甲烷,CO等易
燃易爆气体检测领域。
通过MEMS技术将催化剂制做为薄膜,对其加热。
当空气中
有易燃易爆气体存在时,气体分子在催化剂表面发生催化氧化反应,并放出热量。
经过热敏元件将温度变化转换为电信号,与参比薄膜进行比对得到气体体积分数变化,热敏元件常用热敏电阻器,常用催化剂有氧化Pd,Pt等。
MEMS工艺实现催化剂
薄膜化、微型化,并对加热电极、热敏元件进行集成,从而有效减小传感器的体积。
总之，利用气体的光声学特性的气体传感器的优势在于对气体选择性好,气体
单一性好。
而检测光线频率的拓展、光声池的微型化、麦克风的小型化与各器件
一体化设计是目前主要的研究方向。
光学特性气体传感器则对可调整光学滤镜的
要求很高,面临宏观器件与微结构相结合的难点。
参考文献：
[1]张海洋.集成化MEMS工艺设计技术的研究.2018.
[2]刘耀俊.浅谈基于MEMS技术的气体传感器.2017.
项目信息：2019-TD-ZD007 《矿山物联网关键技术与标准规范研究》天地科
技重点研发项目。