阳极多孔氧化铝的斜孔形成过程及机理
多孔阳极氧化铝形成机理新解释
【 Ａ ｂ ｓ ｔ ｒ ａ ｃ ｔ ］ Ａ ｌ ｕ ｍ ｉ ｎ ｕ ｍ ｃ ａ ｎ ｇ ｅ ｎ ｅ ｒ ａ ｔ ｅ ｐ ｏ ｒ ｏ ｕ ｓ ｍ ｍ ｄ ｉ ｅ ａ ｌ ｕ ｍ ｉ ｎ ａ（ Ｐ Ａ Ａ ） ｂ ｙ ａ ｎ ｏ ｄ ｉ ｚ ｅ ｄ ｗ ｈ ｉ ｃ ｈ ｆ ｏ ｒ ｍ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ ｍ ｅ ｃ ｈ ａ ｎ ｉ ｓ ｍ ｈ ａ ｓ ｎ ｏ ｔ ｂ ｅ ｅ ｎ ｇ ｉ ｖ ｅ ｎ ａ ｓ ａ ｔ ｉ ｓ ｆ ａ ｃ ｔ ｏ ｒ ｙ
【 关键词 】 多孔 阳极氧化铝 ； 形成机理； 酸性 场致溶解 ； 氧 气气泡模具效应
Ｎｅ ｗ Ｅｘ ｐｌ ａ ｎ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ ｏ ｆ Ｆｏ ｒ ｍａ ｔ ｉ ｏ ｎ Ｍｅ ｃ ｈａ ｎ ｉ ｓ ｍ ｉ ｎ Ｐｏ ｒ ｏ ｕ ｓ Ａｎｏ ｄ ｉ ｃ Ａｌ ｕ ｍｉ ｎａ
ＬＩ ＡＮＧ Ｊ ｕ－ ｓ ｏ ｎｇ ＬＩ Ｕ Ｙａ ＹＥ Ｎｅ ｎ ｇ Ｘຫໍສະໝຸດ Ｙｏ ｎ ｇ － ｙ ｏ ｎｇ
（ Ｓ ｃ ｈ ｏ ｏ ｌ ｏ ｆ Ｃ ｈ ｅ ｍｉ ｃ ａ ｌ Ｅ ｎ ｇ ｉ ｎ ｅ ｅ ｒ ｉ ｎ ｇ ， Ｎａ ｎ ｊ ｉ ｎ ｇ Ｕ ｎ ｉ ｖ ｅ ｒ ｓ ｉ ｔ ｙ ｏ ｆ Ｓ ｃ ｉ ｅ ｎ ｃ ｅ ａ ｎ ｄ Ｔｅ ｃ ｈ ｎ ｏ ｌ ｏ ｇ ｙ ， Ｎａ ｎ ｊ ｉ ｎ ｇ Ｊ ｉ ａ ｎ ｇ ｓ ｕ ２ １ ０ ０ ９ ４ ， Ｃｈ ｉ ｎ ａ ）
ａ ｓ ｓ ｉ ｓ ｔ ｅ ｄ ｄｉ ｓ ｓ ｏ ｌ ｕ ｔ ｉ ｏ ｎ乱 ｔ ｈ ｅｌ ａ ｔ ｅ ｒ ｓ ｔ ａ ｇ ｅ ．
【 Ｋ ｅ ｙ ｗ ｏ ｒ ｄ ｓ ］ Ｐ ｏ ｒ ｏ ｕ ｓ ａ ｎ ｏ ｄ ｉ ｃ ａ ｌ ｕ ｍ ｉ ｎ ａ ； Ｆ ｏ ｒ ｍ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ ｍ ｅ ｃ ｈ ａ ｎ ｉ ｓ ｍ ； Ａ ｃ ｉ ｄ ｉ ｃ ｉ ｆ ｅ ｌ ｄ － ａ ｓ ｓ ｉ ｓ ｔ ｅ ｄ ｄ ｉ ｓ ｓ ｏ ｌ ｕ ｔ ｉ ｏ ｎ ； Ｏ ｘ ｙ ｇ ｅ ｎ ｂ ｕ ｂ ｂ ｌ ｅ ｍ ｏ ｌ ｄ ｅ ｆ ｆ ｅ ｃ ｔ
阳极氧化铝模板成孔机理研究及其在合金纳米材料制备中的应用的开题报告
阳极氧化铝模板成孔机理研究及其在合金纳米材料
制备中的应用的开题报告
题目：阳极氧化铝模板成孔机理研究及其在合金纳米材料制备中的
应用
一、研究背景及意义
随着纳米材料在各个领域的应用越来越广泛，合金纳米材料因其良
好的性能被越来越多地应用在电子、光电、催化等领域。
在合金纳米材
料制备中，采用模板法制备的纳米结构在制备工艺和性能上具有很大的
优势，其中最常用的模板是阳极氧化铝模板。
因此，对阳极氧化铝模板的成孔机理进行深入研究，探究不同条件
下模板所形成的孔道形貌、孔道尺寸分布等孔道特征及其机理，对于合
金纳米材料的制备具有重要意义。
二、研究内容
1. 研究不同制备条件对阳极氧化铝模板孔道形貌和尺寸分布的影响；
2. 探究不同电解液、电解温度和电流密度对模板成孔机制的影响；
3. 制备不同合金纳米材料，分析不同操作条件对合金纳米材料的结
构和性能的影响。
三、研究方法和技术路线
1. 制备阳极氧化铝模板；
2. 通过SEM、TEM等手段表征样品形貌结构；
3. 对样品进行物理性质测试（如光学性能、磁学性能等）；
4. 通过电化学实验探究制备条件对阳极氧化铝模板形貌和尺寸分布
的影响；
5. 探究不同电解液、电解温度和电流密度对模板成孔机制的影响；
6. 采用球磨法、真空热处理等方法制备不同合金纳米材料，并通过表征方法分析其结构和性能。
四、预期成果
1. 对阳极氧化铝模板成孔机理有了更深入的了解；
2. 对制备条件和电化学实验条件的优化提出具有参考价值的建议；
3. 制备出不同合金纳米材料，对其结构和性能进行分析，并发表论文1~2篇。
多孔阳极氧化铝形成机理的研究综述
色方法处理后 ， 获得诱人的外观装饰效果 口］ 能 。 。此 外 ， 阳 铝 极 氧 化 膜 还 具 有 良 好 的 功 能 特 性 ： 由 于 其 优 良 的 介 电 性 如
断 被 发 现 。在 材 料 科 学 和 纳 米 材 料 大 发 展 的今 天 ， 的 阳 极 铝
１ 结 构特 征 与模 型
对 于 多 孔 阳 极 氧 化 铝 膜 结 构 模 型 的 研究 早 在 １３ ９ ２年 就 开始 了， 始 终 不 能 形 成 理 论 体 系 。直 到 １５ ， ｌｒ 但 ９ ３ Ｋｅ ｅ、 ｌ Ｈｕ ｔｒＲ ｂｎｏ ｎｅ 、 ｏ ｉｓｎ等 人 口 胡最 早 提 出 了 ＫＨＲ 模 型 ， 称 “ 也 六
基 体 上 去 除 ， 察 金 属 ／ 化 膜 界 面 的 结 构 ， 现 在 余 下 的铝 观 氧 发 基 体 表 面 上 可 以看 到 半 球 形 的 凹坑 ， 因此 他 们 提 出 了 如 图 １
所 示 的 ＫＨＲ 模 型 。多 孔 膜 层 具 有 蜂 窝 状 结 构 ， 是 由 于 电 它 解 液 对 每 个 元 胞 的 溶 解 作 用 而 在 孔 的 底 部 形 成 的 。他 们 认
能 ， 以作 为 贮 存 电 荷 的 电 介 质 材 料 制 作 电 解 电 容 器 ［ ； 可 ２ “
一
极 氧 化 膜 形 成 机 理 的研 究 涉 及 金 属 学 、 理 化 学 、 学 、 物 化 电介
质 物 理 学 、 体 物 理 学 、 电子 学 等 多 个 学 科 ， 多 学 科 交 叉 固 微 属
铝合金阳极氧化原理
铝合金阳极氧化原理铝合金阳极氧化是一种常见的表面处理方法，通过在铝合金表面形成氧化膜来改善铝合金材料的耐腐蚀性、耐磨性和装饰性能。
下面将从铝合金阳极氧化原理的基本步骤和影响因素两个方面进行详细的回答。
铝合金阳极氧化的基本步骤如下：1.准备工作：首先需要将铝合金材料表面进行除油、除尘等预处理操作，确保表面干净。
2.电解液：经预处理后的铝合金材料放入合适的电解槽中，电解槽中注入适当的电解液，通常使用的电解液是硫酸、草酸等酸性溶液。
3.阳极氧化：铝合金材料作为阳极，引入电流，经过一定时间的电解作用，铝合金表面会开始发生氧化反应，产生氧化膜。
氧化膜厚度和形成时间可以通过调整电流密度和电解时间来控制。
4.封闭处理：氧化后的铝合金表面通常存在微孔，需要对其进行封闭处理以提高耐腐蚀性。
常用的封闭方法有热封闭和冷封闭两种。
热封闭是将氧化件在高温下烘烤，使得氧化膜孔隙充满，增加其致密性；冷封闭是在氧化膜上形成一层微孔较少的稀释性封闭层。
铝合金阳极氧化的原理涉及以下几个方面的影响因素：1.电解液成分：阳极氧化的成效与电解液成分有关。
常用的硫酸和草酸对铝合金具有较好的氧化效果。
电解液成分的调整可以实现不同颜色、不同厚度的氧化膜。
2.电流密度和电解时间：电流密度和电解时间会影响氧化膜的厚度和形成速度。
较高的电流密度和较长的电解时间可以得到较厚的氧化膜，但过大的电流密度可能导致氧化膜质量不佳，甚至烧损工件。
3.温度：电解液温度对氧化膜的形成也有一定影响。
一般情况下，较高的温度可以加快氧化反应，但过高的温度可能导致氧化膜分解。
4.硫酸浓度：硫酸浓度对氧化膜的形成速度和质量也有一定影响。
通常情况下，较高的硫酸浓度会加快氧化反应速度。
总结起来，铝合金阳极氧化是一种通过电解作用，在铝合金表面形成氧化膜的方法。
其原理涉及到电解液成分、电流密度、电解时间、温度和硫酸浓度等多个因素。
在实际应用中，可以通过调整这些因素来获得不同厚度、不同颜色和不同性能的氧化膜，从而满足不同的工程需求。
多孔阳极氧化铝形成机理新解释
多孔阳极氧化铝形成机理新解释作者：梁钜松刘亚叶能徐勇勇来源：《科技视界》2014年第16期【摘要】铝经过阳极氧化可生成多孔阳极氧化铝（PAA），其形成机制一直没有满意的解释。
本文详细分析了其形成过程，结合已有理论给出了更合理的解释，我们认为，在PAA 形成过程中，不同阶段控制因素不同，孔的最先形成是氧气气泡模具效应的结果，而后在酸性场致溶解的作用下，孔洞不断生长完善。
【关键词】多孔阳极氧化铝；形成机理；酸性场致溶解；氧气气泡模具效应New Explanation of Formation Mechanism in Porous Anodic AluminaLIANG Ju-song LIU Ya YE Neng XU Yong-yong（School of Chemical Engineering， Nanjing University of Science and Technology， Nanjing Jiangsu 210094， China）【Abstract】Aluminum can generate porous anodic alumina（PAA）by anodized which formation mechanism has not been given a satisfactory explanation. This paper detailedly analyzes the processes and gives a more reasonable explanation. In the processes of PAA， the different stages with the different factors controlling， the nanotube originated from the result of oxygen bubble mould effect but the developing depends on acidic field-assisted dissolution at the later stage.【Key words】Porous anodic alumina； Formation mechanism； Acidic field-assisted dissolution； Oxygen bubble mold effect0 引言自1995年Masuda等[1]在Science上首次报道利用二次阳极氧化的方法成功制备了高度有序的多孔阳极氧化铝（Porous Anodic Alumina， PAA）模板以来，近20年来，PAA模板组装纳米材料的研究取得了很大的进展。
多孔材料-阳极氧化铝
多孔材料-阳极氧化铝多孔阳极氧化铝多孔阳极氧化铝 porous anodic alumina ,简称PAA, 是将高纯铝置于酸性电解液中在低温下经阳极氧化而制得的具有自组织的高度有序纳米孔阵列结构.它由阻挡层和多孔层构成，紧靠金属铝表面是一层薄而致密的阻挡层，多孔层的膜胞为六边紧密堆积排列，每个膜胞中心都有一个纳米级的微孔，孔的大小比较均匀，且与铝基体表面垂直，彼此平行排列。
由于多孔阳极氧化铝膜制备工艺简单孔的形貌和大小还可以随电解条件不同在较大的范围内进行调控，此外其独特的结构特性和较好的热稳定性，使其成为一种理想的合成纳米线，纳米管等多种纳米结构材料的模板。
如把间规苯乙烯利用毛细管作用直接注入不同孔径的多孔阳极氧化铝膜中制备了不同直径大小的间规苯乙烯纳米棒。
1．阳极氧化铝的制备目前多采用草酸，硫酸，磷酸为电解液，用硫酸制得的多孔氧化铝膜孔洞之间的距离最小约60nm,用草酸制得的孔洞间距一般是95nm 左右，而用磷酸制得的孔洞间距最大约为 420nm，而且孔洞间距随电压升高会有所增大，传统方法中，阳极氧化均在零度以上进行很多研究已表明在零度以上来改变温度对多孔氧化铝的形貌没有太大影响。
1.1实验方法与步骤（1）试样预处理将铝片在温度为 500 摄氏度氮气保护下退火 5h，以消除冷轧时铝片中产生的应力和晶粒破损等缺陷。
增大晶粒尺寸，把退火后的铝片依次用去离子水乙醇丙酮超声清洗各2min 以除掉铝片表面的有机污染物。
将经过上述处理的铝片在常温下用高氯酸乙醇混合溶液，进行电化学抛光电压为60V 时间为 10 min （2）两步阳极氧化分别在20。
和-10。
下进行阳极氧化第一步阳极氧化是将预处理后的铝片于温度20。
0.3M 的草酸水溶液中进行阳极氧化，铂电极作阴极，电压为40V，氧化时间为6~8h，将第一步阳极氧化后的样品用去离子水冲洗干净。
置于1.8%的铬酸H2CrO4 和6%的磷酸H3PO4 混合溶液中在60摄氏度下浸泡10h，以除去第一步氧化所形成的氧化膜将经过上述处理后的样品用去离子水洗净，进行第二次阳极氧化，氧化时间为 8h 。
利用阳极氧化法制备多孔氧化铝与表征特性分析
利用阳极氧化法制备多孔氧化铝与表征特性分析黑龙江大学 150080【摘要】随着纳米级多孔氧化铝膜的特殊性能在越来越多的领域，如微电子及电容器件和纳米材料的制备等方面，展现了更多的价值，人们也越来越关注纳米多孔氧化铝膜的工艺制备及应用。
本论文采用二次阳极氧化法制备纳米多孔氧化铝薄膜(Anodized Aluminum Oxide)，并研究实验条件对氧化铝膜形貌的影响，同时对多孔阳极氧化铝膜的性能及应用进行了论述。
通过实验条件的改进优化，以获得尽可能大面积的、孔洞呈理想规则排布的纳米多孔氧化铝薄膜。
在氧化装置中，以草酸溶液作为电解液，将高纯铝片进行二次阳极氧化，在其表面制备出30-40纳米孔径的、规则排布的纳米孔阵列薄膜。
采用扫描电子显微镜（SEM），观测薄膜微观形貌及表面特征，并进行分析。
设置三组不同的工艺参数（电解电压、电解质溶液浓度、氧化时间等），以考察更改这些工艺参数对薄膜微观形貌是否有影响以及产生什么样的影响。
【关键词】多孔氧化铝；阳极氧化法；SEM表征一多孔阳极氧化铝的研究背景及意义自20世纪20年代开始，多孔氧化铝的制备迅速发展。
伴随着人们逐渐深入了解铝的阳极氧化机理，人们越发认识到多孔阳极氧化铝的重要及其广泛的应用前景，进而越发开始进行研究。
伴随20世纪50年代开始各种优秀技术的发展，技术水平、探测科技越发进步，也为多孔氧化铝的研究提供了更多的观测方式。
依靠更先进的科技，人们对多孔氧化铝膜的形成机理、结构模型、制备工艺及实际应用等很多方面都做出了大量研究[1]。
Al2O3是一种有诸多适宜生产生活中应用的无机氧化物，不仅仅耐高温、抗腐蚀、绝缘性能好而且没有毒性比较清洁，在铝表面上氧化形成的Al2O3膜可以用在分离膜结构、电发光器件、传感器、催化剂及热交换器等多个领域[2]，除此之外也是性能极佳的防护装饰性膜层，因而其在实际生活中的应用已经遍及生物科学、环境保护、冶金化工、能源等各个方面[3]，尤其是胶囊形状的氧化铝薄膜在生物医用材料领域更是有着广泛的需求，吸引了材料学界人士的极大重视[4]。
多孔阳极氧化铝研究综述_陈新华
.
2
2. 1
制备技术
制备方法
目前普遍采用纯度在 99. 99% 以上的高纯铝箔作为反应材料, 铝箔厚度一般在( 0. 1~ 1) mm 之间 . 一 般来说 , PAA 膜的制备主要包括以下工艺步骤: 高温退火 ( 可选 ) 机械抛光 ( 可选 ) 超声或化学去脂 去除自然氧化层 化学抛光 阳极氧化 化学腐蚀去除剩余铝基
30
许昌学院学报
2005 年 3 月
速度达到动态平衡, 膜厚不再变化 . 适当的氧化时间可以得到较好的膜, 但过分延长时间会因部分孔壁溶 解而使孔的有序性变差. 氧化时间的长短基本不影响孔径. 2. 2. 5 温度的影响 温度升高, 表面孔径先增后减[ 33] . 热处理对 PAA 膜的有序性并无明显的影响 [ 30] . 另外 , 电解液的 pH 值对 PAA 膜的形成也有影响 . 有文献报道直流阳极氧化多孔膜的孔形较交流氧 化膜规则 , 在相同电解条件下形成氧化膜的孔径也更大 . 交流阳极氧化多孔膜孔壁结构的非晶态程度较直 流氧化膜低[ 34] . 因此 , 交流电阳极氧化所得的多孔膜不宜用来制备长径比较大的纳米材料 . 2. 3 两步阳极氧化法 在实验中人们发现这种一次阳极氧化工艺无法得到大范围整齐排列的纳米孔. 为此, M asuda H. 和 F ukuda K. 提出了两步阳极氧化的方法 , 得到了大范围蜂巢状规则排列的纳米孔氧化铝阵列 [ 35] . 两步阳 极氧化法的一般过程如图 2 [ 36, 37] : ( a) 、 ( b) 为对铝片进行的一次处理 . 由于铝片表面有大量缺陷 , 孔分布不均匀 , 且没有规律 , 而越往 深处 , 孔分布越有序 ; 用合适的混酸处理后, 可以将第一次氧化不规则的表面腐蚀掉 , 得到均匀分布的凹凸 纹理 . ( c) 、 ( d) 为对铝片进行的二次处理 . 二次氧化的条件与一次氧化的条件保持一致 , 随着氧化时间 的增加 , 孔深增大, 孔的分布更加均匀有序, 形成有序度很高的 PAA 膜. ( e) 为在有序孔的一面覆盖一层 有机保护膜 , 以使在后期去除底部的 Al 时免受饱和 H gCl2 溶液的腐蚀 . ( f ) 、 ( g) 为去除底部的 Al 后, 膜 放进 5 % 的稀磷酸中 , 以去除下部的阻挡层, 使得有序孔两端贯通, 然后将有机保护膜溶解在丙酮中, 之后 剩下高度规则有序的 PAA 纳米阵列膜. 两步阳极氧化法制备 PAA 的一般步骤如下: 纯度为 99. 999% 的铝箔在 500 C 下真空煅烧 5h, 在浓的 硫酸和磷酸的混合水溶液中电化学抛光 . 抛光后的样品在室温下 , 氧化电压 ( 30~ 50) V, 以 0. 3mol L- 1 的 草酸水溶液为电解液进行阳极氧化 . 然后, 表面阳极氧化层在磷酸和铬酸的混合溶液中溶去. 溶去阳极氧 化层后的铝板在与第一步相同的条件下进行第二次阳极氧化[ 38~
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
Ｓ ｅｓ ｕｓ ｙ通 过理论 计算 给 出 了孔 曲率 、 挡层 厚度 ｈ ｒｈ ｌｋ 阻 与 电压 、 液 的关 系 ， 论 值 与 实 验 值 吻 合 得 相 当成 溶 理
功ｌ ， 是 ， １ 但 他们 并 没 有 解 释 为 什 么 氧 化 铝 的孔 排 列
可 以高 度 有 序 。１ ９ ９ ８年 ， Ｊ ｓｅ ｓ ｙ等 对 ＡＡ（ Ｏ． ｅ ｓｎ ｋ ）的
助
材
料
２１ 年第８ ４） ０ ０ 期（ 卷 １
阳极 多孔 氧 化 铝 的斜 孑 形 成 过 程 及 机 理 Ｌ
于 治 国 刘 荣 海 周 建 军 赵 红 华 雪梅 刘 斌 谢 自力 ， ， ， ， ， ，
修 向前 宋雪 云。 陈 鹏 。 韩 平 张 荣 郑有 蚪 ， ， ， ， ，
表 １ 本 研 究的样 品 的制备 条件
Ｔａ ｌ ｌ ｔ ｏ ａ ｐ ｅ ｅ ｏ ｔ ｄ ｉ ｈ ｓ ｗｏ ｋ ｂ ｅ １ Ａ ｉ ｆｓ ｍ ｌ ｓ ｒ ｐ ｒ ｅ ｎ ｔ ｉ ｒ ｓ
样 品 编 号 溶 液 类 型 溶 液 浓 度 电 压 扩 孔 时 间
形成机 理进 行 了补 充 ， 提到 ， 他 孔之 间 的排斥 力 是 由阻
品。用 去离子 水清洗 并 在 Ｎ。下 吹 干 。样 品 １ ２在 磷 、 酸溶 液 （ （ 量 分 数 ） ４ ℃ ） ５ 质 ，０ 中扩 孔 ２ ｍｉ， 去 离 ０ ｎ用 子水 清洗并 在 Ｎ 下 吹 干 。样 品 的表 面 通 过 扫描 电子 显微 镜 （ Ｅ ， Ｓ Ｍ 型号 ：Ｓ ７ ０ Ｆ 观察 。 Ｊ Ｍ一０ ０ ）
（． １ 南京 大学 物 理 系 ， 苏省 光 电功能材 料重 点实验 室 ， 江 江苏 南京 ２ ０ ９ ； １ ０ ３ ２ 南 京 电子器 件研 究所 ， ． 江苏 南 京 ２ ０ １ ； ． １ ０ ６ ３ 南京 大学 扬 州光 电研 究院 ， 江苏 扬 州 ２ ５ ０ ） ２ ０ ９
摘 要 ： 研 究 了在 草 酸 、 酸 不 同 电压 条 件 下 ， 磷 阳极 氧化铝 （ ＡＡＯ） 孔 结 构 特 点。在 较 高 电压 下 （ ０ 的 ６ ～
氧化 进行 到硅 衬 底 时 ， 铝膜 由原 来 的金 属 白色变 成 透
这个 模 型以 电场 辅 助溶解 和 电场辅 助 氧化 为基 础 说 明
孔 的 形 成 原 理ｉ 。 １９ 。 ９ ２年 ， Ｐ Ｐ ｒ ｈ ｔ 和 Ｖ． ． Ｖ． ． ａｋ ｕｉ ｋ Ｉ
明 ， 时 电 流 值 迅 速 降 低 ， 时 ， 掉 电压 源 ， 出 样 同 此 关 取
（ ｔＩ） ｍｏ／ ０３ ．
０３ ． １
（ Ｖ） ６ Ｏ
８ Ｏ １Ｏ ２
（ ｉ） ａ ｒ ｎ ２ ０
２ ０ ０
ｌ
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ２ ３
草 酸
草 酸 磷 酸
已说 明应力 可影 响孔 排 列 的 有 序性 ， 并 没 有 给 出具 但
体模型 解释 孔排 列从 无序 到有 序 的详细 物理 过程 。
１ Ｏ ， 发 生 倾 斜 ， 随 电 压 的 增 大 而 加 剧 。 通 过 建 ２ Ｖ） 孔 并
２ 实验 步 骤
本研 究首 先在 ｎ型硅衬 底上 电子 束蒸 发 １层厚 度 为 ３ ０ ｍ 的铝 膜 。将 用 于 阳极 氧 化 实 验 的溶 液 置 于 ０ｎ
立与 阻挡层 ／ 金属 界 面 的应 力 有 关 的 流模 型 对 这 一 现 象进行 解释 ， 并发 现 孔 倾 斜 是 Ａ ＡＯ 从 无 序 到 有 序 的
这样 使得 阳极 氧 化 时 出孔 很 不 均 匀 ， 容 易看 到孔 倾 更
斜 的现象 。 实 验共分 ３组 （ 品 １ ２ ３ ４ ， １ 出 了这 ３个 样 、 、、）表 列 样 品的具 体实 验 条件 ， 括 ： 液类 型 及 浓 度 、 化 电 包 溶 氧
压 、 化 时间 ， 孔 时 间 。在 氧化 开 始 时 记 录 电流 值 ， 氧 扩
一
反 应器 皿 中 ， 并将 反应器 皿放 在 冰水混 合 物 中 ， 溶液 使 温度 保 持在 ２ 。阴极 为 石 墨 电 极 ， ℃ 阳极 直 接 与 铝 膜 相连， 竖直浸 入溶 液 中 ， 防 止 溶 液倒 吸 ， 电极 与液 为 将
面保 持 １ ２ｍ 的距离 。样 品在 空气 中 放置 ２ ｄ 阳极 ～ ｃ ０， 氧化 之 前并 没有 放 入磷 酸溶 液 中洗 掉表 面 的氧 化 层 ，
本 项研究 通 过在 不 同电压下 对 蒸发 在硅 片 上 的铝
挡层／ 属 界 面 的 应 力 引 起 的 ， 把 应 力 作 为 有 序 金 并
ＡＡｏ 形 成 的 根 源 ｌ 。 ２ ０ １ ０ ６年 ， ． ． ｒｉ Ｖｅｇ ｒ Ｓ Ｊ Ｇａｃ — ｒ ａａ ａ
等发现 在 阻挡层 ／ 金属 界 面存在 氧化 物 流动 的 现象 ， 流
动 沿 着 界 面 向两 侧 的 孔 壁 进 行 口 。尽 管 Ｏ Ｊ ｓｅ ｓ ｙ ． ｅ ｓｎｋ
个 自组 织 的 现 象 。
关 键 词 ： 阳 极 多 孔 氧 化 铝 ； 孔 ； 力 ； 模 型 斜 应 流
中图分 类号 ： Ｏ６ ６ ４
文献 标识码 ： Ａ
文章编 号 ：０ １９ ３ （Ｏ ０ Ｏ —３ ２０ １ ０ —７ １ ２ １ ）８ １０ —４
１ 引 言
人们 对不 同条 件 下 阳极 多 孔 氧化 铝 （ ＡＡＯ） 的研 究 已经超 过 了 ５ Ｏ年 ］ 由于相对 规 则 的孔 分 布 以及 高 ， 长径 比等优点 ， 已经 作 为 模 板 在 纳米 材 料 的 制 备 方 面 得 到 越 来 越 多 的 关 注 一 。 １ ７ 。 ９ ０年 ， ｕｌ ａ 和 Ｏ Ｓ ｌｖ ｎ ｉ Ｗｏ ｄ８ 出一 个 模 型 来 解 释 自组 织 孔 阵 列 的形 成 。 ｏ Ｌ提