电子级磷酸的纯化技术及其发展现状

刘飞1，2，李天祥1，2

［1．瓮福（集团）有限责任公司，贵州福泉550501；2．贵州大学化工学院］

摘要：随着半导体芯片制造业和液晶显示器（LCD）制造业向中国转移，中国将逐步成为全球较大的LCD产业基地，中国电子级磷酸的需求量将日益增长，发展电子级磷酸已成为当前精细磷化工行业发展的必然趋势。电子级磷酸广泛应用于大规模集成电路（IC）、薄膜液晶显示器（TFT－LCD）、半导体等微电子工业等方面，用作清洗和蚀刻剂。详细介绍了电子级磷酸的应用领域、质量标准、纯化技术和国内外研究发展现状。

关键词：磷酸；电子级磷酸；纯化技术；发展现状

中图分类号：TQ126．35文献标识码：A文章编号：1006－4990（2011）03－0011－03

Purification technology of electronic－grade phosphoric acid and present development status thereof

Liu Fei1，2，Li Tianxiang1，2

［1．Technical Center，Wengfu（Group）Co．，Ltd．，Fuquan550501，China；2．School of Chemical Engineering，Guizhou University］

Abstract：As the semiconductor chip and LCD manufacturing industries have transfered to China，China will gradually become a world's large LCD industrial base．Demand for electronic－grade phosphoric acid in China is growing，and the ex-pansion of electronic－grade phosphoric acid production has become the inevitable trend of the development of fine phosphate chemical industry at present．Electronic－grade phosphoric acid is widely used in large scale integrated circuit（IC），thin film liquid crystal display（TFT－LCD），semiconductor，and other microelectronics industries．Usually it is used as cleaning and etching agents．Application fields，quality standard，purification technology，and present R＆D status of electronic－grade phos-phoric acid at home and abroad were introduced in detail．

Key words：phosphoric acid；electronic－grade phosphoric acid；purification technology；present development status

电子级磷酸属高纯磷酸，它是超净高纯试剂中的一种，广泛应用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器、半导体等微电子工业方面，用作清洗和蚀刻剂，其纯度和洁净度对电子元器件的产品率、电性能、可靠性等都有重要影响。近年来，随着中国微电子工业的高速发展，中国大陆逐步成为全球较大的液晶显示器产业基地，用于集成电路、薄膜液晶显示器和半导体等清洗和蚀刻剂的电子化学品的需求越来越大，预计2010年中国市场电子专用超净高纯化学试剂需求量将达15万 16万t。随着半导体芯片制造业和液晶显示器制造业向中国转移，特别是中国台湾、日本和韩国等企业将在中国大陆投巨资建设液晶显示器生产厂和晶圆代工厂，以满足电视、电脑和移动通讯领域对液晶显示器的需求，中国电子级磷酸的用量将会有大幅增长，这为中国电子级磷酸提供了极大的发展空间［1－4］。

1电子级磷酸质量标准

目前，国内外对电子级磷酸质量指标的划分没有统一的标准，其质量指标不同，用途有所不同。目前，中国还没有电子级磷酸国家标准，一般将电子级磷酸划分为低尘高纯级、MOS级、BV－Ⅰ级、BV－Ⅱ级、BV－Ⅲ级（相当于SEMI－C7质量标准）、BV－Ⅳ级（相当于SEMI－C8质量标准）和BV－Ⅴ级（相当于SEMI－C12质量标准）等，其中BV－Ⅲ级主要用于超大规模集成电路，适用电路宽度为0．8 1．2μm工艺技术的生产。由于世界超净高纯试剂市场的不断扩大，从事超净高纯试剂研究与生产的厂家也在增多，生产规模在不断扩大。但各生产厂家所生产的超净高纯试剂的标准各不相同，为了能够规范世界超净高纯试剂的标准，国际半导体设备与材料协会（Semiconductor Industry Asso-ciation）推出SEMI质量标准，将电子级磷酸划分为SEMI Grade1、SEMI Grade2和SEMI Grade3，其中SEMI Grade3电子级磷酸其单项金属杂质最高质量分数不超过1?10－7，单项非金属杂质最高质量分数不大于1?10－5，能满足微电子行业0．18μm以上工艺技术的加工制作，质量符合超大规模集成电路和薄膜液晶显示器等制造过程的品质要求。

第43卷第3期2011年3月

无机盐工业INORGANIC CHEMICALS INDUSTRY

2电子级磷酸纯化技术

2．1三氯氧磷法［5］

三氯氧磷法是早期生产高纯磷酸的方法。将工业黄磷制成液态三氯氧磷（POCl3），再将三氯氧磷精馏提纯，精制后的三氯氧磷与超纯水反应生成磷酸和HCl，蒸馏除去HCl可制得高纯磷酸。将磷酸调节到所需浓度后，再用微孔滤膜过滤除去微细固体尘埃，即可得到电子级磷酸。该法生产工艺流程长、能耗高，故生产成本高，而且对设备腐蚀严重。2．2高纯磷法［6］

高纯磷法是将工业黄磷或红磷提纯制成高纯磷，然后与净化后的空气或氧反应生成P2O5，再用超纯水喷淋吸收生成高纯磷酸。该法缺点：1）在提纯黄磷或红磷的过程中磷的损失较大，因而成本增加；2）反应需在高温下进行，而且由于磷具有自燃性，因此对设备材质、生产控制和操作人员要求较高，生产控制较难。

2．3磷化氢法

黄磷在碱的作用下生成磷化氢，或由磷化锌或磷化铝水解生成磷化氢。精制磷化氢，然后将磷化氢负压催化氧化热分解制得高纯磷，将高纯磷再用纯氧或洁净空气氧化成P2O5，再与超纯水反应制得高纯磷酸。该法生产工艺流程长、能耗高，故生产成本高，同时污染严重，而且还存在安全隐患。

2．4磷酸三酯水解法［7］

将磷酸三甲酯或磷酸三乙酯等磷酸三酯蒸馏提纯后加入装有超纯水的密闭容器中，在0．2934 2．9430MPa压力下加热到120 180?水解，可制得部分金属杂质质量分数小于1?10－9、可用于电子工业清洗剂的电子级磷酸。

2．5电渗析法［8］

电渗析法是将磷酸中的有机物预先用活性炭除去，然后在一定的电流密度下渗析，利用离子交换膜对离子选择性透过的特性来分离磷酸中的杂质，得到精制磷酸。利用电渗析法进行磷酸精制的研究较少，此法的技术关键是筛选具有良好选择性的离子交换膜，否则分离SO2－4等杂质相当困难，而且膜孔易被堵塞，不能处理浓度较高的磷酸。此法精制成本高，用来精制磷酸的工业化还有很多问题尚待解决，距实用阶段尚有一定距离。

2．6热法磷酸或湿法净化磷酸结晶法

2．6．1冷却结晶法［9－10］

冷却结晶法是以湿法净化磷酸或热法磷酸［w（H

）=80% 85%］为原料，加入晶种，在结晶和重结晶过程中采用梯度降温方法，使磷酸以半水磷酸晶体（H3PO4·1/2H2O）形式析出，经过滤、洗涤，杂质离子留在母液中，再将晶体熔化即可得到电子级磷酸。该法操作条件温和，不需专用结晶设备，能有效控制晶体粒度的大小。采用冷却结晶法生产的电子级磷酸经检验，Al、Cu、K、Mn、Na、Ni、Sr、Fe、Mg、Ca、Pb、As、Cr13种杂质离子总质量分数不超过6?10－7，达到BV－Ⅰ级标准。该法可以利用现有磷酸生产装置，仅在其后增加结晶净化装置即可，具有投资小、无污染、易操作的优点。该工艺主要特点：利用物质结晶特性，在磷酸冷却结晶过程中加入一种高效活化剂加快磷酸结晶，同时活化剂能避免磷酸中杂质离子参与结晶过程，过滤分离后杂质分散于母液中而得到电子级磷酸。

瓮福（集团）有限责任公司在发展精细磷化工方面瞄准高纯磷酸，通过自主研发于2007年建成一条结晶法生产高纯磷酸的中试生产装置，每年可生产20t电子级磷酸，目前正在建设电子级磷酸产业化生产装置。

2．6．2熔融结晶法

熔融结晶法是根据待分离物质间凝固点不同来实现分离与提纯的方法。将磷酸预处理后挂晶膜，结晶管升温，通入21 28?的磷酸在结晶器循环，让晶层生长至2 4cm，保温静置，然后以2 5?/h的升温速率使结晶管温度升高，当熔化晶层质量为原质量的10% 40%时停止，用液酸洗涤熔化晶层，再经结晶和发汗后可得到电子级磷酸。该方法能耗低，所得产品纯度高。但是，该方法对设备要求高，要有特殊的结晶器。熔融结晶技术已在医药和化工产品的分离纯化方面得到广泛应用［11］。国外近几年运用该技术在制备电子级磷酸方面取得了成功，已申请多项专利，引起各方面高度重视。

朱健［12］将工业级磷酸先除砷，然后经挂膜、结晶、发汗、清洗4个步骤，制备出电子级磷酸，制得的达到FCC4标准的高纯电子级磷酸产品，各种杂质离子质量分数均小于1?10－6。

3电子级磷酸发展现状

电子级磷酸属国际高端垄断产品，应用于发展前途广阔的IT产业，将是未来磷化工产业发展的一个方向。目前，开展电子级磷酸专业化研究的国家不是很多，其关键技术长时间垄断在美国、德国、日本等发达国家的跨国企业集团手中。其研究领域

21无机盐工业第43卷第3期

已涉及轻工、石油、化工、医药、食品、电子等许多方面，所生产的电子级磷酸广泛应用于超大规模集成电路、大屏幕液晶显示器、半导体等微电子工业方面。

国外之所以能生产比中国精度更高的微电子元件，与他们对超净高纯化学品发展的高度重视分不开。因为超净高纯化学品与光刻胶均是发展半导体器件产业最重要的支撑材料。目前世界上仅有少数公司可以生产LCD、IC、LED（电子显示屏）工业用的电子级磷酸，如德国的Merck－Kanto公司，美国的Ashland、Allinckradt Baker公司，日本的RASA工业株式会社、关东株式会社、住友合成、磷化学工业株式会社，韩国的DONGWOO FINECHEM、DONGJIN SEMICHEM、SAMYOUNG FINECHEM等公司以及中国台湾地区的长春、中华、长新化学等。在超净高纯化学品方面，金属杂质的含量已从10－9级向10－12级发展。在技术方面，美国、德国、日本、韩国及中国台湾地区目前已经有生产0．2 0．18μm技术用微电子化学品的工业装置［13］。

中国超净高纯试剂的研制起步于20世纪70年代中期。1980年北京化学试剂研究所在中国率先研制成功5μm技术用的22种MOS（金属氧化物半导体）级试剂，另有原上海化学试剂厂、原天津试剂三厂等几家单位也生产MOS级试剂。随着集成电路集成度的不断提高，对超净高纯试剂中的金属杂质、可溶性杂质和固体颗粒的控制越来越严，同时对生产环境、包装方式及包装材质等提出了更高的要求。为了满足这一系列的要求，北京化学试剂厂、上海化学试剂厂、江阴江化微电子化学品有限公司都做了大量研究，得到国家863计划的多项支持，取得很大进步。与国外相比，中国电子级磷酸具有以下特点：1）总体技术水平落后于发达国家，而且原材料消耗以及生产成本普遍高于国外；2）中国生产的产品只能达到电子级磷酸低端产品的要求，只能在电子工业的液晶显示器生产上作清洗剂；3）中国IC、LED、TFT－LCD行业用的电子级磷酸长期依赖进口，而目前中国市场上的电子级磷酸供应商主要集中在日本、美国和德国，因此研发电子级磷酸新技术，提高中国电子级磷酸产品的质量，使产品应用于IC、LED、TF－LCD等行业，摆脱长期依赖进口的局面，将是中国电子级磷酸发展的方向；4）除已有四川成洪化工有限公司、眉山胜科电子化学有限公司、瓮福集团、北京化工厂、上海试剂一厂等小规模生产电子级磷酸外，目前云南、贵州、湖北、广西、江苏等地区多家企业拟投资建设万吨级生产线。

4结束语

随着半导体芯片制造业和LCD制造业向中国转移，中国电子级磷酸的用量将随之猛增，同时国外又受磷资源的限制，增产的空间有限，因此中国电子级磷酸市场无疑将具有广阔的发展前景。具有资源和技术优势的企业应率先加强对电子级磷酸生产工艺技术的研究，在提高中国电子级磷酸技术水平的同时，可以适当引进国外先进的工艺和装置，抢占国内外电子级磷酸产品市场，促进中国电子级磷酸工业的发展。

参考文献：

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［11］刘海岛，尹秋响．熔融结晶及其耦合技术研究的进展［J］．化学工业与工程，2004（5）：367－370．

［12］朱健．熔融结晶法生产电子级磷酸：中国，1873900［P］．2006－10－11．

［13］肖立华，曾波．电子级磷酸的研究进展［J］．云南化工，2007，34（6）：60－63．

收稿日期：2010－10－11

作者简介：刘飞（1978—），男，工程师，贵州大学在读工程硕士研究生，主要从事磷化工工艺研究。

联系方式：liufei3001@126．com

2011年3月刘飞等：电子级磷酸的纯化技术及其发展现状

电子电工论文

电工与电子技术的应用与发展院（系）：化学与生物工程学院专业班级：应化1101 学号：201167090107 姓名：黄荣 2012/11/21

电工与电子技术的应用与发展摘要：随着电子技术的发展，我国电力设施的不断完善，电工电子专业逐渐成为一种实用性很强的专业。电工电子技术是研究电气工程领域中的电磁现象、规律及其应用的基础学科。它既是电气工程及其相关学科的基础学科，又可成为边缘学科和交叉学科的生长点。本文结合我国电力工业实际和发展需要，从电工电子的基本理论、电气化设备的应用和现状对电工电子技术作了简单的介绍。关键词：电工与电子技术；研究现状；应用与发展 0 前言电工与电子技术基础理论是高等学校工科非电类专业的一门技术基础课程，它研究电工技术和电子技术的理论和应用的技术基础课程。电工技术和电子技术的发展十分迅速，应用非常广泛，现代一切新的科学技术无不与电有着密切的关系。因此，电工电子技术是高等学校工科非电类专业的一门重要课程。作为技术基础课程，它应具有基础性、应用性和先进性。基础性是指电工电子技术研究的是电工电子的基本理论、基本知识和基本技能。 1、电工电子技术研究现状电工电子专业在国内具有很高的学术地位和广泛的影响。就目前现状而言，电器设备或元器件的结构尺寸已从半根火柴大小发展到高达数层楼高的巨型没备。对合理地组织生产与使用电器，科学合理地划分电压与电流等级，尽可能地减少系列产品的规格与型号有实际意义。尽量发展“组合式”，“积木式”，“标准单元”以及零部件通用化、互换性高的电器或元器件是十分重要的。特别是在目前经济改革过程中，加强宏观领导和积极开展学科的科学技术学术交流活动是非常重要的。这样，可以调动各学科互相配合，取长补短。 2、电工电子技术基本理论 2.1 电路的组成。电路就是电流通过的途径。简单的电路由电源、负载、导线、开关组成。其中电源是将其它形式的能量转换成电能的设备，用电器是消耗电能的设备。基本物理量包括电流、电压、电动势、电阻。

关于编制电子级磷酸生产建设项目可行性研究报告编制说明

关于编制电子级磷酸生产建设项目可行性研究报告编制说明（模版型）【立项批地融资招商】核心提示：电子级磷酸项目投资环境分析，电子级磷酸项目背景和发展概况，电子级磷酸项目建设的必要性，电子级磷酸行业竞争格局分析，电子级磷酸行业财务指标分析参考，电子级磷酸行业市场分析与建设规模，电子级磷酸项目建设条件与选址方案，电子级磷酸项目不确定性及风险分析，电子级磷酸行业发展趋势分析 1、本报告为模板形式，客户可下载后，跟据报告说明，自行修改，完成自己的需求目的。 2、客户可联系我公司，协助编写完成可研报告，可行性研究报告大纲（具体可跟据客户要求进行调整）编制单位：北京中投信德国际信息咨询有限公司专业撰写资金申请报告项目建议书商业计划书节能评估报告可行性研究报告

目录目录 ............................................................................................................................ - 1 - 第1章电子级磷酸项目总论 ..................................................................................... ７§1.1 项目背景 ....................................................................................................... ７§1.1.1 项目名称 ............................................................................................. ７ §1.1.2 项目承办单位 ..................................................................................... ７ §1.1.3 项目主管部门 ..................................................................................... ７ §1.1.4 项目拟建地区、地点 ......................................................................... ７ §1.1.5 承担可行性研究工作的单位和法人代表 ......................................... ７ §1.1.6 研究工作依据 ..................................................................................... ７ §1.1.7 研究工作概况 ..................................................................................... ８§1.2 可行性研究结论 ........................................................................................... ８§1.2.1 市场预测和项目规模 ......................................................................... ８ §1.2.2 原材料、燃料和动力供应 ................................................................. ９ §1.2.3 厂址 ..................................................................................................... ９ §1.2.4 项目工程技术方案 ............................................................................. ９ §1.2.5 环境保护 ............................................................................................. ９ §1.2.6 工厂组织及劳动定员 ......................................................................... ９ §1.2.7 项目建设进度 ..................................................................................... ９ §1.2.8 投资估算和资金筹措 ..................................................................... １０ §1.2.9 项目财务和经济评论 ..................................................................... １０ §1.2.10 项目综合评价结论 ....................................................................... １０§1.3 主要技术经济指标表 ............................................................................... １０§1.4 存在问题及建议 ....................................................................................... １０第2章电子级磷酸项目背景和发展概况 ............................................................. １１§2.1 项目提出的背景 ....................................................................................... １１§2.1.1 国家或行业发展规划 ..................................................................... １１ §2.1.2 项目发起人和发起缘由 ................................................................. １１§2.2 项目发展概况 ........................................................................................... １１§2.2.1 已进行的调查研究项目及其成果 ................................................. １１ §2.2.2 试验试制工作情况 ......................................................................... １２ §2.2.3 厂址初勘和初步测量工作情况 ..................................................... １２ §2.2.4 项目建议书的编制、提出及审批过程 ......................................... １２§2.3 投资的必要性 ........................................................................................... １２第3章市场分析与建设规模 ................................................................................. １４§3.1 市场调查 ................................................................................................... １４§3.1.1 拟建项目产出物用途调查 ............................................................. １４ §3.1.2 产品现有生产能力调查 ................................................................. １４ §3.1.3 产品产量及销售量调查 ................................................................. １４ §3.1.4 替代产品调查 ................................................................................. １５ §3.1.5 产品价格调查 ................................................................................. １５ §3.1.6 国外市场调查 ................................................................................. １５

电子封装技术发展现状及趋势

电子封装技术发展现状及趋势摘要电子封装技术是系统封装技术的重要内容，是系统封装技术的重要技术基础。它要求在最小影响电子芯片电气性能的同时对这些芯片提供保护、供电、冷却、并提供外部世界的电气与机械联系等。本文将从发展现状和未来发展趋势两个方面对当前电子封装技术加以阐述，使大家对封装技术的重要性及其意义有大致的了解。引言集成电路芯片一旦设计出来就包含了设计者所设计的一切功能，而不合适的封装会使其性能下降，除此之外，经过良好封装的集成电路芯片有许多好处，比如可对集成电路芯片加以保护、容易进行性能测试、容易传输、容易检修等。因此对各类集成电路芯片来说封装是必不可少的。现今集成电路晶圆的特征线宽进入微纳电子时代，芯片特征尺寸不断缩小，必然会促使集成电路的功能向着更高更强的方向发展，这就使得电子封装的设计和制造技术不断向前发展。近年来，封装技术已成为半导体行业关注的焦点之一，各种封装方法层出不穷，实现了更高层次的封装集成。本文正是要从封装角度来介绍当前电子技术发展现状及趋势。

正文近年来，我国的封装产业在不断地发展。一方面，境外半导体制造商以及封装代工业纷纷将其封装产能转移至中国，拉动了封装产业规模的迅速扩大；另一方面，国内芯片制造规模的不断扩大，也极大地推动封装产业的高速成长。但虽然如此，IC的产业规模与市场规模之比始终未超过20%，依旧是主要依靠进口来满足国内需求。因此，只有掌握先进的技术，不断扩大产业规模，将国内IC产业国际化、品牌化，才能使我国的IC产业逐渐走到世界前列。新型封装材料与技术推动封装发展，其重点直接放在削减生产供应链的成本方面，创新性封装设计和制作技术的研发倍受关注，WLP 设计与TSV技术以及多芯片和芯片堆叠领域的新技术、关键技术产业化开发呈井喷式增长态势，推动高密度封测产业以前所未有的速度向着更长远的目标发展。大体上说，电子封装表现出以下几种发展趋势：（1）电子封装将由有封装向少封装和无封装方向发展；（2）芯片直接贴装（DAC）技术，特别是其中的倒装焊（FCB）技术将成为电子封装的主流形式；（3）三维（3D）封装技术将成为实现电子整机系统功能的有效途径；（4）无源元件将逐步走向集成化；（5）系统级封装（SOP或SIP）将成为新世纪重点发展的微电子封装技术。一种典型的SOP——单级集成模块（SLIM）正被大力研发；（6）圆片级封装（WLP）技术将高速发展；（7）微电子机械系统（MEMS）和微光机电系统（MOEMS）正方兴未艾，它们都是微电子技术的拓展与延伸，是集成电子技术与精密

微胶囊技术包覆聚磷酸铵研究进展_汪玲

微胶囊技术包覆聚磷酸铵研究进展汪玲，刘吉平* （北京理工大学材料学院，北京，100081）摘要微胶囊技术包覆聚磷酸铵用于阻燃研究可以降低聚磷酸铵的水溶性，有效改善阻燃剂易吸潮、易氧化、热稳定性差、相容性差等缺点，是-种前景良好的对聚磷酸铵进行改性的方法。本文介绍了聚磷酸铵的阻燃机理和微胶囊技术的基本概念，综述了国内外使用微胶囊技术包覆聚磷酸铵的研究进展，并对微胶囊技术包覆聚磷酸铵现状给予总结同时得出结论：目前，微胶囊技术主要应用于包覆聚磷酸铵，而对其他阻燃剂的报道相对较少。因此，应着重扩大微胶囊技术的应用范围研究，另外还应积极开展微胶囊工艺、阻燃剂复配、提高力学性能、抑烟性能等研究，以提高其可适用性和广泛性。关键词聚磷酸铵，微胶囊技术，包覆，阻燃剂膨胀型阻燃剂（IFR）是-种典型的无卤阻燃剂[1]。聚磷酸铵（APP）是IFR常用组分之-，其阻燃机理为：聚磷酸铵受热后脱去氨气生成强脱水剂聚磷酸，聚磷酸可使被阻燃物表面脱水生成碳化物，碳化物在基质表面形成致密性膨胀炭层，炭层可减弱聚合物与热源间的热量传递，并阻止气体扩散，由于没有足够的燃料和氧气，因而终止燃烧起到阻燃作用[2-3]。但是聚磷酸铵作为阻燃剂加入后与环氧树脂的相容性差和吸湿性强，限制了其应用。因此，近年来大量文献报道了采用微胶囊技术包覆聚磷酸铵用于阻燃研究。 1 微胶囊技术微胶囊包覆技术是指将APP利用天然的或合成的高分子材料包覆，形成-种直径1～50μm的具有半透性或封闭膜的微型胶囊APP产品，降低了聚磷酸铵的水溶性，具有更高的热稳定性、耐水性以及相容性。国外知名企业赫司特公司、孟山都公司及Albright Wilson公司均生产高聚合度APP产品。微胶囊的外形可以是球状的，也可以是不规则的形状；胶囊外表可以是光滑的，也可以是折叠的；微胶囊的囊膜既可以是单层，也可以是双层或多层结构。微胶囊技术的优势在于形成微胶囊时，囊芯被包覆而与外界环境隔离，它的性质能毫无影响的被保留下来，而在适当条件下壁材被破坏时又能将囊芯释放出来，给使用带来许多便利。微胶囊化的目的主要是降低阻燃剂的水溶性，增加阻燃剂与材料的相容性，改变阻燃剂的外观及状态，提高阻燃剂的热裂解温度以及掩盖阻燃剂的不良性质。其制备方法主要有化学法，物理化学法，机械法[4]。

电子级磷酸建议书

第一章项目建设的目的和意义 1.1企业概况瓮福（集团）有限责任公司［以下简称瓮福集团］于2008年4月26日挂牌成立，原名为“贵州宏福实业开发有限总公司”，是在1994年6月经贵州省人民政府批准，由贵州省瓮福矿肥基地工程建设指挥部改制组建而成。贵州省瓮福矿肥基地包括瓮福磷矿和瓮福磷肥厂两个国家重点建设项目，总投资58.5亿元，是国家在上世纪后十年投资200多亿元建设的全国五大磷肥基地之一，2001年12月30日通过国家验收。经过几年来的技术改造，瓮福集团现已形成450万吨/年原矿、200万吨/年硫酸、90万吨/年磷酸、120万吨/年磷酸二铵、48万吨/年磷酸一铵、1.54万吨/年氟化铝、3万吨/年黄磷的生产能力，以及磷精细化工和环保产业。瓮福集团秉承国家建设的初衷，坚持以生产优质高浓度磷复肥满足农业生产需要为己任。2001年以来，瓮福集团坚持科学发展观，走新型工业化道路，坚持实施提升质量水平，提升科技含量，提升规模效应；降低成本，降低增量投入的“三升两降”工程，并取得良好成效。2001～2004年，瓮福集团年均发展速度超过35%，实现“四年四大步”跨越式发展，一跃成为中国磷肥行业的领头企业。2003年9月，“宏福牌”磷酸二铵荣获“中国名牌产品”称号；2004年9月，“宏福牌”磷酸二铵、磷酸一铵双双荣获国家质量检验检疫总局颁发的《产品质量免检证书》；2005年9月，“宏福牌”磷酸一铵荣获“中国名牌产品”称号。

瓮福集团先后被评为全国百家质量效益型先进企业、贵州省最具影响力企业、中国消费者十大满意品牌企业、中国石油和化工行业百强企业、全国十佳矿山企业等。许多党和国家领导人以及国家有关部委领导同志近几年先后到瓮福集团视察，对瓮福集团的工作给予了充分肯定并寄予厚望。省委、省政府把磷及磷化工作为贵州经济发展的重要支柱产业，并将瓮福集团列为近几年内建成销售收入达100亿元的企业集团之一。瓮福集团拥有丰富的磷矿资源。所属瓮福磷矿位于贵州省中部的瓮安县与福泉市境内，面积58平方公里，规划矿段探明的地质储量超过8.19亿吨，工业储量5.19亿吨，平均P2O5品位25%以上，其中可供露天开采的储量为2.4亿吨。丰富的磷矿资源为瓮福（集团）的发展提供了坚实的保障。瓮福（集团）所属瓮福磷肥厂位于贵州省福泉市马场坪镇北端，厂区距马场坪镇800m左右。相距瓮福磷矿46km，交通便利，临近川黔铁路与贵遵高速路，公司自备站台经1.9km铁路专用线在福泉火车站与湘黔铁路接轨。多年来瓮福集团一直注重资源的高效综合利用，狠抓节能降耗工作，实施了磷酸扩能技改等多项节能降耗措施，大幅降低了单位产品消耗和综合能耗，使产品消耗逐年下降，经济实力逐年增长，逐步实现经济的良性循环，并在同行业中处于先进水平。 1.2项目提出的背景和意义我国是一个磷矿储量丰富的大国，磷酸盐工业地位的崛起，主要体现在基础产品及中间产品的生产量走在了世界的前列，但在多功能、

当今电工电子技术的运用及发展

当今电工电子技术的运用及发展发表时间：2018-10-01T11:35:24.517Z 来源：《电力设备》2018年第16期作者：张红忠 [导读] 摘要：随着当今社会的快速发展，电工电子技术占有重要的地位，其在多个领域都得到广泛应用，人们通过对电工电子技术的不断研究，让它对社会实际的发展有着更多更好的发挥作用。 (湖北省麻城市职业技术教育集团湖北麻城市 438300) 摘要：随着当今社会的快速发展，电工电子技术占有重要的地位，其在多个领域都得到广泛应用，人们通过对电工电子技术的不断研究，让它对社会实际的发展有着更多更好的发挥作用。下文主要就当今电工电子技术在不同领域运用以及该技术发展研究时行详细阐述。关键词 : 电工电子技术发展运用随着社会快速发展，先进的技术在各个领域都得到了有效应用，并发挥着积极作用。电工电子技术就在其中，将电工电子技术在实际生产生活中的应用，能够将生产效率得到有效提升，对人们的生活质量也良好改善作用。只有发展好电工电子技术才更好的推进科技的发展和国家经济的增长，因其在提高生产率方面的显著效果电工电子技术已在众多领域中被广泛运用。一、电工电子技术与主要特征 1.1 电工电子技术电工电子技术是当今社会的科技进步的产物，在信息化时代中起到了重要作用。人们对电工电子技术的概念有各种不同理解。笔者综合多种理论，对电工电子技术的概念做出分析陈述：所谓电工电子技术就是在电气、通讯、电力等应用中，通过电力设备进行自动化的工作，从而将实际的工作效率得以有效提升的技术。 1.2 电工电子技术主要特征电工电子技术自身有着较为突出的精细化特征。主要体现在电量充分基础上，能够自动化的完成传统操作不具备的能力，在整体的工作效率上能大大提高。这样不仅在劳动力上得到了有效减少，也在实际生产成本上有了降低，为企业的生产发展的利益最大化奠定了基础。也能够在可控性的特征方面得到充分的体现，通过相关的软件应用，就能够将电工电子技术灵活的操控。将该技术应用效率得到了有效保证。二、电工电子技术的运用 2.1在电气领域的运用电工电子技术在社会经济和企业发展以利益最大化为目标的大背景下，增加企业的利益是各个企业的的当务之急，降低生产成本提升电气设备是有效措施之一。但是电气设备因其型号的不同、价钱的不同、质量的不同、使用方式和使用环境的不同都会对电气设备的使用和维修造成不同的影响。因此企业应加大对电气设备的管理成本，并且要时刻对电气设备进行监控和定期检查。这样做不仅能有效的避免电气设备出现问题的机会还大大降低了维修成本并且在为企业效益方面有显著提升。 2.2在通讯领域的运用社会随着科技的发展通讯领域信息化的飞速发展，其中最大的助力就是电工电子技术。如今的通讯已经普遍使用4G网络及将来5G网络同时还实现了无线通讯。在数字化时代的今天，通讯领域的发展的每一个方面有存在着电工电子技术的踪迹。电工电子技术的是通技术的基础，没有电工电子技术的奠基通讯领域的不会有现在这样的成就。 2.3在电力领域的运用电工电子技术在电力领域的应用主要是在高压直流输电和柔性交流输电两大方面：在高压直漉输电系统中电工电子可以使设备结构简化并且降低工程造价减少换流站的占地面积，利用电工电子技术的时候可以保证在输出电流的时候维持输出系统的稳定不会中断-至于柔性交流输电系统中可以保证系统的正常运行。电力自动化系统运行的安全保障就是USP紧急供电是否可以正常使用。电工电子技术助紧急供电也是维持计算机、通讯系统以及不能中断供电的企业所具备和必需的一种质量高、性能好、可靠性强的电源。三、当今电工电子技术的发展分析 3.1 电工电子技术的发展分析 (1)、电工电子技术在当今社会的发展中虽然起到了诸多重要作用，但这一技术的发展还有这诸多方面存在着不足之处需要完善。第一：在整体的技术方面还需要进一步进行加强优化，这一技术的应用有着比较严格的要求，在信息系统方面的问题就会造成运行的效率低，对实际管理水平就有着直接的影响。第二：将电工电子技术的系统进行优化升级，提升系统的运行速度，这样才能将电工电子技术的作用得到进一步的发挥，在这一方面还需要重点突破。 (2)、对电工电子的管理人员在素质层面还要进一步加强。由于电工电子技术的涉及内容范围比较广，在实际的管理过程中同样有着诸多的要求，所以对管理人员的综合素质比较重视。但是在当前这一方面的人才就相对比较缺乏，电工电子技术的一些材料应用和技术的升级等方面更新速度快，对综合性管理才能的人员就比较需求。在实际中的管理人员由于综合素质差，所以在具有的电工电子技术应用管理过程中，就比较容易存在问题。 (3)、电工电子技术的管理水平方面受到很大的限制，直接影响其实际应用的效率。由于这一技术的管理系统比较复杂化，一旦出现了系统性故障，就会对技术的应用效果产生很大影响。在具体的管理过程中也有着很大的难度，管理不善就对电子技术的进一步发展有着很大的影响。对于这些层面的问题要能积极的应对，找对突破口，制定详细的管理计划，从而才有效解决实际的问题。 3.2 电工电子技术的发展策略 (1)、对电工电子技术的发展需要从多方面制定策略，保障电工电子技术能够在实际应用作用中发挥积极作用。在当前电工电子技术的应用领域比较广泛，在电气领域中的应用以及电力领域中的应用，还有在通讯领域中的应用等。都已经发挥着重要作用，对这些方面的改革发展起到了重要推动作用。在当今社会的发展背景下，将电工电子技术在实际中的应用作用充分发挥更有意义，这也是促进电工电子技术优化改革和技术推广应用的重要举措。只有让然们认识到电工电子技术在生活中起到了作用，才能进一步的促进这一技术的升级优化，从而更好的为人们的服务。 (2)、将电工电子技术要想得到更好的发展应用，就要从多方面进行优化。首先要能对相关的技术人员综合素质进行有效加强，在技术的不断升级发展下，对技术人员的要求也在不断的提升。电工电子技术的人才培养就比较重要，具体的落实中，需要电工电子技术人员将

全面电子级磷酸简介.doc

.精品. 电子级磷酸盐简介电子级磷酸属于高纯磷酸，广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响，纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗（面板级），纯度高的用于电子晶片生产过程的清洗和浊刻（称为IC级）。电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐，也是高纯有机磷产品的主要原料，另外还可用作超高纯试剂和光纤玻璃原料等。产业链制作工艺电子级磷酸可由元素磷或磷的氧化物经化学反应得到，也可由成品磷酸净化精制而得，制备的关键在于控制并达到所要求的碱金属与重金属杂质离子的含量和颗粒度。目前有如下几种主要制备工艺：1）用高纯磷制备电子级磷酸；2）用高纯三氯化磷制备电子级磷酸；3）用三氯氧磷制备电子级磷酸。提纯工艺主要有：1）磷酸的净化精制法；2）有机溶剂萃取法；3) ①冷冻结晶法；②熔融结晶法；5）其他净化法其他的净化方法有电渗析：①电渗析法；②膜分离。电子级磷酸的国际质量标准国际半导体设备与材料组织(SEMI) 将电子化学品按应用范围分为SEMI-C1、SEMI - C7、SEMI-C8和SEMI -C12四个等级。我国则划分为BV-Ⅰ、BV-Ⅱ、BV- Ⅲ和BV- Ⅳ四个等级，BV-Ⅲ级已达到国际SEMI -C7质量标准，适用于018～112μm工艺技术的加工制作，这是目前我国生产的较高水平的微电子化学品。

国内外技术差别国内技术水平：目前国内市场所需MOS 级、BV电子级磷酸已有工厂生产，BVII级和BVIII 电子级磷酸仍处于研发状态，所需产品依赖进口。国外技术水平：高纯电子化学品的生产技术在国际上尚处于高度保密和高度垄断阶段，生产技术主要由德国、日本和美国等少数几个发达国家掌握，有关生产方法、工艺技术、实验研究、产品质量指标体系的确立及分析方法、设备包装材质的研究等等内容鲜见报道，国外技术拥有方甚至不进行实质性专利申请，技术研发机构很难检索到有价值的技术文献信息。技术难点：高纯电子化学品技术的研发必须依靠自主创新，建立完整的研发、生产、检测及包装体系，但在该技术的开发存在着工艺、设备、材料、控制等许多难题，技术开发和生产控制难度很高，研发投入大，即便是建立一个小型实验室，至少需要数百万元的投入，如果建设中等规模的工业化装置，总投资至少在数千万元，甚至过亿。我国电子磷酸市场现状（1）企业规模小，目前国内30多家，只有十几家企业进行生产和销售高纯磷酸，且规模均不大，主要集中在江苏、四川和贵州。（2）国内生产的产品只能达到高纯磷酸低端产品要求，只能应用于电子工业的液晶显示器生产上作清洗剂。（3）高纯磷酸由于其专利技术等原因，致使我国IC、LED、TFT-LCD行业用的高纯磷酸长期依赖进口，而目前我国市场上的高纯磷酸供应商主要集中在日本、美国和德国。（4）我国电子级磷酸出口量远远大于进口量，这些出口的初级产品大多被用于再提纯，生产更高级别的产品，又部分返销回国内。（5）我国总体技术水平落后于发达国家，而且，原材料的消耗以及生产成本普遍高于国外

电气工程的发展现状与发展趋势

电气工程的发展现状与发展趋势一.电气工程的发展现状：概论：我国电力工业正以“大机组，大电网，高电压，高参数，高度自动化”等“三大三高”的现代电力系统的模式超长规模的建设与发展，因此对工程技术设计人员的素质和能力提出了更新和更高的要求。未来的几十年，我国电力系统和电气工程会依然保持较快发展趋势，光伏发电和其他可再生资源将得到快速发展，新的电力电子技术，电工材料，计算机及网络技术，控制与管理手段具有巨大影响潜力。 1.电机的驱动及控制：逆变器的出现推动了交流电机速度和转矩控制的发展，这使得电机在仅仅30年就应用到了不可思议的领域。功率半导体元件和数字控制技术的进步使得电机驱动能够实现高精度的位置和速度控制。交流驱动技术的应用也带来了能源节约和系统效率的提高。电机本体及其控制技术在近几年取得相当大的进步。这要归功于半导体技术的空前发展带来的电力电子学领域的显着进步。电机驱动产业发展的利处已经触及各种各样的设备，从大型工业设备像钢铁制造厂、造纸厂的轧钢机等，到机床和半导体制造机中使用的机电一体化设备。交流电机控制器包括异步电机控制器和永磁电机控制器，这两者在电机驱动业的全过程中起着关键性作用。：目前，异步电动机矢量控制技术、直接转矩控制技术乃至无传感器的直接转矩控制技术已实用化。 2.电力电子技术的应用：半导体的出现成为20世纪现代物理学的一项最重大的突破，标志着电子技术的诞生。而由于不同领域的实际需要，促使半导体器件自此分别向两个分支快速发

展，其中一个分支即是以集成电路为代表的微电子器件，而另一类就是电力电子器件，特点是功率大、快速化。自20世纪五十年代末第一只晶闸管问世以来，电力电子技术开始登上现代电气传动技术舞台，以此为基础开发的可控硅整流装置，是电气传动领域的一次革命，使电能的变换和控制从旋转变流机组和静止离子变流器进入由电力电子器件构成的变流器时代，这标志着电力电子的诞生。电子电力技术包括电力电子器件、变流电路和控制电路3部分，是以电力为处理对象并集电力、电子、控制三大电气工程技术领域之间的综合性学科。电力技术涉及发电、输电、配电及电力应用，电子技术涉及电子器件和由各种电子电路所组成的电子设备和系统，控制技术是指利用外加的设备或装置使机器设备或生产过程的某个工作状态或参数按照预定的规律运行。电力电子器件是电力电子技术的基础，电力电子器件对电能进行控制和转换就是电子电力技术的利用。在21世纪已经成为一种高新技术，影响着人们生活的各种领域，因此对对电子电力技术的研究具有时代意义。传统电力电子技术是以低频技术处理的，现代电力电子的发展向着高频技术处理发展。以功率MOS-FET和IGBT为代表的、集高频、高压和大电流于一身的功率半导体复合器件的出现，表明已经进入现代电子电力技术发展时代。 20世纪以来，电力电子作为自动化、节材、节能、机电一体化、智能化的基础，正朝着应用技术高频化、产品性能绿色化、硬件结构模块化的现代化方向发展。3.电力系统及其自动化控制：电力系统自动化即对电能生产、传输和管理实现自动控制、自动调度和自动化管理。电力系统自动化的领域包括生产过程的自动检测、调节和控制,系统和元件的自动安全保护，网络信息的自动传输，系统生产的自动调度，以及企业的自动化经济管理等。电力系统自动化的主要目标是保证供电的电能质量（频率和电压），

现代电力电子技术的发展、现状与未来展望综述上课讲义

现代电力电子技术的发展、现状与未来展望综述

课程报告现代电力电子技术的发展、现状与未来展望综述学院：电气工程学院姓名： ********* 学号: 14********* 专业： ***************** 指导教师： *******老师 0 引言

电力电子技术就是使用电力半导体器件对电能进行变换和控制的技术，它是综合了电子技术、控制技术和电力技术而发展起来的应用性很强的新兴学科。随着经济技术水平的不断提高，电能的应用已经普及到社会生产和生活的方方面面，现代电力电子技术无论对传统工业的改造还是对高新技术产业的发展都有着至关重要的作用，它涉及的应用领域包括国民经济的各个工业部门。毫无疑问，电力电子技术将成为21世纪的重要关键技术之一。 1 电力电子技术的发展［1］电力电子技术包含电力电子器件制造技术和变流技术两个分支，电力电子器件的制造技术是电力电子技术的基础。电力电子器件的发展对电力电子技术的发展起着决定性的作用，电力电子技术的发展史是以电力电子器件的发展史为纲的。 1.1半控型器件（第一代电力电子器件）上世纪50年代，美国通用电气公司发明了世界上第一只硅晶闸管(SCR)，标志着电力电子技术的诞生。此后，晶闸管得到了迅速发展，器件容量越来越大，性能得到不断提高，并产生了各种晶闸管派生器件，如快速晶闸管、逆导晶闸管、双向晶闸管、光控晶闸管等。但是，晶闸管作为半控型器件，只能通过门极控制器开通，不能控制其关断，要关断器件必须通过强迫换相电路，从而使整个装置体积增加，复杂程度提高，效率降低。另外，晶闸管为双极型器件，有少子存储效应，所以工作频率低，一般低于400 Hz。由于以上这些原因，使得晶闸管的应用受到很大限制。 1.2全控型器件（第二代电力电气器件）随着半导体技术的不断突破及实际需求的发展，从上世纪70年代后期开始，以门极可关断晶闸管（GTO）、电力双极晶体管（BJT）和电力场效应晶体管（Power-MOSFET）为代表的全控型器件迅速发展。全控型器件的特点是，通过对门极（基极、栅极）的控制既可使其开通又可使其关断。此外，这些器件的开关速度普遍高于晶闸管，可用于开关频率较高的电路。这些优点使电力电子技术的面貌焕然一新，把电力电子技术推进到一个新的发展阶段。 1.3电力电子器件的新发展为了解决MSOFET在高压下存在的导通电阻大的问题，RCA公司和GE公司于1982年开发出了绝缘栅双极晶体管（IGBT）,并于1986年开始正式生产并逐渐系列化。IGBT是MOS?FET和BJT得复合，它把MOSFET驱动功率小、开关速度快的优点和BJT通态压降小、载流能力大的优点集于一身，性能十分优越，使之很快成为现代电力电子技术的主导器件。与IGBT 相对应，MOS 控制晶闸管(MCT)和集成门极换流晶闸管（IGCT）都是MOSFET和GTO的复合，它们都综合

浅谈阻燃材料聚磷酸铵的研究进展

浅谈阻燃材料聚磷酸铵的研究进展摘要：聚磷酸铵是一种高效无机无卤磷系阻燃剂，是膨胀型阻燃剂的主要成分之一。本文就聚磷酸铵的合成方法，改性研究现状和应用前景进行了介绍。关键词：聚磷酸铵；阻燃剂；合成方法；改性，应用进展聚磷酸铵（简称APP）是一种磷氮系特效膨胀型无机阻燃剂，通式为（NH4）n+ 2PnO3n+1，外观呈白色粉末状，分水溶性和水难溶性，其中聚合度n 在10- 20 之间为水溶性，称为短链APP；聚合度n 大于20 的为水难溶性，称为长链APP。该产品P- N 阻燃元素含量高、热稳定性能好，产品近乎中性，能与其他物质配伍，阻燃性能持久，无毒抑烟。APP作为膨胀型阻燃剂的基础材料, 被广泛应用于阻燃领域，随着全球阻燃剂朝无卤化方向发展，以APP 为主要原料的膨胀型阻燃剂成为研究开发的热点。APP 的阻燃机理是受热脱水后生成聚磷酸强脱水剂，促使有机物表面脱水生成炭化物，加之生成的非挥发性磷的氧化物及聚磷酸对基材表面进行覆盖，隔绝空气而达到阻燃的目的，同时由于APP 含有氮元素，受热分解释放出CO2、N2、NH3等气体，这些气体不易燃烧，阻断了氧的供应，达到了阻燃增效和协同效应的目的[1]。 1 聚磷酸铵的合成目前聚磷酸铵的合成工艺很多，主要有磷酸和尿素缩合法，聚磷酸铵化法，正聚磷酸铵与氨气高温中和法，P2O5-NH3-H2O 高温气相反应法，NH4H2PO4和CO(NH2)2缩合法，NH4H2PO4和NH3缩合法以及H3PO4和NH3缩合法等。根据聚磷酸铵不同的用途合成的方法也不一样。 1.1 磷酸和尿素缩合法这种合成方法是将磷酸和尿素以一定比例混合，加热搅拌后，得到澄清透明的液体再将这种液体加热，经发泡、聚合和固化3 个阶段即可得到白色干燥固体，冷却后得到成品。李茂林等以85%的磷酸和尿素为原料探究了聚磷酸铵生产的最佳工艺条件，合成的产品聚合度为170，结果表明反应温度220℃，反应时间3h，n(H3PO4) (以P2O5计85%)∶n ［CO(NH2)2］=1∶1.8为最佳工艺条件。张长水等以正交实验法探讨了用磷酸和尿素为原料合成聚磷酸铵时，原料配比、反应温度、聚合时间等因素对产品聚合度的影响。实验结果表明，较优工艺条件为：尿素与磷酸的摩尔配比为 1.7∶1，预聚合温度180℃，固化温度240℃，固化时间为160min，产品外观为白色固体,平均聚合度为34，溶解度为0.98g·(100g 水)-1。 1.2 磷酸法这种合成方法要求磷酸以沸腾状态进入反应器，通入氨后使氨气与五氧化二磷的摩尔比在0.5~0.6 之间，反应器温度在180℃左右，此时局部氨化的磷酸将进入浓缩器内浓缩，使氨气与五氧化二磷混合物的含量在70%左右，再进入绝热氨化器内继续氨化，使混合物氨气与五氧化二磷的含量不少于77%，最后在辅助氨化器内进行氨化以达到一定规格的产品。 V．Archie等用物质的量之比为0.8~1.2 的氨气和五氧化二磷在

电子技术行业发展论文

依据国内外市场调研分析职校电子技术行业的发展与现状孙静晶张鹏汪鲁才孙静晶（1986-）女河南新乡人，助教，本科，电子技术教育，鹤壁汽车工程职业学院电子系教师，458030；Sun Jingjing (1986 -) female Henan xinxiang, assistant professor, bachelor, electronic technology education，Hebi automotive engineering vocational college teachers of department of electronics，458030 张鹏（1989-）男，河北张家口人，研究生，汽车维修专业，鹤壁汽车工程职业学院汽车工程系主任,458030；Zhang peng (1989 -) male, hebei zhangjiakou, graduate, professional car maintenance, hebi automotive engineering vocational college of the engineering department,458030；汪鲁才(1969－)，男，湖北麻城人，教授，研究生导师，博士，主要研究方向为图像处理与模式识别，410081；Lu-cai wang (1969 -), male, macheng hubei, professor, postgraduate tutor, Dr, main research interests include image processing and pattern recognition，410081 摘要当今世界上发展最快和应用最广的是电子行业，从日常生活到现代精密航空航天工业到处都可以看到有关电子的产品或身影。例如电子计算机、通讯机、雷达、仪器及电子专用设备，计算机，录音机、录像机等，电子元器件产品显像管、集成电路、各种高频磁性材料、半导体材料及高频绝缘材料等。所有这些都存在于生活中的各方面。电子信息产业是目前我国最大的、最重要的产业之一，提供了众多的就业岗位。文章依据调研和分析了最近 5年国内外电子信息产业现状，然后以湖南长沙为例，重点分析了该地区电子信息行业的现状和存在的问题。关键词电子行业现状电子产品一、近五年国外电子信息产业发展趋势 21 世纪以来，全球电子信息产业处于一个飞速发展时期。近五年年

电子级磷酸简介教学教材

电子级磷酸简介

电子级磷酸盐简介电子级磷酸属于高纯磷酸，广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响，纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗（面板级），纯度高的用于电子晶片生产过程的清洗和浊刻（称为IC 级）。电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐，也是高纯有机磷产品的主要原料，另外还可用作超高纯试剂和光纤玻璃原料等。产业链制作工艺电子级磷酸可由元素磷或磷的氧化物经化学反应得到，也可由成品磷酸净化精制而得，制备的关键在于控制并达到所要求的碱金属与重金属杂质离子的含量和颗粒度。目前有如下几种主要制备工艺：1）用高纯磷制备电子级磷酸；2）用高纯三氯化磷制备电子级磷酸；3）用三氯氧磷制备电子级磷酸。

提纯工艺主要有：1）磷酸的净化精制法；2）有机溶剂萃取法；3) ①冷冻结晶法；②熔融结晶法；5）其他净化法其他的净化方法有电渗析：①电渗析法；②膜分离。电子级磷酸的国际质量标准国际半导体设备与材料组织(SEMI) 将电子化学品按应用范围分为SEMI-C1、SEMI - C7、SEMI-C8和SEMI -C12四个等级。我国则划分为BV-Ⅰ、BV-Ⅱ、BV- Ⅲ和BV- Ⅳ四个等级，BV-Ⅲ级已达到国际 SEMI -C7质量标准，适用于018～112μm工艺技术的加工制作，这是目前我国生产的较高水平的微电子化学品。国内外技术差别

产品使用依赖进口国内技术水平：目前国内市场所需MOS 级、BV电子级磷酸已有工厂生产，BVII级和BVIII电子级磷酸仍处于研发状态，所需产品依赖进口。国外技术水平：高纯电子化学品的生产技术在国际上尚处于高度保密和高度垄断阶段，生产技术主要由德国、日本和美国等少数几个发达国家掌握，有关生产方法、工艺技术、实验研究、产品质量指标体系的确立及分析方法、设备包装材质的研究等等内容鲜见报道，国外技术拥有方甚至不进行实质性专利申请，技术研发机构很难检索到有价值的技术文献信息。技术难点：高纯电子化学品技术的研发必须依靠自主创新，建立完整的研发、生产、检测及包装体系，但在该技术的开发存在着工艺、设备、材料、控制等许多难题，技术开发和生产控制难度很高，研发投入大，即便是建立一个小型实验室，至少需要数百万元的投入，如果建设中等规模的工业化装置，总投资至少在数千万元，甚至过亿。我国电子磷酸市场现状（1）企业规模小，目前国内30多家，只有十几家企业进行生产和销售高纯磷酸，且规模均不大，主要集中在江苏、四川和贵州。