纯水系统技术手册上
纯水系统作业指导书1
厦门集顺半导体制造有限公司40T/H超纯水系统作业指导书厂务部制2015年5月25日目录目录 (2)一、多介质过滤器 (7)手动操作说明 (7)多介质单机图 (13)二、活性炭过滤器 (14)手动操作说明 (14)活性炭单机图 (17)三、阳塔 (18)手动操作说明 (18)阳塔单机图 (25)四、阴塔 (26)手动操作说明 (26)阴塔单机图 (32)五、RO机组 (33)手动操作说明 (33)RO单机图 (37)六、混床 (38)手动操作说明 (38)混床单机图 (47)七、终端装置 (48)手动操作说明 (48)八、常见异常报警及应对措施 (52)警告：1、本手册仅限于紧急状态使用，非操作员未经允许不得擅自在设备运行正常时操作。
2、操作设备前必须先阅读本手册及电话询问老员工，并密切观察各阀门、按钮和电磁阀开关状态，以及各仪表是否处于正常状态。
气动阀处于关闭状态气动阀处于打开状态自动运行时，灯亮为电磁阀打开；手动时，阀门开和关，灯都不亮。
旋钮开关/启动按钮/关闭按钮一、多介质过滤器运行状态行程表多介质过滤器手动操作说明手动操作时，设备运行时间以运行状态表中为准。
警告：1、确保执行阀门的开启之前必须确保气源压力足够，否则阀门未开启而水泵启动，会造成严重后果！2、启动泵前，必须检查阀门和电磁阀是否处于正确运行状态，否则容易发生憋压或串水。
3、通水时，必须先开阀门再启动泵；断水时，先停止泵再关闭阀门。
多介质过滤器单体原水泵（地点：水泵房）反洗泵（地点：水泵房）原水泵/反洗泵旋钮开关（地点：水泵房）多介质过滤器单体多介质过滤器单机图MMF01-AV5V3V2V1V4 HV1原水泵P01-A/B活性炭过滤器逆洗泵P022"1.5"排气一般排放（A类排放）二、活性炭过滤器运行状态行程表活性炭过滤器手动操作说明手动操作时，设备运行时间以运行状态表中为准。
警告：1、确保执行阀门的开启之前必须确保气源压力足够，否则阀门未开启而水泵启动，会造成严重后果！2、启动泵前，必须检查阀门和电磁阀是否处于正确运行状态，否则容易发生憋压或串水。
EDI超纯水系统操作技巧使用说明
EDI超纯水系统操作技巧使用说明EDI（Electrodeionization）超纯水系统是一种用于去除水中离子的先进水处理技术。
在EDI超纯水系统的操作过程中，需要注意一些技巧和使用说明，以确保系统的正常运行和高效产水。
以下是EDI超纯水系统的操作技巧使用说明：1.准备工作：在操作EDI超纯水系统之前，需要检查系统的各个部件是否完好无损。
检查水源供应是否正常，并确保水质符合EDI超纯水系统的要求。
此外，还需检查废水排放通道是否通畅，并准备好废水处理措施。
2.启动系统：首先，打开EDI超纯水系统的电源开关，然后按照系统的说明书或厂家提供的操作手册开启各个部件。
确保各个仪表的显示正常，水泵和鼓风机等设备的转动是否正常。
等待适当的时间，直到系统运行稳定。
3.参数设定：根据所需的水质要求，设定EDI超纯水系统的工作参数。
这些参数包括流量、纯水电导率、温度等。
设定合理的参数可以确保系统的高效运行和高纯度的产水。
4.操作控制：5.检查维护：定期检查EDI超纯水系统的各个部件及管路是否正常。
检查水箱、滤芯、阀门等部件是否有松动、漏水等情况，及时进行修理或更换。
定期清洗滤芯和防结垢处理可以延长系统的使用寿命。
6.废水处理：7.停机维护：当EDI超纯水系统需要停机进行维护时，应先关闭系统的电源开关，停止供水和废水排放。
然后按照维护流程进行相应的维护工作，包括清洗部件、更换滤芯等。
维护完成后，再重新启动系统。
8.定期保养：为了确保EDI超纯水系统的长期稳定运行，需要定期进行保养工作。
保养工作包括清洗滤芯、更换耗材、检修管路和设备等。
保养工作可以延长系统的使用寿命，并提高系统的产水效率和纯度。
总之，EDI超纯水系统的操作技巧使用说明包括准备工作、启动系统、参数设定、操作控制、检查维护、废水处理、停机维护和定期保养等方面。
只有正确操作和维护，才能保证EDI超纯水系统的高效产水和长期稳定运行。
使用者应仔细阅读系统的操作手册和说明书，并根据实际情况合理操作和维护系统。
纯水制备操作说明书
纯水系统说明书YDRO1 -1 –EDIDate时间：2010/03Rev 版次： Rev.1上海远东制药机械有限公司第1章前言本纯化水系统是以石英砂过滤器、活性炭过滤器以及软化系统作为前处理，以目前国际上技术最先进、应用最为可靠的RO 反渗透膜作为一级除盐设备，终端采用了先进的连续电除盐（EDI）系统，组成了一套完整、高效率、高品质的纯水系统。
本系统主要去除水中的悬浮物、胶体、细菌、病毒、溶解盐、细菌内毒素和大部分有机物等杂质，系统脱盐率一般在97-99%以上，终端出水电阻率达到0.1uS/cm 。
连续电除盐装置每小时产水量（吨）一级反渗透装置上海远东制药机械有限公司在此，上海远东制药机械有限公司诚挚地感谢您的信任与支持，今后将本着一贯的服务热诚，为您提供完善的售后服务、详实的水质分析、理想的改善建议，帮助客户降低产品成本，提高产品品质。
第2章设备操作维护规范开始操作此系统前，请操作、维护人员务必详读本操作手册，使系统达到最佳使用状况，同时确保系统的正常运行及延长设备使用年限。
1.在试车时，所调整的流量、压力等值请勿随意变动，并请操作人员做好详细的运行参数记录，若发现有异常变化，请及时通知本公司派人处理；2.设备的维护、管理、记录请派专人负责，并妥善保管记录资料及所附的各项原始资料；3.本纯水系统为全自动运行控制，运行时只需将所有开关置于自动状态即可，也可手动操作或半自动操作；4.手动操作及半自动操作：开机时必须先打开阀门，再开启水泵，关机时必须先关闭水泵，再关闭阀门。
5.系统所用滤芯，当进出水压差大于1.5kg/cm2 （约1.5bar）时请及时更换；6.请贵公司保存原水水质分析表，并随时注意是否异常；7.各种腐蚀药品，请远离设备；8.请尽量避免设备遭受日晒、雨淋。
第3章单元操作说明3-1．全自动石英砂过滤器3-1.1 前言全自动石英砂过滤器，作为纯水系统的前端过滤,对于水中的颗粒、悬浮物等有很好的去除效果,一般作为R.O的前处理，以确保R.O系统的正常运行，亦可使用于离子交换塔之前,防止树脂污染及延长树脂使用年限。
和泰 实验室纯水系统 说明书
和泰实验室纯水系统Hitech Series Laboratory Water Purification System使用说明书Instruction Manual上海和泰仪器有限公司Shanghai Hitech Instruments Co.,Ltd 全国统一客户服务专线：400-600-6097您的需要我们创造!1. 前言尊敬的顾客：感谢您选择和泰Hitech -DW系列实验室纯水机。
您现在拥有的是在当今世界水处理领域中占据领先地位的水处理设备。
它所制造的纯水能够满足您实验对纯水的需求，确保水质长期稳定可靠。
在您安装使用纯水机之前，我们建议您仔细阅读本使用手册。
它能使您的安装合格、规范，保养合理，从而使本纯水机发挥出最大的效能，保证您得到源源不断、质量可靠的纯水。
如果您在安装使用过程中遇到任何困难，请与当地经销商或我公司工程师联系，我们的专业人员将竭诚为您服务！2. 系统配置表，技术参数及性能指标得。
**GPD＝加仑/天，1加仑＝3.8升。
***进水水质将影响纯水的质量和滤柱的寿命。
3. DW系列纯水机流程图4. 微电脑控制器功能说明接线方式技术指标1、工作方式：长时间连续工作2、工作电压：DC24V3、功耗：<1.5W(MAX)4、负载电流：3A5、工作温度：-20°C - +70°C6、负载电压：24VDC7、工作湿度：5%-85%5. 工作环境进水为：市政自来水适用水压：1.0-3.5 Kg/cm2适用水温：5-40℃进水TDS值：<200ppm(进水条件超过上述指标会影响预处理滤柱、RO膜和纯化柱的使用寿命。
) 电源：220V、50Hz功率：72W注意：(1). 机器的进水应为市政自来水，水质应符合《生活饮用水水质卫生规范》(2001)的要求。
(2). 环境温度过低时，RO膜的产水量会低于其理论产量。
实际产水量与理论产水量最大会有20％的偏差。
RO膜的理论产量是在：25℃，1atm环境下的指标；脱盐率是在：进水TDS＝200ppm，25℃，50psi和15%回收比下测得。
纯水系统操作指导书
纯水系统操作指导书1000字纯水系统是目前生产和实验中广泛应用的一种水处理设备，它可以将自来水或其他来源的普通水转化为纯净水，适用于生产、医疗、实验等领域。
为了保证系统的正常运行和取得高质量的纯水，以下是操作指导书。
一、设备安装1. 纯水系统应与电源接地。
2. 吸水管和排水管应保持足够的通气，以避免设备温度过高和压力异常，导致设备无法正常运行。
3. 设备安装后，应检查水箱、过滤筒、紫外线灯等部件是否正常连接。
二、操作步骤1. 打开进水阀门，并通过进水管向水箱注水，注水后关闭进水阀门。
2. 开机，按下开关，进入系统工作状态。
3. 在设备运行过程中，设备的压力传感器将自动监测系统的压力，当压力到达设定值后，设备将停机，此时系统中的滤芯需要更换。
4. 在使用系统的过程中，应定期更换滤芯和紫外线灯，根据操作手册上的使用寿命及操作方法进行更换。
5. 定期使用水质测试仪，对水质进行检测，如果发现水质不合格需查找原因并及时处理。
三、注意事项1. 不得直接使用饮用水和化学试剂等物质进入系统中。
2. 不得在水箱中加入药品或化学试剂等物质，以避免污染水质。
3. 长时间不使用系统时，应关闭电源，并拆卸过滤筒并放置阴凉处进行保管。
4. 在操作过程中，注意观察设备的工作调节指示灯，及时排除故障。
5. 在操作结束后，应关闭电源，并清洗系统。
总之，正确的操作步骤和注意事项是保证纯水系统长期、稳定地运行工作的基础。
在使用过程中，应加强设备的日常维护和管理，使系统的使用寿命更长，并且保证纯水的质量符合主客户预期。
纯化水系统+分配系统操作手册SOP
目录1.目的 (2)2.范围 (2)3.责任人 (2)4.内容 (2)4.1触摸屏操作 (2)4.1.1开机前准备 (2)4.1.2登陆 (2)4.1.3预处理部分： (3)4.1.4系统操作： (3)4.2.现场控制盘操作 (7)4.2.1系统操作盘 (7)4.3.监控画面说明.................................................................................................... 错误!未定义书签。
4.3.1主画面：................................................................................................. 错误!未定义书签。
4.3.2手动画面................................................................................................. 错误!未定义书签。
4.3.3 巴氏消毒画面........................................................................................ 错误!未定义书签。
4.3.4报警及参数设定..................................................................................... 错误!未定义书签。
4.3工艺操作 (7)4.3.1系统运行前准备: (7)4.3.2开机: (7)4.3.3运行： (8)4.3.4系统停机程序： (8)4.3.5过滤器的反洗 (9)4.3.6精密过滤器滤芯更换： (9)4.3.7反渗透的化学清洗 (9)4.3.8注意事项： (11)4.4 维护保养 (11)4.4.1系统常见故障分析及排除 (11)4.4.2系统注意事项 (12)1.目的规范纯化水系统操作，保障纯化水质量。
Millipore超纯水制造系统操作及保养手册
範例: 針對共同項目
M ILLI-Q Ac. Gr. Bio.Syn.A10
: 所有線條皆為柱狀。 （表示本功能是用在所有四種機型）
針對特殊系統: Gradient 所有圖形皆收錄在手冊最後之摺頁內。
系統各部分圖形 - 詳列於手冊之後
如何使用本手冊
本手冊是說明如何安裝耗材，使用及保養您的Milli-Q純水系統，雖然Milli-Q系統非常容易使用，但還 是強烈建議使用者徹底閱讀本手冊，可防止系統故障，可使使用者更熟悉所有功能及操作指令。
如何區分不同 Milli-Q 機型所涵蓋之不同應用內容
本操作手冊使用下述表記來區分。
如何使用本手冊 ......................................................................................................................................... 4 如何區分不同機型所針對的應用內容...................................................................................................... 4 警告標誌之意義.......................................................................................................................................... 4 前言 ............................................................................................................................................................. 5 一般說明...................................................................................................................................................... 5 系統運作原理.............................................................................................................................................. 5 系統結構流程圖.......................................................................................................................................... 6 規範.............................................................................................................................................................. 7 裝置 ............................................................................................................................................................. 9 系統裝置...................................................................................................................................................... 9 裝置方法.................................................................................................................................................... 10 MILLI-Q 系統操作 .................................................................................................................................. 13 操作的幾種模式........................................................................................................................................ 13 標準顯示.................................................................................................................................................... 13 附加顯示.................................................................................................................................................... 14 按鍵使用方法............................................................................................................................................ 15 MILLI-Q 系統啟動 ..................................................................................................................................... 20 保養 ........................................................................................................................................................... 21 例行保養時間表........................................................................................................................................ 21 例行保養.................................................................................................................................................... 22 疑難排除 ................................................................................................................................................... 25 疑難排除、訊息........................................................................................................................................ 25 警告號碼表................................................................................................................................................ 27
纯水系统操作手册
纯水系统操作手册一．工艺流程设备说明1．原水箱（T01）原水箱的容积为20m3,用来存储原水并提供一定缓冲。
2．原水泵（P01A/B）原水泵的作用是为处理系统提供足够的进水压力，维持预处理系统的正常运行。
其出力为30 m3/hr，扬程为4.4bar。
3．多介质过滤器（SF01）多介质过滤器的作用是除去原水中的悬浮物，降低原水的浊度。
4．活性炭过滤器（ACF01）活性炭过滤器主要作用是除去水中的余氯、色度、有机物及胶体硅等。
保证进入反渗透系统的水质，5．5μm过滤器（F01）5μm过滤器的作用是截留来自预处理系统产水中大于5μm的颗粒进入反渗透系统。
这种颗粒经高压泵加速后可能击穿反渗透膜组件，造成大量漏盐的情况，同时划伤高压泵的叶轮。
过滤器中的滤元位可更换滤芯，过滤器进出口压差大于设定值时应当更换。
6．RO高压泵（P02A/B）高压泵为反渗透膜组提供足够的进水压力，维持反渗透膜的正常运行。
其出口力为30m3/hr，扬程16.8bar。
7．反渗透系统（R001）反渗透系统是本流程中最重要的脱盐装置，它具有极高的脱盐能力。
本反渗透系统采用三段配置。
反渗透系统包括反渗透膜组、控制仪表几个部分。
现分述如下：1)反渗透膜组反渗透膜组是整个脱盐系统的执行机构。
它主要负责脱除水中的可溶性盐份、胶体、有机物及微生物，使出水达到要求。
反渗透装置的膜组件采用世界上先进的苦咸水复合膜，长度为1.0米。
系统设置反渗透膜组，正常出力为20 m3/hr，反渗透回收率设计为67％，反渗透膜组采用三段串联排列，第一段由3根安装4芯1米长膜元件的压力容器组成，第二段由2根安装4芯1米长膜元件的压力容器组成，第三段由1根安装4芯1米长膜元件的压力容器组成。
第一段的浓水直接进入第二段作为第二段的进水，而第二段的浓水则直接进入第三段作为第三段的进水。
2）为了控制、监测反渗透系统正常运行，在原水进入反渗透之前，还配置了一系列的在线检测仪表。
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Impurities and Removal Performance
不 全 懸濁性 物 質 NaOC薬注 凝集濾過 砂 濾 過 膜式前処理 活 性 炭 RO（複合膜） 二段 RO（複合膜） 常圧脱気 真空脱気 真空脱気(HE-VDG) Ion 交換（2B3T） Ion 交換（MB） UV（254ｎｍ） UV（185ｎｍ） M F U F △ ○ ◎ ○ ◎ ○ ○ ○ 蒸 発 残 純 渣 溶解 Gas TOC CO2 △ O2 全 SiO2 Ionic Non-Ionic SiO2 SiO2 △ ○ ○ ◎ ○ △ ◎ ◎ ○ ◎ ○ ◎ ○ ◎ ○ ○ ○ ◎ ○ ○ ○ ○ ◎ 物 質 溶解固形物 微粒子 微生物 Ion
純水系統技術手冊
純水系統常用水質名詞解釋
〄 1. 總溶解固體(Total Dissolved Solids，簡稱T.D.S)〆
〄 指水中溶解的無機物和有機物的總量，使用單位為ppm，或毫克/公升 〄 (mg/l) 。總溶解固體是測量進水和產水水質最方便快速的方法，而且它和 〄 滲透壓及離子強度有密切的關係，因此是很重要的水質項目。
• 预处理系统 SGP镀锌管道 C.S/R.L钢衬胶管道 UPVC管道 S.S不锈钢管道 • 初级处理系统(一级除盐) C.S/R.L钢衬胶管道 UPVC管道 CPVC管道 PP管道
纯水系统设计中管材的选用
• 终端处理系统(超纯水) CPVC管道 PP管道 PVDF管道 PFA管道 SS316L不锈钢管道 • 废水排放系统 PVC管道(含有腐蚀性液体) HT铸铁管道 C.S碳钢管道
SB-P : Strata Bed Polisher Ion Exchanger
DO : Dissolved Oxide
POLISHING SYSTEM FLOW DIAGRAM
(UPWR)
H.E.
From Make up Syste m
U.V.
(To Decompose Bacteria)
CP
(Ionic Exchange)
什麼是導電率(Conductivity)及阻抗值(Resistivity)？
水中的離子含量也就是導電物質的總含量，可用電子導電率來加以表示。電子導電率， 即電子流動“容易”的程度，與水中離子含量成正比關係。而阻抗值（＝比阻抗值） 則表示電子流動“困難”的程度，其值隨著水中離子含量減少而增加。因此，比阻抗 值與導電率呈倒數關係。由於自來水、蒸餾水中含有較多的離子，因此以導電率來表 示，而超純水所含離子較少，以比阻抗值來表示。檢測原理是，在水中將距離 1 cm 的兩片表面積為 1 cm2 大小的電極加以通電，來檢測兩極間的導電率與電阻值，其單 位表示如下。 比阻抗值的表示單位：MΩ・cm（mega ohm-centimeter） 導電率的表示單位：μS/cm（micro Siemens per centimeter）
Note:
CP : Cartridge Polisher Ion Exchanger UF : Ultra Filter(0.1µm pore size) MF : Micro Filter(0.1µm pore size) UPWS (or DIWS) : UPW (or DIW) Supply
UPWR (or DIWR) : UPW (or DIW) Return (Avoidable increase Bacteria)
工业纯水制备系统中常用管材
• 金属管材 • • • • C.S--碳钢管 SGP-热镀锌钢管 S.S---不锈钢管 C.S/R.L-碳钢衬胶管 非金属管材 PVC-聚氯乙烯 UPVC-改性聚氯乙烯 CPVC-氯化聚氯乙烯 PVDF-聚偏氟乙烯 PP—聚丙烯 PE—聚乙烯 PFA-偏聚二氟乙烯
纯水系统设计中管材的选用
UPVC与CPVC管道在使用中的区别
Reg. Tank Cub Reuse Tank
UPW Tank
HEX+TOCUV+CP+UF
POU
PRETREATMENT SYSTEM FLOW DIAGRAM
Well Water (Emergency)
HCl NaOH
FMRF
(Removed Fe, Mn)
MMF
(Removed >20µm size Particle)
ACF
(Removed TOC in water)
2B3T
(Most Part Ionic Exchange)
Well Water Tank
City Water Note:
NaClO
City Water Tank
NaClO HCl PAC
F.W. Tank
DI Tank
To Make up System
〄 〄 〄 〄 〄 〄 〄
MB混床系統 EDI系統 UV殺菌機 1μm 過濾器 Plisher Resign 0.2 μm 過濾器 UF SYSTEM
去除水中剩餘之離子 穩定水質 去除水中剩餘之離子 穩定水質 殺死水中細菌 去 除 水 中 較 小 之 顆 粒 穩定水質 16~18MΩ-CM 25℃ 過濾細菌及0.2 μm微細顆粒 過濾細菌及0.05μm微細顆粒
〄 5. 酸鹼值(pH Value)〆
〄 酸鹼值是溶液中酸或鹼濃度的表示法，其定義為水中氫離子濃度的負對數 〄 值，在25℃，中性水的酸鹼值為7，7以上至14為鹼性，7以下至0為酸性。
〄 6. 濁度(Turbidity)〆
〄 〄 〄 〄 濁度指水中引起光散射之懸浮顆粒的量々懸浮顆粒包括黏土 (Clay)<2um，淤泥(Silt)2~20um及微生物等。濁度單位依測量方法可分 為三種〆JTU、FTU以及NTU(Nephelometric Turbidity Unit)。NTU是唯 一目前被美國環保署認可的方法，也是RO膜廠商一般使用的指標。
〄 〄 〄 〄 〄 矽石在水中的溶解度和溫度及pH值有關，pH在大約8以上時，pH值愈 高，則溶解度愈大，而在中性時，矽石的溶解度最低。由於RO膜表面的 矽石沉積幾乎不可能被清洗去除，所以RO系統濃縮液須注意不要超過矽 石的最大溶解極限。
〄 11. 餘氯(Free Chlorine)〆
〄 〄 〄 〄 〄 〄 餘氯(自由氯)是指氯加入水中後解離成具有強殺菌效力的HOCl(次氯酸) 或OCl的形式，由於餘氯是一種強氧化劑，因此會破壞大多數聚醯胺類 材質(RO膜的主要結構化學組成) 。 12. 總有機碳(Total Organic Carbon, T.O.C.)〆 總有機碳又稱總可氧化碳，它是測定水中有機物置於燃燒室被分解成二 氧化碳的量，對於高純度的純水，總有機碳的去除和控制非常重要。
UF
(UPWS) (UPWN)
UPW Tank
(T=23± 1℃)
(Removed >0.1 µm size particle)
FAB
H.E.
(T=23± 1℃)
U.V.
(To Decompose Bacteria)
CP
(Ionic Exchange)
MF
(DIWS) (DIWN)
(Removed >0.1 µm size particle) (DIWR)
(Ionic Exchange) (Removed >1 µm size particle)
RO Tank
To Polishing System
Note: U.V. : Ultraviolet Lamp SF : Safety Filter(10µm pore size) PF : Post Filter(1µm pore size) RO : Reversed Osmosis
管路Loop的设计 根据整个FAB各User分布，UPW通过Loop送到各 区域。管径应根据各区域用量进行计算。每个Loop和 机台的Take-off点都必须设supply和return。整各Loop 的循环水量必须大于20%，防止细菌的滋生。
Loop供水和回水应安装流量计，两者之差即为该区 域的用量。UF出口压力为0.5~0.6Mpa，Loop压力通过 机械压力调节阀开度来控制。Loop供应压力通常控制 在0.4Mpa左右。每个Loop的回水应设电阻率仪，Loop 回水的电阻率小于15MΩ.cm切去前处理。回水总管设 TOC仪，如有回水出现异常状况可手动切去前处理或废 水处理系统。
〄 7. 淤泥污堵指數(Silt Density Index, SDI)〆
〄 濁度和淤泥密度指數都是用來表徵懸浮顆粒含量的水質項目，濁度針對 〄 固體顆粒，懸浮密度指數則是針對不易過濾分離的膠體顆粒，因此SDI可 〄 用於預測RO膜受到膠體污垢(Colloidal Fouling)的潛在性。
〄 8. 矽石(silica，二氧化矽)〆
〄 3. 鹼度（Alkalinity)〆
〄 鹼度是指水中可以和酸中和之成分的含量，主要成分為氫氧根(OH-)，碳酸 〄 根(CO3,)及碳酸氫根(HCO3-)，由於碳酸鈣是最主要的結垢來源，因此分析 〄 水中的鹼度對結垢預測是非常重要的。
〄 4. 硬度(Hardness)〆
〄 〄 〄 〄 〄 硬度最主要來源為鈣和鎂，因此在水質分析上鈣硬度和鎂硬度兩者的總和稱 為總硬度，常用的硬度單位為ppm as CaCO3，硬度成分依能否以加熱方式去 除而被分為永久硬度和暫時硬度，永久硬度是指鈣，鎂的氯化物、矽酸鹽和硫酸 鹽等，硬度成分在水被加熱的過程中不會沉澱下來，暫時硬度主要係指碳酸 鈣，這些成分在加熱時會結晶析出形成沉澱物。
UPWN (or DIWN) : UPW (or DIW) Net=UPWS-UPWR (or DIWS-DIWR)
純 水 設 備 單 元 目 的
〄 〄 〄 〄 〄 〄 MMF 自動砂濾機 ACF 多層活性碳 自動軟水機 2B3T系統 RO系統 去 除 水 中 較 大 之 顆 粒 除氯及吸附有機物增加RO壽命 去除水中陽離子 避免 RO結垢 去除水中離子降低導電度 去除水中鹽類、有機物 及顆粒 達到水純化減低 MB or EDI負荷