功能薄膜材料的制备方法对比与应用前景

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酚醛树脂塑料薄膜的能量吸收性能及应用前景分析

酚醛树脂塑料薄膜的能量吸收性能及应用前景分析摘要:酚醛树脂塑料薄膜是一种具有优异能量吸收性能的材料，广泛应用于航空航天、汽车工业和防护装备等领域。

本文通过对酚醛树脂塑料薄膜的能量吸收性能及应用前景进行分析，探讨了其结构特点、制备方法和应用领域，并提出了进一步研究的方向。

1. 引言随着现代科技的快速发展，对材料的要求也越来越高。

在一些特殊行业领域，如航空航天、汽车工业和防护装备等，对材料的能量吸收性能有着较高的要求。

酚醛树脂塑料薄膜作为一种具有良好能量吸收性能的材料，广泛应用于这些领域。

因此，对酚醛树脂塑料薄膜的能量吸收性能及应用前景的研究具有重要的意义。

2. 酚醛树脂塑料薄膜的结构特点酚醛树脂塑料薄膜由酚和醛的缩合反应得到，具有以下结构特点：(1) 高分子有机聚合物结构：酚醛树脂塑料薄膜具有高分子有机聚合物结构，这种结构使得材料有着较好的塑性和可塑性，能够适应各种形状的需求。

(2) 交联结构：酚醛树脂塑料薄膜中的酚分子和醛分子之间通过缩合反应形成交联结构，这种结构增加了材料的强度和硬度。

(3) 多孔结构：酚醛树脂塑料薄膜具有多孔结构，这种多孔结构使材料具有较好的吸能能力，能够在外部冲击力的作用下迅速吸收能量。

3. 酚醛树脂塑料薄膜的制备方法酚醛树脂塑料薄膜的制备方法多种多样，主要包括溶液法、熔融法和压缩成型法等。

(1) 溶液法：将酚和醛以一定的摩尔比例溶解在有机溶剂中，通过溶液蒸发除去溶剂得到固态薄膜。

(2) 熔融法：将酚和醛加热至熔点，使其熔化混合形成均匀的熔体，然后冷却成型得到薄膜。

(3) 压缩成型法：将酚醛树脂粉末放置在模具中，通过加热和压力作用使其熔化并填充模具形成薄膜。

4. 酚醛树脂塑料薄膜的能量吸收性能酚醛树脂塑料薄膜具有优异的能量吸收性能，主要表现在以下几个方面：(1) 高吸能能力：由于酚醛树脂塑料薄膜具有多孔结构，能够在外部冲击力作用下迅速吸收能量，从而保护内部结构不受损害。

(2) 良好的抗冲击性：酚醛树脂塑料薄膜具有高强度和硬度，能够有效抵抗冲击力，减小事故造成的损失。

薄膜材料的制备及性能研究

薄膜材料的制备及性能研究第一章：薄膜材料的基础知识薄膜材料是指厚度在一个纳米到几微米之间的材料，由于其具有较大的比表面积和界面能，从而表现出了明显的物理和化学性质，应用广泛。

薄膜材料可以制备出各种不同形态和结构的材料，包括单层，多层和复合薄膜。

薄膜可以用于制备各种功能性材料，例如光电材料，传感器，能源材料和生物医学材料等。

因此薄膜材料的制备和性能研究已经成为了材料科学中一个重要的研究方向。

第二章：薄膜制备技术薄膜制备技术可以分为物理气相沉积（PVD），化学气相沉积（CVD），溶液法和电化学法等。

其中PVD主要应用于粘附性要求高的金属材料，CVD是为了制作半导体器件而发展出来的技术。

溶液法和电化学法则可以用来制备具有大面积、低成本和环境友好等特点的薄膜材料，因此是应用最为广泛的制备技术之一。

采用这两种技术制备的薄膜具有谷电导，谷光导和电化学性质等。

第三章：薄膜材料的性能研究具体来说，薄膜材料的性能包括表面化学性质、表面结构、光电性质和力学性质。

如表面化学性质可以通过XPS、FTIR和Tof-SIMS等技术进行表征，表面结构可以利用STM和AFM等技术来研究；光电性质则可以通过光谱测量和电学测试等手段来探究，力学性质则可以通过纳米压痕实验等方法来研究。

另外，薄膜材料的吸湿性、稳定性和生物相容性也是需要考虑的因素。

第四章：薄膜材料的应用领域举例薄膜材料由于其独特的性质，在许多领域中都有着广泛的应用。

以太阳能电池为例，在这种光电器件中，薄膜材料被用来制作光电转换器件和透明电极等部件，这直接关系到其光电性能和机械稳定性。

另外，在生物医学领域中，薄膜材料可以用来制备药物输送系统和人工血管等医学器械，用于有效地传递和释放药物。

第五章：未来展望在未来，薄膜材料将面临更加广泛和深入的应用前景。

例如，在生物医学领域中，薄膜材料可以用于制备智能药物释放系统，这将为治疗慢性疾病提供更有效的途径。

此外，在电子器件中，薄膜材料可以用于制作超薄管道、柔性器件和透明电极等。

薄膜材料的表征与应用前景

薄膜材料的表征与应用前景薄膜材料是一种厚度较薄的材料，具有广泛的应用领域。

在现代科学技术领域中，薄膜材料正变得越来越重要，例如电子器件、太阳能电池、光伏电池、光电子学、医学、生物传感器、防辐射、保护涂料等领域。

在这些领域中，薄膜材料都有着很重要的作用。

因此，如何进行薄膜材料的表征是非常重要的，下面将从表征方法、薄膜材料技术应用、应用前景三方面进行探讨。

一、薄膜材料的表征方法薄膜材料的表征方法主要有X射线衍射、透射电子显微镜、扫描电子显微镜、原子力显微镜等技术。

其中，X射线衍射属于一种常用的材料分析方法，可以得到薄膜的晶体结构、晶格常数、谱线宽度、拓扑结构等信息。

透射电子显微镜可以得到薄膜的显微组织结构，包括富含结构信息的多晶体薄膜、单晶薄膜以及异质结构。

扫描电子显微镜则可用来分析物质表面形态和组成，并且可对样品的形貌、大小、质量等进行观察和计量。

原子力显微镜则可以对样品的表面形貌进行观察，并能够创造分子层面的逼真图像，是一种非常常用的表征方法。

不同的薄膜材料在表征方法上存在很大的差异，例如，半导体薄膜材料需要更精确的表征技术，而对于金属薄膜材料则主要采用透射电子显微镜进行分析。

在分析时也需要注意用适当的方法。

二、薄膜材料技术应用薄膜材料的技术应用广泛，涉及到电子器件、太阳能电池、光伏电池、光电子学、医学、生物传感器、防辐射、保护涂料等领域。

其中，太阳能电池是薄膜材料的典型应用之一。

采用薄膜材料制造的太阳能电池，不仅可以提高转换效率，而且重量更轻、性能更佳。

此外，薄膜材料还可以用于生物传感器领域。

由于薄膜具有微观尺寸范围，因此具有内在的生物相容性和高灵敏度，并且还可以按照需要设计其结构或功能，如含有肝素和酶等的超薄膜，有利于抑制血栓形成和生物膜。

三、薄膜材料技术应用前景在各种新能源材料中，薄膜材料已经成为研究热点。

太阳能电池、燃料电池等的制造关键是新材料的开发，而在这些中，薄膜材料的开发将成为未来的重要方向。

聚酰亚胺薄膜材料的制备与应用研究

聚酰亚胺薄膜材料的制备与应用研究聚酰亚胺薄膜是一种高性能的高分子材料，具有优异的机械、热学、光学和化学稳定性，广泛应用于电子、光学、化学、生物医学等领域。

本文将介绍聚酰亚胺薄膜的制备方法和应用研究情况。

一、聚酰亚胺薄膜的制备聚酰亚胺薄膜的制备方法主要有溶液浇铸、真空挥发、浸涂法、界面聚合法等。

其中，溶液浇铸法是最常用的一种方法。

1. 溶液浇铸法首先，将聚酰亚胺原料按一定比例溶解在有机溶剂中，并加入助剂如甲基丙烯酸甲酯（MMA）、聚乙二醇（PEG）等，对溶液进行混合搅拌使其均匀分散。

然后，把混合好的溶液倒入玻璃基板或金属基板上，在加热的条件下使其干燥成薄膜。

溶液浇铸法对于薄膜品质和制备成本的影响比较大，因此需要在制备过程中仔细控制溶剂挥发速率、温度、浇铸速度等参数，以获得高质量的聚酰亚胺薄膜。

2. 真空挥发法真空挥发法利用真空中高温下的聚酰亚胺原料在物质的表面形成很薄的聚酰亚胺膜。

通常，将聚酰亚胺原料放入真空釜中，在真空状态下进行加热，使挥发出来的材料在基板表面形成一层均匀分布的薄膜。

真空挥发法较为简单且成本较低，但是挥发原料的过程对于真空釜的材料和加热部分的耐受能力有较高的要求。

同时该方法制备出的聚酰亚胺薄膜质量无法得到有效控制。

二、聚酰亚胺薄膜的应用研究1. 电子领域（1）聚酰亚胺薄膜在电子领域的应用主要体现在电容器、电磁波屏蔽和光滤波器等方面。

其中，利用聚酰亚胺薄膜的优异介电性能制备超高电容器，能够在电容大小相同情况下，大幅度减小器件的尺寸。

同时，聚酰亚胺薄膜能很好地吸收电磁波，降低信号干扰，并在通讯领域有着广泛的应用。

（2）聚酰亚胺薄膜还应用于薄膜太阳能电池和有机发光二极管等新能源器件。

利用其高透光性质和优良的导电性，可增强太阳能电池和发光二极管的电学性能。

2. 光学领域聚酰亚胺薄膜在光学领域的应用主要体现在薄膜滤波器、极化器、透镜等方面。

利用其高透过率、低散射特性和优异的热稳定性，可以制备高性能光学元器件。

ZnO薄膜的制备与性能研究

ZnO薄膜的制备与性能研究ZnO是众所周知的一种半导体材料，近年来，它的应用领域不断扩大，包括光电技术、传感器技术、气敏技术、生物技术等领域。

其具有较高的透明度、电阻率、热稳定性和高电子迁移率等优异特性，使得其在各个领域中拥有巨大市场前景。

在这些应用中，ZnO薄膜则是ZnO材料的重要组件之一。

本文主要探讨ZnO 薄膜的制备及其性能研究。

一、ZnO薄膜制备方法1.溶胶-凝胶法ZnO薄膜制备的一种常见方法为溶胶-凝胶法。

该方法主要涉及将预先制备好的ZnO溶胶放置于合适的基底上，然后通过热退火的方式完成ZnO薄膜的制备。

使用该方法，可以获得良好的薄膜质量和较大的薄膜面积，同时可以随意控制薄膜厚度。

2.物理气相沉积法物理气相沉积法是ZnO薄膜制备中最常用的方法之一。

其主要通过采用物理气相沉积设备将高温气体通入反应室，然后将蒸汽通过传输管道沉积在基底上完成ZnO薄膜的制备。

该方法具有制备ZnO晶体中空气杂质较少、晶粒精细等显著的优点。

3.MBE法MBE法是利用分子束外延设备在超高真空环境下生长晶体的方法。

该方法制备的ZnO薄膜具有非常高的晶体质量。

然而，需要难以实现的极限条件，如超高真空环境和较高的晶体表面温度。

二、ZnO薄膜性能研究1.光电性能ZnO薄膜是光学和电学交叉的半导体薄膜。

关于ZnO薄膜的光学性能，已有许多研究。

例如，有研究人员证实了ZnO条纹薄膜在光学上具有比等宽薄膜更高的透射比，这是由于条纹薄膜的形态依赖性的折射率引起的。

此外，ZnO薄膜具有优越的光电转换性能，可用于太阳能电池、传感器等领域。

2.气敏性能ZnO薄膜的气敏性能是其另一个重要的应用领域，具有广泛的市场前景。

研究表明，ZnO薄膜的气敏性能受到薄膜厚度、沉积温度和掺杂类型等多个因素的影响。

例如，掺杂ZnO薄膜的气敏性能不仅可以提高灵敏度，还可以增加电阻率等方面的特性。

3.化学性质关于ZnO薄膜的化学性质，研究人员通常需要从其表面性质、表面反应等多个方面进行分析。

薄膜材料与技术

薄膜材料与技术引言薄膜材料是一种在厚度范围内具有特定性能和结构的材料，它在多个领域中发挥着重要作用。

薄膜技术是制备、改进和应用薄膜材料的一套方法和工艺。

本文将介绍薄膜材料的定义、制备方法、常见应用以及未来的发展趋势。

薄膜材料的定义薄膜材料是在纳米尺度至微米尺度范围内的一种特殊材料，其厚度通常在0.1nm到100μm之间。

相比于传统材料，薄膜材料具有较高的比表面积和特殊的物理、化学性质，使得其在光电、能源、生物医学等领域具有广泛的应用前景。

薄膜材料的制备方法薄膜材料的制备方法多种多样，常见的制备方法包括：1.物理气相沉积（PVD）：通过热蒸发、电子束蒸发、激光蒸发等方法将材料蒸发在基底上，形成薄膜。

2.化学气相沉积（CVD）：将气相前体分子引入反应室中，经过热分解或化学反应，在基底表面生成薄膜。

3.溶液法：将溶解了材料的溶液涂覆在基底上，通过溶剂蒸发或化学反应，将材料转变为薄膜。

常见的溶液法包括旋涂法、浸渍法等。

4.声波法：利用声波的能量使材料溶解或悬浮在溶剂中，然后将溶液通过超声波定向沉积在基底上。

5.离子束辅助沉积（IBAD）：通过将离子束轰击基底表面，促使薄膜材料原子结晶或沉积在基底上。

薄膜材料的应用领域薄膜材料在多个领域中发挥着重要作用，以下是几个常见的应用领域：1.光学领域：薄膜材料在光学镀膜中广泛应用，用于改善光学元件的透射和反射特性。

例如，透明导电薄膜可用于制造触摸屏、光伏电池和显示器件。

2.电子领域：薄膜材料可用于制造半导体器件，如晶体管、薄膜电阻器和电容器。

此外，薄膜材料还可用于制造柔性电子产品和纳米电子元件。

3.能源领域：薄膜太阳能电池是一种高效能源转换设备，薄膜材料在其制备过程中起到关键作用。

此外，薄膜材料还可用于燃料电池、锂离子电池等能源存储和转换装置中。

4.生物医学领域：薄膜材料在生物医学传感器、生物芯片、医用导管等方面有广泛应用。

例如，聚合物薄膜可用于修复组织缺损，金属薄膜可用于制造仿生传感器。

功能薄膜发展现状分析

功能薄膜发展现状分析功能薄膜作为一种新兴的材料，近年来得到了广泛的研究和应用。

功能薄膜具有各种特殊的功能，例如隔热、隔离、防腐蚀、防紫外线等，已经被应用于建筑、能源、电子、光电、医疗等各个领域。

下面将对功能薄膜的发展现状进行分析。

首先是功能薄膜的研究进展。

目前，国内外学术界对功能薄膜进行了大量的研究，涉及材料的制备方法、薄膜的性能测试、薄膜的应用领域等方面。

在功能薄膜的制备方法方面，包括溅射法、化学气相沉积法、溶液法等，不断推出了一系列技术突破，使薄膜的制备更加高效、环保。

在薄膜的性能测试方面，研究人员不断探索新的测试方法和技术手段，提高薄膜的性能评价准确性和可靠性。

在薄膜的应用领域方面，现在已经有很多成功的应用案例，例如利用功能薄膜提高建筑的能源效率、利用功能薄膜增强电子设备的防护能力等。

其次是功能薄膜的应用现状。

功能薄膜广泛应用于建筑、能源、电子、光电、医疗等领域。

在建筑领域，功能薄膜可以作为玻璃的涂层，提高建筑的隔热性能和能源效率。

在能源领域，功能薄膜可以应用于太阳能电池板上，提高太阳能的转换效率。

在电子领域，功能薄膜可以用于制作柔性屏幕、防护膜等，提高电子设备的使用寿命和可靠性。

在光电领域，功能薄膜可以用于制作光学滤波器、反射镜等，调节光的传播和反射。

在医疗领域，功能薄膜可以用于制作医用敷料、人工器官等，提高医疗设备的治疗效果。

最后是功能薄膜的发展前景。

随着科技的进步和社会的发展，功能薄膜将有更广阔的应用前景。

随着建筑节能和环保意识的不断增强，功能薄膜在建筑领域的应用将得到广泛推广。

随着新能源的发展和能源效率的提高要求，功能薄膜在能源领域的应用将逐渐扩大。

随着电子产品更新换代的速度不断加快，功能薄膜在电子领域的应用也将有更大的市场需求。

随着人们对健康和医疗的重视程度的提高，功能薄膜在医疗领域的应用也有广阔的发展前景。

综上所述，功能薄膜作为一种新兴的材料，目前正处于快速发展阶段。

功能薄膜的研究进展使其制备方法更加高效，性能测试更加准确，应用领域更加广泛。

高性能硅薄膜的制备及应用

高性能硅薄膜的制备及应用硅材料在电子行业中应用广泛，而硅膜则是硅材料的重要组成部分。

硅膜是非常薄的一层硅材料，其主要用于电子元器件的制造和功能材料的表面修饰。

随着科学技术的发展，人们对于硅膜的性能需求不断提高，因此研究新型高性能硅薄膜已经成为当前研究的热点之一。

本文将介绍高性能硅薄膜的制备及应用情况。

一、硅膜的制备方法目前，硅膜的制备方法主要有物理气相沉积和化学气相沉积两种方法。

1.物理气相沉积物理气相沉积（PVD）是一种常见的制备硅膜的方法。

其原理是将硅材料制成薄片，并在高真空条件下将薄片蒸发到基板表面。

这种方法可以控制薄膜的厚度和化学组成，因此可以制备出高性能硅膜。

不过，在实际应用中，物理气相沉积的缺点也很明显，主要表现为无法获得均匀的薄膜。

此外，物理气相沉积还需要高真空条件，而且制备成本较高。

2.化学气相沉积化学气相沉积（CVD）是一种比较适用的制备硅膜的方法。

其原理是通过气相反应在基板表面沉积硅薄膜。

化学气相沉积技术具有成本低、工作性能良好、溶胶质量高等优点。

在化学气相沉积中，通常使用的硅源有如下几种：氯化硅、六氯硅烷、三甲基氯硅烷和二甲基硅烷等。

其反应过程可以分为两步：第一步是硅源分解或氧化，生成气相中的硅含物，第二步是硅含物在基板表面反应沉积。

二、高性能硅膜的应用高性能硅膜具有较佳的光、电、声、热、化学性能，因此在电子、光学、传感器、生物医学和太阳能等领域中得到广泛应用。

1.电子领域在电子领域中，硅薄膜的应用主要体现在半导体器件制造方面。

硅薄膜可以用于制造晶体管、太阳能电池和LED灯等器件。

此外，硅薄膜还可以在微流体系统、储存器芯片和传感器等电子设备中发挥重要作用。

2.光学领域在光学领域中，硅膜可用于制造反射镜、滤光镜、透镜和棱镜等光学部件。

硅膜晶体具有光学透明性好、热稳定性高等优点，它可以使需要透光的设备更加高质量的完成工作。

3.传感器领域高质量的硅薄膜还可以用于生物传感器中。

在生物医学领域中，硅薄膜可以作为传感器应用于蛋白质、细菌等生物分子的检测，其敏感性和特异性都非常高，能够快速准确地实现有害物质的检测。

电解质薄膜的制备和性能

电解质薄膜的制备和性能电解质薄膜是一种重要的功能材料，具有许多应用领域，例如燃料电池、锂离子电池、电解电容、电分离等。

其主要功能是作为固态电解质，以离子导电的方式将电化学反应中的离子传递。

本文将从电解质薄膜的制备和性能两个方面，阐述其重要性和应用前景。

一、电解质薄膜的制备目前制备电解质薄膜的方法主要有三类：溶液浸渍、电化学沉积和物理气相沉积。

1. 溶液浸渍法该方法是将聚合物薄膜浸渍到电解液中，使其中的离子能够通过薄膜产生离子传导，从而实现离子交换的效果。

与其他方法相比，溶液浸渍法的制备工艺简单，适用于大规模制备。

但是，由于经过浸渍后聚合物薄膜含水量较高，电导率较低，并且在长期贮存或使用过程中会有水分的挥发导致电解质失效，因此需要进行严格的电解液干燥处理。

2. 电化学沉积法该方法是利用电化学反应通过电极将离子沉积在电极表面，最终形成电解质薄膜。

与溶液浸渍法制备的电解质薄膜相比，电化学沉积法制备的电解质薄膜具有低含水量、高电导率、高机械强度、细致均匀等优点。

但是，该方法仍需进行复杂的控制电位、控制时间等要求严格的工艺条件。

此外，在电解质薄膜离子选择性方面，电化学沉积法制备的电解质薄膜相对较差。

3. 物理气相沉积法该方法是利用汽相沉积、喷雾气溶胶沉积等技术将薄膜材料沉积在基底上制备电解质薄膜。

相对于溶液浸渍法和电化学沉积法，物理气相沉积法制备的电解质薄膜具有更高的结晶度、更低的电阻率、更好的化学稳定性和更高的机械强度等优点，可以用于制备高质量的电解质薄膜。

但是，物理气相沉积法需要采用高温制备或者采取复杂的控制工艺，且制备的电解质薄膜较脆弱，易发生断裂。

二、电解质薄膜的性能1. 离子传导性能电解质薄膜的主要作用是传递离子，因此其主要性能指标是离子传导性能。

可以通过测量阻抗等电化学测试方法来评价电解质膜的离子传导性能。

对于离子传导性能优异的电解质膜，其内部离子不能透过，但在外界作用下，电解质薄膜能够快速和准确地传递离子。

材料科学中的薄膜技术与工程

材料科学中的薄膜技术与工程随着科技的不断进步，薄膜技术在材料科学中的应用日益广泛。

薄膜是一种具有特定功能和性能的材料，其在电子、能源、生物医学等领域都发挥着重要的作用。

本文将从薄膜技术的基本原理、发展历程以及应用前景三个方面进行探讨。

首先，我们先来了解一下薄膜技术的基本原理。

薄膜是指材料在一个方向上尺寸远小于其他两个方向的材料。

在制备过程中，通常会选择一种基片作为薄膜的支撑物。

通过不同的方法，将原材料在基片上进行沉积或涂覆，形成所需的薄膜结构。

薄膜的厚度通常在纳米到微米级别，因此具有较高的比表面积，对外界环境和物质具有较强的响应能力。

随着薄膜技术的不断发展，其应用范围也越来越广泛。

在电子领域，薄膜技术被广泛应用于集成电路和柔性显示器等方面。

制备高性能的金属薄膜和半导体薄膜，可以提高电子器件的性能和稳定性。

同时，薄膜技术还可以制备出高效的光学薄膜，提升光学器件的传输和控制能力。

在能源领域，薄膜技术可以用于制备光伏薄膜、燃料电池薄膜等，进一步提高能源利用效率。

此外，在生物医学领域，薄膜技术可以应用于药物控释、生物传感器等方面，为医学诊疗提供更多的选择。

薄膜技术的发展历程也是一部材料科学的不断探索与创新的历史。

早在20世纪50年代，科学家就开始研究薄膜沉积的方法和技术。

最早的薄膜制备方法之一是物理气相沉积（PVD），即将原材料加热到一定温度，使其蒸发、扩散并在基片上沉积。

这种方法主要适用于金属薄膜的制备。

而随着科学技术的进步，化学气相沉积（CVD）等新的薄膜制备技术也逐渐被发展出来，可以制备出更加复杂和多样化的薄膜结构。

未来，薄膜技术在材料科学中的应用前景将更加广阔。

随着纳米材料的研究和应用推进，将会有更多的新型薄膜材料被开发出来。

例如，二维材料石墨烯具有优异的导电性和光学特性，可用于制备高性能的电子器件和柔性显示器。

此外，有机无机杂化薄膜也是当前研究的热点之一。

这种薄膜结构既具备了有机材料的柔性和可塑性，又具备了无机材料的稳定性和导电性，有望应用于柔性电子、可穿戴设备等领域。

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第３６卷第３期２０１５年６月
ＤＯＩ：１０．１３９５７￣．ｃｎｋｉ．ｔｃｘｂ．２０１５．０３．００５
陶瓷李旅
ＪｏｕｒｎａｌｏｆＣｅｒａｍｉｃｓ
ＶＯ１．３６Ｎｏ．３Ｊｕｎ．２０１５
ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ，ｔｈｕｓｃｏｎｔｒｉｂｕｔｉｎｇｔｏｔｈｅｈｉｔｎｉｌｆｍｍａｔｅｉａｒｌｓｗｉｄｅｌｙｕｓｅｄｉｎｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉｆｅｌｄｓ．Ｔｈｅｈｉｇｈ— ｐｒｏｐｅ￣ｙｔｈｉｎｉｌｆｍｓｉｎｔｕｒｎｄｉｒｅｃｔｌｙｐｒｏｍｏｔｅ
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｗｉｔｈｔｈｅｕｐｄａｔｉｎｇｏｆｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓａｎｄｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓａｎｄｓｏｌｉｄｓｔａｔｅｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓｈａｖｅｇｏＲｅｎｈｉｇｈ・ｓｐｅｅｄ
ｔｈｅｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎｔｅｃｎｏｈｌｏｇｙ’ Ｓｓｏａｒｉｎｇ．Ｔｈｅｒａｐｉｄｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎａｎｄｍｉｎｉａｔｕｒｉｚａｔｉｏｎｏｆｅｌｅｃｒｏｔｎｉｃｓｄｅｍａｎｄｔｈａｔｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｐｒｏｄｕｃｔｓｈａｖｅｔｈｅ
ｍａｔｅｉｒａｌｓｊｕｓｔｍｅｅｔｔｈｅｈｉｇｈｌｙｉｎｔｅｇｒａｔｅｄｍｕｌｔｉｌａｙｅｒｗｉｒｉｎｇｎｄａｏｔｈｅｒｔｅｃｈｎｉｃａｌｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓ．Ｉｎｔｈｉｓｐａｐｅｒ，ｔｈｅｆａｂｉｒｃａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｓｏｆｔｈｉｎ
ｈｉｇｈ－ｓｐｅｅｄ，ｍｉｃｒｏ— ｔｈｉｎｎｄａｈｉｇｈｌｙｒｅｌｉａｂｌｅｃｈａｒａｃｔｅｉｓｒｔｉｃｓ；ｍｅｎｗｈａｉｌｅ，ｔｈｅｙｍｕｓｔｂｅｃｏｍｐａｔｉｂｌｅｗｉｔｈｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ．Ｔｈｉｎｉｌｆｍ
功能薄膜材料的制备方法对比与应用前景
辛凤，张效华，胡跃辉，陈义川
（景德镇陶瓷学院机械电子工程学院，江西景德镇３３３４０３）摘要：伴随电子信息技术的爆炸性发展，微电子与固体电子技术发展也日新月异，从而促进了薄膜材料在不同领域的广泛应用。反之，高性能薄膜材料的出现也直接促进信息技术的飞跃。电子元器件的发展趋势呈现高速运行，微型与轻薄化，可靠性高，高度集成等趋势，同时与微电子工艺兼容。薄膜材料正好满足多层布线与高度集成等工艺要求。本文综合介绍功能薄膜的制备方法以及优缺点对比。同时也简要介绍了薄膜材料的种类，研究进展以及可能的用途。关键词：功能薄膜材料；薄膜技术；制备方法；表面处理
中图分类号：ＴＱ１７４．７５文献标志码：Ａ文章编号：１０００ — ２２７８（２０１５）０３ — ０２３７ — ０６
ＲｅｓｅａｒｃｈＰｒｏｇｒｅｓｓｅｓａｎｄＦａｂｒｉｃａｔｉｏｎＭｅｔｈｏｄＣｏｍｐａｒｉｓｏｎｏｆＦｕｎｃｔｉｏｎａｌＴｈｉｎＦｉｌｍＭａｔｅｒｉａｌｓ