真空泵说明书
真空泵操作说明书
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7.1电镀课真空泵点检表。GR-028-01-A0
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对象
□总经理□副总经理□制造部□产销部
□管理部□技术部□营销部
发
文
日期
字号
NO
修订日期
修订履历
发文日期字号
5.作业程序
5.1操作程序
流程
权责
操作说明
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电镀课
接通电源，打开电源开关。
电镀课
在泵体平稳运转状态下，将橡胶连接导管两端分别与真空泵及减压器衔接好，即可开始工作。
电镀课
停止工作时，先关掉真空泵的电源开关，松动调压旋钮，待减压器内恢复为常压时，再将泵与减压器的连接导管分离。
5.2设备异常时，分析人员无法排除时依电镀设备异常处理管理办法执行。
XX塑料制品有限公司
真空泵操作说明书
编号
G-W-028
制订部门
电镀课
工作说明书
版本A0Biblioteka 页次1/1核
准
审
核
制
定
1.目的
为使本仪器之操作明确化，让操作者有所遵循之依据规范的操作本仪器。
2.适用范围
适用于凡真空泵操作或其它类型号之使用。
3.定义
略
4.权责
4.1本办法由制造部电镀课负责制订及修订。
4.2使用单位负责维护与保管。
真空泵操作说明书
真空泵操作说明书1. 产品简介真空泵是一种用于产生和维持真空状态的设备，广泛用于实验室、工业生产和科学研究领域。
本操作说明书将详细介绍真空泵的使用方法和注意事项。
2. 安全须知在操作真空泵之前，请务必遵循以下安全规定：- 在操作前，确保已经充分了解并理解了真空泵的操作手册。
- 确保工作环境通风良好，并戴上适当的防护设备，如手套和眼镜。
- 在操作过程中，严禁将有毒、易燃或腐蚀性物质接触到真空泵。
- 禁止将没有经过处理的气体直接排放到大气中，以避免对环境和人体健康造成危害。
3. 基本操作步骤3.1 准备工作- 检查真空泵是否连接到正确的电源，并确保电源稳定。
- 确保管道连接牢固，无漏气现象。
- 安装并确认真空泵的进出口阀门处于关闭状态。
3.2 启动真空泵- 打开真空泵的电源开关，确认指示灯亮起。
- 检查真空泵的工作状态指示器，确保正常运转。
- 缓慢打开进口阀和出口阀，让泵在无负载状态下运行30秒钟，以允许通过泵的气体流动。
3.3 停止真空泵- 关闭进口阀和出口阀。
- 关闭真空泵的电源开关。
4. 维护和保养4.1 清洁- 在每次使用真空泵后，应使用干净的软布轻轻擦拭外壳，保持清洁。
- 不要使用有机溶液或任何带有腐蚀性的清洁剂来清洗真空泵。
4.2 换油- 根据真空泵型号和使用情况，定期更换油液。
- 先等待真空泵自然冷却至室温后，再打开油箱放油口进行油液更换。
4.3 检查机件- 定期检查真空泵的所有机件和连接部件是否正常，如有发现松动或者磨损，应立即进行修理或更换。
5. 故障排除5.1 真空度下降- 检查进出口阀门是否关闭正确。
- 检查管道和连接件是否密封良好。
- 检查真空泵是否有异常噪音或震动。
5.2 泵无法启动- 检查电源是否连接正常，电源开关是否打开。
- 检查电源线是否受损或松动。
- 检查保险丝是否烧断。
5.3 异常噪音或震动- 停止真空泵运行，并立即断开电源。
- 检查泵体和连接件是否有松动或异物卡住情况。
真空泵说明书
品牌与型号推荐
品牌：德国莱宝 （Leybold）
型dwards）
型号：E2M系列
品牌：日本荏原 （EBARA）
型号：EH系列
品牌：中国中科仪 （CAS）
型号：CZ系列
性价比分析
品牌选择：选择知名品牌，质量有保障 价格比较：对比不同品牌、型号的价格，选择性价比高的产品 性能比较：对比不同品牌、型号的性能参数，选择性能优越的产品
定期检查与维修
定期检查真空泵的油位、油质和油温 定期更换真空泵的油和滤芯 定期检查真空泵的密封性能和润滑情况 定期检查真空泵的电气控制系统和保护装置
常见故障及排除方法
真空度下 降：检查 泵体是否 漏气，更 换密封圈 或垫片
噪音过大： 检查泵体 是否松动， 紧固螺栓
电机过热： 检查电机 是否过载， 调整负载 或更换电 机
泵体振动： 检查泵体 是否平衡， 调整平衡 块或更换 轴承
润滑油不 足：检查 润滑油是 否充足， 添加或更 换润滑油
泵体损坏： 检查泵体 是否损坏， 更换损坏 部件或整 体更换泵 体
应用领域
半导体制 造：用于 真空封装、 晶圆清洗 等
航空航天： 用于真空 模拟、空 间环境模 拟等
医疗设备： 用于呼吸 机、麻醉 机等
添加标题
添加标题
添加标题
添加标题
操作时佩戴防护眼镜和手套，避免 接触高温、高压部件
操作结束后及时关闭电源，清理现 场，保持设备清洁
日常保养
定期检查真空泵的油位，确保油位在正常范围内 定期更换真空泵的油，确保油的清洁和润滑效果 定期检查真空泵的密封性能，确保不漏气 定期检查真空泵的电机和电气系统，确保正常运行 定期清洗真空泵的过滤器，确保过滤效果 定期检查真空泵的冷却系统，确保冷却效果
金桥通真空泵说明书
金桥通真空泵说明书一、产品概述金桥通真空泵是一种高效、可靠的真空设备，广泛应用于各种工业领域，如化工、电子、医药、食品等。
本说明书将详细介绍金桥通真空泵的结构、工作原理、使用方法及注意事项，以帮助用户正确操作和维护设备。
二、结构和工作原理1. 结构金桥通真空泵由泵体、电机、密封件和控制系统组成。
其中，泵体是真空泵的核心部件，通过电机驱动泵体内的叶轮旋转，从而产生负压。
密封件用于保持泵体内的真空稳定，防止气体泄漏。
控制系统用于监测和调节泵体的运行状态。
2. 工作原理当电机启动后，泵体内的叶轮开始旋转，形成真空。
气体通过进气口进入泵体，被叶轮吸入并压缩，然后被排出。
在泵体内部形成的真空可以将容器内的气体抽出，从而实现真空的产生和维持。
三、使用方法1. 安装（1）选择合适的安装位置，确保设备离地面稳定且通风良好；（2）根据设备的重量和尺寸，选择适当的支架，并使用螺栓固定；（3）连接进气口和出气口，确保连接紧密，无泄漏。
2. 操作（1）接通电源，启动设备；（2）根据需要调节泵体的运行速度，以满足所需真空度；（3）定期检查设备运行状态，如发现异常应及时处理；（4）使用完毕后，将设备关闭并断开电源。
3. 维护（1）定期清洁泵体和密封件，确保无杂质和污垢；（2）检查电机和控制系统的工作情况，如有异常应及时修理；（3）定期更换密封件，以保证设备的密封性能；（4）遵循使用手册的维护要求，定期进行保养和检修。
四、注意事项1. 使用前应仔细阅读本说明书，并按照要求正确操作设备；2. 在使用过程中，应注意设备的运行状态，如发现异常应及时处理；3. 禁止将易燃、易爆物品放置在设备附近，以免引发事故；4. 禁止在设备运行时进行维修和拆卸，以免造成伤害；5. 设备长时间不用时，应及时进行保养和检修，以延长使用寿命。
五、总结金桥通真空泵是一种高效、可靠的真空设备，广泛应用于各个工业领域。
通过本说明书，我们了解了金桥通真空泵的结构、工作原理、使用方法及注意事项。
真空泵使用说明
真空泵使用说明真空泵使用说明1、概述1.1 功能：真空泵是一种用于移除封闭系统内气体或低压气体的设备。
1.2 适用范围：本说明书适用于公司生产的型号真空泵。
2、安全须知2.1 电源：在使用真空泵之前，请确保连接电源的稳定性，并使用恰当的电源插座。
2.2 接地：确保真空泵的外壳与接地线连接良好，以确保安全操作。
2.3 维护：请定期检查真空泵的状态，并确保设备的正常运行。
2.4 使用环境：在干燥、通风良好的环境中使用真空泵，避免过热、过湿的条件。
3、预备工作3.1 环境准备：在使用真空泵之前，确认使用环境是否符合要求，例如温度、湿度等。
3.2 泵油选择：根据需要选择合适的泵油，并确保泵油充足。
3.3 连接：将真空泵正确连接到所需系统，确保连接紧固。
4、使用步骤4.1 打开真空泵：将电源线插入电源插座，并将电源开关打开。
4.2 打开阀门：打开系统中的相应阀门，并确保调整好所需的真空度。
4.3 运行真空泵：按下真空泵的启动按钮，开始运行真空泵。
4.4 监控：在使用过程中，及时监控真空泵的工作状态，确保正常运行。
4.5 关闭真空泵：使用完毕后，按下真空泵的停止按钮，关闭真空泵。
4.6 关闭阀门：依次关闭系统中的阀门，以保持系统的密封性。
5、维护与保养5.1 清洁：定期清洁真空泵的外壳，并使用干净的抹布擦拭干净。
5.2 泵油更换：根据使用需求和使用时间，定期更换泵油。
5.3 过滤器清洗：定期清洗过滤器，以保持正常的泵泵量和真空度。
5.4 故障排除：如果真空泵运行异常，及时检查并修复问题。
附件：1、型号真空泵规格表2、真空泵维护记录表本文所涉及的法律名词及注释：1、泵油：指向真空泵添加或更换的特殊润滑油。
2、真空度：衡量封闭系统内气体密度或压力水平的指标。
3、阀门：控制流体通过的装置，用于开启或关闭流体通道。
力辰科技直联旋片式真空泵使用说明书
八、故障分析
故障现象
故障原因
故障处理
油量不够，油已污染
增加新油或更换油
进气口，气镇阀密封圈损坏，或外管道连 调换 O 型密封圈，排除漏气部位
接漏气
排气阀片损坏或跳出腔
调换排气阀片，将阀片放回原位
真空度不佳 油路阻塞
油脏应换油，止回阀弹簧开启失灵调 换，泵滤油网、进油孔堵塞，予以排
除
改善通风，降低泵温，降低被抽气体 吸入气体温度过高,泵油温升过高（雾化）
2
四、产品参数 型号
电源电压 功率
显示方式 抽速
极限 分压 压力 全力压
最大转速力
进气口外径
加油量 产品尺寸
净重
2XZ-0.5
2XZ-1
2XZ-2
2XZ-4
AC 220V/50HZ
AC 220V/380V/50HZ
180W
250W
370W
550W
压力表×1
0.5L/s
1L/s
2L/s
4L/s
≤6×10ˉ²Pa
间联系我司售后服务部。 如果一段时间内不使用仪器，应将电源线插头断开电源。 不得随意拆卸和调整仪器的零部件，备件损坏时，请仅使用原装备件进行更换。 设备发生故障时，应及时切断电源，并在第一时间联系我司进行维修指导或返厂检修。
1
一、概述 2XZ 系列真空泵是用来对密封容器抽除气体的基本设备。磨损，旋片弹簧断裂
进行维修，调换零件
油路阻塞，泵腔内无泵油润滑干磨
检查进油系统，油脏应换新油
运行故障 泵腔内有异物杂质，化学物质及溶液吸入 拆开泵清洗，附加真空泵过滤器
接线错误，缺相或地线有误
检查、纠正
油箱垫，放油塞密封不严
真空泵说明书
第一章真空泵概述一、真空泵简介X型系列真空泵是单级旋片油封式真空泵，适用于低、中真空领域，主要用于抽除空气和其它干燥气体。
它是低、中真空的主要设备之一，它可单独使用，也可成为其它真空泵的前级泵。
真空泵具有运转性能可靠、易损件少、振动小、噪音低、效率高的特点。
X型系列真空泵是引进国外先进技术，易损件选用进口元件或进口材料。
X型系列真空泵完全可替代国外同类产品。
真空泵具有运转性能可靠、易损件少、振动小、噪音低、效率高的特点。
二、真空泵构造X系列真空泵按照旋片式原理运行。
泵体（3）中安装一个偏心转子。
利用离心力推动叶片在转子的槽中向泵腔内壁滑动。
叶片(5)将转子(4)和泵腔内壁之间分隔成几个小腔体。
当腔体跟进气口通道相连时，气体被吸入，在下一次转动中被压缩并且推入油分离器（1）。
压差使油不断的被压进压缩腔体。
油和介质再被释放进入油分离器，在那里由于重力作用经除雾器（11）和排气过滤器（8），与排出的气体分离。
分离出的油在油分离器底部再次被推入压力腔体（油循环）。
无油气体经过排气盖板被释放到大气中。
1.油分离器2.吸气阀3.泵体4.转子5. 叶片6.排气阀7. 注油塞8. 排气过滤器9. 排气嘴10.冷却器 11. 除雾器12. 油窗13. 放油塞14. 油过滤器第二章系统简介一、系统流程1．空气流程1）空气由进气滤清器滤去尘埃之后，经由吸气阀（2）进入真空泵泵体；与润滑油混合，与油混合的空气经过压缩后通过排气阀（6）进入油分离器（1）进行粗分离，再经排气过滤器（8）的精分离，不含油的空气通过排气嘴（9）排入大气。
如空气中含有可凝气体，则打开气镇阀。
2）空气流程中各组件功能说明：A、进气滤清器空气滤清器为干式纸质过滤器，过滤纸细孔度约为10μ左右，通常每1000小时应取下清除表面的尘埃，清除的方法是使用低压空气将尘埃由内向外吹除。
B、吸气阀 (2)避免关闭电源后，叶片（5）逆向旋转。
注意：吸气阀不能作为真空系统止回阀或切断阀使用，吸气阀不能防止油被吸入真空系统。
真空泵使用说明
最大水蒸气抽除率 (kg/h)
2X-4C
4 /
0.55 450
1.0 55/58
/ / /
2X-8
2X-15
8
15
≤6×10-1 ≤6×102
≤1
1.1
2.2
320
320
≤40
2.0
2.8
83(单泵)
174/178
/
/
/
/
/
/
2X-30A
2X-70A
30
70
≤1.33
3 450
2.0 200/204
注意：水平复验后，应用手盘动皮带，检查泵是否转动灵活。
4
5、所有连接管道不得存在漏点，同时必须先进行清洁处理，不能有铁屑、铁锈、焊渣、灰尘，因此 建议在进气管道中加装细网过滤器。 6、连接被抽容器的管道直径应大于或等于泵的进气口口径，尽量减少管道的安装距离和弯头数量， 管道安装后应检查泄漏情况，如使用橡胶管连接应选用去硫处理的橡胶管。 7、连接泵排气口的管道管径应等于或小于泵的进气口口径，否则会增大排气压力，引起泵的密封部 位出现渗漏现象。 8、皮带传动的泵，请注意必须使大小皮带轮处于同一垂直平面内，三角皮带的松紧应适度。 9、当泵处于含有灰尘的工况时：为使泵不处于灰尘、颗粒物、或有化学作用的气体损害，建议您在 泵的进气口加装合适的过滤器。 10、当泵处于含有大量蒸汽的工况时：抽除的可凝性气体在较冷的管道内会产生凝结，因此为防止凝 结的液体流回泵腔，应在管道安装时考虑加装冷凝器及放液阀门。 11、当抽除的气体含有腐蚀性的工况时：您必须在泵的进气口前予以处理。 12、当抽除的气体温度较高的（≥35℃）工况时：您必须在泵的进气口前予以冷却。 13、当抽除的气体含有大量液体的工况时：您必须在泵的进气口前安装气液分离器。 14、当畅通大气启动时、频繁地启动时、长时间地抽取高压强的气体时或气镇打开时，会有少量的油 雾排出，您可用管道连接排气口将油雾引离工作区域或加装合适的油雾过滤器。 15、泵具有停机后改善返油和能使泵口短时处于真空状态的装置，以便于下次启动。但对于您使用工 艺的原因而返油而造成麻烦的场合，建议您在泵的进气口安装电动或手动的真空截止阀和真空充气 阀，安装方式见第一章第 1 节《结构原理》中的注意条款，要求新泵停机后 4 小时内应不返油至泵的 进气口。 16、如您将泵安装在机箱内时，请务必保持泵和电动机的冷却风扇处留有进风通道，泵的排气出口留 有排气通道。 17、有部分系列的泵为便于运输，泵腔内不带油，请您在安装后，通过加油口注入真空泵油，油位在 油窗的 1/2 以上。 18、安装检验
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真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。
通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。
其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
（1)泵总体结构型式
真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。
立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。
但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。
卧式泵的进气口在上，排气口在下。
有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。
此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。
这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。
一般大、中型泵多采用此种结构。
泵的两个转子轴与水平面垂直安装。
这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。
但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。
（2)泵的传动方式
真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。
主动轴通过联轴器与电机联接。
在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。
从动转子由电动
机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。
这种传动方式的最大缺点是：a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的重心偏向电动机和齿轮箱一侧。
特点
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；
(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。
转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；
(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；
(4)泵腔内无压缩，无排气阀。
结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；
(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。