VM微型真空泵说明.doc
真空泵操作指导书
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1.0目的/Aim:
1.1为操作者提供使用说明,确保使用者及设备的安全。
2.0参考文件/Reference Instruction:
2.1 相关设备的操作说明书
3.0设备/材料/ Equipment/Material:
3.1真空泵
3.2 待抽真空的热泵
4.0准备/要求/Prepare/Requirement:
4.1确保输入电压为三相380V，功率550W。
5.0安全/维护/Safety/Maintenance:
5.1 日常维护
5.3.1 在维护和保养时,必须将设备停止。
6.0操作程序/Operation Process:
6.1 开机操作程序
6.1.1 首先检查电源控制柜的各种指示信号，经确认正常后才能开机。
6.1.2 在不连接产品的情况下启动真空泵，开机时按下启动开关，电源指示灯亮。
6.1.3 运行时间到达规定时间后，红色指示灯点亮并确认真空泵状态正常后，方可进行抽真空作业。
确定正常后按计时的复位按钮。
6.1.4 把真空泵的接管快速接头分别与产品的高、低压侧的抽真空用的快速接头连接，按下启动按钮后开始计算抽真空时间。
当红色指示灯亮表明抽真空时间达到设定值。
6.2 关机操作程序
6.2.1 关机时，确认真空泵不连接任何系统，按停机开关。
6.2.4 关闭电源开关。
7.0其他操作/Other Operation:
7.1 油位以停泵时油至油标中心为宜。
8.0故障排除
8.1 故障排除方法
当设备出现故障时，请及时通知动力部维修人员。
真空泵操作说明书
真空泵操作说明书1. 产品简介真空泵是一种用于产生和维持真空状态的设备，广泛用于实验室、工业生产和科学研究领域。
本操作说明书将详细介绍真空泵的使用方法和注意事项。
2. 安全须知在操作真空泵之前，请务必遵循以下安全规定：- 在操作前，确保已经充分了解并理解了真空泵的操作手册。
- 确保工作环境通风良好，并戴上适当的防护设备，如手套和眼镜。
- 在操作过程中，严禁将有毒、易燃或腐蚀性物质接触到真空泵。
- 禁止将没有经过处理的气体直接排放到大气中，以避免对环境和人体健康造成危害。
3. 基本操作步骤3.1 准备工作- 检查真空泵是否连接到正确的电源，并确保电源稳定。
- 确保管道连接牢固，无漏气现象。
- 安装并确认真空泵的进出口阀门处于关闭状态。
3.2 启动真空泵- 打开真空泵的电源开关，确认指示灯亮起。
- 检查真空泵的工作状态指示器，确保正常运转。
- 缓慢打开进口阀和出口阀，让泵在无负载状态下运行30秒钟，以允许通过泵的气体流动。
3.3 停止真空泵- 关闭进口阀和出口阀。
- 关闭真空泵的电源开关。
4. 维护和保养4.1 清洁- 在每次使用真空泵后，应使用干净的软布轻轻擦拭外壳，保持清洁。
- 不要使用有机溶液或任何带有腐蚀性的清洁剂来清洗真空泵。
4.2 换油- 根据真空泵型号和使用情况，定期更换油液。
- 先等待真空泵自然冷却至室温后，再打开油箱放油口进行油液更换。
4.3 检查机件- 定期检查真空泵的所有机件和连接部件是否正常，如有发现松动或者磨损，应立即进行修理或更换。
5. 故障排除5.1 真空度下降- 检查进出口阀门是否关闭正确。
- 检查管道和连接件是否密封良好。
- 检查真空泵是否有异常噪音或震动。
5.2 泵无法启动- 检查电源是否连接正常，电源开关是否打开。
- 检查电源线是否受损或松动。
- 检查保险丝是否烧断。
5.3 异常噪音或震动- 停止真空泵运行，并立即断开电源。
- 检查泵体和连接件是否有松动或异物卡住情况。
真空泵说明书
品牌与型号推荐
品牌：德国莱宝 （Leybold）
型dwards）
型号：E2M系列
品牌：日本荏原 （EBARA）
型号：EH系列
品牌：中国中科仪 （CAS）
型号：CZ系列
性价比分析
品牌选择：选择知名品牌，质量有保障 价格比较：对比不同品牌、型号的价格，选择性价比高的产品 性能比较：对比不同品牌、型号的性能参数，选择性能优越的产品
定期检查与维修
定期检查真空泵的油位、油质和油温 定期更换真空泵的油和滤芯 定期检查真空泵的密封性能和润滑情况 定期检查真空泵的电气控制系统和保护装置
常见故障及排除方法
真空度下 降：检查 泵体是否 漏气，更 换密封圈 或垫片
噪音过大： 检查泵体 是否松动， 紧固螺栓
电机过热： 检查电机 是否过载， 调整负载 或更换电 机
泵体振动： 检查泵体 是否平衡， 调整平衡 块或更换 轴承
润滑油不 足：检查 润滑油是 否充足， 添加或更 换润滑油
泵体损坏： 检查泵体 是否损坏， 更换损坏 部件或整 体更换泵 体
应用领域
半导体制 造：用于 真空封装、 晶圆清洗 等
航空航天： 用于真空 模拟、空 间环境模 拟等
医疗设备： 用于呼吸 机、麻醉 机等
添加标题
添加标题
添加标题
添加标题
操作时佩戴防护眼镜和手套，避免 接触高温、高压部件
操作结束后及时关闭电源，清理现 场，保持设备清洁
日常保养
定期检查真空泵的油位，确保油位在正常范围内 定期更换真空泵的油，确保油的清洁和润滑效果 定期检查真空泵的密封性能，确保不漏气 定期检查真空泵的电机和电气系统，确保正常运行 定期清洗真空泵的过滤器，确保过滤效果 定期检查真空泵的冷却系统，确保冷却效果
真空泵使用操作说明
真空泵使用操作说明引言：真空泵是一种关键设备，广泛应用于科研、工业制造、医疗等领域。
正确的操作和使用方法不仅可以提高设备效率，还能延长设备的使用寿命。
本文将详细介绍真空泵的使用操作说明，帮助用户正确操作和维护真空泵设备。
一、安全操作须知1. 使用前，请确认真空泵和附件是否完好，若有损坏或松动，应先进行修复或更换。
2. 在操作前，应戴上适当的个人防护装备，如手套、眼镜等。
3. 操作时应确保周围通风良好，以避免有害气体的积聚。
二、真空泵的操作步骤1. 真空泵的启动：a. 打开泵体上的电源开关，并观察是否有异常声音或异味产生。
b. 若泵体有液晶显示屏，则可根据显示屏上的指示进行操作。
若无显示屏，则需根据使用说明进行操作。
c. 等待泵体自检完成后，按下启动按钮，开始运行。
2. 真空泵的停止：a. 若泵体设有自动停止功能，则可通过按下停止按钮实现停止操作。
b. 若泵体无自动停止功能，则应依次关闭电源开关和进气阀门，待泵体完全停止运行后，再关闭气源。
3. 真空泵的维护保养：a. 定期清洁真空泵的外壳，并保持周围环境的清洁。
b. 定期更换油封，并定期检查真空泵的密封性能。
c. 在运行过程中，注意观察真空泵是否有异常声音或振动，若有异常现象应立即停止使用并进行维修或更换。
三、真空泵的故障排除方法1. 泵体无法启动：a. 检查电源是否连接正常，确认电源开关是否打开。
b. 检查电源线是否损坏，如有损坏应及时更换。
c. 若仍无法启动，可能是电机故障，应联系专业维修人员进行检修。
2. 泵体运行过程中发出异常声音：a. 停止使用泵体，检查是否有异物或杂质进入泵体。
b. 检查传动部件是否松动或损坏，如有问题应及时维修。
3. 泵体无法达到预期真空度：a. 检查泵体的密封性能，如有问题应检查密封件是否完好并及时更换。
b. 检查真空泵是否正确连接，确认连接口是否密封良好。
c. 检查进气阀门是否正确打开，以允许空气进入泵体。
结论：正确的使用操作方法能够确保真空泵的高效运行和良好的维护，延长设备使用寿命。
真空泵使用说明
真空泵使用说明真空泵使用说明1、概述1.1 功能：真空泵是一种用于移除封闭系统内气体或低压气体的设备。
1.2 适用范围：本说明书适用于公司生产的型号真空泵。
2、安全须知2.1 电源：在使用真空泵之前，请确保连接电源的稳定性，并使用恰当的电源插座。
2.2 接地：确保真空泵的外壳与接地线连接良好，以确保安全操作。
2.3 维护：请定期检查真空泵的状态，并确保设备的正常运行。
2.4 使用环境：在干燥、通风良好的环境中使用真空泵，避免过热、过湿的条件。
3、预备工作3.1 环境准备：在使用真空泵之前，确认使用环境是否符合要求，例如温度、湿度等。
3.2 泵油选择：根据需要选择合适的泵油，并确保泵油充足。
3.3 连接：将真空泵正确连接到所需系统，确保连接紧固。
4、使用步骤4.1 打开真空泵：将电源线插入电源插座，并将电源开关打开。
4.2 打开阀门：打开系统中的相应阀门，并确保调整好所需的真空度。
4.3 运行真空泵：按下真空泵的启动按钮，开始运行真空泵。
4.4 监控：在使用过程中，及时监控真空泵的工作状态，确保正常运行。
4.5 关闭真空泵：使用完毕后，按下真空泵的停止按钮，关闭真空泵。
4.6 关闭阀门：依次关闭系统中的阀门，以保持系统的密封性。
5、维护与保养5.1 清洁：定期清洁真空泵的外壳，并使用干净的抹布擦拭干净。
5.2 泵油更换：根据使用需求和使用时间，定期更换泵油。
5.3 过滤器清洗：定期清洗过滤器，以保持正常的泵泵量和真空度。
5.4 故障排除：如果真空泵运行异常，及时检查并修复问题。
附件：1、型号真空泵规格表2、真空泵维护记录表本文所涉及的法律名词及注释：1、泵油：指向真空泵添加或更换的特殊润滑油。
2、真空度：衡量封闭系统内气体密度或压力水平的指标。
3、阀门：控制流体通过的装置，用于开启或关闭流体通道。
微型真空泵的操作使用
微型真空泵的操作使用微型真空泵是指具备一进一出的抽气嘴、排气嘴各一个，而且在进口处能够连续形成真空或负压；排气嘴处形成微正压；工作介质重要为气体，体积小巧的一种仪器。
随着仪器仪表工业的蓬勃进展，体积小巧、无油环保的微型真空泵、微型气泵得到越来越广泛的使用。
如何才略在规格繁多的微型泵中选择恰当的产品呢？首先要明确微型泵的用途。
我们分三大类逐一讨论。
输入压缩空气一、假如只是用微型气泵输出压缩空气。
简单地说，就是只用它来打气、充气，泵的抽气口基本不用。
抽水或抽气二、假如是以下几种情况，则应当选用PHW600B或WAA系列产品。
1、用微型泵抽气或抽真空，但有时会有液态水进入泵腔。
2、要求微型泵既能抽气又能抽水。
3、重要用微型泵抽水，但不希望在抽水前靠人工加“引水”。
（有些水泵在工作前需要人工加入一些“引水”，这样泵才略把低处的水抽上来，否则泵无法抽水甚至损坏。
）PHW600B或WAA 系列产品的优点就在于，没有接触到水时，它就抽真空，形成真空后靠气压把水压上来，而后开始抽水。
4、用微型泵抽水，但有些时候可能泵没有水可抽，处于“干转”状态。
某些传统水泵畏惧“干转”，甚至是致命的。
而PHW600B或WAA系列产品本质上是一种复合功能泵，它集成了真空泵和水泵的功能，有人把它叫作“真空水泵”。
因此，在没有水的情况下，它会抽真空，有水的时候它就抽水。
无论是抽气状态还是抽水状态，都属于正常工作范畴，也就无所谓“干转”损伤。
抽气三、假如是用微型泵抽气，情况略微多而杂些。
（一）、判定微型泵抽气端工况用于抽气的微型泵分为两类：气体采样泵和微型真空泵。
虽然通常总是不加区分地把它们简单统称为微型真空泵，但从技术角度二者是有区分的，选型时更要特别注意。
简而言之，气体采样泵只能带小负载（即：泵抽气端阻力不能太大），但价格便宜；严格意义上的微型真空泵可以带大负载（抽气端允许大阻力，甚至完全堵塞），但价格稍贵。
二者实在区分可以详见文章《关于微型真空泵与气体采样泵的区分》，不再复述。
微型真空泵流量和气路调节说明
微型真空泵流量和气路调节说明关于流量测量的说明流量测量与传统意义上度量衡计量器具测量有很大差别，它不是简单地将流量计连接好，开机就能达到测量目的。
因为流量测量是一种强烈依赖使用条件的测量技术，流量仪表要正常工作依赖于：一，环境条件（环境温度、湿度、震动等）；二，流体条件(温度、湿度、压力、成分、流动状态等 )；三，动力条件等其它条件。
关于气泵流量的标定::气泵流量标定均是在气泵不连接任何阻尼元件（如，管道、阀门等）的情况下测定的，只有关于气泵流量的标定这样才能真实反应泵本身的工作能力。
每一位客户使用气泵时均会根据自己的需要连接各种不同的管道、阀门、流量计等，形成一个完整的气路系统。
这时，系统的气体流量并不等于泵的流量，因为各种气路元件都会有压力损失，从而衰减流量。
关于流量计::有些客户用管道直接把流量计和泵相连用于测定泵的流量，发现测量值比标定值小，更换不同的流量关于流量计计就有不同的测量结果。
这是因为流量计本身也有压力损失造成的。
不同的流量计压力损失不同，对流量的衰减也就不同，从而得到不同的测试结果。
因此，确定泵的流量时我们应根据气路系统阻力的大小留有余量。
关于用微型真空泵吸附物体的问题把微型真空泵用于物体吸附时，实际上是用泵对吸盘抽真空后吸住物体，因此，必须选择真正意义上的微型真空泵，如PK、PC系列产品（详见/product.html），而不能选用气体取样泵。
从理论上可以计算吸附力的大小。
方法如下：F≈10-2（101－P绝对压力）S吸盘面积上式中，F：理论吸附力大小，单位：Kgf（公斤力）P绝对压力：为微型真空泵的绝对真空度，单位取：KPa（千帕）S吸盘面积：为吸盘有效面积，单位取：cm2（平方厘米）关于单位换算问题详见/ziliao/danwei.html 从上式可以看到，吸附力的大小理论上与泵的流量无关，但在实际使用中与流量参数是相关的。
原因如下：因为气路系统不可能做到理论密封，总有一定的泄漏。
飞越真空计vmv-1说明书
飞越真空计vmv-1说明书让您的工作更愉快真空计操作手册VMV-1品质保证描述VMV-1内置皮拉尼专业真空传感器，可以精确测量真空度。
因此，您可以从测量中收集有关湿度和异物（油、异物等）去除的息，从而了解填充制冷剂的最佳状态。
VMV-1可用于真空系统监测、泄漏检测和泵质量鉴别。
安全说明操作应按照本指令进行，并在指定参数范围内。
电量不足时更换新电池。
请勿将新旧电池混用，禁止使用不同品牌的电池。
如果长时间不使用，请取出所有电池。
请勿使用腐蚀性清洁剂或溶剂清洁仪器。
戴上护目镜和防护手套。
拧紧铜盖并存放在干燥的地方。
仪器过view1. 1/4“喇叭2. ：电源开/关/背光 UNIT：设置模式下的单位选择/加值 SET：长按按钮进入闹钟设置模式 SAVE/CAL：保存报警值/满量程校准/设置模式下的零位校准 3. 显示（真空度、单位和电池容量） 4. 电池盖（3xAA 电池）技术参数最大过载压力 14PSI / 0.1Mpa Range 0- 帕，0-100.00 毫巴，0-75.000 毫米汞柱，0- 微米分辨率 0.01 (<10 Pa), 0.0001 (<10 mBar),0.0001 (<10 mmHg) , 1 (< 微米) 准确性 2-100 Pa：读数的±5%（20t 时）工作温度 0–2-122 F) 电池寿命 45 小时（3 节AA 电池）单位 Pa, mBar, mmHg, 微米刷新率 0.5第二连接1×1/4″ 喇叭口传感器 lx 皮拉尼传感器自动关机时间 10分钟背光时间 20秒蜂鸣器警报 90分贝，10秒后关闭重量约125克（不含电池）应用大气环境（不能在存在制冷剂和其他气体环境）运营安装三节“AA”电池。
长按电源键 CD 3 秒可打开 LCD 灯。
当设备完全预热时，显示屏显示“。
直接或通过连接附件连接到系统。
启动真空泵，显示屏会从高到低显示极限压力。
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微型真空泵
VM系列
特点
无污染传输，免维护；可以任意方向安装；允许介质富含水汽；可以24小时连续运转；小体积，低能耗。
广泛用于医疗仪器、气体分析仪器等。
技术参数
型号
电压负载电流流量
真空度(绝对压力)
三种单位换算值
(V DC) (mA) （L/min）（KPa）(mmHg) （mbar）
VM8001
5 ＜100
1 80 600 800 1
2 ＜50
VM7002
5 ＜200
2 70 525 700 12 ＜100
VM6503 12 ＜120 3 65 488 650 VM6004 12 ＜150 4 60 450 600 VM6005 12 ＜180 5 60 450 600
对比：标准大气压101 760 1013
安全警示！
★所有产品均不具备防爆性能，不能在易燃易爆环境中工作！
★当抽取有害气体时，客户必须对泵进行再次密封，确保人身安全！
一、选型特别注意
1、泵的抽气端可以带大负载、甚至完全堵塞，均属正常工作，泵不会损伤。
2、泵的排气端必须通畅，在排气管路中不得有任何阻尼元件！否则，请选择FM或FAA或PCF系列产品。
3、建议：对于既有5V又有12V电压规格的型号，请优先选用12V产品，价格相同、品质更好。
4、如果需要4～5 L/min流量的产品，请优先选用VAA6005，它在负载能力、寿命、可靠性上远远优于VM6004和VM6005，三者价格相当。
5、低电磁干扰型：如果系统配有精密电路（如单片机）控制微型泵的运行，请选用低电磁干扰型产品。
以上所有规格均可制成低电磁干扰型产品，订货时需要标明，如：VM7002-12V（低干扰型）
6、所有规格均使用直流电源；订购时请标明工作电压，如，VM8001－12V
7、重量：约130克
8、对于其它电压、流量规格的产品，可以联系定制。
二、使用说明
1、泵的工作环境：
环境温度：0～40℃，泵不宜在室外日晒，应在清洁无腐蚀的环境中工作
2、泵的工作介质
①泵所抽取的气体必须无腐蚀、不含油分，但允许富含水汽。
②介质温度必须控制在0～50℃之间。
③不得让固体异物进入泵内！
3、过滤问题
当泵工作一段时间后，所抽气体中含有的粉尘会积累在泵腔内部，破坏泵的气密性，使流量和真空度下降，在抽气口端一定要配过滤器。
实践表明，一般我们认为很清洁的气体中仍然还有粉尘杂质，也需要过滤，确保泵内部的精密气密性元件正常工作。
4、过滤器（选配件）
所有产品的进气口一端必须串联过滤器，阻挡粉尘、颗粒异物等进入泵内。
过滤器脏了需要及时更换。
把过滤器的任意一端用软管与泵的抽气口连接即可。
过滤器能承受的介质气体温度范围：0℃～80℃。
过滤器使用一段时间后，因附着了杂质而阻力增大，这时，系统流量和真空度都会明显下降，此时应立即更换过滤器，否则会影响泵的正常工作，对于PM系列、SA系列、SB系列的微型泵甚至可能造成损坏。
过滤器的寿命长短视气体清洁程度而定。
试验表明，过滤器在附着大量粉尘后就开始影响泵的流量和真空度。
三、注意事项
1、排气端必须保持通畅，不得在排气管路中布置任何阻尼元件！否则可能损
坏微型泵。
2、异物不得落入气咀，否则将损坏微型泵！
VM系列产品（图示单位：毫米）
情感语录
1.爱情合适就好，不要委屈将就，只要随意，彼此之间不要太大压力
2.时间会把最正确的人带到你身边，在此之前，你要做的，是好好的照顾自己
3.女人的眼泪是最无用的液体，但你让女人流泪说明你很无用
4.总有一天，你会遇上那个人，陪你看日出，直到你的人生落幕
5.最美的感动是我以为人去楼空的时候你依然在
6.我莫名其妙的地笑了，原来只因为想到了你
7.会离开的都是废品，能抢走的都是垃圾
8.其实你不知道，如果可以，我愿意把整颗心都刻满你的名字
9.女人谁不愿意青春永驻，但我愿意用来换一个疼我的你
10.我们和好吧，我想和你拌嘴吵架，想闹小脾气，想为了你哭鼻子，我想你了
11.如此情深，却难以启齿。
其实你若真爱一个人，内心酸涩，反而会说不出话来
12.生命中有一些人与我们擦肩了，却来不及遇见；遇见了，却来不及相识；相识了，却来不及熟悉，却还要是再见
13.对自己好点，因为一辈子不长；对身边的人好点，因为下辈子不一定能遇见
14.世上总有一颗心在期待、呼唤着另一颗心
15.离开之后，我想你不要忘记一件事：不要忘记想念我。
想念我的时候，不要忘记我也在想念你
16.有一种缘分叫钟情，有一种感觉叫曾经拥有，有一种结局叫命中注定，有一种心痛叫绵绵无期
17.冷战也好，委屈也罢，不管什么时候，只要你一句软话，一个微笑或者一个拥抱，我都能笑着原谅
18.不要等到秋天，才说春风曾经吹过;不要等到分别，才说彼此曾经爱过
19.从没想过，自己可以爱的这么卑微，卑微的只因为你的一句话就欣喜不已
20.当我为你掉眼泪时，你有没有心疼过。