氮气-稀有气体纯化器技术规范
PS8-MGS60-N/R
技术规范
PS8-MGS系列氮气/稀有气体纯化器，60 标准米3/小时
一般说明
MegaTorr® MGS 系列氮气/稀有气体纯化器是加强型最佳化设计, 以较小的外形提供亚十亿分率的的性能。
赛斯纯气体公司在超高纯度管道设计、先进工艺材料分析和现代集成控制系统等方面积累了多年经验, 研制开发了这一系列的纯化器来满足低投资、高可靠性和高性能的要求。
PS8-MGS系列纯化器采用特殊设计的催化和吸附工艺, 为半导体工艺的应用提供超高纯气体。
一氧化碳、二氧化碳、氢气、水和氧气的出口杂质含量被降低至十亿分之几(ppb)
以下的数量级。
吸附容器在净化和再生模式之间交替运行, 在一步工艺中把杂质去除至亚ppb水平, 提供了
连续净化。
吸附容器的再生是在较高的温度下通过净化后的工艺气体与低浓度氢气的混合气体的反向吹扫来完成的。
标准性能
●全自动微处理器控制器连续地监控系统的运行，提供故障检测、温度控制和阀定序
，以保证纯化器的可靠性，并使操作人员的介入减少到最低程度。
●HMI(人机界面 ) 显示阀动作、净化顺序、系统温度、加热器功率大小、警告和报警
状态。
•闭环温度控制对预加热器和吸附器再生过程提供精确的温度控制, 使加热器寿命和电源效率最大化
●气体电预热器能使吸附床再生过程中的净化效率最大
●标准用户接口连接：
报警继电器- 故障安全继电器触点能远程检测报警/警告的发生。
气体继电器故障安全继电器能指示纯化器的状态
●带有门的全金属外壳带有可拆卸的面板，便于进入系统。
●氢气混合装置能提供再生气体的混合和控制。
•最小流率是赛斯公司能保证出口气体纯度符合要求的最低流率, 且是为了支持再生而必须从气体源得到的最小流率。
纯化器
PS2-GC50-R/N型纯化器PS2-GC50-R/N型纯化器是一种针对于稀有气体和氮气设计的纯化器。
它将色谱或其他分析应用所需载气中的杂质去除从而达到纯化的目的。
纯化后载气中O2，H2O，CO，CO2，H2，CH4和N2的含量将降低到PPb级。
对于充装在300标准立方英尺钢瓶中纯度是99.999%的载气，在额定的流量和温度条件下，这种纯化器有能力纯化13瓶以上。
纯化器规格说明一．安装在使用之前，必须将纯化器包装并储存在一个洁净干燥的环境中。
直到需要安装的时候再打开。
每一个纯化器都被填充了氩气并密封在一个塑料包装里。
纯化器的底部有一个密封卡套。
小心的打开外部包装，取出纯化器。
检查出口处的条码，并确认相关的应用。
“N”表示适用于N2，“R”表示适用于稀有气体。
不要撕扯塑料包装，要用锋利的器具割开，注意不要损伤里面的物品。
提供的安装支架可以很方便的对纯化器进行安装。
但是必须要注意的是只允许垂直安装。
纯化器出厂的时候被保护在氩气的环境下，使用之前必须要进行充分的吹扫。
1．用被纯化的气体对纯化器的上游管线进行充分的吹扫。
2．吹扫完毕后，在30秒之内迅速的拆下纯化器进口的密封卡套，将管线与进口相连。
3．在30秒之内迅速的拆下纯化器出口的密封卡套，将下游管线与出口相连。
4．至少用所要纯化的气体吹扫纯化器10分钟以上，并做泄露检查。
5．在通气的情况下给纯化器了送电。
二．使用纯化器送电后，加热器开始加热。
在两个小时之内，不要将纯化器流出的气体连接到仪器上而是应当排空。
两个小时以后，纯化器达到稳定工作状态后，再将其纯化后的气体连接到仪器上。
需要注意的是，绝对不允许在超过50℃的情况下使纯化器内的触媒合金与大气相通。
纯化器是免维护的，它本身就是设计用来连续运转的。
只有到达了它的使用寿命时才需要更换。
三．拆卸在加热的情况下不要去拆卸纯化器的任何部件。
在这种条件下不允许将纯化器内部的触媒合金暴露在大气环境中。
1．拆卸之前必须切断电源并继续用气体吹扫并使纯化器冷却到室温。
变压吸附制氮及纯化系统生产安全操作规程实用版
变压吸附制氮及纯化系统生产安全操作规程实用版一、操作人员安全要求1.操作人员必须经过相关专业知识培训，并持有相关操作证书。
2.操作人员需戴上符合工作要求的个人防护装备，包括防护服、安全帽、防护眼镜、手套等。
二、设备安全要求1.设备操作前必须检查设备运行状态是否正常，是否有异常声音、异味等情况。
2.设备操作时需保持设备周围清洁无杂物，防止堵塞或危险发生。
三、氮气制取与纯化操作步骤1.开启主机1.1首先确认供电是否正常，然后将电源开关打开。
1.2主机开启后，根据设备运行要求将操作面板设定为制取氮气模式。
1.3等待系统准备完成，检查压力表读数，确保储气罐压力和出气压力符合要求。
1.4如果压力不符合要求，需检查设备的压缩机、冷却器等组件是否正常工作。
1.5正常运行后，进入下一步操作。
2.启动吸附装置2.1等待主机运行稳定后，将吸附装置启动，开始吸附工作。
2.2确保吸附剂与氮气接触充分，根据仪表数据判断吸附剂是否饱和。
2.3如果吸附剂饱和，需进行脱附处理，具体操作方法需根据设备实际情况确定。
3.纯化操作3.1如果需要制取高纯度氮气，可进行纯化操作。
3.2纯化操作前，需检查纯化装置是否正常工作，如分子筛或活性碳等材料是否需要更换。
3.3纯化操作结束后，需检查氮气纯度是否满足要求，确保产品质量。
四、应急处理措施1.发生氮气泄漏时，操作人员需立即报警，并迅速撤离现场。
五、操作后事项1.操作结束后，应关闭设备电源，切断氮气供应。
2.将设备和周围区域进行清洁，保持设备卫生。
3.记录操作情况，包括设备运行状况、氮气纯度检测结果等。
六、责任分工与管理1.设备操作人员应该按照规程进行操作，并对操作过程负责。
2.设备维护人员负责设备的定期维护和检修工作，确保设备的正常运行。
3.生产管理人员应对操作过程进行监督和管理，确保操作规程的执行。
以上是变压吸附制氮及纯化系统生产安全操作规程的实用版，只供参考。
具体操作规程应根据设备类型和实际情况进行具体制定，并确保操作人员理解和遵守规程，以确保设备运行安全和生产质量。
一种高纯氮气或氩气纯化设备的设计方案
一种高纯氮气或氩气纯化设备的设计方案发布时间：2022-04-21T07:31:34.568Z 来源：《中国科技信息》2022年1月中作者：蒋宏达[导读] 高纯氮气氩气属于高端气体产品，是生产混合气、标准气等高附加值气体产品的原料气，综合经济效益较高。
本方案设计了一种高纯氮气或氩气纯化设备，包括通过管路连接的第一纯化罐与第二纯化罐，所述第一纯化罐通过管路连接进气口与若干截止阀，第一纯化罐内部设有第一吸附层，所述第二纯化罐通过管路连接出气口，内部设有第二吸附层。
本设计扩大了气体与吸附层的接触表面积，气路无阻碍，结构简单，操作易于实现；气体在经过吸附层时，多次混合和分散，达到良好的均化效果，从而使得其纯度达到99 .9999%，实现高纯气体的净化，适用于要求苛刻的氮气或氩气纯化。
杭州新世纪混合气体有限公司蒋宏达浙江省杭州市 310000摘要：高纯氮气氩气属于高端气体产品，是生产混合气、标准气等高附加值气体产品的原料气，综合经济效益较高。
本方案设计了一种高纯氮气或氩气纯化设备，包括通过管路连接的第一纯化罐与第二纯化罐，所述第一纯化罐通过管路连接进气口与若干截止阀，第一纯化罐内部设有第一吸附层，所述第二纯化罐通过管路连接出气口，内部设有第二吸附层。
本设计扩大了气体与吸附层的接触表面积，气路无阻碍，结构简单，操作易于实现；气体在经过吸附层时，多次混合和分散，达到良好的均化效果，从而使得其纯度达到99 .9999%，实现高纯气体的净化，适用于要求苛刻的氮气或氩气纯化。
关键词：高纯氮气氩气；纯化设备；设计方案1引言高纯气体 (Purified Gases)，工业名词，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体[1]。
对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氩，氦而言，通常指纯度等于或高于99 .999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.99% 即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99% 的即可认为是高纯气体；高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气[2]；高纯气体可作为配制混合气的底气。
《空气分离设备安装规范》
第一章一般规定第二章整体安装的分馏塔第三章现场组装的分馏塔第四章稀有气体提取和分离设备第五章其他设备第六章机器安装第七章试运转第一章一般规定第1条本篇适用于以深度冷冻方法分离空气为氧、氮和稀有气体的空气分离设备(以下简称空分设备)的安装。
第2条本篇是空分设备安装工程的专业技术规定，安装工程的通用技术要求，应按本规范第一册《通用规定》的规定执行。
第3条有特殊安装要求的空分设备，应参照本篇有关条文并按设备或设备技术文件的规定执行。
第4条分馏塔抗冻基础应具备检验合格的记录，采用膨胀珍珠岩(珠光砂)混凝土时，其试样的抗压强度不应低于75公斤力/厘米2，导热系数不应大于0.2千卡/米·时·度(20℃)，并不应有裂纹。
第5条吸附剂、填料、绝热材料的规格和性能应符合设备技术文件的规定。
第6条空分设备的黄铜制件不应接触氮气，充氮气密封的部分，在保管期间其压力应保持在500毫米水柱以上。
第7条分馏塔内部各设备、管路、阀门，分馏塔外部凡与氧或富氧介质接触的设备、管路、阀门和各忌油机器均应进行脱脂，已由制造厂作过脱脂处理者，在安装时可不再脱脂，如被油脂污染，应再作脱脂处理；脱脂应按本规范第一册《通用规定》附录八的规定执行。
第8条热弯黄铜管的架热温度应为600～700℃。
第9条焊接工作应按有关的标准、规程和设备技术文件的规定执行，常用有色金属焊丝(焊料)可能照附录四选用。
第10条受压设备就位前，应按下列规定进行强度试验和气密性试验：一、制造厂已作过强度试验并具有合格证的受压设备可不作强度试验仅作气密性试验，但如发现设备有损伤痕迹或有现场作过局部改装或停放的时间过长时，应作强度试验；二、强度试验应用水压法，对不宜用水作介质或结构复杂的设备(精馏塔、板翅式换热器、吸附过滤器等)应用气压法，但必须有可靠的安全措施，并经有关部门研究决定后方得进行；三、强度试验和气密性试验的压力(指表压，下同)和停压时间应符合设计或设备技术文件的规定，无规定时，应符合V-4.1的规定。
高纯终端氮气纯化器设备工艺原理
高纯终端氮气纯化器设备工艺原理
前言
高纯终端氮气纯化器设备是在半导体、LED、光伏等产业中广泛应
用的纯化设备之一。
本文将介绍高纯终端氮气纯化器设备的工艺原理。
氮气的产生和应用
氮气是大气中含量最多的气体，占据了气体组成的78%。
在半导体
和光伏产业中，氮气主要用于纯化气体，防止器件受到污染，保证器
件工作的稳定和可靠。
高纯氮气的需求
半导体和光伏产业中的器件对氮气纯度要求较高，一般要求氮气纯
度达到99.999%以上。
在这种情况下，常规的氮气净化设备难以满足
需求。
因此需要开发更加高效的氮气纯化设备，以满足市场上的需求。
设备工艺原理
纯化原理
高纯终端氮气纯化器设备是基于分子筛技术实现氮气纯化的。
利用
分子筛的分子规则筛选性能，去除氮气中的杂质气体。
分子筛是一种
具有分子尺寸孔径的微孔吸附剂，可以通过选择性吸附分离气体。
在
气体混合物中，各种气体对分子筛的吸附量不同，从而实现气体分离
和纯化。
将氮气通过分子筛层，可以去除其中的含杂质气体，从而达
到高纯氮气的纯化目的。
氮气纯化操作规程
氮气纯化操作规程一、目的和适用范围本操作规程的目的是确保氮气在生产和实验过程中的纯净度和安全性，并对氮气纯化操作进行规范。
适用于所有涉及氮气纯化的工作场所。
二、术语和定义1.氮气纯化：将氮气中的杂质去除，提高氮气的纯净度。
2.过滤：通过过滤装置去除氮气中的颗粒杂质。
3.吸附：使用吸附剂将氮气中的气体杂质吸附。
4.干燥：将氮气中的水分去除。
5.纯化剂：用于氮气纯化的过滤装置、吸附剂和干燥剂等。
三、操作流程1.安全措施1.1操作人员必须穿戴好个人防护设备，包括手套、安全镜、防护服等。
1.2操作前应检查氮气纯化设备的安全状况，确保无泄漏和其他安全隐患。
1.3操作过程中应避免直接接触氮气和纯化剂，避免吸入有害气体。
1.4纯化设备应定期维护保养，并由专人负责检查和维修。
2.操作步骤2.1打开氮气供应阀门，调整氮气流量，确保氮气供应充足。
2.2检查过滤装置，确保过滤器无损坏和堵塞。
2.3预备干燥剂，确保干燥剂的充足性和干燥效果。
2.4将氮气通过过滤器，去除氮气中的颗粒杂质。
2.5将氮气通过吸附剂，去除氮气中的气体杂质。
2.6将氮气通过干燥剂，去除氮气中的水分。
2.7检查操作完成后的氮气纯度，确保达到要求。
四、安全风险控制措施1.操作人员应接受岗前培训和定期培训，了解操作规程和安全注意事项。
2.确保氮气纯化设备的完好性和正常运行，禁止擅自修理和改动设备。
3.操作过程中严禁吸烟、使用明火和产生火花等行为。
4.操作人员应了解纯化剂的性质和危害，并采取适当的防护措施。
5.定期对氮气纯化设备进行检查和维护，保持设备的安全可靠性。
五、操作记录和资料管理1.每次操作纯化氮气都应有明确的记录，包括操作时间、操作人员、使用的纯化剂、操作结果等。
2.操作记录应按照要求进行归档和保存，以备日后查阅和审查。
3.对于纯化剂的采购、使用和存储，应进行相应的登记和管理，确保纯化剂的质量和使用安全性。
六、操作规程的执行和监督1.操作规程应由专人负责执行，并进行日常巡查和监督。
变压吸附制氮及纯化系统生产安全操作规程
变压吸附制氮及纯化系统生产安全操作规程第一章总则第一条为了确保变压吸附制氮及纯化系统的安全运行，保障操作人员的人身安全和设备的正常使用，特制定本操作规程。
第二条本操作规程适用于变压吸附制氮及纯化系统的生产操作人员，包括供氮系统和氮纯化系统。
第二章工艺流程第三条变压吸附制氮及纯化系统是通过吸附剂对气体进行吸附和解吸的过程来制取高纯度氮气的系统。
包括母液吸附剂吸附、解吸、再生和纯化四个过程。
第四条母液吸附剂吸附过程：开启进气阀和出气阀，调节气体流量和压力，使气体进入吸附器中与吸附剂接触，实现氮气和氧气的分离。
吸附剂饱和后需要进行解吸。
第五条解吸过程：关闭进气阀，开启解吸阀，通过冲洗吸附剂的方式来进行解吸，将吸附剂中的氧气脱附出来，生成高纯度氮气。
第六条再生过程：关闭进气阀和解吸阀，开启再生阀，进行吸附剂的再生，通过提高温度对吸附剂进行脱附，使吸附剂恢复吸附能力。
第七条纯化过程：将再生后的氮气通过纯化器进行纯化，除去其中的杂质，达到高纯度氮气的要求。
第三章操作规程第八条操作人员需熟悉变压吸附制氮及纯化系统的工艺流程和设备操作流程，严格按照操作规程进行操作。
第九条在操作过程中，操作人员需要佩戴符合要求的个人防护装备，包括防护眼镜、防护手套、防护服等。
第十条在启动系统之前，需要检查设备的工作状态，确认无故障和泄漏情况后，方可进行操作。
第十一条在操作过程中，操作人员需要严格按照工艺要求控制气体流量和压力，确保各个过程的正常进行。
第十二条在吸附过程中，操作人员需要定期检查吸附剂的饱和情况，一旦发现饱和需要进行解吸处理。
第十三条在解吸过程中，操作人员需要注意解吸阀的开启和关闭时间，避免吸附剂温度过高导致热损伤。
第十四条在再生过程中，操作人员需要控制再生阀的开启和关闭时间，避免过度加热导致吸附剂烧结。
第十五条在纯化过程中，操作人员需要检查纯化器的运行状态和纯化材料的损耗情况，及时更换。
第十六条操作结束后，操作人员需关闭气体进口和出口阀门，并做好设备的清洁工作，确保设备的正常使用。
氮气纯化装置操作规程
氮气纯化装置操作规程一、开机前检查工作：1、全面按顺序检查系统，设备是否全部处于待开机状态；2、设备进出口阀门是否全部赴于关闭状态；3、电源是否正常；4、冷干机和各仪表是否正常；5、冷却水是否正常；（如有冷却系统）6、设备本身是否整洁、周边环境是否清理干净。
二、开机程序：1、按冷干机开车程序启动冷干机。
启动冷干机待其正常运行，供气压力表指示压力≥0. 4MPa时，打开仪表储罐供气阀门并保证供气的仪表气压力0.5～0. 6MPa;2、待冷干机正常启动后，排尽冷干机内油和水。
3、冷冻干燥机预冷十分钟．打开过滤器的排污阀，排尽余水。
4、打开氮气纯化总电源，给氮气纯化系统送电，观察温控仪、各指示灯是否处于备用状态，逐步开启电源（PLC控制柜）PLC控制系统进入自动运行状态，观察电磁阀、气动阀是否正常工作；5、打开进气阀门，调整进气阀门的大小，缓慢打开出气阀门系统运行，制氮系统出口压力调至0. 4Mpa（以上），调整控制气动阀门的减压阀出口压力在0. 5MPa左右；此时氮气经除氧器，冷却器，冷干机，过滤器，干燥器放空约20分钟后，打开除氧器和干燥器的再生开关，使其加热，待除氧器的温度升到约100℃时，慢慢打开加氢阀门（前提氮气纯度必须达到gg%以上，否则容易引起爆炸）。
根据微氧仪和氢分仪调整加氢流量。
6、系统进入运行状态后，观察各仪表的参数是否达到生产要求，如达到，关闭放空阀门，往生产线送气。
三、停机程序：1、关闭氢气阀门；2、关闭冷干机电源；3、关闭进出气系统阀门；4、关闭PLC控制电源、电控箱电源；5、关闭各电源开关；6、打开冷干机下部排污阀进行排污，释放罐内油水；7、如长时间停机，应打开系统中储罐的排空阀门，让系统卸压后再关闭排空阀门。
四、紧急停车：1、设备运行正常时，如遇停电，应打开加氢阀，并打开放空阀放空。
2、同时关闭氮气纯化所有阀门及所有电源，使其处于停机状态。
NG-5型氮气纯化装置安全操作规程
NG-5型氮气纯化装置安全操作规程一、开杨操作。
1．I组工作，II组再生。
A．开启原气入口阀，干燥器I工作进口阀，干燥器I工作出口阀；再开加氢气入口阀，并按原氮气流量和原氮气中含氧量确定和调节加氢流量。
接通总电源，调节除氧器温度为100℃打开纯气出口阀，即可送到使用点。
在除氧过程中除氧器温度会上升，一般不超过300℃B．开启再生气入口阀。
干燥器II再生进口阀干燥器II 再生出口阀，并调节再生气气流量，流量计刻度200-300，再生废气放空，将干燥器升温选择开关拔向II组，设定其控温仪的温度为150℃，到温后，恒温后，恒温6小时，即告II组再生结束。
2．I组工作，II组吹冷。
当II组再生结束后，将干燥器升温选择开关拔向中间档，停止加热，即进入I组工作，II组吹冷阶段。
3．I组工作，II组待用。
待II组吹冷结束（即干燥器吹冷至室温），关闭再生气入口阀，干燥器II组再生气进口阀，干燥器II组再生气出口阀，即进入I 组工作，II组待用状态。
4．II组工作，I组再生。
A．开启原气入口阀，干燥器II组工作进口阀，干燥器II组工作出口阀，再开加氢入口阀，并按原氮气流量和原氮气中含氧量确定和调节加氢流量。
接通电源，调地除氧器温度为100℃，打开纯气出口阀，即可将气送到使用点。
B．开启再生气入口阀，干燥器I组再生进口阀，干燥器I再生出口阀，并调节再生气气流量，流量计刻度为200-300，再生废气放空，将干燥器升温选择开关拔向I组，调节其控温仪为150℃到温度后，恒温6小时，即告I组再生结束。
5．II组工作，I组吹冷。
当I组再生结束后，将干燥器升温选择开关拔向中间档，停止加温，即进入II组工作，I组吹冷阶段。
6．II组工作，I组待用。
待I组吹冷结束（即干燥器吹冷至室温后），关闭再生气入口阀，干燥器I再生进口阀，干燥器I再生气出口阀，即进入出口阀，即进入II组工作，I组待用状态。
二、停机。
1．先关闭各仪表。
2．关闭原气进口阀，加氢入口阀，纯气出口阀。
PS9-MGT30-N-2氮气纯化器手册_ShenzhenSI_
产品手册PS9-MGT30-N-2氮气纯化器系列号：209221本操作手册介绍的是操作Mega Torr ®氮气/惰性气体纯化器所需要了解的信息。
本手册并不打算向用户提供维护保养方面的指导。
本纯化器只应当由熟悉安全操作规程的人员操作。
强烈建议在打算进行保养或修理之前先向厂家咨询有关事宜。
对MEGA TORR ®纯化器安装、操作或维护不当，可能会引发火灾和触电。
倘若在纯化器内部起火，则用黄沙或用只用于灭D 级（金属）火灾的灭火器灭火。
切勿企图用任何其他材料灭纯化器起火。
赛斯（SAES ）纯气体公司不为其气体纯化产品提供任何外部防火措施。
外部防火措施是按现场情况具体安排的，这完全是终端用户的责任。
本纯化器的设计用途仅仅是纯化氮气。
千万不可将本纯化器用于纯化氢气或其他反应气体，如果将本纯化器用于氢气或其他反应气体，这些气体会使纯化器迅速而不可控制地温度过高，可能引起火灾或使纯化器永久损坏。
纯化器必须配有电源、仪表气压和合适的气体压力才能正确工作。
如果不提供适当的电源、仪表气压和合适的气体压力，纯化器可能会永久损坏。
发生这种情况，工厂的担保将无效。
客户数据表（CDS ）/技术规格客户数据表：提供您所购买的某台纯化器的确切的配置。
客户数据表标明：工作电压、订购的选购项，以及其他相关的具体信息。
技术规格：提供接口信息（尺寸、重量、接头）以及通用配置参数（电压型式）和可用的选购项（过滤器、压力传感器）等。
这些技术规格是通用的，为了精确地了解您的纯化器，必须将技术规格同客户数据表一起使用。
小心！小心！小心！小心！前言小心！前言 (2)客户数据表（CDS）/技术规格 (2)产品担保书 (4)客户数据表 (5)技术规格 (8)安装图 (12)管道与仪表图 (16)安装 (19)开箱与安装 (19)开箱 (19)空间/环境要求 (19)仪表空气连接 (20)气体连接 (20)电气连接 (21)MODBUS总线寻址（选购项） (22)线圈寻址 (22)寄存器寻址 (24)选购项进口和出口压力传感器调零 (25)紧急关机按钮（选购项） (25)初始起动程序 (26)操作 (27)人机接口（HMI） (27)主屏幕菜单 (28)详细信息屏幕 (29)特殊控制 (30)报警与警告 (34)故障报告 (35)报警与警告表 (35)保养 (38)常规保养 (38)电气原理图 (38)备件 (39)预防性保养 (38)联系信息 (40)有限担保与担保免责条款赛斯（SAES）担保其产品和零件的性能符合赛斯出版的技术规范或经买方和赛斯双方书面同意的并引用本订单的技术规格。