电子工业洁净室工艺排气检测及调试
洁净空调系统调试及检测方案
洁净空调系统调试及检测方案根据原中国医药工业公司1993 年修订的《药品生产管理规范实施指南》的说明，制药车间洁净室的全部性能测试方法参照《洁净室施工及验收规范》执行。
该规范给出性能检验（综合性能全面评定）的必测项目，包括GMP 列出的关于洁净车间的全部性能参数。
必测项目必须全部测定，包括下列几项：换气次数（非单向流即乱洁净室）；工作区（全室或局部百级区）工作面高度截面平均风速（单向流洁净室或洁净区）；静压差；洁净度级别；温度；相对湿度；照度；噪声；新风量；细菌浓度（沉降菌或浮游菌）；自净时间。
按照上述要求，我司将对本洁净空调系统进行测试，以确保所安装的洁净装修空调系统符合GMP 要求。
1 空调系统试运转净化空调系统试运转分单机试运转、测试及系统联合试运转单机试运转有通风机、制冷设备、空调机、冷却水泵、冷却塔、冷冻水泵、表面式热交换器、净化设备等。
1.1 风机试运转与参数测试1.1.1 运转前必须加上适度的润滑油，并检查各项安全措施；盘动叶轮应无卡阻和摩擦现象；叶轮旋转方向必须正确；滑动轴承最高温度不得超过70℃；滚动轴承最高温度不得超过75℃。
1.1.2 风机在额定转速下试运转时间不少于2h；电动机带动风机均应经过一次启动立即停止运转的试验，并检查转子与机壳等确无摩擦和不正常的声响后，方得继续运转。
风机运转中，轴承的径向振幅应符合设备技术证件规定，无规定时，应符合下列要求：风机试运转完毕，应将有关装置调整到准备启动状态。
1.1.3 风机风压、风量、转速、轴功率的测试：测试仪表：毕托管、倾斜式微压计、U型压力计、转速计、功率表；风机的风量、全压是通过测量风机前后风道直管段处断面的全压、静压、动压及风道断面积来确定的；（1）测量断面的位置：当与风机直接连接的是直管段，且长度不小于风道直径六倍时，应在距局部阻力后4D～5D 处测定，但距下一个局部阻力应不小于2D；当直管段长度不足6D 时，则在靠近风机的地方──在局部阻力后的直管段进行测量。
洁净室调试与测试方案
洁净室调试与测试方案洁净室是一种具有控制空气污染的特殊环境，广泛应用于微电子、生物药品等领域。
为确保洁净室的正常运行和满足相关要求，需要进行调试与测试。
本文将对洁净室调试与测试方案进行详细阐述。
一、调试方案2.调整空气流量：通过调整风量调节阀和风机的转速，控制洁净室内的空气流动。
需要根据洁净室的尺寸和级别等因素，确定合适的空气流量范围。
3.检查过滤系统：检查过滤系统的运行情况，包括高效过滤器、预过滤器等。
确保过滤器的封闭性良好，无漏风和损坏情况。
4.检验静压：使用静压仪对洁净室进行静压测试，检测洁净室内部与外部的静压差。
根据洁净室的级别要求，确定合适的静压范围。
5.检验空气质量：使用空气质量检测仪对洁净室内的空气质量进行测试。
主要检测洁净室内的颗粒物、微生物等污染物的含量，确保空气质量符合要求。
6.温度和湿度调试：使用温湿度计对洁净室内的温度和湿度进行精确测量。
调整空调系统、加湿系统等设备，确保洁净室内的温度和湿度在要求范围内。
7.检查静电控制：使用静电测试仪等设备检测洁净室内的静电情况。
调整工作面、地面等相关设备，确保洁净室内的静电控制达到要求。
二、测试方案1.空气质量测试：使用空气质量检测仪对洁净室内的空气质量进行定期测试。
主要检测洁净室内的颗粒物、微生物等污染物的浓度和分布情况。
2.静压测试：使用静压仪对洁净室进行定期静压测试。
检测洁净室内部与外部的静压差，判断洁净室的密闭性和空气流动情况。
3.温湿度测试：使用温湿度计对洁净室内的温度和湿度进行定期测试。
检查空调系统、加湿系统等设备的运行状态，确保洁净室内的温湿度稳定在要求的范围内。
4.静电测试：使用静电测试仪等设备对洁净室内的静电情况进行定期测试。
检查工作面、地面等设备的防静电措施，确保洁净室内的静电控制正常。
5.净化效率测试：对洁净室中的过滤系统进行净化效率测试。
使用颗粒物计数器等设备，检测过滤器的过滤效果，确保其过滤效率符合要求。
6.通风效果测试：使用烟雾仪等设备，对洁净室的通风效果进行测试。
洁净室风量压差调试
随着现代工业高速发展，其产品技术含量更为复杂，为适应愈来愈多的行业依赖于洁净无尘室内生产和装配自己的产品，保证设备的质量稳定和高使用寿命。
于是现代洁净室无尘室被不断运用于我们各行各业。
如何保证现代洁净室无尘室内洁净度等级始终满足生产工艺的要求，接下来就为大家详细的讲解一下，希望对大家有所办帮助。
一、洁净室无尘室压差的建立洁净室无尘室的测试和检测是建设施工单位依据设计单位设计施工图纸，在所有通风和空调设计安装到位后，对一些项目进行的分项分别测试和测定，主要有风量调试和压差调试，洁净度测试，洁净室无尘室室内温、湿度的测定。
（1）风量调试：根据设计施工图纸设计计算的送、回管路；设计风量的大小，确定各管路送回风阀门的开启状态，以及各支路风量大小来测试。
（2）洁净度测试：分为空态条件下测试、静态条件下测试、动态条件下测试，分别测试洁净室无尘室内粉尘的含量。
空态条件下测试是指系统（洁净室无尘室）已处于正常运行状态，但工艺设备、生产人员还未进入情况下测试的。
（3）压差调试：为防止外部污染物进入洁净室无尘室而使室内洁净度增高，要求室内压力保持高于外部压力也就是说在洁净室无尘室内要求不同洁净度房间必须保持一定压力梯度，这样可在室内维持一定的压差下有效避免洁净室无尘室被邻室污染或污染邻室。
压差调试的过程为保证洁净室无尘室换气次数及设备排风和除尘效果，尽量不改变送风量及设备排风机和除尘风机的风量。
主要通过调节回风量和系统排风量进行压差调整。
二、对全新风空气系统：新风量=排风量+压差风量对循环空气系统：新风量+回风量=回风量+排风量+压差风量，归根到底洁净室无尘室压差，即新风量=排风量+压差风量，它们之间平衡关系建立。
总之，设计、施工和调试是保证净化系统正常运行的三个重要环节，通过调试我们可以对系统运行中出现的问题有所了解，从而可以完善设计方案，规范施工操作，避免以上问题的出现。
调试工作是保证洁净室无尘室室内压差和洁净度是否达标的重要和必要环节。
洁净室调试方案
洁净室调试方案净化空调系统调试方案一、调试及测定项目：1)净化空调机组的转速、余压、振动、噪声、功率、送风量、新风量、回风量、排风量的调整与测定。
2)净化空调系统总送风量和新风量的调整与测定。
3)洁净室送风口风量的测定与调整。
4)洁净室正压的测定与调整。
5)高效送风口的检漏与补漏。
6)洁净室噪声的测定。
7)洁净室洁净度的测定。
8)洁净室温湿度的测定。
9)洁净室照度的测定。
二、要求1）、熟悉空调系统相关技术文件、图纸，室内、外空气计算参数，风量冷热负荷、温湿度控制精度要求等，了解送（回）风系统—供冷、供热系统，自动调节系统的全过程。
调试人员会同设计、施工和建设单位深入现场，查清空调系统安装质量不合格的地方，查清施工与设计不符的地方，记录在缺陷明细表中，限期修改完。
2)、备好调试所需的仪器、仪表和必要的工具和有关记录事宜；消除《缺陷明细表》中的各种毛病。
3)、对通风空调系统进行运转前的检查。
包括：1.核对通风机、电动机的型号、规格应与设计相符2.检查紧固部位是否牢固，减振底座应调平，皮带轮或联轴器应调正。
轴承处的润滑油应足够，而且润滑油的种类和数量应符合设备技术文件的要求；3.电气部位应有防护、保护安全措施。
三、调试使用的主要仪器1)球风速仪2)风量罩3)压力表4)尘埃粒子计数器5)精密声级计6)电流计7)光电测速仪8)温度计9)超声波测距仪10)接触式测振仪11)照度计12)数字温度计四、调整与测试依据1)洁净室施工及验收规范JGJ71-902)通风与空调工程质量检验评定标准GBJ304-883)通风与空调工程施工及验收规范GB50243-20024)组合式空调机组GBJ14294-935)采暖与卫生工程施工及验收规范GBJ242-82五、测试方案目的：满足净化要求，达到空调运行正常，电气系统供电良好，自动控制准确可靠。
方法：通风空调系统的风量测定与调整(1)、按实绘制系统单线透视图，标识风管尺寸，测点位置。
兰山洁净室工程调试方案
兰山洁净室工程调试方案一、前言为了确保兰山洁净室的正常运行和达到洁净度要求，我们需要对洁净室进行严格的调试工作。
本文旨在提供一份兰山洁净室工程的调试方案，以确保设备的正常运行和达到设计要求的洁净度。
二、调试方案概述1. 目标：本次调试的目标是验证兰山洁净室的洁净度和空气净化设备的正常运行。
2. 范围：本次调试范围包括主要的空气净化设备、洁净室内部组件以及周边配套设施。
3. 资源：调试所需的资源包括专业调试人员、相关设备工具以及调试所需的时间。
三、调试步骤1. 设备检查（1）检查洁净室内的空气净化设备，包括过滤器、风机、送风口等，确保设备安装牢固、电气连接正确、无松动等现象。
（2）检查洁净室内的温湿度调节设备，确保设备连接正常、温湿度传感器准确无误。
（3）检查洁净室外的空调设备，确保设备通风管道畅通、风口布局合理。
2. 进行初次启动（1）按照操作手册的步骤，逐步启动各项设备，包括空气净化设备、温湿度调节设备和空调设备。
（2）对设备的启动过程进行详细记录，并观察设备的运行状态，确保无异常噪音、振动等现象。
3. 检查洁净度（1）在设备启动后，使用测量设备对洁净室内的空气洁净度进行检测，确保空气洁净度达到设计要求。
（2）对洁净室内的温湿度进行测量，并确保与设计要求相符。
4. 进行负荷试验（1）在空气净化设备正常运行的状态下，进行负荷试验，包括增加人员和设备在洁净室内活动，模拟洁净室正常使用状态。
（2）对负荷试验过程进行详细记录，并观察设备的运行状态，确保设备能够正常应对正常使用状态下的洁净度要求。
5. 整体调试（1）对设备的整体工作状态进行检查，包括设备间的协调运行、自动控制系统的准确性等。
（2）对整体调试过程进行记录，并对可能存在的问题进行分析和处理。
6. 安全性确认（1）对洁净室内部的安全设施进行检查，确保紧急疏散通道畅通、灭火器材配备完善。
（2）对洁净室内部可能存在的安全隐患进行整改，并制定相应的应急预案。
洁净室工程施工安装、调试、验收要点1
洁净室工程施工安装、调试、验收要点洁净室工程建设是在特定工艺要求和空气洁净度等级下的一个包括设计、施工、安装、调试和验收等一系列工作的过程。
洁净室工程的施工安装、调试和验收是确保洁净室正常运行和生产质量的关键环节。
本文将从以下三个方面，介绍洁净室工程施工安装、调试、验收的要点。
1. 工程施工安装要点1.1 设计与施工洁净室工程的设计是关键环节，设计必须满足空气洁净度、洁净室工艺、温湿度、通风、照明等一系列要求，并与施工方案相配合。
洁净室工程的施工应符合相关的工程标准、规范和设计要求。
同时，在施工前应选择合格的施工团队和施工材料，严格按照设计方案进行施工。
1.2 安装与调试洁净室的设备安装必须满足相关技术要求，如空气过滤器、压差表、风量表、洁净室灯具、空调系统等。
在安装时要严格按照设备安装图纸进行操作。
并要注意设备防震、防锈等措施。
设备安装完成后，需要进行系统的调试。
在调试过程中需要测量温湿度、风速、风量、洁净度等相关参数，确保洁净室系统的正常运行。
1.3 管道系统洁净室的管道系统是重要的组成部分，对其要求必须严格。
管道应采用不锈钢、玻璃等材料，管道上应无死角和接缝，不带异味、凹凸和杂质。
管道铺设前，应该进行清洁和消毒，并做好防腐措施。
2. 调试要点2.1 空气洁净度空气洁净度是衡量洁净室性能的重要指标，因此调试前需要测量空气洁净度。
如发现洁净度不足，需要进行进一步的调试，如增大过滤器面积、调整风速、增加风机等，以提高洁净度。
2.2 温湿度控制在洁净室内，温度和湿度的控制很关键，直接影响物品的加工和洁净度。
在调试过程中，应根据要求，采用合适的控制方式实现恒温恒湿。
2.3 压力差控制洁净室内外需要保持一定的压力差，以防止外界的污染气体进入。
在调试过程中，必须严格控制洁净室内外的压力差。
对于压力差不足的区域，可以通过增大风机风量、减少空气泄漏等措施来增加压力差。
3. 验收要点3.1 检查空气洁净度在验收过程中，需对洁净室的空气洁净度进行检查。
洁净工程调试方案
洁净工程调试方案一、引言洁净工程是指对特定场所、特殊要求的生产和使用过程中所需的洁净度进行评估、设计、施工和验证的全过程工程。
洁净工程被广泛应用于医药、生物工程、电子、食品、半导体等行业，要求对空气中的微粒、微生物、有害气体等进行严格控制，以确保生产环境符合相关规定和标准。
因此，洁净工程的调试至关重要，对于确保洁净度达到要求具有重要意义。
二、洁净工程调试方案洁净工程调试方案是指在洁净工程施工完成后，对洁净度进行分级、检测和验证的一系列步骤。
它包括了设备、空气净化系统、工艺管线系统等各个方面的检测和验证。
下面是洁净工程调试方案的步骤和具体操作。
1. 检查和清洗空气净化设备洁净工程调试的第一步是对空气净化设备进行检查和清洗。
检查设备是否安装牢固，是否有损坏，进行必要的维修和更换。
对于过滤器、风机等部件进行清洗和更换，以确保设备处于最佳工作状态。
2. 空气净化系统调试空气净化系统是洁净工程中的核心部分，它包括了新风系统、排风系统、空调系统等。
在进行调试之前，需要对系统进行清洁，确保系统正常运行。
然后通过设定合适的参数，如风速、风量等，进行调试，对系统的运行状态进行监测和调整，直至达到要求的洁净度。
3. 检验洁净室设备对于洁净室设备，主要是对工作台、洁净灯、洁净罩等设备进行检验和调试。
检查设备是否符合相关标准，是否有异常情况，然后进行必要的调试和验证。
4. 空气净化设备调试除了对空气净化系统进行调试外，还需要对其他空气净化设备进行调试，如烟气净化设备、尘埃净化设备等。
对于不同类型的设备，需要根据设备的特性进行相应的调试和验证。
5. 安全系统调试在洁净工程中，安全系统是至关重要的一部分，包括了火灾报警系统、气体检测系统等。
需要对这些系统进行调试和验证，确保系统的正常运行，以防止发生意外情况。
6. 检测和验证在完成以上步骤后，需要对整个洁净工程进行检测和验证，以确保洁净度符合相关标准和规定。
检测和验证是通过使用各种检测设备和方法，对空气中的微粒、微生物、有害气体等进行监测和评估，以判断洁净工程的效果是否达到要求。
洁净区通风系统调试方案
XXX工程通风系统调试方案编制：审核：批准：XXXX2010 年7 月目录一、项目概况 (3)二、编制依据 (4)三、通风系统调试步骤 (4)3.1系统调试流程图 (4)3.2水系统调试 (5)3.2.1水系统调试前准备阶段 (5)3.2.2水系统调试顺序 (6)3.2.3水系统的单机试运转 (6)3.2.4热水系统调试 (7)3.2.5热水系统联动试运转 (7)3.2.6冷却塔调试及冷却系统水量平衡 (8)3.2.7冷冻水系统调试 (8)3.2.8冷冻水系统、冷却水系统联动试运转 (8)3.3风系统调试 (9)3.3.1调试前准备阶段 (9)3.3.2单机调试步骤及要求 (10)3.4系统联动步骤 (11)3.5系统空吹步骤 (12)3.6系统功能调试步骤 (12)3.7风机盘管调试 (13)3.8轴流通风机调试 (14)四、系统调试组织架构 (14)五、调试具体要求 (15)六、调试进度计划 (15)七、调试人员计划 (16)八、安全质量注意事项 (16)一、项目概况1.1项目名称：XXX工程。
1.2项目简介：本工程建筑面积13000㎡。
共设置13套全新风空调系统，其中12套净化空调送风系统（净化级别7级，个别辅助房间8级）；12套净化空调排风系统；1套非净化用房新风系统；每层设置10个轴流通风机。
1.3调试内容：1.3.1送风空调共13套系统。
（1）正压净化空调送风系统：JKA-1，JKB-1，JKA-2，JKB-2，JKC-2，JKD-2，JKEF-2，JKA-3，JKB-3，JKC-3，JKD-3。
（2）负压净化空调送风系统：JKC-1。
（3）净化空调排风系统：JPA-1，JPB-1，JPC-1，JPA-2，JPB-2，JPC-2，JPD-2，JPEF-2，JPA-3，JPB-3，JPC-3，JPD-3。
（4）新风系统：KX101。
（5）轴流通风机。
1.3.2本次调试的空调通风设备包括：（1）组合式洁净空调送风机组18台；（2）组合式洁净空调排风机组23台；（3）普通空调机组1台；（4）轴流通风机共计30台；（5）风机盘管共计77台。
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1 引言气密性和强度对于排气系统的稳定安全运行非常重要，尤其对产品的安全性要求极高的电子工业洁净室，其涂层材料对于酸、碱及有机等废气至关重要。
风管中的化学成分渗透过涂层形成对不锈钢基材的腐蚀是风管腐蚀的根本原因。
国内目前主要通过检测管路风量，将测试风量与设计风量做统计分析，来判断管路是否漏气。
测试方法主要包括气密性泄露测试和涂层管道电火花测试。
2 工程背景本工程对某大型工业洁净室动态环境进行排气系统检测与调试，对管道腐蚀性能要求较高，本建筑采用的是工艺管道系统。
3 工艺排气检测的目的及检测要点3.1 检测目的工艺排气检测的目的是通过检测找出工艺排气的关键环节和薄弱点，保证洁净室工作人员安全及系统的稳定运行，有针对性地对部分运行风险较大的排气管道进行注水试验，模拟管道运行后产生积液，检测是否存在漏液现象，通过检测降低系统运行隐患。
3.2 检测要点工艺排气管道的检测要点主要有以下两点：1）漏光测试测试准备工作完成后，协调外部灯光全部熄灭，人员进入管道内部，使用安全电压的强光手电，对每一处管道接口进行照射，同时，安排人员对管道外部进行观察，看管道是否存在漏光点。
2）漏风量测试在管道漏光测试完成后，使用漏风量测试仪，对管道进行负压或者正压测试，测试系统在设计工作压力作用下，漏风量是否满足要求。
测试时，应注意电子工业洁净室工艺排气检测及调试Process Exhaust Detection and Debugging of the Electronic Industry Clean Room翟传明1，章忠飞2，王娟娟1, 苏乃硕1, 闻义1, 张扬艺1ZHAI Chuan-ming1, ZHANG Zhong-fei2, WANG Juan-juan1, SU Nai-shuo1, WEN Yi1, ZHANG Yang-yi1（1.中电投工程研究检测评定中心有限公司；2.京东方科技集团股份有限公司）(1.C+E Center for Engineering Research Test and Appraisal Co.,Ltd.; 2.BOE Technology Group Co.,Ltd.)【摘要】工业洁净室排放的气体包含较多有毒、腐蚀性气体，且极易产生冷凝液，对洁净室环境及工作人员安全造成很大的隐患。
论文结合实际工程，对洁净室工艺排气检测和调试进行了分析，通过数据分析和对比排除安全隐患，保障工业洁净室安全运行。
【Abstract】Gases discharged from industrial clean rooms contains more toxic and corrosive gases, and is easy to produce condensate, which is great hidden danger to the clean room environment and the safety of clean room staff. Combining with practical engineering, this paper analyses the detection and debugging of process exhaust in clean room, in order to ensure the safe operation of the industrial clean room through data analysis and comparison.【关键词】电子工业；洁净室；排气；检测与调试【Keywords】electronic industry; clean room; exhaust; detection and debuggingDOI:10.13655/ki.ibci.2019.02.0133536控制测试压力，不能过高或过低，压力过低测试结果不准确，压力过高则易造成密封条的脱落[1]。
4 测试方法与测试结果4.1 仪器设备测试采用的仪器设备：风速仪、压差计(见图1、图2)图1 风速仪图2 压差计4.2 测试的前提条件①确保建筑屋面AEX 、VEX 、PGEX 风机定频运行，保证各系统主支管管路风量、系统压力无较大波动。
②检查各排气系统在洁净室主支管末端盲板的封堵情况，在末端盲板全部封堵的条件下进行检测。
③检查工艺设备开启情况，待设备开启运行后开始测试。
4.3 测试方法①以主支管管路观察口代替测试口，用单点式风速仪测量管路风速（多点测量）。
②分主支管管路检测，针对每一根管路，在满足测试条件的前提下，先测量主管路风量并记录。
③待主管路风量测试完毕后，测量主管路所连接支管风量并记录。
④根据图纸设计风量，计算在现行风机定频运行，主管路风量无较大波动情况下，各支管应分配风量。
待调试完成后，复核主管路风量。
检测时，支管阀门为全开，设备运行状态为全线开启，本次检测屋面VOC 风机开启频率为40Hz ，VOC 系统风管主支管末端盲板已经全部封堵，受现场设备搬入情况及设备调试影响，此检测数据作为参考使用[2]。
设计风量为屋面风机开启频率为50Hz 时的风量值，厂家给出40Hz 与50Hz 的相互关系，如图3所示，从图中可以看出，当风机开启频率为40Hz 时，对应风压为240Pa ，当风机开启频率为50Hz 时，对应风压为400Pa 。
将实测风量（40Hz ）转换为设计风量（50Hz ）进行对比，从而找出整个系统是否有漏风现象。
VEX 一阶段排气测试检测静压与设计风量图，为方便对比，用折线图表示各点风量，如图4所示。
从图中可以看出，实际检测风量与设计风量趋势基本一致且小于设计风量，这是合理的；测点VEX-12、VEX-09检测数据超过设计风量，此数据可能是检测过程中的错误图3 屋面风机开启频率与风压关系图图4 VEX 一阶段排气测试37操作所导致，可忽略。
屋面AEX 排风机开启频率为50Hz ，检测时，AEX 系统风管主支管末端盲板全部封堵；受现场设备搬入情况及设备调试影响，此检测数据作为参考使用，如图5所示。
从图中可以看出，实测风量与设计风量趋势基本一致，且风量值相差不大。
屋面PGEX 风机开启频率为40Hz ，检测时，PGEX 系统风管主支管末端盲板全部封堵，受现场设备搬入情况及设备调试影响，此检测数据作为参考使用。
当风机开启频率为40Hz 时，对应风压为240Pa ，当风机开启频率为50Hz 时，对应风压为400 Pa 。
通过将实测风量（40Hz ）转换为设计风量（50Hz ）进行对比，从而找出整个系统是否有漏风现象，检测数据如表1所示。
从表1中可以看出，两组测试数据与设计风量基本一致。
5 设备调试5.1 调试目的在屋面各排气系统风机定频，主支管管路风量、压力无较大波动情况下，通过排气系统风管上手动阀门的调试，使洁净室内工艺排气各主支管风量，按照设计同比例风量合理分配，以满足工艺设备对排气量的需求，最终调试风量以工艺对实际风量需求为准[3]。
5.2 主风管风量平衡调试主风管风量平衡调试如图6所示。
5.3 支管风量平衡调试支管风量平衡调试如图7所示。
5.4 排气设备检测、调试内容工艺排风风管系统，包括酸、碱、有毒、有机和一般排风系统，排气设备检测、调试主要有如下内容：①准备并核查每个系统的原理图；②测量并记录风管主管、支干管测量点的风量和静压；图5 AEX 一阶段排气测试编号设计风量实测风量1实测风量2实测风量转换后的实测风量实测风量转换后的实测风量PGEX-0316 80012 16216 37211 31815 236PGEX-0426 400982013 21972009692PGEX-1040 10028 70638 64325 66034 542PGEX-1140 10021 64329 13518 90025 442PGEX-1239 24030 52038 39229 35439 515PGEX-1339 24028 25238 03228 31738 119PGEX-1637 11030 24040 70826 61135 823PGEX-1737 11027 32036 77725 22833 961PGEX-0829 28022 54530 34917 32523 322PGEX-1568406874925347206354表1 PGEX 一阶段排气测试m 3/h图6 主风管风量平衡调节38③测量所有支干管末端的静压；④调节主管、支干管风阀门；⑤记录废气洗涤塔系统（包括热排风系统）和有机废气处理系统的情况；⑥检查空气阻滞；⑦检查管路密封。
5.5 检测方法1）风量测定为了测定风量，在风管上，如图8所示，按照一定的间隔安装测定孔，具体如下：①对于矩形风管，测定孔间距不大于200mm ，每一个测孔内测点按不大于200mm 均匀布点。
②对于圆形风管截面，根据管径大小将圆管截面分成若干个面积相等的同心圆环，如图9所示，每个圆环上有4个测点，4个测点必须在相互垂直的2个直径上，圆环的中心设1个测点。
图9 圆形风管测点位置示意图2）电流、电压测定测定完成空调设备风量后，测定电动机的电流、电压，确认电动机是否正常运转，防止因电流或电压过载损坏电动机。
电流、电压测试示意图如图10所示。
3）转速测定测定风机和电动机实际运转的转速，并与设备参数相比较，确认空调设备运转过程中是否影响风量及设备噪声[4]。
6 结语工业洁净室工艺排气检测及调试是洁净室排气及环境控制的关键环节之一，由于现场设备调试难度较大、较复杂，检测人员也在探索新方法、新工艺以改进目前设备调试方面存在的难点。
参考文献[1]龙晓凯.洁净厂房的检测分析[J].山东工业技术,2017(21):243.[2] GB 50472—2008电子工业洁净厂房设计规范[S].[3] GB 50591—2010洁净室施工及验收规范[S].[4] GB 50073—2013洁净厂房设计规范[S].图7 支管风量平衡调试图8 矩形风管测点位置示意图图10 电流、电压测试示意图。