芯片生产全过程-从沙子到封装
芯片制造的整体工艺流程

芯片制造的整体工艺流程
芯片制造的整体工艺流程主要包括以下步骤:
1. 设计阶段:芯片设计师根据需求和规格设计芯片的电路和功能。
2. 掩膜工艺:将芯片设计图通过光刻技术转移到掩膜上,然后将掩膜置于硅晶圆上进行光刻。
3. 清洗和腐蚀:使用化学溶液对硅晶圆进行清洗和腐蚀,以去除表面的污染物和氧化物。
4. 沉积:通过化学气相沉积、物理气相沉积等方法将金属、绝缘体或半导体材料沉积在硅晶圆上。
5. 感光和蚀刻:将感光剂涂覆在硅晶圆上,然后使用紫外线光刻机将芯片的图案转移到感光剂上,然后使用蚀刻装置将感光剂以外的部分材料蚀刻掉。
6. 清洗和检验:对蚀刻后的芯片进行清洗,以去除残留的化学物质,然后使用显微镜和其他检测设备对芯片进行检验。
7. 封装和测试(完成芯片制造):将制造好的芯片封装在封装材料中,并连接电路之间的引脚,然后对芯片进行功能和可靠性测试。
8. 接下来是后期工艺的制作,例如测试、打磨、切割、清洗等环节。
需要注意的是,这只是芯片制造工艺流程的一般步骤,具体的工艺流程可能会因芯片类型、技术和制造商而有所不同。
一文了解芯片的制作过程

一文了解芯片的制作过程现代生活中,人们已被各种(电子)设备围绕,(手机)、(电脑)、电视……那么,这些电子设备是靠什么运作的呢?答案就是(芯片)!简单来说,芯片之于电子设备的地位等同于发动机之于汽车,而制备芯片的原材料,就是最普通不过的石英砂。
沙子与芯片含量最多的元素都是硅,一吨沙不过几十元,一颗几十克的(CPU)芯片往往能卖到数千块,价格千差万别,这就是沙的逆袭。
在实际的生产中,我们通常将二氧化硅还原成单晶硅,但是这个过程难度很高,因为实际用到的晶圆纯度很高,然后拉出单晶硅晶棒,再到最后切割成一片薄薄的晶圆。
再经过晶圆涂膜、光刻显影蚀刻、离子注入、晶圆测试、封装等流程,芯片就制作完成了。
在整个芯片产业中,石英砂是最基础的原料,石英砂中的硅在地球表面储量约为28%(仅次于氧),硅在自然界并不稀缺,但硅的制成品芯片价值却堪比黄金。
如果了解石英砂到芯片的整个过程,或许会明白它确实值这个价了。
芯片的制作01石英砂硅是地壳内第二丰富的元素,也是半导体制造产业的基础。
02硅熔炼12英寸/300毫米晶圆级,通过多步净化得到可用于(半导体)知道质量的硅,学名电子级硅(EGS),平均每一百万个硅原子中最多只有一个杂质原子。
下图展示的是如何通过硅净化熔炼得到大晶体的,最后得到的就是硅锭(ingot)。
03单晶硅锭整体基本呈圆柱形,重约100千克,硅纯度99.9999%。
04硅锭切割横向切割成圆形的单个硅片,也就是我们常说的晶圆(W(afe)r)。
05晶圆切割出的是晶圆经过抛光后变得几乎完美无瑕,表面甚至可以当镜子。
事实上,(intel)自己并不生产这种晶圆,而是从第三方半导体企业那里直接购买成品,然后利用直接的生产线进一步加工。
06光刻胶(Photo Resist)下图中蓝色部分就是在晶圆旋转过程中浇上去的光刻胶液体,类似制作传统胶片的那种。
晶圆旋转可以让光刻胶铺的非常薄、非常平。
01光刻一:光刻胶层随后透过掩模(Mask)被曝光在紫外线(UV)之下,变得可溶,期间发生的化学反应类似按下(机械)相机快门那一刻胶片的变化。
从沙子到CPU

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中文样例
溶解光刻胶:光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶 解掉,清除后留下的图案和掩模上的一致。
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蚀刻:使用化学物质溶解掉暴露出来的晶圆部分,而剩 下的光刻胶保护着不应该蚀刻的部分。
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中文样例
电镀:在晶圆上电镀一层硫酸铜,将铜离子沉淀到晶体 管上。铜离子会从正极(阳极)走向负极(阴极)。
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中文样例
铜层:电镀完成后,铜离子沉积在晶圆表面,形成一个 薄薄的铜层
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中文样例
沙子:硅是地壳内第二丰富的元素,而沙子(尤其是石英) 最多包含25%的硅元素,以二氧化硅(SiO2)的形式存在, 这也是半导体 半导体制造产业的基础 基础。 半导体 基础
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硅熔炼:12英寸/300毫米直径晶圆级,下同。通过多步 净化得到可用于半导体制造质量的硅,学名电子级硅 (EGS),平均每一百万个硅原子中最多只有一个杂质原子。 此图展示了是如何通过硅净化熔炼得到大晶体的,最后 得到的就是硅锭(Ingot)。
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芯片的生产工艺流程

芯片的生产工艺流程芯片是现代科技领域中的重要组成部分,广泛应用于计算机、通信、医疗、汽车等各个领域。
在芯片的生产过程中,需要经过多个制程步骤才能完成最终产品。
下面是一篇关于芯片生产工艺流程的文章,介绍了主要的工艺步骤。
芯片生产工艺流程通常包括:晶圆准备、晶圆清洗、光刻、薄膜沉积、蚀刻、离子注入、扩散和封装等步骤。
现在让我来详细介绍一下这个过程。
首先是晶圆准备。
晶圆是芯片加工的基板,通常是由硅单晶制成。
在这一步骤中,需要对晶圆进行检查,确保其没有任何缺陷。
然后,将其放入加工设备中,准备下一步工艺。
接下来是晶圆清洗。
由于晶圆表面需要绝对干净,所以通过流水清洗和有机溶剂清洗的方式,将表面的杂质和污染物清除。
然后是光刻步骤。
光刻是一种通过光敏物质对晶圆表面进行曝光的技术。
在这一步骤中,首先将光刻胶涂覆在晶圆上,然后使用光罩来照射光刻胶,使光刻胶的部分变得易蚀。
接着使用蚀刻化学品进行蚀刻,将没有光刻胶保护的部分去除。
薄膜沉积是下一步。
该工艺主要是将金属、氧化物或其他材料沉积在晶圆表面,以形成所需的电子元件或电气连接。
然后是蚀刻步骤。
蚀刻是将薄膜上的多余材料去除的过程。
在这一步骤中,通过使用化学气相蚀刻法或物理气相蚀刻法,选择性地去除多余的材料,使所需的结构露出。
离子注入是下一步骤。
在这个过程中,离子注入机将离子加速并注入到晶圆内。
这个过程的目的是改变晶圆的导电性。
然后是扩散步骤。
扩散是将特定材料的原子在晶圆内进行混合,以改变其性能。
通过调整不同区域的温度和时间,使得材料在晶圆内扩散,从而形成不同的电子元器件。
最后是封装步骤。
在这一步骤中,芯片会被封装在塑料或陶瓷外壳内,以保护电子元件。
在封装过程中,还会进行焊接和连接等工艺,以确保芯片与外界的电气连接。
通过以上几个主要工艺步骤,芯片的制程过程就基本完成了。
当然,这只是一个简单的概述,实际的芯片生产工艺流程可能更加复杂和精细。
而且,随着科技的进步和需求的不断增长,芯片的制造工艺也在不断改进和创新,以便满足不断变化的市场需求。
揭秘半导体制造全流程

揭秘半导体制造全流程每个半导体产品的制造都需要数百个工艺,整个制造过程大体可分为八个步骤:晶圆加工-氧化-光刻-刻蚀-薄膜沉积-互连-测试-封装。
第一步晶圆加工所有半导体工艺都始于一粒沙子!因为沙子所含的硅是生产晶圆所需要的原材料。
晶圆是将硅(Si)或砷化镓(GaAs)制成的单晶柱体切割形成的圆薄片。
要提取高纯度的硅材料需要用到硅砂,一种二氧化硅含量高达5N(99.999%)的特殊材料,也是制作晶圆的主要原材料。
晶圆加工就是制作获取上述晶圆的过程。
1.铸锭首先需将沙子与碳加热,发生还原反应,得到一氧化碳和硅,并不断重复该过程直至获得超高纯度的电子级硅(EG-Si)。
高纯硅熔化成液体,利用提拉发再凝固成单晶固体形式,称为“锭”,这就是半导体制造的第一步。
需要注意的是:单晶硅锭(硅柱)的制作精度要求很高,其圆整度误差要控制在纳米级。
2.锭切割前一个步骤完成后,需要用金刚石锯切掉铸锭的两端,再将其切割成一定厚度的薄片。
锭薄片直径决定了晶圆的尺寸,更大更薄的晶圆能被分割成更多的可用单元,有助于降低生产成本。
切割硅锭后需在薄片上加入“平坦区”或“凹痕”标记,方便在后续步骤中以其为标准设置加工方向。
3.晶圆表面抛光通过上述切割过程获得的薄片被称为“裸片”,即未经加工的“原料晶圆”。
裸片的表面凹凸不平,无法直接在上面印制电路图形。
因此,需要先通过研磨和化学刻蚀工艺去除表面瑕疵,然后通过抛光形成光洁的表面,再通过清洗去除残留污染物,即可获得表面整洁的成品晶圆。
第二步氧化氧化过程的作用是在晶圆表面形成保护膜。
它可以保护晶圆不受化学杂质影响、避免漏电流进入电路、预防离子植入过程中的扩散以及防止晶圆在刻蚀时滑脱。
氧化过程的第一步是去除杂质和污染物(有机物、金属等杂质及蒸发残留的水分),清洁完成后就可以将晶圆置于800至1200摄氏度的高温环境下,通过氧气或蒸气在晶圆表面的流动形成二氧化硅(即“氧化物”)层。
氧气扩散通过氧化层与硅反应形成不同厚度的氧化层,可以在氧化完成后测量它的厚度。
0176.图解:沙子是如何成为CPU的

图解:沙子是如何成为CPU的CPU——中央处理器,世界上单位体积集成度最大的集成电路核心,也是唯一无法山寨的物品。
CPU的制造过程代表了当今世界科技发展的最高水平。
处理器的制造过程可以大致分为选取原料沙子(石英)、提纯成硅锭、晶圆、光刻、蚀刻、离子注入、金属沉积、金属层、互连、晶圆测试与切割、核心封装、等级测试、包装上市等基本步骤。
硅熔炼成硅锭:通过多步净化得到可用于半导体制造质量的硅,学名电子级硅(EGS),平均每一百万个硅原子中最多只有一个杂质原子。
单晶硅锭呈圆柱形,重约100千克,硅纯度达99.9999%。
然后将硅锭横向切割成圆形的单个硅片——晶圆(Wafer)。
切割出的晶圆经过抛光后变得几乎完美无瑕。
对晶圆进行光刻胶(Photo Resist),在晶圆旋转过程中浇上蓝色的的光刻胶液体,晶圆旋转可以让光刻胶铺的非常薄、平。
光刻胶层随后透过掩模(Mask)被曝光在紫外线(UV)之下,变得可溶,期间发生的化学反应类似按下机械相机快门那一刻胶片的变化。
掩模上印着预先设计好的电路图案,紫外线透过它照在光刻胶层上,就会形成微处理器的每一层电路图案。
一块晶圆上可以切割出数百个处理器,不过从这里开始把视野缩小到其中一个上,展示如何制作晶体管等部件。
晶体管相当于开关,控制着电流的方向。
晶体管及其微小,一个针头上就能放下大约3000万个。
溶解光刻胶:光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉,清除后留下的图案和掩模上的一致。
然后光刻,并洗掉曝光的部分。
离子注入:在真空系统中,用经过加速,并掺杂原子的离子照射固体材料,从而在被注入的区域形成特殊的注入层,并改变这些区域的硅的导电性。
经过电场加速后,注入的离子流的速度可以超过30万千米每小时。
离子注入完成后,光刻胶也被清除,而注入区域(绿色部分)也已注入了不同的原子。
这时候的绿色和之前已经有所不同。
至此,晶体管的制造已经基本完成。
然后在绝缘层(红色部分)上蚀刻出三个孔洞,并填充上铜,以便和其它晶体管互连。
芯片制造过程图解

芯片制造过程图解芯片制造过程图解芯片制造是一项复杂而精密的过程,它是将电子元器件集成到一个小而精密的硅片上,并完成电路板的制造过程。
下面将对芯片制造过程进行图解,以便更好地理解。
第一步:硅片生长芯片制造的第一步是生长硅片。
硅片是芯片的基底,通过在高温高压的环境下将单晶硅溶解在液态硅中,再通过控制温度和时间等参数,使其重新结晶,最终形成一个纯净的硅片。
第二步:晶圆制备在硅片生长完成后,需要将硅片进行切割,制备成厚度约为0.7毫米的圆片,即晶圆。
晶圆上固定了薄膜、导线等构成芯片电路的各种元件。
第三步:光刻光刻技术是芯片制造中的关键步骤之一。
在这一步骤中,晶圆上涂覆上一层光刻胶,然后通过模具上的光刻掩膜,将光投射到晶圆上。
光刻胶会受到光的照射而固化,形成确定的图案。
第四步:刻蚀在完成光刻步骤后,需要使用刻蚀机对晶圆进行刻蚀。
刻蚀是通过化学反应或物理气相反应,将未固化的光刻胶去掉,以便在后续步骤中进行电路的导线和通孔的制作。
第五步:薄膜沉积薄膜沉积是为了在晶圆表面上形成各种功能膜层,例如金属导线和绝缘层。
通过物理气相沉积或化学气相沉积的方法,在晶圆表面上沉积薄膜材料。
第六步:电路形成电路形成是芯片制造的核心步骤之一。
通过使用光刻技术和刻蚀技术,将导线和通孔等电路形成在晶圆上。
第七步:封装封装是芯片制造的最后一步,也是将芯片转化为电子器件的关键步骤。
在这一步骤中,将晶圆中的芯片通过焊接、粘贴等方法与支持电路板连接起来,并用封装材料进行固定和保护。
通过以上步骤,一个芯片的制造过程就完成了。
当然,芯片制造还包括测试和分选等环节,以确保质量和性能符合要求。
芯片制造过程的复杂性和精密性使得芯片制造成为高技术含量和高附加值的产业。
半导体芯片制作流程工艺

半导体芯片制作流程工艺半导体芯片制作可老复杂啦,我给你好好唠唠。
1. 晶圆制造(1) 硅提纯呢,这可是第一步,要把硅从沙子里提炼出来,变成那种超高纯度的硅,就像从一群普通小喽啰里挑出超级精英一样。
这硅的纯度得达到小数点后好多个9呢,只有这样才能满足芯片制造的基本要求。
要是纯度不够,就像盖房子用的砖都是软趴趴的,那房子肯定盖不起来呀。
(2) 拉晶。
把提纯后的硅弄成一个大的单晶硅锭,就像把一堆面粉揉成一个超级大的面团一样。
这个单晶硅锭可是有特殊形状的,是那种长长的圆柱体,这就是芯片的基础材料啦。
(3) 切片。
把这个大的单晶硅锭切成一片一片的,就像切面包片一样。
不过这可比切面包难多啦,每一片都得切得超级薄,而且厚度要非常均匀,这样才能保证后面制造出来的芯片质量好。
2. 光刻(1) 光刻胶涂覆。
先在晶圆表面涂上一层光刻胶,这光刻胶就像给晶圆穿上了一件特殊的衣服。
这件衣服可神奇啦,它能在后面的光刻过程中起到关键作用。
(2) 光刻。
用光刻机把设计好的电路图案投射到光刻胶上。
这光刻机可厉害啦,就像一个超级画家,但是它画的不是普通的画,而是超级精细的电路图案。
这图案的线条非常非常细,细到你都想象不到,就像头发丝的千分之一那么细呢。
(3) 显影。
把经过光刻后的晶圆进行显影,就像把照片洗出来一样。
这样就把我们想要的电路图案留在光刻胶上啦,那些不需要的光刻胶就被去掉了。
3. 蚀刻(1) 蚀刻过程就是把没有光刻胶保护的硅片部分给腐蚀掉。
这就像雕刻一样,把不要的部分去掉,留下我们想要的电路结构。
不过这个过程得非常小心,要是腐蚀多了或者少了,那芯片就报废了。
(2) 去光刻胶。
把之前用来形成图案的光刻胶去掉,这时候晶圆上就留下了我们想要的电路形状啦。
4. 掺杂(1) 离子注入。
通过离子注入的方式把一些特定的杂质原子注入到硅片中,这就像给硅片注入了特殊的能量一样。
这些杂质原子会改变硅片的电学性质,从而形成我们需要的P型或者N型半导体区域。
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电镀:在晶圆上电镀 一层硫酸铜,将铜离 子沉淀到晶体管上。 铜离子会从正极(阳极) 走向负极(阴极)。
从沙子到芯片-3
铜层:电镀完成后, 铜离子沉积在晶圆表 面,形成一个薄薄的 铜层。
从沙子到芯片-3
抛光:将多余的铜抛 光掉,也就是磨光晶 圆表面。
从沙子到芯片-3
金属层:晶体管级别, 六个晶体管的组合, 大约500纳米。在不同 晶体管之间形成复合 互连金属层,具体布 局取决于相应处理器 所需要的不同功能性。 芯片表面看起来异常 平滑,但事实上可能 包含20多层复杂的电 路,放大之后可以看 到极其复杂的电路网 络,形如未来派的多 层高速公路系统。
从沙子到芯片-3
处理器:至此就得到 完整的处理器了(这里 是一颗Core i7)。这种 在世界上最干净的房 间里制造出来的最复 杂的产品实际上是经 过数百个步骤得来的, 这里只是展示了其中 的一些关键步骤。
从沙子到芯片-3
等级测试:最后一次 测试,可以鉴别出每 一颗处理器的关键特 性,比如最高频率、 功耗、发热量等,并 决定处理器的等级, 比如适合做成最高端 的Core i7-975 Extreme,还是低端型 号Core i7-920。
从沙子到芯片-3
光刻胶(Photo Resist): 图中蓝色部分就是在 晶圆旋转过程中浇上 去的光刻胶液体,类 似制作传统胶片的那 种。晶圆旋转可以让 光刻胶铺的非常薄、 非常平。
从沙子到芯片-3
光刻:光刻胶层随后 透过掩模(Mask)被曝 光在紫外线(UV)之下, 变得可溶,期间发生 的化学反应类似按下 机械相机快门那一刻 胶片的变化。掩模上 印着预先设计好的电 路图案,紫外线透过 它照在光刻胶层上, 就会形成微处理器的 每一层电路图案。一 般来说,在晶圆上得 到的电路图案是掩模 上图案的四分之一。
从沙子到芯片-3
光刻:由此进入50200纳米尺寸的晶体管 级别。一块晶圆上可 以切割出数百个处理 器,不过从这里开始 把视野缩小到其中一 个上,展示如何制作 晶体管等部件。晶体 管相当于开关,控制 着电流的方向。现在 的晶体管已经如此之 小,一个针头上就能 放下大约3000万个。
从沙子到芯片-3
硅熔炼:12英寸/300 毫米晶圆级,下同。 通过多步净化得到可 用于半导体制造质量 的硅,学名电子级硅 (EGS),平均每一百万 个硅原子中最多只有 一个杂质原子。此图 展示了是如何通过硅 净化熔炼得到大晶体 的,最后得到的就是 硅锭(Ingot)。
从沙子到芯片-3
单晶硅锭:整体基本 呈圆柱形,重约100千 克,硅纯度99.9999%。
摩尔定律(18个月翻一番)验证
晶圆图片
晶圆图片
AMD ROADMAP 2007
我国2007芯片产业
从沙子到芯片-1
沙子:硅是地壳内第 二丰富的元素,而脱 氧后的沙子(尤其是石 英)最多包含25%的硅 元素,以二氧化硅 (SiO2)的形式存在, 这也是半导体制造产 业的基础。
从沙子到芯片-2
从沙子到芯片-3
光刻胶:再次浇上光 刻胶(蓝色部分),然后 光刻,并洗掉曝光的 部分,剩下的光刻胶 还是用来保护不会离 子注入的那部分材料。
从沙子到芯片-3
离子注入(Ion Implantation):在真 空系统中,用经过加 速的、要掺杂的原子 的离子照射(注入)固体 材料,从而在被注入 的区域形成特殊的注 入层,并改变这些区 域的硅的导电性。经 过电场加速后,注入 的离子流的速度可以 超过30万千米每小时
从沙子到芯片-3
清除光刻胶:离子注 入完成后,光刻胶也 被清除,而注入区域 (绿色部分)也已掺杂, 注入了不同的原子。 注意这时候的绿色和 之前已经有所不同。
从沙子到芯片-3
晶体管就绪:至此, 晶体管已经基本完成。 在绝缘材(品红色)上蚀 刻出三个孔洞,并填 充铜,以便和其它晶 体管互连。
从沙子到芯片-3
从沙子到芯片-3
装箱:根据等级测试 结果将同样级别的处 理器放在一起装运。
从沙子到芯片-3
零售包装:制造、测 试完毕的处理器要么 批量交付给OEM厂商, 要么放在包装盒里进 入零售市场。这里还 是以Core i7为例。
从沙子到芯片-3
硅锭切割:横向切割 成圆形的单个硅片, 也就是我们常说的晶 圆(Wafer)。顺便说, 这下知道为什么晶圆 都是圆形的了吧? 。
从沙子到芯片-3
晶圆:切割出的晶圆 经过抛光后变得几乎 完美无瑕,表面甚至 可以当镜子。事实上, Intel自己并不生产这 种晶圆,而是从第三 方半导体企业那里直 接购买成品,然后利 用自己的生产线进一 步加工,比如现在主 流的45nm HKMG(高K 金属栅极)。值得一提 的是,Intel公司创立 之初使用的晶圆尺寸 只有2英寸/50毫米。
从沙子到芯片-3
晶圆测试:内核级别, 大约10毫米/0.5英寸。 图中是晶圆的局部, 正在接受第一次功能 性测试,使用参考电 路图案和每一块芯片 进行对比。
从沙子到芯片-3
晶圆切片(Slicing): 晶圆级别,300毫米 /12英寸。将晶圆切割 成块,每一块就是一 个处理器的内核(Die)。
从沙子到芯片-3
丢弃瑕疵内核:晶圆 级别。测试过程中发 现的有瑕疵的内核被 抛弃,留下完好的准 备进入下一步。
从沙子到芯Байду номын сангаас-3
单个内核:内核级别。 从晶圆上切割下来的 单个内核,这里展示 的是Core i7的核心。
从沙子到芯片-3
封装:封装级别,20 毫米/1英寸。衬底(基 片)、内核、散热片堆 叠在一起,就形成了 我们看到的处理器的 样子。衬底(绿色)相当 于一个底座,并为处 理器内核提供电气与 机械界面,便于与PC 系统的其它部分交互。 散热片(银色)就是负责 内核散热的了。
溶解光刻胶:光刻过 程中曝光在紫外线下 的光刻胶被溶解掉, 清除后留下的图案和 掩模上的一致。
从沙子到芯片-3
蚀刻:使用化学物质 溶解掉暴露出来的晶 圆部分,而剩下的光 刻胶保护着不应该蚀 刻的部分。
从沙子到芯片-3
清除光刻胶:蚀刻完 成后,光刻胶的使命 宣告完成,全部清除 后就可以看到设计好 的电路图案。