电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂--厂务系统概述
半导体厂务系统
半导体厂务系统 The manuscript was revised on the evening of 2021半导体厂务工作吴世全国家奈米元件实验室一、前言近年来，半导体晶圆厂已进展到8"晶圆的量产规模，同时，也着手规划12"晶圆的建厂与生产，准备迎接另一世代的产业规模。
於是各厂不断地扩增其产能与扩充其厂区规模，似乎稍一停顿即会从此竞争中败下阵来。
所以，推促着制程技术不断地往前迈进，从μm设计规格的64Mb（百万位元）DRAM（动态随机记忆元件）记忆体密度的此际技术起，又加速地往μm规格的256M发展；甚至μm的1Gb（十亿位元）集积度的DRAM元件设计也屡见不鲜。
亦即整个半导体产业正陷入尖端技术更迭的追逐战，在竞争中，除了更新制程设备外，最重要的是维持厂区正常运作的厂务工作之配合，而这两方面的支出乃占资本财的最大宗。
特别是多次的工安事故及环保意识抬头之後，厂务工作更是倍显其重要及殷切。
事实上，半导体厂的厂务工作为多援属性的任务，也是後勤配合与收摊（废弃物）处理的工作；平时很难察觉其重要性，但状况一出，即会令整厂鸡飞狗跳，人仰马翻，以致关厂停机的地步。
所以，藉此针对厂务工作的内容做一概略性的描述，说明其重要性并供作参考与了解。
文章分为三部份：首先为厂务工作的种类，其次是厂务工作的未来方向，最後是本文的结语。
二、厂务工作的种类目前在本实验室所代表的半导体制程的厂务工作，约可分为下列数项：1.一般气体及特殊气体的供应及监控。
2.超纯水之供应。
??3.中央化学品的供应。
4.洁净室之温度，湿度的维持。
5.废水及废气的处理系统。
6.电力，照明及冷却水的配合。
7.洁净隔间，及相关系统的营缮支援工作。
8.监控，辅佐事故应变的机动工作等数项。
下述将就各项工作内容予以概略性说明：1.一般气体及特殊气体的供应及监控[1]一座半导体厂所可能使用的气体约为30种上下，其气体的规格会随制程要求而有不同；但通常可分为用量较大的一般气体(Bulk Gas)，及用量较小的特殊气体(Special Gsa)二大类。
电子工厂厂务知识点总结
电子工厂厂务知识点总结一、电子工厂的基本概念电子工厂是指生产电子产品的工业企业，主要生产电子元器件、电子产品和相关设备。
电子工厂是一个综合性的厂房，需要具备一定的专业知识和技术，同时还需要合理的厂务管理。
二、电子工厂常见的厂务知识点1. 生产计划管理生产计划管理是电子工厂的重要环节，主要涉及产品生产的排产、生产线的协调、零部件的进货、库存的管理等内容。
制定合理的生产计划，能够提高生产效率，降低生产成本，对电子工厂的发展至关重要。
2. 设备管理设备管理是电子工厂的重要环节，主要包括设备的采购、维护、维修和更新等内容。
设备管理的好坏直接关系到生产效率和产品质量，是电子工厂运营的关键环节。
3. 原材料采购管理原材料采购管理是电子工厂的关键环节，主要包括原材料的供应商筛选、价格谈判、采购合同签订、供应链管理等内容。
原材料采购管理的好坏直接关系到产品成本和产品质量，是电子工厂运营的重要环节。
4. 质量管理质量管理是电子工厂的重要环节，主要包括生产过程质量控制、产品质量把控、质量检测、质量认证等内容。
质量管理的好坏直接关系到产品的市场竞争力和客户满意度，是电子工厂运营的关键环节。
5. 工艺流程管理工艺流程管理是电子工厂的关键环节，主要包括生产工艺的编制、工艺的优化、工艺的改进等内容。
工艺流程管理的好坏直接关系到生产效率和产品质量，是电子工厂运营的重要环节。
6. 成本控制成本控制是电子工厂的重要环节，主要包括生产成本、销售成本、管理成本的控制，通过有效的成本控制，能够提高企业的盈利能力和竞争力。
7. 人力资源管理人力资源管理是电子工厂的关键环节，主要包括员工招聘、员工培训、员工激励、员工绩效考核等内容。
人力资源管理的好坏直接关系到员工的积极性和工作效率，是电子工厂运营的重要环节。
8. 安全生产管理安全生产管理是电子工厂的重要环节，主要包括生产安全、产品安全、环境安全等内容。
安全生产管理的好坏直接关系到员工的健康和企业的形象，是电子工厂运营的关键环节。
厂务系统概述
厂务系统的应用和发展趋势
厂务系统的应用
质量管理：监控产品质量确 保产品质量达标
设备管理：监控设备运行状 态及时发现故障
生产管理：监控生产过程提 高生产效率
安全管理：监控生产安全预 防安全事故发生
环保管理：监控环保指标确 保环保达标
成本管理：监控生产成本降 低生产成本
厂务系统的发展趋势
智能化：通过人工智能、大数据等技术实现厂务系统的智能化管理 集成化：将多个子系统集成为一个整体提高系统的协同性和效率 绿色化：注重节能环保采用绿色能源和环保材料降低能耗和污染 安全化：加强安全管理提高系统的安全性和可靠性 定制化：根据不同企业的需求提供定制化的厂务系统解决方案 网络化：通过网络技术实现厂务系统的远程监控和管理
目的是提高生产效率、降低 成本、保证产品质量
厂务系统是工厂信息化、智 能化的重要手段
厂务系统的作用
提高生产效率： 通过自动化和 智能化技术提 高生产效率降 低生产成本。
保障生产安全： 通过实时监控 和预警系统及 时发现和处理 生产过程中的 安全隐患保障
生产安全。
优化生产流程： 通过对生产数 据的分析和处 理优化生产流 程提高产品质 量和生产效率。
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厂务系统概述
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汇报时间：20X-XX-XX
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厂务系统的定义 和作用
厂务系统的组成 和功能
厂务系统的运行 和管理
厂务系统的应用 和发展趋势
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厂务系统的定义和作用
厂务系统的定义
包括生产计划、物料管理、 设备管理、质量管理等功能
厂务系统是工厂内部用于管 理和控制生产过程的系统
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厂务系统概述简单中文介绍PPT课件
1.2 气体系统在制程中的功能
CDA 压缩干燥空
气
GN2 一般氮气
搬运器/仪器之气压缸/一般冲吹 Purge/洁净冲吹
PN2 纯化氮气
Purge/空间填充/超洁净冲吹
其他B-GAS 大宗气体
制程需求/空间填充/超洁净冲吹
S-GAS 特殊气体
制程填充需求/制程需求
1.3 化学系统在制程中的功能
Chemical 化学药品
清洁清洗/制程需求
1.4 真空系统在制程中的功能
PV 制程真空
HV 清洁真空
吸引搬移 尘屑吸引清洁
1.5 排气/排水系统在制程中的功能
Pump Line 制程高真空
Exhaust 排气系统
Drain 排水系统
制程转换之高真空建立 制程转换之废气排除 制程使用之废DI/Chemical排放
二、厂务系统使用材质
PN2 纯化氮气
SUS 316L EP
其他B-GAS 大宗气体
SUS 316L EP/PH2有时用双套管(EP/AP)
S-GAS 特殊气体
SUS 316L EP/双套管/加热套
2.3 化学系统使用材质
有机类 化学药品
一般酸碱 化学药品
其他 化学药品
溶剂类→SUS 316 BA H2SO4/NaOH→PVC/CPVC CPVC/PFA/PVDF/PTFE
膨胀水箱
冰水进
板热
冰水出
制程管线
进水
回水
机台冷却
3.2 冰水系统简略流程
大气
冷却水塔 冷却 水
冰水主机 冷媒循环
冰水 回
MAU VAU
冰水
AHU
出 其他空调箱
板热
电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂--厂务系统概述PPT课件
-
13
2.4真空系统使用材质
PV 制程真空
HV 清洁真空
PVC SCH80/SUS 304 PVC SCH80/SUS 304
-
14
2.5排气系统使用材质
Pump Line 制程高真空
GEX 一般排气
Solvent 有机排气
Acid/Ak 酸碱排气
SUS 316 BA/EP 镀锌螺旋风管 SUS 304全焊式不锈钢风管 不锈钢Teflon Coating风管(Tefpass)
SUS 316L EP
SUS 316L EP/PH2 有 时 用 双 套 管
(EP/AP)
SUS 316L EP/双套管/加热套
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12
2.3化学系统使用材质
有机类 化学药品
一般酸碱 化学药品
其他 化学药品
例如溶剂类→SUS 316 BA 例如H2SO4/NaOH→PVC/CPVC CPVC/PFA/PVDF/PTFE
-
15
2.6排水系统使用材质
Drain 一般排水
Solvent 有机排水
Acid/Ak 酸碱排水
PVC/PVC SCH80 SUS 304不锈钢管 PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA
-
16
3.厂务系统流程
-
17
3.1制程冷却水系统简略流程
原水补水
膨胀水箱
冰水进
板热
冰水出
制程管线
进水
分配系统 化学管路
-
26
3.10废水收集系统简略流程
Drain Pipe
机台 排放点
收集 管线
废水 处理厂
-
27
3.11废水处理系统简略流程
电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂--厂务系统概述共31页
1、最灵繁的人也看不见自己的背脊。——非洲 2、最困难的事情就是认识自己。——希腊 3、有勇气承担命运这才是英雄好汉。——黑塞 4、与肝胆人共事，无字句处读书。——周恩来 5、阅读使人充实，会谈使人敏捷，写作使人精确。——培根
电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂--厂务系 统概述
11、获得的成功越大，就越令人高兴 。野心 是使人 勤奋的 原因， 节制使 人枯萎 。 12、不问收获，只问耕耘。如同种树 ，先有 根茎， 再有枝 叶，尔 后花实 ，好好 劳动， 不要想 太多， 那样只 会使人 胆孝懒 惰，因 为不实 践，甚 至不接 触社会 ，难道 你是野 人。(名 言网) 13、不怕，不悔(虽然只有四个字，但 常看常 新。 14、我在心里默默地为每一个人祝福 。我爱 自己， 我用清 洁与节 制来珍 惜我的 身体， 我用智 慧和知 识充实 我的头 脑。 Байду номын сангаас5、这世上的一切都借希望而完成。 农夫不 会播下 一粒玉 米，如 果他不 曾希望 它长成 种籽； 单身汉 不会娶 妻，如 果他不 曾希望 有小孩 ；商人 或手艺 人不会 工作， 如果他 不曾希 望因此 而有收 益。-- 马钉路 德。
电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板厂--厂务系统概述教学内容
污泥 脱水机
污泥 收集槽
沉淀槽
澄清槽
污泥饼 储槽
运弃
PH 反应槽 胶羽 凝结槽 Polymer
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电子工厂-晶圆厂-TFT-厂-面板 厂--厂务系统概述
0.电子厂名言
唯一的不变就是永远在变 唯一确定的就是还没决定
所以~接下来介绍的在现场都不是绝对的~
1.厂务系统功能
1.1水系统在制程中的功能
PCW 制程冷却水
UPW/DIW 超纯水
Chill Water 冰水
RW 回收水
CW 自来水
制程机台冷却 补水/清洗/稀释 冷却用冷源/空调用冰水 DI回收/冷凝回收/再生使用 原水/一般用水
求
1.3化学系统在制程中的功能
Chemical 化学药品
清洁清洗/湿式蚀刻制程需求
1.4真空系统在制程中的功能
PV 制程真空
HV 清洁真空
基板吸引般移 尘屑吸引清洁/真空吸笔
1.5排气/排水系统在制程中的功能
Pump Line 制程高真空
Exhaust 排气换之高真空建立 Chamber制程转换之废气排除 机台制程使用之废DI/Chemical排放
2.厂务系统使用材质
2.1水系统使用材质
PCW 制程冷却水
UPW/DIW 超纯水
Chill Water 冰水
RW 回收水
CW 自来水
SUS 304禁油处理/高压软管 CPVC/PVDF/PFA Tube SUS 304 SUS 304 SUS 304
2.2气体系统使用材质-(除特气外机台端都可能用Teflon软管)
PVC/PVC SCH80 SUS 304不锈钢管 PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA
《厂务系统概述》课件
实时监控库存状况，避免过度采购或库存 不足的情况发生。
3 设备维护
4 员工调度
记录设备维护历史，提醒维护计划，延长 设备寿命。
根据工作需求和员工技能，合理安排员工 的工作任务，提高生产效益。
厂务系统的应用场景
工厂自动化
通过自动化技术和厂务系统的 集成，实现生产线的智能化、 高效化。
仓库管理
利用厂务系统监控仓库内货物 的数量、位置和出入库记录， 提高物流效率。
联网技术，实现自动化决策和智能优 化。
厂务系统将支持移动设备访问，使生
产管理更加灵活和便捷。
3
云端化
厂务系统将越来越多地迁移到云端， 提供更高效的数据存储和共享。
总结和展望
厂务系统在工业领域发挥着重要作用，随着技术的不断发展，它将变得更加 智能和高效。
《厂务系统概述》PPT课 件
本课程将介绍厂务系统的基本概念和应用，并探讨其未来的发展趋势。
什么是厂务系统？
厂务系统是一种用于管理和优化工厂运营的信息技术系统。它集成了各种功 能模块，包括生产计划、库存管理、设备维护和员工调度等。
厂务系统的功能和特点
1 生产计划
2 库存管理
根据市场需求和资源情况，制定合理的生 产计划，提高生产效率。
员工调度
根据工作需求和员工技能，合 理安排员工的工作任务，提高 生产效益。
厂务系统的优势和不足
优势
• 提高生产效率 • 降低成本 • 提升产品质量
不足
• 系统部署和使用成本较高 • 对员工培训要求较高 • 需要与其他系统集成
未来厂务系统的发展趋势
1
智能化
厂务系统将更加智能化，通
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板热
3.3纯水系统简略流程
City Water 自来水
DM Filter 去除钙镁
Decarbonator
去除CO2
WA Tower 去除碳酸钙
SA Tower 去除碳酸钙
RO Tank RO进水槽
Mixed Bed 去除SiO2
Permeate Pit
逆渗透底槽
RO Unit 逆渗透膜
Safety Filter 过滤器
GEX
机台出口 Damper
风管
Exhaust
风管
风机
大气
Others Exhaust
机台出口 Damper
风管
风机
Scrubber
大气
3.8真空系统简略流程
PV
制程机台 使用点
一/二次管 二次盘
真空管路
真空储槽
真空 Pump
HV
配置需求 使用点
开关盒
真空管路
真空 清洁储槽
真空 Pump
3.9化学系统简略流程
2.厂务系统使用材质
2.1水系统使用材质
PCW 制程冷却水
UPW/DIW 超纯水
Chill Water 冰水
RW 回收水
CW 自来水
SUS 304禁油处理/高压软管 CPVC/PVDF/PFA Tube SUS 304 SUS 304 SUS 304
2.2气体系统使用材质-(除特气外机台端都可能用Teflon软管)
冷冻式 干燥机
吸附式 干燥机
精密 过滤器
GN2/PN2
大气
氮气 产生器
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
液氮槽
蒸发器
使用点 减压站
一/二次管 二次盘
CQC
过滤器 纯化器
使用点
一/二次管 二次盘
CQC
3.6其他大宗气体/特气系统简略流程
O2
液氧储槽 蒸发器 减压站 过滤器 纯化器
CQC
He/Ar/Kr/H2…
钢瓶/Bundle Trunker
求
1.3化学系统在制程中的功能
Chemical 化学药品
清洁清洗/湿式蚀刻制程需求
1.4真空系统在制程中的功能
PV 制程真空
HV 清洁真空
基板吸引般移 尘屑吸引清洁/真空吸笔
1.5排气/排水系统在制程中的功能
Pump Line 制程高真空
Exhaust 排气系统
Drain 排水系统
Chamber制程转换之高真空建立 Chamber制程转换之废气排除 机台制程使用之废DI/Chemical排放
污泥 脱水机
污泥 收集槽
沉淀槽
澄清槽
污泥饼 储槽
运弃
PH 反应槽 胶羽 凝结槽 Polymer
Pump Line 制程高真空
GEX 一般排气
Solvent 有机排气
Acid/Ak 酸碱排气
SUS 316 BA/EP 镀锌螺旋风管 SUS 304全焊式不锈钢风管 不锈钢Teflon Coating风管(Tefpass)
2.6排水系统使用材质
Drain 一般排水
Solvent 有机排水
Acid/Ak 酸碱排水
厂务系统概述
0.电子厂名言
0.电子厂名言
唯一的不变就是永远在变 唯一确定的就是还没决定
所以~接下来介绍的在现场都不是绝对的~
1.厂务系统功能
1.1水系统在制程中的功能
PCW 制程冷却水
UPW/DIW 超纯水
Chill Water 冰水
RW 回收水
CW 自来水
制程机台冷却 补水/清洗/稀释 冷却用冷源/空调用冰水 DI回收/冷凝回收/再生使用 原水/一般用水
CDA
压缩干燥空气
GN2 一般氮气
PN2 纯化氮气
其他B-GAS 大宗气体
S-GAS 特殊气体
SUS 304L AP/BA/316L BA
SUS 316L BA/EP
SUS 316L EP SUS 316L EP/PH2 有 时 用 双 套 管
(EP/AP)
SUS 316L EP/双套管/加热套
2.3化学系统使用材质
1.2气体系统在制程中的功能
CDA
压缩干燥空气
GN2 一般氮气
PN2 纯化氮气
其他B-GAS 大宗气体
S-GAS 特殊气体
搬运器/仪器之气压缸/一般冲吹 Purge/CDA Backup/洁净冲吹
Purge/空间填充/超洁净冲吹
制程需求/Purge/空间填充/超洁净冲吹
制程Chamber填充需求/干蚀刻制程需
H2除溶膜
H2 M.D. H2去除膜
H2 Cooler H2冷却器
H2 UPW Tank
纯水储槽
回水
3.4自来水/回收水系统简略流程
自来水
自来水外管
回收水
空气中水份
水表/隔离 阀
供应管线
使用点
冷盘/空调 箱
回收管线
回收水槽
使用点
3.5 CDA/GN2/PN2系统简略流程
CDA
大气 空压机
蓄压槽
初级 过滤器
PVC/PVC SCH80 SUS 304不锈钢管 PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA
3.厂务系统流程
3.1制程冷却水系统简略流程
原水补水
膨胀水箱
冰水进
板热
冰水出
制程管线
进水
回水
机台冷却
3.2冰水系统简略流程
大气
冷却水塔
冷却水
冰水主机 冷媒循环
MAU
冰水回
RCU AHU
其他空调箱
冰水出
Chemical
化学品 供应槽车
化学品 储槽
传送系统
供应槽
废液 回收槽
回收管线
使用点
VMB/P
分配系统 化学管路
3.10废水收集系统简略流程
Drain Pipe
机台 排放点
收集 管线
废水 处理厂
3.11废水处理系统简略流程
Waste Water Treatment
废水 收集槽
PH 调整槽
曝气槽
生物 接触槽
UV Sterilizer 紫外线杀菌
Heat Exchange 热交换器
Membrane Degasifier
去除O2
回水
UPW Tank 纯水储槽
Cooler 冷却器
UV Oxidizer 破坏有机链
UF Unit 超限过滤膜
P.O.U 使用点
H2W UF Unit
超限过滤膜
H2 Desolve Membrane
减压站
过滤器
使用点 纯化器 CQC
一/二次管 二次盘
一/二次管 二次盘
Specialty Gas
钢瓶
Cabinet 气瓶柜
管线
VMB/P 阀箱
管线
使用点 使用点
3.7高真空/排气系统简略流程
Pumping Line
机台制程 Chamber
高真空 管路
Vacuum Pump
高真空 管路
Scrubber
有机类 化学药品
一般酸碱 化学药品
其他 化学药品
例如溶剂类→SUS 316 BA 例如H2SO4/NaOH→PVC/CPVC CPVC/PFA/PVDF/PTFE
2.4真空系统使用材质
PV 制程真空
HV 清洁真空
PVC SCH80/SUS 304 PVC SCH80/SUS 304
2.5排气系统使用材质