认识厂务系统种类
FMCS系统介绍
U12 控制柜
S12 控制柜
B12 控制柜
TC 控制柜
IDF机房（40AI，12AO，256DI，48DO）：冰机 系统、CDA系统、纯水系统、空调箱
1F西北库房（8AI，8AO，32DI，）：空调箱， 主要是OAU和AHU
1F空调房（8AI，8AO，96DI32）：空调箱，主 要是OAU、AHU和FFU
6F空调房（16AI，8AO，64DI，16DO）：空调 箱，主要是OAU和AHU
北厂I/O盘位置
计算机 交换机 CPU(s7-400)
U13
控制柜
P13
控制柜
S13
控制柜
冰机房（16AI，8AO，128DI，32DO）：冰机系 统、CDA 、PCW
中控室（48AI，24AO，16DI，32DO）：空调箱 1.5F空调房（152AI，56AO，288DI，64DO）： 空调箱
在FMCS监控系统中采用标准的电脑网络传输系统，为提供FMCS监 控系统工作站与工作站间、或数据存储服务器与工作站间的通讯功能， FMCS规划上采用的标准是以太网络为传输媒介并利用TCP/IP通讯协议 作为标准的通讯格式。这样，既可增加FMCS监控系统的扩充性与相容 性，还可以使用TCP/IP通讯协定的另一优点——就是TCP/IP通讯协定的 定址方式，可提供几乎不限个数的工作站在同一网络上连线，即提供 系统工作站的扩充能力。
2F电气房（32AI，8AO，96DI，32DO）：空调 箱，排风系统，回水箱 RFMAU房（32AI，24AO，96DI，）：空调箱， 主要是OAU和AHU及FFU
1F空调房（16AI，16AO，192DI，64DO）：空 调箱，室内温湿度 3F空调房（272AI，240AO，192DI，64DO）： 空调箱，室内温湿度
厂务系统概述简单中文介绍PPT课件
1.2 气体系统在制程中的功能
CDA 压缩干燥空
气
GN2 一般氮气
搬运器/仪器之气压缸/一般冲吹 Purge/洁净冲吹
PN2 纯化氮气
Purge/空间填充/超洁净冲吹
其他B-GAS 大宗气体
制程需求/空间填充/超洁净冲吹
S-GAS 特殊气体
制程填充需求/制程需求
1.3 化学系统在制程中的功能
Chemical 化学药品
清洁清洗/制程需求
1.4 真空系统在制程中的功能
PV 制程真空
HV 清洁真空
吸引搬移 尘屑吸引清洁
1.5 排气/排水系统在制程中的功能
Pump Line 制程高真空
Exhaust 排气系统
Drain 排水系统
制程转换之高真空建立 制程转换之废气排除 制程使用之废DI/Chemical排放
二、厂务系统使用材质
PN2 纯化氮气
SUS 316L EP
其他B-GAS 大宗气体
SUS 316L EP/PH2有时用双套管(EP/AP)
S-GAS 特殊气体
SUS 316L EP/双套管/加热套
2.3 化学系统使用材质
有机类 化学药品
一般酸碱 化学药品
其他 化学药品
溶剂类→SUS 316 BA H2SO4/NaOH→PVC/CPVC CPVC/PFA/PVDF/PTFE
膨胀水箱
冰水进
板热
冰水出
制程管线
进水
回水
机台冷却
3.2 冰水系统简略流程
大气
冷却水塔 冷却 水
冰水主机 冷媒循环
冰水 回
MAU VAU
冰水
AHU
出 其他空调箱
板热
半导体厂务系统
半导体厂务系统Standardization of sany group #QS8QHH-HHGX8Q8-GNHHJ8-HHMHGN#半导体厂务工作吴世全国家奈米元件实验室一、前言近年来，半导体晶圆厂已进展到8"晶圆的量产规模，同时，也着手规划12"晶圆的建厂与生产，准备迎接另一世代的产业规模。
於是各厂不断地扩增其产能与扩充其厂区规模，似乎稍一停顿即会从此竞争中败下阵来。
所以，推促着制程技术不断地往前迈进，从μm设计规格的64Mb（百万位元）DRAM （动态随机记忆元件）记忆体密度的此际技术起，又加速地往μm规格的256M发展；甚至μm的1Gb（十亿位元）集积度的DRAM元件设计也屡见不鲜。
亦即整个半导体产业正陷入尖端技术更迭的追逐战，在竞争中，除了更新制程设备外，最重要的是维持厂区正常运作的厂务工作之配合，而这两方面的支出乃占资本财的最大宗。
特别是多次的工安事故及环保意识抬头之後，厂务工作更是倍显其重要及殷切。
事实上，半导体厂的厂务工作为多援属性的任务，也是後勤配合与收摊（废弃物）处理的工作；平时很难察觉其重要性，但状况一出，即会令整厂鸡飞狗跳，人仰马翻，以致关厂停机的地步。
所以，藉此针对厂务工作的内容做一概略性的描述，说明其重要性并供作参考与了解。
文章分为三部份：首先为厂务工作的种类，其次是厂务工作的未来方向，最後是本文的结语。
二、厂务工作的种类目前在本实验室所代表的半导体制程的厂务工作，约可分为下列数项：1.一般气体及特殊气体的供应及监控。
2.超纯水之供应。
3.中央化学品的供应。
4.洁净室之温度，湿度的维持。
5.废水及废气的处理系统。
6.电力，照明及冷却水的配合。
7.洁净隔间，及相关系统的营缮支援工作。
8.监控，辅佐事故应变的机动工作等数项。
下述将就各项工作内容予以概略性说明：1.一般气体及特殊气体的供应及监控[1]一座半导体厂所可能使用的气体约为30种上下，其气体的规格会随制程要求而有不同；但通常可分为用量较大的一般气体(Bulk Gas)，及用量较小的特殊气体(Special Gsa)二大类。
厂务大宗气体及特殊气体系统知识
（5）牙条：吊挂、固定型钢用。
（6）型钢垫片：配合牙条、吊挂型钢用。
（7）弹簧螺帽：置于型钢槽内，锁螺丝或牙条用。
<符号认识: >
2.2一次配管
2.2一次配管（）
2.2.1
名词：
主管
副主管
一次配与二次配连接的阀
隔离阀
末端阀
·1
1：为由气体的起始流出点（）至无尘室中的
1.2特殊气体特性及系统简数类：
*易燃性气体
*毒性气体
*腐蚀性气体
*低压性/保温气体
*惰性气体
1.特殊气体特性简介
*易燃性气体:燃点低,一泄漏与其他气体相混,便易引起爆炸及燃烧
如4 , 3 , H2 ,….
*毒性气体:反应性极强,强烈危害人体功能,如, 3,….
O2：
供给制程氧化剂所需及制程中供给氧化制程用，供给O3所需之氧气供应及其它制程所需。
：
供给制程，离子溅镀热传导介质，稀释及惰性气体环境。
H2：
供给炉管设备燃烧造成湿氧环境，制程中做H2之用，制程中作为6之还原反应气体及其它制程所需。
：
供给化学品输送压力介质及制程芯片冷却。
3的供应系统
:
大宗气体( )虽然不像特殊气体( )，有的具有强烈的毒性、腐蚀性。但是我们使用大宗气体时，仍然要注意安全。2、2、、具有窒息性的危险，这些气体无臭、无色、无味，如大量泄出而相对致空气中含氧量（一般为21﹪）减少至16﹪以下时，即有头痛与恶心现象。当氧气含量少至10﹪时，将使人陷入意识不清状态，6﹪以下瞬间昏倒，无法呼吸，6分钟以内即死亡。2因泄漏或混入时，其本身之浓度只要在H2之爆炸范围(4%－75%)内（如对空气），只要一有火源，此气体乃会因相混而燃烧。2会使物质易于氧化产生燃烧，造成火灾的不幸事件。因此，身在半导体工厂工作的我们，在设计上、施工中，如何避免泄漏、如何防患，则是我们努力的工作之一。
00 厂务系统概述-打印
使用点
一/二次管 二次盘
CQC
3.6其他大宗气体/特气系统简略流程 3.6其他大宗气体/ 其他大宗气体
O2
液氧储槽 蒸发器 减压站 过滤器 纯化器 CQC
使用点
He/Ar/Kr/H2…
钢瓶/Bundle 钢瓶/Bundle Trunker 减压站 过滤器 纯化器 CQC
一/二次管 二次盘
一/二次管 二次盘
使用点
Specialty Gas
钢瓶 Cabinet 气瓶柜 管线 VMB/P 阀箱 管线 使用点
3.7高真空/排气系统简略流程 3.7高真空/ 高真空
Pumping Line
机台制程 Chamber 高真空 管路 Vacuum Pump
Exhaust
高真空 管路
Scrubber
GEX
机台出口 Damper 风管
Safety Filter 过滤器
UV Sterilizer 紫外线杀菌
Heat Exchange 热交换器
Membrane Degasifier 去除O2 去除O2
UPW Tank 纯水储槽
Cooler 冷却器
UV Oxidizer 破坏有机链
UF Unit 超限过滤膜
回水
P.O.U 使用点 超限过滤膜
H2W UF Unit
H2 Desolve Membrane
H2除溶膜 H2除溶膜
H2 M.D. H2去除膜 H2去除膜
H2 Cooler H2冷却器 H2冷却器
纯水储槽
H2 UPW Tank
回水
3.4自来水/回收水系统简略流程 3.4自来水/ 自来水
自来水
自来水外管
回收水
空气中水份
认识厂务系统种类
厂务系统有哪些Cleanroom System [洁净室系统 ]a内装修工程：(高架地板工程、洁净室隔墙板系统、铝合金龙骨吊顶/ceilinggrid、无尘涂装、环氧地坪等)、压差控制系统、ESD防静电等；b,循环空调系统：(包括部分供热与通风系统，比如MAU/OAC、AHU、FFU、DDC、FCU、粗、中、高、超高过滤器、化学过滤器etc.、送气风机、排气风机etc.)；c,FOUNDATION：防震机座、粉尘监测智能系统 /DMS 系统、风淋室、传递窗、层流罩、洁净工作台、洁净洗手器、洁净衣架、洁净电梯、正压洁净楼梯间系统、化学品储存冷库和压缩机etc.Mechanical System [机械系统 ]中央动力， Central utility ： Mechenica(l 热水、冷冻水、软水、工艺设备冷却水PCW生产上水、自来水、饮用水、一般蒸汽和洁净蒸汽等管路供应系统；锅炉、冷冻机、冷却塔、空压机等厂务设施)Specialty Gas and Bulk Gas 特[ 殊气体和大宗气体 ]a,Bulk Gas GAS YARD气站，CQC (N2/H2/O2/Ar/He天然气)【包括普通和超纯/精制气体】，压缩空气( CDA) --有些 FAB 还将机台用 CDA 和厂务设备用 CDA 供应系统分开，呼吸空气供应系统等；b,Specialty Gas System 部( 分特性有重迭 )：( 1)易燃性气体 (Flammable Gas)( 2)毒性气体( Toxic Gas)( 3)腐蚀性气体( Corrosive Gas)( 4)惰性气体 (Inert Gas)( 5)氧化性气体( Oxide Gas)( 6)低压 /保温气体( HeatGas)Water Treatment System 水[ 处理系统 ]a超纯水供应系统、热/温纯水供应系统、一次纯水(RO水)供应系统etc.b,工艺废水处理(酸、碱、含氟排水、slurry/cmp研磨排液、温排水、纯水回收、一般排水、TMAH显影液、H2O2、硫酸排液、磷酸排液、NH3排液etc.)c,办公用给排水系统：饮用水供应、自来水供应、生活污水处理、雨水排放系统etcExhaust System工艺排气系统] a工厂SCRUBBER酸、碱、有机VOC、粉尘、一般排气etc.有些FAB还包括了紧急排烟 /事故排风系统 ]b,LOCAL SCRUBBER（一般附属于工艺设备）：依其原理大概可分成下列几类（1）电热水洗式 ; （2）燃烧水洗式（3）填充水洗式 ;（4）干式吸附式。
生产系统的种类和生产管理的方式
生产系统的种类和生产管理的方式1. 引言生产系统是企业中用于生产产品或提供服务的组织和设施的总称。
不同的生产系统种类及其管理方式对企业的生产效率和质量有着重要的影响。
本文将介绍生产系统的主要种类以及在生产管理中的不同方式。
2. 生产系统的种类生产系统可以根据不同的分类标准进行划分，常见的生产系统种类有以下几种：(1) 批量生产系统批量生产系统是指生产过程中批量生产同类产品的系统。
批量生产系统通常通过流水线生产方式来提高生产效率，并采用分工合作的方式来完成不同环节的生产任务。
这种生产系统适用于需求相对稳定且规模较大的产品。
(2) 连续生产系统连续生产系统是指以连续流方式生产产品的系统。
这种生产系统通常适用于大批量、高速度的生产过程，如炼油、化工、钢铁等。
连续生产系统采用的生产技术多为自动化和半自动化，以实现高效的连续流程。
(3) 项目生产系统项目生产系统是指为了完成某个特定项目而组织起来的生产系统。
项目生产系统主要通过临时组建的团队来完成特定项目的设计、开发和交付。
这种生产系统的特点是灵活性强、周期短、资源需求难以预测。
(4) 集成生产系统集成生产系统是指将不同企业或组织的生产能力整合在一起，形成联合生产的系统。
这种生产系统可以根据各企业的优势进行协同生产，从而实现资源的优化利用和规模的扩大。
集成生产系统可以采用虚拟企业、产业园区等形式组织。
3. 生产管理的方式在不同的生产系统中，为了提高生产效率和质量，需要采用不同的生产管理方式。
以下是常见的生产管理方式：(1) 传统生产管理传统生产管理主要依靠人工经验和直觉来进行生产安排和控制。
这种方式在小规模、低技术含量的生产环境中较为常见。
传统生产管理的优点是简单易行，但缺点是效率低下、数据不准确。
(2) 精益生产管理精益生产管理是一种基于减少浪费和提高价值流的方法论。
它通过优化生产流程，减少非价值增加的环节和资源浪费，来提高生产效率和质量。
精益生产管理通过精确的数据分析和持续改进来实现生产过程的优化。
厂务系统概述简单中文介绍
清洁清洗/制程需求
1.4 真空系统在制程中的功能
PV 制程真空
HV 清洁真空
吸引搬移 尘屑吸引清洁
1.5 排气/排水系统在制程中的功能
Pump Line 制程高真空
Exhaust 排气系统
Drain 排水系统
制程转换之高真空建立 制程转换之废气排除 制程使用之废DI/Chemical排放
二、厂务系统使用材质
PN2 纯化氮气
SUS 316L EP
其他B-GAS 大宗气体
SUS 316L EP/PH2有时用双套管(EP/AP)
S-GAS 特殊气体
SUS 316L EP/双套管/加热套
2.3 化学系统使用材质
有机类 化学药品
一般酸碱 化学药品
其他 化学药品
溶剂类→SUS 316 BA H2SO4/NaOH→PVC/CPVC CPVC/PFA/PVDF/PTFE
厂务系统概述
目录 一、厂务系统功能 二、厂务系统使用材质 三、厂务系统流程
一、厂务系统功能
1.1 水系统在制程中的功能
PCW 制程冷却水
UPW/DIW 超纯水
制程机台冷却 补水/清洗/稀释
Chill Water 冰水
RW 回收水
冷却用冷源/空调用冰水 DI回收/冷凝回收/再生使用
CW 自来水
原水/一般用水
化学品 供应槽车
化学品 储槽
传送系统
供应槽
废液 回收槽
回收管线
使用点
VMB/P
分配系统 化学管路
3.10 废水收集系统简略流程
Drain Pipe
机台 排放点
收集 管线
废水 处理厂
3.11 废水处理系统简略流程
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厂务系统有哪些
Cleanroom System [ 洁净室系统]
a,内装修工程：（高架地板工程、洁净室隔墙板系统、铝合金龙骨吊顶/ceiling grid、无尘涂装、环氧地坪等）、压差控制系统、ESD防静电等；
b,循环空调系统：（包括部分供热与通风系统，比如MAU/OAC、AHU、FFU、DDC、FCU、粗、中、高、超高过滤器、化学过滤器etc.、送气风机、排气风机etc.）；c,FOUNDATION：防震机座、粉尘监测智能系统/DMS系统、风淋室、传递窗、层流罩、洁净工作台、洁净洗手器、洁净衣架、洁净电梯、正压洁净楼梯间系统、化学品储存冷库和压缩机etc.
Mechanical System [ 机械系统]
中央动力，Central utility：Mechenical（热水、冷冻水、软水、工艺设备冷却水PCW、生产上水、自来水﹑饮用水、一般蒸汽和洁净蒸汽等管路供应系统；锅炉、冷冻机、冷却塔、空压机等厂务设施）
Specialty Gas and Bulk Gas [ 特殊气体和大宗气体]
a,Bulk Gas：GAS YARD气站，CQC（N2/H2/O2/Ar/He/天然气）【包括普通和超纯/精制气体】，压缩空气（CDA）--有些FAB还将机台用CDA和厂务设备用CDA 供应系统分开，呼吸空气供应系统等；
b,Specialty Gas System ( 部分特性有重迭)：
（1）易燃性气体(Flammable Gas)
（2）毒性气体（Toxic Gas）
（3）腐蚀性气体（Corrosive Gas）
（4）惰性气体(Inert Gas)
（5）氧化性气体（Oxide Gas）
（6）低压/保温气体（Heat G as)
Water Treatment System [ 水处理系统]
a,超纯水供应系统、热/温纯水供应系统、一次纯水（RO水）供应系统etc.
b,工艺废水处理（酸、碱、含氟排水、slurry/cmp、研磨排液、温排水、纯水回收、一般排水、TMAH显影液、H2O2、硫酸排液、磷酸排液、NH3排液etc. ）
c,办公用给排水系统：饮用水供应、自来水供应、生活污水处理、雨水排放系统etc
Exhaust System[工艺排气系统]
a,工厂SCRUBBER:酸、碱、有机VOC、粉尘、一般排气etc.[有些FAB还包括了紧急排烟/事故排风系统]
b,LOCAL SCRUBBER（一般附属于工艺设备）：依其原理大概可分成下列几类(1)电热水洗式; (2)燃烧水洗式(3) 填充水洗式;(4)干式吸附式。
Chemical Dispensing System[化学品供应系统]
包括化学品供应系统和化学品回收系统，具体使用的化学品种类根据每个FAB 产品的不同而不同:
a,Chemical Dispensing System化学品供应系统
酸性
碱性
有机溶剂
氧化腐蚀性
b,化学品回收系统：光刻胶resist、STRIPPER剥离液(EKC、SST-A2、ORP、N311、T106、PGMEA、PGME etc.)、异丙醇、硫酸废液、硫酸铜废液回收等
Vacuum System [ 真空系统]
真空系统包括工艺真空(Process Vacuum )、真空吸尘(Hose Vacuum)或者清扫用真空、设备真空Pumping-line/vent系统/Pumping-Exhaust系统。
Power Supply & Automation System [ 电力供应及自动化]
a,强电：高低压供电（包括中央变电站和各终端变电站）、ups电源供应系统（蓄电池组）、紧急柴油发电机系统、SSTS高速切换开关、VSS电容补偿系统等、各类配电盘、照明（包括tear drop泪滴型照明灯具、黄光灯）、插座；
b,弱电：各类动力、EHS方面的自控部分（包括各类弱电盘面）、FMCS厂务监控系统（包括各sub-scada系统），【监控方面还有气体监控系统（GMS）、气体侦测系统（GDS）、有的厂是GMS＋GDS＝FMCS、有的厂GMS和GDS会分开来的】、各类电气接地、静电防护系统etc.
Construction [ 建筑结构]
建筑结构相关(包含厂房维修)，主要分为建筑和结构两大块（有些FAB将EHS 相关的防火门、逃生门、紧急疏散口、挡烟垂臂、升降平台etc.也归入此类）
EHS System Control [ 环境健康安全]
EHS涉及环境保护（污染物控制【三废处理等】、有害物质控制【PFC、CFC、PFOS、ROHS指令等、WEEE等】）、健康（职业卫生）、工业安全、能源、治安保卫、ERC（ERT应急响应等）、风险管理【ISO14001、OHSAS18001、QC080000等】，EHS其它等。
硬件涉及：消火栓设备、喷淋系统、漏液检测系统、门禁系统、电话广播系统、PHS系统、紧急对讲机系统，感温电缆报警系统、vesda、烟感热感探头、闭路电视系统/CCTV监视摄像头、消防与观光电梯、地震监控系统、SCBA呼吸面具、紧急冲淋、各类灭火器、PPE个人防护用具etc.
Energy Saving[厂务节能]
涵盖所有厂务系统的节能降耗、cost saving/cost down、VE提案、能源管理等。