太阳能电池片
太阳能光伏组件原材料及部件的性能,作用,特点,检验
太阳能光伏组件原材料及部件的性能，作用，特点，检验太阳能电池组件的主要材料是太阳能电池片，还有面板玻璃，EVA胶膜，TPT 背板膜，铝合金边框，涂锡焊带及助焊剂，有机硅胶，接线盒。
1.太阳能电池片太阳能电池片是由单晶硅或者多晶硅或者非晶硅制作而成的，它的表面有一层蓝色的减反射膜，还有银白色的电极栅线，如图所示。
单晶硅太阳能电池片晶体硅光电池有单晶硅与多晶硅两大类，用P型（或n型）硅衬底，通过磷（或硼）扩散形成Pn结成制作，生产技术成熟，是光伏市场上的主导产品。
采用埋层电极、表面钝化、强化陷光、密栅工艺、优化背电极及接触电极等技术，提高材料中的载流子收集效率，优化抗反肘膜、凹凸表面、高反射背电极等方式，光电转换效率有较大提高。
单晶硅光电池面积有限，目前比较大的为∮10至20cm的圆片，年产能力46MW/a。
非晶硅太阳能电池片（非晶硅）光电池一般采用高频辉光放电方法使硅烷气体分解沉积而成。
由于外解沉积温度低，可在玻璃、不锈钢板、陶瓷板、柔性塑料片上沉积约1μm 厚的薄膜，易于大面积化（05rn×l.0m），成本较低，多采用p in结构。
为提高效率和改善稳定性，有时还制成三层P in等多层叠层式结构，或是插入一些过渡层。
其商品化产量连续增长，年产能力45MW／a，10MW生产线已投入生产，全球市场用量每月在1千万片左右，居薄膜电池首位。
发展集成型a－Si光电池组件，激光切割的使用有效面积达90％以上，小面积转换效率提高到14.6％，大面积大量生产的为8－10％，叠层结构的最高效率为21％。
研发动向是改善薄膜特性，精确设计光电池结构和控制各层厚度，改善各层之间界面状态，以求得高效率和高稳定性。
多晶硅太阳能电池片（多晶硅，包括微品）光电池没有光致衰退效应，材料质量有所下降时也不会导致光电池受影响，是国际上正掀起的前沿性研究热点。
在单晶硅衬底上用液相外延制备的p－Si光电池转换效率为15.3％，经减薄衬底，加强陷光等加工，可提高到23.7%，用CVD法制备的转换效率约为12.6—l7.3%。
太阳能光伏系统知识-太阳能电池板
四、太阳能电池板性能测试环境
地面上的太阳光，一部分来自太阳直接照射，另一部分来自大气层或
周围环境的散射，前者称为直接辐射，后者称为天空辐射，二者合起 来称为总辐射，在正常大气条件下直接辐射占总辐射的75%以上。 太阳光的辐射线都属于波长不等的电磁波。太阳能电池板对不同波长 的光具有不同响应，辐照度相同、光谱成分不同的光照射到同一块板 上，其效果不同；太阳光是各种波长的复合光，它所含的光谱成分组 成光谱分布曲线，而其光谱分布也随地点、时间及其它条件的差异而 不同，大气层外情况很单纯，太阳光谱几乎相当于6000K 的黑体辐射 光谱，称为 AMO 光谱。国际标准规定，在晴朗气候条件下，当太阳 透过大气层到达地面所经过的路程为大气层厚度的1.5 倍时，光谱为 标准地面太阳光谱，简称AM1.5 ，此时太阳天顶角为48.19°。
七、太阳能电池板使用注意事项
偶然遮挡不可避免，故需用旁路二极管来起保护作用。
若所有组件并联，就不需要旁路二极管；若要求输出电 压为24V(或更高)，那么必须有2个(或更多)组件串联， 这时就需加旁路二极管来控制光伏系统中电流。阻塞二 极管既可在每一并联支路，又可在阵列与控制器之间的 干路上，但当多条支路并联接成一个大系统，则应在每 条支路上用阻塞二极管以防止由于支路故障或遮蔽引起 的电流由强电流支路流向弱电流支路的现象（控制器没 有这项功能）。小系统在干路上用一个阻塞二极管就够 了，不要两种都用，因为每个二极管会降压0.4~0.7V是 一个12V系统的6%。
九、太阳能电池片设计举列
用Φ 40mm单晶硅片(效率8.5%)设计一电压1.5V，功率为1.2W的组件:
1.单晶硅片的工作电压为：V=0.41V
2.则串联电池数：Ns=1.5/0.41=3.66片，取Ns=4片 3.单体电池板面积：S=π d2/4=π ×42/4=12.57cm2 4.单体板封装后功率：Pm=100MW/CM2×12.57×8.5%×95%=100MW=0.1W (95%是封装时的失配损失) 5.需太阳电池总的片数：N=1.2÷0.1=12片
太阳能电池片工艺流程及原理
太阳能电池片工艺流程及原理一、简介太阳能电池片，作为太阳能光伏发电系统的核心组成部分，能够将太阳能转换为直流电能。
其工艺流程涉及多个复杂步骤，每个步骤都对最终的性能和效率有着重要影响。
了解太阳能电池片的工艺流程及工作原理，有助于更好地优化生产过程，提高光电转换效率。
二、太阳能电池片工艺流程1.硅片准备：首先，通过切割硅锭得到硅片，并进行清洗，去除表面的杂质和尘埃。
硅片的品质和厚度对电池片的性能有着至关重要的影响。
2.磷掺杂：在硅片上施加磷元素，通过扩散技术将磷元素掺入硅片中，形成n型半导体。
磷的掺杂浓度决定了电池片的导电性能。
3.镀膜：在硅片表面镀上一层减反射膜，以减少表面反射，提高光吸收效率。
常用的减反射膜材料包括二氧化硅和氮化硅。
4.印刷电极：使用丝网印刷技术在硅片背面印刷电极，并烘干。
电极的形状和尺寸影响电池片的电流收集能力。
5.烧结：通过高温烧结使电极材料与硅片紧密结合，提高电极的导电性能。
6.测试和分选：对电池片进行电性能测试，并根据测试结果进行分选。
合格的电池片进入下一道工序，不合格的则进行回收处理。
7.包装：将合格的电池片进行包装，以保护其在运输和存储过程中的性能。
包装材料一般选用防潮、防震的材料。
三、工作原理太阳能电池片的工作原理基于光伏效应，即光子照射到半导体材料上时，光子能量使电子从束缚状态进入自由状态，从而产生电流。
具体来说，当太阳光照射到硅片上时，光子能量激发硅中的电子，使电子从价带跃迁到导带，从而在价带和导带之间产生电子-空穴对。
在电场的作用下，电子和空穴分别向电池片的负极和正极移动，形成光生电流。
此时，如果将电池片的正负极短路，则会有电流流过电路，从而实现光电转换。
四、发展趋势随着技术的不断进步和应用需求的增长，太阳能电池片的发展趋势主要体现在以下几个方面：1.高效率：通过改进生产工艺、研发新型材料和优化电池结构，不断提高太阳能电池的光电转换效率，以满足日益增长的能源需求。
太阳能电池片衰减的原因
太阳能电池片衰减的原因
太阳能电池片是太阳能光伏发电的核心部件，其性能和衰减问题是业内关注的重点。
电池片的衰减主要受以下几个因素影响：
首先，生产工艺是影响电池片性能的重要环节。
在制造过程中，如果控制不好杂质和缺陷，电池片中就会存在大量的缺陷和杂质，这些缺陷和杂质能吸收太阳光，导致电池片内部产生热能，使得电池片温度升高，热能又促使更多的缺陷和杂质析出，形成一个恶性循环，最终导致电池片效率的降低和寿命的缩短。
其次，光照条件也会影响电池片的衰减。
在长期的光照下，电池片会发生光致衰减现象。
这是因为在太阳光的紫外线和红外线的影响下，电池片中的硅原子会形成新的化学键，这些新形成的化学键会导致电池片的效率降低。
另外，热能也是影响电池片衰减的重要因素。
在高温下，电池片内部的硅原子运动会加速，这会导致电池片的效率降低。
同时，过高的温度也会促使硅材料内部发生热解反应，释放出氢原子和其他杂质，进一步加速电池片的衰减。
此外，环境因素如空气湿度、氧气和二氧化硅粉尘等也会影响电池片的衰减。
在潮湿环境中，电池片表面容易形成一层水膜，这为杂质和缺陷提供了析出的条件，进一步加速了电池片的衰减。
同时，氧气和二氧化硅粉尘也会与电池片表面发生化学反应，导致电池片的效率降低。
综上所述，太阳能电池片的衰减是多因素综合作用的结果。
为了延长电池片的寿命和提高其效率，需要从生产工艺、光照条件、热能和环境因素等多个方面进行综合考虑和优化。
太阳能电池片核心生产指标
太阳能电池片核心生产指标
太阳能电池片的核心生产指标可以包括以下几个方面：
1. 转换效率：太阳能电池片的核心指标之一是光电转换效率，也就是将太阳光转化为电能的效率。
高效率的太阳能电池片能够更有效地捕获光能并转化为电能。
2. 电池片尺寸：太阳能电池片的尺寸也是一个重要的生产指标。
较大的电池片尺寸可以提供更多的表面积来接收太阳光，从而产生更多的电能。
3. 生产成本：太阳能电池片的生产成本也是一个关键的指标。
降低生产成本可以使太阳能电池片更具竞争力，并加速太阳能的普及和应用。
生产成本包括原材料成本、设备成本、人工成本等。
4. 寿命和可靠性：太阳能电池片的寿命和可靠性也是核心指标之一。
长寿命和可靠性可以确保太阳能电池片在使用过程中能够持续产生电能，并减少维修和更换的成本。
5. 环境影响：太阳能电池片的生产过程和废弃物处理也是重要的生产指标。
降低生产过程中对环境的影响，以及合理处理电池片废弃物，有助于减少对环境的负面影响。
这些指标都是太阳能电池片生产中关注的重要因素，对于提高太阳能电池片的性能、降低成本以及推动可持续能源发展具有重要意义。
电池片分类和特点
电池片分类和特点电池片是太阳能电池的核心组件之一，其种类繁多，具有不同的特点和应用范围。
本文将对电池片的分类和特点进行详细解释，并根据标题中心扩展下描述。
一、电池片的分类根据材料类型，电池片可以分为单晶硅、多晶硅和非晶硅三种。
1. 单晶硅电池片：单晶硅电池片又称为单晶硅太阳能电池片，是目前应用最为广泛的一种电池片。
它由单晶硅材料制成，具有较高的转化效率和优良的抗腐蚀性能。
其特点是结构均匀、外观一致，能够提供稳定的电流输出，适用于各种应用场景。
单晶硅电池片的转换效率通常在15%以上。
2. 多晶硅电池片：多晶硅电池片是由多晶硅材料制成的，其晶粒大小不一，晶界较多。
相比于单晶硅电池片，多晶硅电池片的转换效率稍低，通常在13%左右。
多晶硅电池片的优点是生产成本较低，适用于大规模生产。
然而，多晶硅电池片的外观不够均匀，光电转换效率相对较低。
3. 非晶硅电池片：非晶硅电池片是由非晶硅材料制成的，具有较高的光吸收能力和较低的材料成本。
它的特点是生产工艺简单，可以灵活制作成各种形状和尺寸，适用于特殊场景的应用。
然而，非晶硅电池片的转换效率相对较低，一般在10%左右。
二、电池片的特点1. 转换效率：电池片的转换效率是评价其性能优劣的重要指标。
转换效率越高，说明电池片从光能转化为电能的效率越高，能够提供更高的输出功率。
单晶硅电池片的转换效率一般在15%以上，多晶硅电池片在13%左右，非晶硅电池片在10%左右。
2. 光吸收能力：电池片的光吸收能力决定了其对光能的利用效率。
光吸收能力越强，说明电池片能够吸收更多的光能，从而提高转换效率。
非晶硅电池片由于其材料的特性，具有较高的光吸收能力。
3. 抗腐蚀性能：电池片需要长期在恶劣的环境条件下工作，因此具有良好的抗腐蚀性能十分重要。
单晶硅电池片由于其材料的纯度较高，具有较好的抗腐蚀能力。
多晶硅电池片和非晶硅电池片的抗腐蚀性能相对较差。
4. 生产成本：电池片的生产成本直接影响了太阳能电池组件的价格。
光伏材料清单
光伏材料清单光伏发电是一种利用太阳能光伏效应直接将太阳能转化为电能的技术。
在光伏发电系统中，光伏材料是至关重要的组成部分，其质量和性能直接影响着光伏发电系统的发电效率和稳定性。
因此，选择合适的光伏材料对于光伏发电系统的建设和运行至关重要。
下面将介绍一些常见的光伏材料清单，以供参考。
1. 太阳能电池片。
太阳能电池片是光伏发电系统中最核心的部件，它直接将太阳能光能转化为电能。
常见的太阳能电池片包括单晶硅电池片、多晶硅电池片、非晶硅电池片等。
在选择太阳能电池片时，需要考虑其转换效率、寿命、成本等因素。
2. 光伏背板。
光伏背板是太阳能电池片的支撑和保护材料，能够有效地防止电池片受到外部环境的侵蚀和损坏。
常见的光伏背板材料包括玻璃、聚合物材料等，选择合适的光伏背板材料可以提高光伏发电系统的稳定性和寿命。
3. 光伏封装材料。
光伏封装材料是用于保护太阳能电池片和光伏背板的材料，能够有效地防止水汽、灰尘等对太阳能电池片的侵蚀。
常见的光伏封装材料包括乙烯醋酸乙烯、聚氟乙烯、环氧树脂等，选择合适的光伏封装材料可以提高光伏发电系统的稳定性和寿命。
4. 光伏支架。
光伏支架是用于支撑太阳能电池片和光伏背板的结构件，能够有效地固定和支撑整个光伏发电系统。
常见的光伏支架材料包括铝合金、不锈钢等，选择合适的光伏支架材料可以提高光伏发电系统的稳定性和寿命。
5. 光伏电缆。
光伏电缆是用于连接太阳能电池片和光伏逆变器的电气线缆，能够有效地传输太阳能电池片产生的电能。
常见的光伏电缆材料包括聚氯乙烯、交联聚乙烯等，选择合适的光伏电缆材料可以提高光伏发电系统的传输效率和稳定性。
总结。
光伏材料是光伏发电系统中至关重要的组成部分，其质量和性能直接影响着光伏发电系统的发电效率和稳定性。
在选择光伏材料时，需要综合考虑其转换效率、寿命、成本等因素，以确保光伏发电系统能够稳定高效地运行。
希望以上光伏材料清单能够为您的光伏发电系统建设和运行提供一些参考和帮助。
太阳能电池片高温工序
太阳能电池片的高温工序主要包括烘干、扩散、氧化和退火等步骤。
这些工序的完成程度和参数的控制关系到太阳能电池片的质量和性能。
1.烘干工序：去除表面残留的水分和切割油脂等杂质，防止电池片破裂和氧化，同时保证电池片表面的干燥和洁净。
2.扩散工序：在晶硅太阳能电池片的表面形成PN结，实现电流的流动和电子的集中效应。
3.氧化工序：增加电池片的反射率和耐蚀性，提高电池的转换效率和稳定性。
4.退火工序：消除晶硅太阳能电池片中的杂质和缺陷，提高电池片的结晶性和光电转换效率。
此外，还有后火烧结工艺，主要过程包括沉积薄膜、导入扩散源、稳定掺杂层和烧结等步骤。
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生产工艺---扩散
生产工艺---表面成膜
等离子化学气相沉积(PEVCD)
PEVCD被使用来在硅片上沉积氮化硅材料，是在 300-900℃的温度下通过化学反应产生Si3N4的过 程。典型的化学反应为： SiH4 + NH3 → Si3N4 + NH3 + N2 多晶硅太阳电池广泛使用PECVD淀积SiN ,由于 PECVD淀积SiN时,不光是生长SiN作为减反射膜, 同时生成了大量的原子氢,这些氢原子能对多晶硅 片具有表面钝化和体钝化的双重作用,可用于大批 量生产高效多晶硅太阳电池,为上世纪末多晶硅太 阳电池的产量超过单晶硅太阳电池立下汗马功劳 。随着PECVD在多晶硅太阳电池成功,引起人们 将PECVD用于单晶硅太阳电池作表面钝化的愿望 。
生产工艺---制备电极（1）
生产工艺---制背电极（2）
生产工艺---背表面钝化
五、生产设备—清洗设备
生产设备—扩散炉
生产设备—刻蚀
生产设备—PECVD
生产设备—测试仪
生产设备—烘干炉
生产设备—快烧炉
五、生产环境及其它
相对湿 度 ％ 45~70 45~70 45~70 45~70 45~70 45~70
多晶硅太阳电池
多晶硅是由定向凝固的方法铸造而成的，它的结 晶速度和生产能力均比单晶硅片的制造快许多。 由于晶界的存在和晶体生长速度很快，多晶硅片 的质量的均匀性较差，如晶粒大小不一样，晶界 处杂质和缺陷浓度较高等。加之多晶硅晶粒晶向 的不一致性，不能采用各向异性的化学腐蚀方法 形成有效的绒面，因此在很长一段时间内多晶硅 电池的转换效率比单晶硅电池的转换效率低很多。 近年来， 随着人们对多晶硅材料的理解的不断加深，对多晶硅材料的处理和电
3、制备非晶硅的工艺和设备简单，淀积温度低，时间短，适于大批 生产。
4、由于非晶硅没有晶体所要求的周期性原子排列，可以不考虑制备 晶体所必须考虑的材料与衬底间的晶格失配问题。因而它几乎可以淀 积在任何衬底上，包括廉价的玻璃衬底，并且易于实现大面积化。
5、制备非晶硅太阳能电池能耗少，约100千瓦小时，能耗的回 收年数比单晶硅电池短得多。
非晶硅薄膜的制备
非晶硅薄膜的制备技术有很多，包括电子束蒸发、 反应溅射、低压化学气相淀积(LPCVD)、辉光放电等离子 体化学气相淀积以及光化学气相淀积和电子回旋共振等 离子体化学气相淀积技术等
四、生产工艺介绍
晶体硅太阳能电池工艺流程如下：
生产工艺---清洗和表面腐蚀
生产工艺---制绒
表面绒面化
三．硅太阳能电池的生产流程
通常的晶体硅太阳能电池是在厚度350～450μm的高质量硅片上制成的，这 种硅片从提拉或浇铸的硅锭上锯割而成。
四、太阳电池工作原理
A. 太阳电池分类
1. 按照基体材料分类：
晶硅太阳电池， 包括：单晶硅和多晶硅太阳电池
非晶硅薄膜太阳电池
化合物太阳电池，包括：砷化镓电池；硫化镉电池；碲 化镉电池；硒铟铜电池等
非晶硅太阳电池
非晶硅太阳能电池优点：
1 、非晶硅具有较高的光吸收系数。特别是在 0.3-0.75μ m 的可 见光波段，它的吸收系数比单晶硅要高出一个数量级。因而它 比单晶硅对太阳辐射的吸收效率要高 40 倍左右，用很薄的非晶 硅膜（约1μ m厚）就能吸收90%有用的太阳能。 2 、非晶 硅 的禁带 宽度 比单晶 硅大 ，随制 备条 件的不 同约 在 1.5-2.0eV的范围内变化，这样制成的非晶硅太阳能电池的开路 电压高。
由于硅片用P型（100）硅片， 可利用氢氧化钠溶液对单晶硅 片进行各向异性腐蚀的特点来 制备绒面。当各向异性因子 >10时（所谓各向异性因子就 是（100）面与（111）面单晶 硅腐蚀速率之比），可以得到 整齐均匀的金字塔形的角锥体 组成的绒面。绒面具有受光面 积大，反射率低的特点。可提 高单晶硅太阳电池的短路电流， 从而提高太阳电池的光电转换 效率。
多晶硅的制绒工艺：是加入铬酸和氢氟酸，利用铬酸的强氧化性将 切割后硅片上的污物清除，并产生SiO2和C2O3，达到在硅片上形 成减反织构的目的。
丝网印刷：银浆或银铝浆等导电材料印刷在硅片上，作为太阳能电 池电子导通的主要通道。
END
池工艺作了大量的改进，从而使多晶硅电池的转换效率得到了迅速的提高。
大规模工业生产的转换效率也能达到 14%以上。多晶硅电池转换效率的大 幅度提高主要归功于磷扩散和铝背场的吸杂效应以及氮化硅减反射膜中氢 原子对多晶硅材料中缺陷的钝化作用。
多晶硅太阳能电池的制备过程
通常多晶硅是选用太阳能电池级以上纯度的硅料，经过 浇铸或晶带法得到。其电池的制造工艺基本上与单晶硅太阳 能电池类似。
太阳电池生产工艺
一、晶体硅太阳电池工艺原则
高效化
低成本
大批量
二、表现方式
2.1 大片化，薄片化，高效化
大片化 多晶硅片210*210（mm） 面积441cm2 单晶硅片156*156（mm）
面积239.9cm2
2.2 薄片化≥220μ
薄片化是把双刃剑，薄片化可以降低成本。但是， 碎片率会增加。国际上晶片供应商都是朝220μ 方向看 齐，薄片化会对第三世界太阳电池生产商而言会形成 一道强大技术壁垒。
六、主要原材料
太阳能电池生产最主要的材料是单晶硅片或多晶硅片。
其它辅料包括:
化学液（ NaOH 、IPA、乙醇、铭酸、HF） 特气（CF4、SiH4、NH3）
大宗气体（CDA、N2、O2）
水（PCW、DI） 单晶硅的制绒工艺：是通过NaOH和乙醇反应，在硅片上形成减反 织构，增强电池对光线的吸收能力。
单晶硅太阳能电池的制备过程
在得到硅单晶片后，就可以开始制备太阳能电池。其中pn结的形成可 采用POCl3的气相扩散法，TiO2或SiO2、P2O5的涂敷扩散法以及直接掺杂P+
的离子注入法等。由于其制造过程复杂、电能耗费大，所以成本较高，目
前正在研究用自动化、连续化使成本下降。
P
P
n-layer
P
制造太阳电池片，首先要对经过清洗的硅 片，在高温石英管扩散炉对硅片表面作扩 散掺杂，一般掺杂物为微量的硼、磷、锑 等。目的是在硅片上形成P/N结。然后采用 丝网印刷法，用精配好的银浆印在硅片上 做成栅线，经过烧结，同时制成背电极， 并在有栅线的面涂覆减反射膜 ，单晶硅太 阳电池的单体片就制成了。
•与多晶硅、非晶硅比较，转换效率高。
•电池工作稳定，已实际用于人造卫星等方 面，并且可以保证20年以上的工作寿命。
单晶硅太阳能电池因为资源丰富，转换效率高，所 以是现在开发得最快的太阳能电池。但因其制造工艺复
杂，需消耗大量的能源，所以有成本高，能源回收周期
长的缺点。 能源回收期= 制造太阳能电池所需的能量 太阳能电池一年产生的电能
有机半导体太阳电池 等
太阳能电池工作原理
种类：主要产品包括4、5、6英寸的单晶硅和多晶硅太阳能电池。
工作原理：太阳能电池是一个由光能转为电能的半导体装置，从工
作原理上来讲，太阳能电池是一个大面积的二极管，当太阳光入射 到电池表面时，晶体硅材料吸收光能而产生电子一空穴对，电子和
空穴分别向 P－N 结的结区运动，由结区电场分离从而分别进入电
单晶硅与多晶硅区别
在单晶硅材料中，硅原子在空间呈有序的周期性排列， 具有长程有序性。这种有序性有利于太阳能电池的转换 效率的提高。
多晶硅材料则是由许多单晶颗粒（颗粒直径为数微米至 数毫米）的集合体。各个单晶颗粒的大小，晶体取向彼 此各不相同。 多晶硅与单晶硅材料的差别主要是多晶硅内存在许多晶 粒间界。
绒面受光面积
金字塔形角锥体的表面积S0等于 四个边长为a正三角形S之和
1 3 S0 4 a a 3 a2 2 2
由此可见有绒面的受光面积比光 面提高了倍即1.732倍。
绒面反射率
当一束强度为E0的光投射到图中的A到另一方锥的B点， 产生二次反射光Φ3和进入半导体的折射光Φ4；而对光面电池就 不产生这第二次的入射。经计算可知还有 11%的二次反射光可能 进行第三次反射和折射，由此可算得绒面的反射率为 9.04%。
池的 N 型处（负极）和 P型处（正极）。此时，如果太阳能电池如 与一负载连接，将产生回路并向负载供电。
单晶硅太阳电池
晶硅太阳能电池的特点：
•作为原料的硅材料在地壳中含量丰富，对 环境基本上没有影响。 •单晶制备以及pn结的制备都有成熟的集成 电路工艺作保证。 •硅的密度低，材料轻。即使是50μm以下 厚度的薄板也有很好的强度。
房间编号
房间名称
温度 ℃
净化级别 ISO标准 (美联邦标准) 10万 1万 10万 10万 10万 10万
A201-1 A202-1 A203-1 A204-1 A205-1 A206-1
扩散前清洗区 扩散间 扩散后清洗区 刻蚀区 PECVD区 丝网印刷区
23± 2 23± 2 23± 2 23± 2 23± 2 23± 2