文献综述
什么是文献综述

什么是文献综述?文献综述是研究者在其提前阅读过某一主题的文献后,经过理解、整理、融会贯通,综合分析和评价而组成的一种不同于研究论文的文体2) 文献综述的写作要求1、文献综述的格式文献综述的格式与一般研究性论文的格式有所不同。
这是因为研究性的论文注重研究的方法和结果,而文献综述介绍与主题有关的详细资料、动态、进展、展望以及对以上方面的评述。
因此文献综述的格式相对多样,但总的来说,一般都包含以下四部分:即前言、主题、总结和参考文献。
撰写文献综述时可按这四部分拟写提纲,再根据提纲进行撰写工作。
前言,要用简明扼要的文字说明写作的目的、必要性、有关概念的定义,综述的范围,阐述有关问题的现状和动态,以及目前对主要问题争论的焦点等。
前言一般200-300字为宜,不宜超过500字。
正文,是综述的重点,写法上没有固定的格式,只要能较好地表达综合的内容,作者可创造性采用诸多形式。
正文主要包括论据和论证两个部分,通过提出问题、分析问题和解决问题,比较不同学者对同一问题的看法及其理论依据,进一步阐明问题的来龙去脉和作者自己的见解。
当然,作者也可从问题发生的历史背景、目前现状、发展方向等提出文献的不同观点。
正文部分可根据内容的多少可分为若干个小标题分别论述。
小结,是结综述正文部分作扼要的总结,作者应对各种观点进行综合评价,提出自己的看法,指出存在的问题及今后发展的方向和展望。
内容单纯的综述也可不写小结。
参考文献,是综述的重要组成部分。
一般参考文献的多少可体现作者阅读文献的广度和深度。
对综述类论文参考文献的数量不同杂志有不同的要求,一般以30条以内为宜,以最近3-5年内的最新文献为主。
2、文献综述规定1. 为了使选题报告有较充分的依据,要求硕士研究生在论文开题之前作文献综述。
2. 在文献综述时,研究生应系统地查阅与自己的研究方向有关的国内外文献。
通常阅读文献不少于30篇,且文献搜集要客观全面3. 在文献综述中,研究生应说明自己研究方向的发展历史,前人的主要研究成果,存在的问题及发展趋势等。
文献综述是什么怎么写

文献综述是对某一方面的专题搜集大量情报资料后经综合分析而写成的一种学术论文,它是科学文献的一种。
文献综述是反映当前某一领域中某分支学科或重要专题的最新进展、学术见解和建议的它往往能反映出有关问题的新动态、新趋势、新水平、新原理和新技术等等。
要求同学们学写综述,至少有以下好处:①通过搜集文献资料过程,可进一步熟悉医学文献的查找方法和资料的积累方法;在查找的过程中同时也扩大了知识面;②查找文献资料、写文献综述是临床科研选题及进行临床科研的第一步,因此学习文献综述的撰写也是为今后科研活动打基础的过程;③通过综述的写作过程,能提高归纳、分析、综合能力,有利于独立工作能力和科研能力的提高;④文献综述选题范围广,题目可大可小,可难可易,可根据自己的能力和兴趣自由选题。
文献综述与"读书报告"、"文献复习"、"研究进展"等有相似的地方,它们都是从某一方面的专题研究论文或报告中归纳出来的。
但是,文献综述既不象"读书报告"、"文献复习"那样,单纯把一级文献客观地归纳报告,也不象"研究进展"那样只讲科学进程,其特点是"综","综"是要求对文献资料进行综合分析、归纳整理,使材料更精练明确、更有逻辑层次;"述"就是要求对综合整理后的文献进行比较专门的、全面的、深入的、系统的论述。
总之,文献综述是作者对某一方面问题的历史背景、前人工作、争论焦点、研究现状和发展前景等内容进行评论的科学性论文。
写文献综述一般经过以下几个阶段:即选题,搜集阅读文献资料、拟定提纲(包括归纳、整理、分析)和成文。
一、选题和搜集阅读文献撰写文献综述通常出于某种需要,如为某学术会议的专题、从事某项科研、为某方面积累文献资料等等,所以,文献综述的选题,作者一般是明确的,不象科研课题选题那么困难。
什么是文献综述

什么是文献综述?文献综述是指对目前学界就此问题研究成果和状态的概括和评论,它的另外一种提法就是“国内外研究现状分析。
”千万注意,文献综述应该包括概括和评论两个部分!一、对文献综述错误的理解(如下例)1. 结合课题任务情况,根据所查阅的文献资料,撰写1000字以上的文献综述。
还要改:文献综述是指对目前学界就此问题研究成果和状态的概括和评论。
你下面的东西看起来就是你的论文的具体内容的某些部分,而根本不像对其他学者研究成果的概括和简单评论。
所以,不好意思,再改改!政府公信力的高低反映了人民对政府的信任程度,从而影响政府在人民心目中的形象和影响力,同时对于政府自身行政效率产生直接的影响。
政府只有具备了一定的诚信度才能具备一定的信用能力,公众一句政府的信用能力对政府表现持相应程度的信任。
1.政府信任流失的原因分析:1.1 政府责任感淡薄政府的责任意识则关乎社会的公平和稳定,一旦政府全力实施不当,忽视社会工总的整体利益,在气味不谋其政,这将直接影响到政府的公信力。
政府行为体现了一个国家政治面貌。
不当的政府行为造成的后果将是失去民心。
目前,我国的一些政府部门玩忽职守,不认真履行自身职责,不作为的事件也是屡见不鲜。
那么如何认真执行政府职责,实现服务型政府的职能,得到广大民众的认可和支持就是我们需要亟待解决的社会问题。
1.2 工作作风轻浮伴随着人们的公共生活领域不断扩大,相互交往日益频繁,政府在维护工总利益,公共秩序,保持社会稳定方面的作用更加突出。
民众的维权意识逐渐增强,对政府的要求也逐渐提高。
政绩不是数字,不是高楼和形象工程不是弃民众迫切需要解决的问题而不顾。
只有让人民得到真正的实惠和民主才是政府的政绩。
1.3 行政政策随意行政政策制定的随意性和不稳定性依然存在,一些行政单位满足于自身的权威感,随意制定修改变更行政政策,指示政策缺乏稳定性,统一性,连贯性,尤其表现在后人政府不对前任政府制定的政策,决策负责。
在政策制定方面,以“人制”代替“法制”,行政依据,决策程度,行政结果透明化,公开化不够,对于政策的制定缺少统一的制度规定,在执行方面出现间断,政策执行的后果无人评估,使公众无法对政府的政策作出正确稳定的预期,使政府的公信力严重削弱。
文献综述的重要性与方法

文献综述的重要性与方法引言:文献综述是科研工作者在开展研究项目之前对已有文献进行系统梳理和总结的重要环节。
它旨在全面了解研究领域的现状、发展趋势以及前人的研究成果,为自己的研究提供理论基础和参考依据。
本文将论述文献综述的重要性,并介绍一些方法和技巧。
一、文献综述的重要性文献综述在科研过程中具有重要的作用,其重要性主要体现在以下几个方面。
1. 熟悉研究领域:文献综述可以帮助研究者全面了解当前研究领域的现状和发展趋势。
通过阅读大量的文献,我们可以了解该领域的前沿研究问题以及最新的研究动态,从而有助于研究者明确自己的研究目标和方向。
2. 建立理论基础:文献综述是科研工作者建立研究的理论基础的重要手段。
通过分析文献中的理论成果和实证研究,可以帮助研究者理解和吸收先前研究者的经验与成果,为自己的研究提供理论指导和方法支持。
3. 避免重复发现:文献综述可以帮助研究者了解已有研究中存在的不足和未解决的研究问题,避免重复发现已有的研究结果。
这有助于节约研究资源和时间,并提高研究的准确性和创新性。
4. 寻找研究切入点:通过文献综述,研究者可以发现已有研究的不足之处和存在的空白领域,从而有针对性地选择合适的研究切入点。
这样有助于提高研究的创新性和科学性,并增加研究的学术价值。
二、文献综述的方法与技巧为了进行有效的文献综述,以下是一些方法和技巧可以供参考。
1. 确定研究领域和主题:首先要确定研究的领域和主题,明确自己研究的范围和方向。
这可以帮助研究者有目标地筛选文献,避免陷入大量的浪费时间和精力的阅读中。
2. 检索文献:根据研究领域和主题,研究者需要选择合适的文献检索工具,并使用关键词进行文献检索。
常用的文献检索工具包括学术搜索引擎、数据库和图书馆资源等。
3. 筛选文献:从大量的文献中筛选出与研究主题相关、有价值的文献。
通常可以根据文献的标题、摘要和关键词等信息进行初步筛选,然后针对正文进行深入阅读和评估。
4. 总结文献:在阅读每一篇文献后,研究者应该总结文献中的关键信息,如研究问题、理论框架、研究方法、实证结果等。
带有文献综述的论文范文(通用4篇)

本科毕业论文文献综述文献综述是本科毕业论文的一个重要组成部分。
那么,如何撰写本科毕业论文文献综述呢?一起来看看吧。
如何撰写本科毕业论文文献综述?一、文献综述的含义文献综述是文献综合评述的简称,是指在全面搜集有关文献资料的基础上,经过归纳整理“分析鉴别,对一定时期内某个学科或专题的研究成果和进展情况进行系统”全面的叙述和评论。
#综$是要求对文献资料进行综合分析“归纳整理,使材料更精练明确”更有逻辑层次;#述$就是要求对综合整理后的文献进行全面的“系统的论述。
毕业论文文献综述就是针对自己论文选题,全面搜集与所选题目相关的文献资料,经过归纳整理”分析鉴别,对一定时期内与该课题有关的研究成果和进展情况进行系统“全面的叙述和评论以及对本人研究课题的启发。
简而言之,就是自己选择的课题原来有哪些人做过哪些研究,研究的进展程度及结果如何等。
二、写作文献综述的意义写作文献综述,至少具有以下方面的意义:1.通过搜集文献资料的过程,可进一步掌握专业文献的查找方法和资料的积累方法,在查找的过程中同时也扩大了知识面,还可以弥补以前所学知识的不足。
2.查找文献资料”写好文献综述是撰写毕业论文开题报告的前提,也是为毕业论文的写作打基础的过程。
特别是对于管理类学科的学生,其毕业论文一般均为综述性的形式。
3.通过文献综述的写作,能提高归纳“分析”综合能力,有利于提高自己的科研能力和写作水平。
三、写作文献综述的步骤写作文献综述一般经过以下几个步骤:搜集阅读文献资料“拟定提纲(包括归纳”整理“分析)和最后成文。
1.收集和阅读资料。
论文题目确定后,就要围绕题目搜集有关的文献资料。
一、文献综述的作用与目的文献综述要针对某个研究主题,就目前学术界的成果加以探究。
文献综述旨在整合此研究主题的特定领域中已经被思考过与研究过的信息,并将此议题上的权威学者所作的努力进行系统地展现、归纳和评述。
在决定论文研究题目之前,通常必须关注的.几个问题是:研究所属的领域或者其他领域,对这个间题已经知道多少;已完成的研究有哪些;以往的建议与对策是否成功;有没有建议新的研究方向和议题。
文献检索综述论文范文(汇总4篇)

文献检索综述论文范文第1篇本科毕业论文如何撰写文献综述?一、文献综述的概念、性质和特点文献综述就是对特定的某一领域的文献进行归纳整理而写成的一篇文章,它介于文献资料汇编和文献评述论文之间。
其特点主要包括以下三个方面:(一)“文献”性与一般的论文不同,文献综述以文献为文本和素材,而不是以现实中的数据和亲自调查得来的资料为素材。
它所归纳和分析的是文本中的观点和理论这样的事实,而不是外部客观世界的事实。
所以这要求围绕一定的选题范围(这一范围的选择决不是不重要的。
有些同学把文献综述的题目就定为“文献综述”,这就如同把论文的题目定为“论文”一样荒谬!),大量地搜集文献,包括各种类型,各种载体,以及各种历史时期的,经典以及非经典的文献。
(二)“综”合性文献综述要求具有全面、综合的特点,而不是要求“片面而深刻”。
它重视的是归纳的方法,而不是演绎的方法。
它主要关注的不是某一具体的法学观点,而是这一观点在学术谱系上的位置,即在学术研究历史过程中的逻辑地位。
当然,综述的过程是一个去伪存真,去粗取精的过程,选取有代表性的观点进行高度浓缩式的阐述,而不是简单地罗列所有搜集到的文献中的观点,哪怕没有多大价值的观点。
文献首先贵“精”而不贵“多”,这主要就表现在对于文献中的观点的取舍上。
(三)阐“述”性文献综述重视对文献的叙述或描述,概括,但并不要求对文献的理论观点给以深入的分析和评价,进行论述。
文献综述基本上不直接发表自己的学术观点,尤其不要排斥与自己观点不同的学者的文献,根本不予搜集和归纳,也就是说要有一个客观、中立的立场和角度,而不是先入为主,带着有色眼镜去搜集和概括文献资料,尽管绝对的客观是不可能达到的。
这也就是说,一篇好的文献综述不是因为具有自己的创新的观点,而是具有自己的创新的系统化的,有条理的叙述方式。
二、文献综述的写作格式和步骤首先,开篇引言,明确所欲探讨的文献的范围或领域。
任何一门学科都有很多领域,不可能一一详细阐述,只能选取某一方面来进行探讨。
本科毕业论文文献综述范文(通用7篇)

本科毕业论文文献综述范文第1篇一、什么是文献综述1、文献综述的概念文献综述是对某一学科、专业或专题的大量文献进行整理筛选、分析研究和综合提炼而成的一种学术论文,是高度浓缩的文献产品。
根据其涉及的内容范围不同,综述可分为综合性综述和专题性综述两种类型。
所谓综合性综述是以一个学科或专业为对象,而专题性综述则是以一个论题为对象的。
文献综述反映当前某一领域中某分支学科或重要专题的历史现状、最新进展、学术见解和建议,它往往能反映出有关问题的新动态、新趋势、新水平、新原理和新技术等等。
2、文献综述的作用文献综述在于高度浓缩了几十篇甚至上百篇散乱无序的同类文献之成果与存在问题或争论焦点,对其进行了归纳整理,使之达到了条理化和系统化的程度。
3、要求同学们学写综述的意义1)通过搜集文献资料过程,可进一步熟悉文献的查找方法和资料的积累方法,在查找的过程中同时也扩大了知识面;2)查找文献资料、写文献综述是科研选题的第一步,因此学习文献综述的撰写也是为今后科研活动打基础的过程;3)通过综述的写作过程,能提高归纳、分析、综合能力,有利于独立工作能力和科研能力的提高。
二、文献综述的选题与文献资料的搜集(一)选题原则1.结合所学知识选自己专长的或有基础的题目,否则难以写出水平较高的综述。
2.根据所占有文献资料的质和量选题。
3.选题一定要能反映出新的学科矛盾的焦点、新成果、新动向。
4.题目不宜过大、范围不宜过宽。
这样查阅文献的数量相对较小,撰写时易于归纳整理,否则,题目选得过大,查阅文献花费的时间太多,影响实习,而且归纳整理困难,最后写出的综述大题小作或是文不对题。
(二)文献资料的搜集1、文献资料的搜集途径(1)利用有关的检索工具(包括目录、文摘和索引等)搜集文献资料。
(2)利用国际联机检索系统搜集文献资料。
(3)利用原始文献(包括专业期刊、科技报告、专利文献、学位论文、会议文献、专著和标准等)搜集文献资料。
(4)利用三次文献(包括综述、述评、百科全书、年鉴和手册等)搜集文献资料。
文献综述的写法

一、什么是文献综述?
文献综述是在全面搜集、阅读大量相关研究文献 的基础上,对所研究的问题在一定时期内已经取得的研 究成果、存在问题以及新的发展趋势等进行的系统、全 面的叙述和评论。所谓“综”即收集“百家”之言,综 合分析整理;“述”即结合作者的观点和实践经验对文 献的观点、结论进行叙述和评论。
五、撰写文献综述应注意的事项
1.搜集文献应尽量全。掌握全面、大量的文献资料是写好综述的前提, 否则,随便搜集一点资料就动手撰写是不可能写出好的综述的,甚至写 出的文章根本不能称其为综述。 2.注意引用文献的代表性、可靠性和科学性。要瞄准主流文献,如与该 课题相关的核心期刊、经典著作、研究报告、重要观点和论述等。 3.尽可能查阅和引用最新文献资料, 引用最近5年内发表的文献数应达 70%左右。 4.引用文献要忠实于文献内容。由于文献综述有作者自己的评论分析, 因此在撰写时应分清作者的观点和文献的内容,不能篡改文献的内容。 5.综述并不是简单的文献罗列,综述一定有作者自己的综合和归纳。有 的综述只是将文献罗列,看上去像流水帐,没有作者自己的综合与分析, 使人看后感到重复、费解,材料与评述不协调。 6.参考文献不能省略。有的科研论文可以将参考文献省略,但文献综述 绝对不能省略,而且应是文中引用过的,能反映主题全貌的并且是作者 直接阅读过的文献资料。
四、文献综述的格式
1.前言:要用简明扼要的文字说明写作的目的、必要性、有关概念 的定义、综述的范围、研究历史和现状等。前言一般200-300字为 宜,不宜超过400字。 2.正文:是综述的重点,写法上没有固定的格式,主要是确认本课 题研究领域的“重要作者”和“重要文献”,确认本课题研究领域 的“重要观点”和“重要进展。正文部分根据内容的多少可分为若 干个小标题分别论述。 3.小结:是对综述正文部分作扼要的总结,作者应对各种观点进行 综合评价,提出自己的看法,指出存在的问题及今后有待进一步研 究的问题。 4.参考文献:是综述的重要组成部分。一般参考文献的多少可体现 作者阅读文献的广度和深度。参考文献的数量以30条以内为宜,以 最近3-5年内的最新文献为主。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
功能薄膜材料及其研究(中南大学材料科学与工程,湖南长沙)摘要:综述了功能薄膜材料及其研究,介绍了装饰膜、硬质薄膜、光学薄膜、电子薄膜等功能薄膜材料的性能特点及其制备应用,并简析功能薄膜材料未来的发展前景。
关键词:功能薄膜材料薄膜制备发展综述引言:在科学发展日新月异的今天,大量具有各种不同功能薄膜得到广泛的应用,薄膜作为一种重要的材料在材料领域占据着越来越重要的地位。
薄膜是以特殊方式形成的具有独特结构和性能、厚度为亚纳米和微纳米级的附着于固体表面的二维材料,常用的薄膜材料有:硬质薄膜、信息薄膜、装饰膜、润滑膜、光学薄膜、电子薄膜、光电子薄膜、生物薄膜、化学功能薄膜、能量变换功能薄膜等。
薄膜功能材料具有极其优良的力学、电学、磁学、光学、等化学性质,可以被用来制作具有特殊性能的涂层,广泛应用于航空航天、核工业、生物、传感器、发动机等行业。
现正致力于新型薄膜材料的研究和开发,以满足高技术时代发展的需求。
一、功能薄膜材料1.装饰薄膜1.1装饰薄膜简介装饰膜除了美观作用外,还有一些其他性能,如:隔热、保暖、隔紫外线、安全防爆防盗防弹、私密性等。
装饰膜种类很多,家具贴膜、地板保护膜、墙面贴膜等。
装饰膜由多层涂层组成,其性能主要有基材决定。
装饰膜可分为:PVC (真空吹塑膜):力学性能好,化学性能稳定,难燃,成本低。
缺点热稳定性差,软化温度低,只能在80℃以下条件中使用,受热会引起不同程度降解;PP:成型性好,收缩率高,力学性能优良,耐热温度高,在150℃时不施加外力不会变形,耐寒性不如PE;PET:具有较高的成膜性和成型性,很好的光学性能和耐候性,耐磨耗摩擦性、尺寸稳定性、电绝缘性,非晶态具有良好的光学透明性。
1.2装饰薄膜制备装饰膜的制备方法有电镀、磁控溅射法和离子镀。
电镀是利用电解原理在某些金属表面上镀上一薄层其它金属或合金的过程。
电镀时,镀层金属或其他不溶性材料做阳极,待镀的工件做阴极,镀层金属的阳离子在待镀工件表面被还原形成镀层。
磁控溅射是在高真空充入适量的氩气,在阴极(柱状靶或平面靶)和阳极(镀膜室壁)之间施加几百K直流电压,在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电,使氩气发生电离。
氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面,将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。
直流/中频/射频磁控溅射法、反应磁控溅射。
离子镀是在真空条件下,利用气体放电使气体或被蒸发物质部分电离,并在气体离子或被蒸发物质离子的轰击下,将蒸发物质或其反应物沉积在基片上的方法。
其中包括磁控溅射离子镀、反应离子镀、空心阴极放电离子镀(空心阴极蒸镀法)、多弧离子镀(阴极电弧离子镀)等。
2.硬质薄膜2.1硬质薄膜简介将超硬薄膜材料镀于金属切削刀具表面,正适应了现代制造业对金属切削刀具的高技术要求,金属切削刀具基体保持了其较高的强度,镀于表面的涂层又发挥它“超硬、强韧、耐磨、自润滑”的优势,从而大大提高了金属切削刀具在现代加工过程中的耐用度和适应性。
此外,许多在磨擦环境中使用的部件,硬质薄膜材料也能大大提高其使用寿命,因此硬质薄膜被广泛应用于机械、电子、冶金、汽车、航天航空等不同领域。
【1】在材料表面力学性能、化学性能以及抗高温氧化和抗腐蚀性能上有着诸多优势的硬质薄膜尤为引人瞩目。
硬质薄膜材料主要有TiC/TiN/TiCN/WC/Al2O3等金属化合物、金刚石/类金刚石、立方氮化硼等。
2.2硬质薄膜制备(1)化学气相沉积化学气相沉积是一种热化学反应过程,是在特定的温度和经过特别处理的基体表面所经行的气态化学反应。
CVD的沉积过程应该包括反应气体到达基材表面,反应气体分子被基材表面吸附,在基材表面发生化学反应,形核,生成物从基材表面脱离,生成物在基材表面扩散等过程。
其主要的反应类型有:(1)热分解反应;(2)还原反应;(3)化学输送反应;(4)氧化反应;(5)加水分解;(6)与氨反应;(7)合成反应;(8)等离子反应;(9)光激发反应;(10)激光激发反应。
CVD技术又可以分为热化学气相沉积(TCVD)、低压化学气相沉积(LPCVD)、等离子化学气相沉积(PVCD)、金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)、激光(诱导)化学气相沉积(LCVD)等等。
【2】(2)物理气相沉积物理气相沉积是利用某种真空物理过程,例如蒸发或者溅射实现物质的转移,即原子或分子由源转移到基体表面上,并沉积成薄膜。
它是一种能真正获得纳米至微米级薄膜且无污染的环保型表面处理方法,在不影响基体尺寸的情况下,提高表面强度、增强耐腐性和摩擦磨损等性能。
【3】(3)阴极电弧技术阴极电弧技术是利用真空环境下的弧光放电,使固体阴极靶材蒸发、离化并通过等离子体的强化作用,飞向阳极基体表面沉积成膜。
阴极电弧是一种典型的高电流(可高达数百安培)电弧,电弧以等离子体的形式来传输阴极材料,而且离子电流约占弧电流的10%左右。
【4】所以,阴极电弧技术具有极高的沉积速率。
被离化的靶材粒子以60至100eV平均能量溅射出来形成高度激发的离子束,在含有惰性气体或反应气体的真空环境下沉积在基体表面,具有高能量的离子束对于提高膜基结合力和打乱膜的柱状晶结构是非常有利的,从而也可大幅度改善膜的组织结构和力学性能。
【5】3.光学薄膜3.1光学薄膜简介光学薄膜最基本的功能是反射、减反射和光谱调控。
依靠反射功能,它可以把光束按不同的要求折转到空间各个方位;依靠减反射功能,它可以将光束在元件表面或界面的损耗减少到极致,完美的实现现代光学仪器和光学系统的设计功能;依靠它的光谱调控功能,实现光学系统中的色度变换,获得五彩缤纷的颜色世界。
光学薄膜的这些功能,在激光技术、光电子技术、光通信技术、光显示技术和光存储技术等现代光学技术中得到充分的应用,促进了相关技术和学科的发展。
【6】常见的光学薄膜有:反射膜、增透膜、纳米光学薄膜、金刚石膜等。
3.2光学薄膜制备随着近代信息光学、光电子技术及光子技术的发展,对光学薄膜产品的长寿命、高可靠性及高强度的要求越来越高,从而发展出一系列新型光学薄膜及其制备技术,例如:(1)物理气相沉积法物理气相沉积是光学薄膜制备的主流技术,物理气相沉积法,简单地说是在真空环境中加热薄膜材料使其成为蒸汽,蒸汽再凝结到温度相对低的基片上形成薄膜。
PVC需要使用真空镀膜机,制造成本高,膜层厚度可以精确控制,膜层强度好。
PVD制备光学薄膜这一技术目前已被广泛采用,从而使各种光学薄膜在各个领域得到广泛应用。
在PVD方法中,根据膜料汽化方式的不同,又分为热蒸发、溅射、离子镀及离子辅助镀技术。
【7】其中常用的制备技术是真空热蒸发,最常用的蒸发手段是电阻蒸发和电子束蒸发。
(2)离子束辅助沉积法离子束辅助沉积法是在气相沉积镀膜的同时,利用高能粒子轰击薄膜沉积表面,对薄膜表面环境产生影响,从而改变沉积薄膜成分、结构的过程这种把离子辅助与反应蒸发法结合起来的镀膜技术能够实现低温成膜,改善薄膜的微观结构、力学性能并提高薄膜和基体结合力,从而提高薄膜的综合性能但由于离子束轰击基片的能量束流密度不均匀以及高能量离子引起的反溅射等因素,使得离子束辅助蒸发技术在生产应用中受到限制。
【8】(3)溶胶-凝胶法溶胶-凝胶法是以金属醇盐或其他金属无机盐的溶液作为前驱体溶液,在低温下通过溶液中的水解、聚合等化学反应,首先生成溶胶,进而生成具有一定空间结构的凝胶,然后经过热处理或减压干燥,在较低温度下制备出各种无机材料薄膜或复合材料薄膜的方法这种技术可以用于制备各种光学膜如高反射膜、减反射膜等,还可以制备光导纤维、折射率梯度材料、有机染料掺杂型非线性光学材料等,以及波导光栅、稀土发光材料等。
【9】4.电子薄膜4.1电子薄膜简介薄膜技术在电子领域的推广,是由于电子元件在小型化,高功能,高可靠,批量生产,低成本方面占有很大优势。
类似的薄膜技术在电子元件制造领域占有相当重要的地位。
而薄膜在薄膜电阻,薄膜电容,薄膜开光器件和薄膜太阳能电池和薄膜集成电路应用尤为广泛。
电子器件的小型化、多样化和性能的不断提高是光电子技术发展的重要标志,在这个发展过程中,薄膜技术功不可没。
电子薄膜的应用有薄膜电阻、薄膜电容、薄膜太阳电池、薄膜集成电路、超导薄膜等。
对导电薄膜的要求除了经济性能外,主要是导电率大,附着牢靠,可焊性好和稳定性高。
因尚无一种材料能完全满足这些要求,所以必须采用多层结构。
常用的是二至四层结构,如铬-金(Cr-Au)、铝-氮(Al-N)、镍铬-金(Ni Cr-Au)、钛-铂-金(Ti-Pt-Au)、钛-钯-金(Ti-Pd-Au)、钛-铜-金(Ti-Cu-Au)、铬-铜-铬-金(Cr-Cu-Cr-Au)等。
【10】4.2电子薄膜材料制备薄膜混合集成电路所用基片有多种,最常用的是玻璃基片,其次是微晶玻璃和被釉陶瓷基片,有时也用蓝宝石和单晶硅基片。
为了实现紧密组装和自动化生产,一般使用标准基片。
在基片上形成薄膜有多种方法。
制造薄膜网路常用物理汽相淀积(PVD)法有时还用阳极氧化或电镀法。
在物理汽相淀积法中,最常用的是蒸发工艺和溅射工艺。
这两种工艺都是在真空室中进行的,所以统称为真空成膜法。
用这两种方法,可以制造无源网路中的无源元件、互连线、绝缘膜和保护膜。
阳极氧化法可以形成介质膜,并能调整电阻膜的阻值。
在制造分布参数微波混合集成电路时,用电镀法增加薄膜微带线的厚度,以减少功耗。
二、功能薄膜材料发展前景各种新的成膜方法不断涌现,特别是以等离子体法为代表的新技术得到开发,制膜质量也得到大大改善。
传统的所谓镀膜,已从单一的真空蒸镀发展到包括蒸镀、离子镀、溅射镀膜、化学气相沉积、PCVD、MOCVD、分子束外延、液相生长、微波法及MWECR法等在内的成膜技术;包括离子刻蚀、反应离子刻蚀、离子注入和离子束混合改性等在内的微细加工技术;以及薄膜沉积过程、监测控制、薄膜检测、薄膜应用在内的,内容十分丰富的薄膜技术,并正逐渐成为一门高新技术产业。
随着科学技术的发展,各种特殊用途对薄膜技术与薄膜材料提出了各种各样的要求。
从尺寸上讲,厚度从几纳米到几十微米,长度从纳米微米级(如超大规模集成电路的图形宽度)到成千上万米(如磁带)。
有的要求样品表面尺寸稳定,有的要求严格控制厚度;从成分讲,包括金属、合金、非金属、半导体、化合物、陶瓷、塑料。
有些对纯度、合金的配比,化合物的组份比有严格的要求。
从膜的结构讲,有多晶的、单晶的、非晶态的、纳米晶的、超晶格的、多层膜的、按特定方向取向的、外延生长的。
新型薄膜材料对当代高新技术起着重要的作用,是国际上科学技术研究的热门学科之一。
开展新型薄膜材料的基础研究直接关系到信息技术、微电子技术、计算机科学等领域的发展方向和进程。
新型薄膜的发展依赖于人们对先进薄膜材料、先进的成膜技术和薄膜结构的控制,以及对薄膜的物理、化学行为的深入研究。