电子元器件失效分析技术与案例
电子元器件失效分析技术及经典案例

李少平老师:高级工程师,1984年毕业于成都电讯工程学院(现中国电子科技大学)半导体器件专业,毕业后一直在中国赛宝实验室(信息产业部电子第五研究所)可靠性研究分析中心从电子产品可靠性分析、研究工作。
长期从事对电子企业的可靠性增长和产品失效分析工作,具有丰富的失效分析经验,并积累了大量的经典分析案例,是中国赛宝实验室(信息产业部电子第五研究所)可靠性研究分析中心资深的失效分析专家。
主要培训的企业有:美的失效分析实验室建设技术咨询和失效分析技术培训,海尔检测中心的技术咨询和失效分析技术培训,广东核电进行电子元器件老化技术,继电器老化管理,板件老化管理培训,中兴通讯的失效分析技术培训,富士康失效分析技术现场研讨,中国赛宝实验室元器件可靠性研究分析中培训学员的实习指导,以及失效分析专题公开培训。
先后参与《失效分析经典案例100例》和《电子元器件失效技术》的编写。
中国赛宝实验室(信息产业部电子第五研究所)是可靠性专业的综合研究所,属下的可靠性研究分析中心专门从可靠性物理的研究和分析工作,面向军、民企业提供可靠性支撑技术,直接的服务主要是包括失效分析的可靠性技术。
可靠性物理及其应用技术国家重点实验室的依托实体就是信息产业部电子第五研究所可靠性研究分析中心。
BGA失效分析报告

随着电子设备向高集成度、高可靠性 方向发展,BGA封装广泛应用于各类 电子产品中。然而,BGA失效问题逐 渐凸显,对产品性能和可靠性产生严 重影响。
BGA封装介绍
01
BGA封装特点
高密度、低电感、低热阻、易于 实现高速信号传输等。
02
BGA封装工艺流程
03
BGA失效类型
芯片粘接、引脚焊接、塑封固化 等。
01
03
一款笔记本电脑在使用过程中频繁出现蓝屏和死机现 象,拆解后发现芯片与BGA基板间的粘接材料老化,
芯片脱落导致电路故障。
04
一款平板电脑在使用过程中突然发生屏幕破裂,经检 查发现BGA封装体存在制造缺陷,无法承受机械冲击 。
失效影响分析
性能下降
BGA失效会导致电路性能下降,引发 各种故障现象,如死机、重启、数据 丢失等。
可靠性。
04 BGA失效预防和改进措施
优化封装设计
优化封装设计是预防BGA失效的重要 措施之一。
通过改进BGA的封装设计,可以减少 潜在的缺陷和问题,提高其可靠性和 稳定性。这包括优化焊球间距、改进 焊球材料和减小焊球直径等措施。
提升制造工艺水平
提升制造工艺水平是降低BGA失效风险的关键。
通过采用先进的制造技术和设备,提高BGA的制造精度和一致性,可以显著降低制造过程中可能出现的缺陷和问题。这包括 采用高精度的焊接设备、优化焊接工艺参数和加强过程控制等措施。
BGA失效进行分析和预测,为预防性维护提供支持。
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安全风险
对于关键性电子设备,BGA失效可能 引发严重安全问题,如设备损坏、数 据泄露或人身伤害等。
生产成本
电子元器件失效分析具体案列

中国赛宝实验室可靠性研究分析中心案例一:1产品名称:单片机MD87C51/B2商标:Intel3分析依据:MIL-STD-883E 微电子器件试验方法和程序微电路的失效分析程序MIL-STD-883E 方法2010 内部目检(单片电路)4样品数量及编号:失效样品1#~6#,良品7#~12#5样品概述及失效背景:MD87C51/B是一高速CMOS单片机。
委托方一共提供四种批次的此类样品。
1#、5#、10#、11#、12#属9724 批次,其中1#样品已做过二次筛选和环境应力试验,是在整机测试过程中失效,5#样品在第一次通电工作不正常,须断电后重新通电可以正常工作,10#~12#样品是良品;2#、3#、4#样品属9731 批次,这三个样品在第一次上机时便无法写入程序,多次长时间擦除,内容显示为空,但仍不能写入;6#样品属9931 批次,失效情况同5#样品;7#~9#样品属9713 批次,为良品。
6分析仪器7 分析过程1)样品外观分析:1#~6#进行外目检均未发生异常;2)编程器读写试验:能对坏品进行内部程序存储器读取,但无法完成写操作,良品读写操作均正常;3)内部水汽含量测试:应委托方要求,8#与12#样品进行内部水汽含量测试,结果符合要求;中国赛宝实验室可靠性研究分析中心4)端口I -V 特性测试:使用静电放电测试系统剩下的样品进行I-V 端口扫描测试,发现:4#样品的Pin3、Pin4 、Pin5 、Pin7 对地呈现明显的电阻特性,使用图示仪测试后测得Pin3 对地呈现约660Ω 阻值、Pin4 与Pin5 对地呈现约300Ω 阻值、Pin7 对地呈现约140 Ω 阻值,且在1#与4#样品的Pin31(EA/Vpp)发现特性曲线异常,但并非每次都能出现;其他样品的管脚未发现明显异常;5)开封和内部分析:对1#~5#样品进行开封,内目检时发现:芯片的铝键合丝与键合台以外相邻的金属化层(有钝化层覆盖)存在跨接现象。
ESD失效分析FA及案例介绍

2021/2/4
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谢谢!
• 软失效:漏电流(例如10-9---10-6),峰值电流等,外观上无法 看出,可以使用CURVE TRACER、semiconductor parametric analyser测 量出,并分析失效部位
• 潜在失效:很难观察到。主要是specification下降、电学特性退化、寿 命降低。典型的是介质的局部损伤(例如time-dependent dielectric breakdown (TDDB) of gate oxide layers,并伴随漏电流增加,阈值电压漂 移,功率容量下降等)
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(3)各种测试的校准和比对性
• 实际上使用TLP/HBM等的结果很多情况下是不一致的,即使一样的设 备和测试方法有时候重复性也不是很好。ESDA:硬盘驱动IC、音频IC 、数据通信接口IC、汽车电子IC,0.9、1.2、1.5工艺
一般: TLP的IT2×1500=HBM
MM×92=HBM
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(1)一般的失效机理
失效分析的手段: (1)形貌观察: • 光学显微镜:最常用,观察器件的表面和逐层剥除的次表面。对于光学显
微镜放大倍数是500倍,使用冶金显微镜可以达到1000倍,使用特殊的液 体透镜技术,可以达到1500倍,1000-1500可以观察到1微米线宽缺陷。 • SEM:更高倍数15000倍,使用背散射二次电子和样品倾斜台还可以获得 一定的三维图像),存在电荷积累,可以使用扫描离子显微镜SIM,TEM :更高的解析度。可以观察缺陷位错。不需要真空的可以用AFM:会受到 表面电荷等的影响。 • 对于需要透视观察的,平面的可以用SAM(电声显微镜,特别是铝钉), 三维的可以用X射线显微镜,或者使用RIE:反应离子刻蚀,逐层剥除观察 。 • FIB:聚焦离子束,用离子束代替电子束观察显微结构,可以透视剥除金 属或者钝化层观察,所以FIB也可用于VLSI的纠错(可以加装能谱)
PCB失效分析技术与案例

PCB失效分析技术与典型案例2009-11-18 15:10:05 资料来源:PCBcity 作者: 罗道军、汪洋、聂昕摘要| 由于PCB高密度的发展趋势以及无铅与无卤的环保要求,越来越多的PCB出现了润湿不良、爆板、分层、CAF等等各种失效问题。
本文首先介绍针对PCB在使用过程中的这些失效的分析技术,包括扫描电镜与能谱、光电子能谱、切片、热分析以及傅立叶红外光谱分析等。
然后结合PCB的典型失效分析案例,介绍这些分析技术在实际案例中的应用。
PCB失效机理与原因的获得将有利于将来对PCB的质量控制,从而避免类似问题的再度发生。
关键词| 印制电路板,失效分析,分析技术一、前言PCB作为各种元器件的载体与电路信号传输的枢纽已经成为电子信息产品的最为重要而关键的部分,其质量的好坏与可靠性水平决定了整机设备的质量与可靠性。
随着电子信息产品的小型化以及无铅无卤化的环保要求,PCB也向高密度高Tg以及环保的方向发展。
但是由于成本以及技术的原因,PCB在生产和应用过程中出现了大量的失效问题,并因此引发了许多的质量纠纷。
为了弄清楚失效的原因以便找到解决问题的办法和分清责任,必须对所发生的失效案例进行失效分析。
本文将讨论和介绍一部分常用的失效分析技术,同时介绍一些典型的案例。
二、失效分析技术介于PCB的结构特点与失效的主要模式,本文将重点介绍九项用于PCB失效分析的技术,包括:外观检查、X射线透视检查、金相切片分析、热分析、光电子能谱分析、显微红外分析、扫描电镜分析以及X射线能谱分析等。
其中金相切片分析是属于破坏性的分析技术,一旦使用了这两种技术,样品就破坏了,且无法恢复;另外由于制样的要求,可能扫描电镜分析和X射线能谱分析有时也需要部分破坏样品。
此外,在分析的过程中可能还会由于失效定位和失效原因的验证的需要,可能需要使用如热应力、电性能、可焊性测试与尺寸测量等方面的试验技术,这里就不专门介绍了。
2.1 外观检查外观检查就是目测或利用一些简单仪器,如立体显微镜、金相显微镜甚至放大镜等工具检查PCB的外观,寻找失效的部位和相关的物证,主要的作用就是失效定位和初步判断PCB的失效模式。
电子元器件失效分析技术及经典案例

导读:电子产品在不断与失效作斗争中提高可靠性,失效分析是与产品失效作斗争的最有效的工具,通过对失效产品的失效分析,诊断失效产品的失效机理,以失效机理为引导,进一步分析诱发失效机理的应力,从而诊断引起产品失效的根本原因,最终,从产品失效的根本原因所涉及的因素(如产品的材料、结构、工艺的缺陷,或产品使用不合理)入手,采取有针对性的措施,彻底消灭产品失效或有效控制产品失效。
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《电子元器件失效分析技术及经典案例》内容纲要(森涛培训)
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参加对象:电子元器件、电路板或整机企业的设计工程师、质量工程师、工艺工程师、可靠性工程师、失效分析工程师等。
电子产品失效分析技术

10 0
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60 4 000
3 500
3 000
Condensed smear from compressed air
2 500
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W av e num be rs (c m-1 )
1 500
1 000
失效分析技术与设备
内部无损分析技术
X-Ray透视观察 SAM—扫描声学显微镜 PIND—内部粒子噪声分析 气密性分析
结构
X射线源 屏蔽箱 样品台 X射线接收成像
系统
失效分析技术与设备
SAM
结构
换能器及支架 脉冲收发器 示波器 样品台水槽 计算机控制系统 显示器
失效分析技术与设备
成分分析技术 EDS—X射线能量色散谱 AES—俄歇电子能谱 SIMS—二次离子质谱 XPS—X光电子能谱 FTIR—红外光谱 GCMS—气质联用 IC—离子色谱 内腔体气氛检测分析
失效案例分析
继电器主要失效模式和失效机理
失效模式
接触失效
线圈失效
绝缘失效
表现形式 失效机理
接触电阻增大或时断时通、 线圈电阻超差、
触点粘结、触点断开故障、
线圈开路、
吸合/释放电压漂移.
线圈短路.
触点表面电化学腐蚀;触点表 面高温氧化;燃弧——破坏触 点表面,粘连,产生碳膜;触点 表面金属电迁移;内部多余物 残留;内部有机材料退化产生 多余物;触点动作撞击;谐振;
分立元件
集成电路
失效模式及分布
电阻器
电容器
失效模式及分布
继电器
按插元件
失效机理
1. 过应力失效
失效分析之经典案例

电子元器件失效分析技术与失效分析经典案例案例1 器件内部缺陷——导致整机批次性失效失效信息:整机是磁盘驱动器,制造过程整机的次品率正常为300ppm,某时起发现次品率波动,次品原因是霍尔器件极间漏电、短路。
图1 引出电极金属化(金)边缘脱落跨接图片析说明:引出电极金属化边两电极之间,在电压作用下漏电、击穿。
案例电极边缘脱落,跨接两电极引起电极之间漏电短路分缘有残边,残边在注塑时被冲开而跨接于这是器件的工艺缺陷,这种缺陷具有批次性的特征,该批器件在使用过程中失效率大,寿命短。
2:静电放电损伤失效图2 射频器件静电击穿照片(金相)图3 数字IC静电击穿照片SEM)分析说明:静电放电击穿典型的特征是能量小、线径小,飞狐、喷射。
主要发生在射频、能量释放时间短,其失效特征是击穿点微波器件,场效应器件、光电器件也常有静电放电击穿的案例。
案例3:外部引入异常电压引起通讯IC 输失效信息:分析说明:通讯芯片通讯端口上的传输线容易引入干扰电压(窄脉冲浪涌),干扰电压多次对通讯案例电流能力下降引起整机失效率异常增大某时起整机的市场维修率异常增大,维修增大是整机中的IGBT 功率器件失效引起的。
另外集成电路、出驱动失效通讯芯片在现场使用时发生失效,表现为通讯端口对地短路。
图4 通讯IC 输出管形貌(SEM )图5 输出管电压击穿形貌(SEM )IC 的通讯端内部电路起损伤作用,最终形成击穿通道。
4:功率器件失效信息:图6 IGBT 芯片呈现过电流失效特征图7 原来IGBT 的内部结构析说明:效样品表现为过电流失效。
整机维修率异常增大发生时更改IGBT 的型号。
IBGT 制造厂家给出新330W ,原来型号的IGBT 的功率指标为,其它指标没有变化。
两只芯片,多了一只反向释放二极管,两个型号的IGBT 芯片的面积一样大,显然,下降,因此,新型号的IGBT 的电流能分失型号的IGBT 的功率指标比为175W 但新型号的IGBT 内部结构(图6)仅有一只芯片,而原来型号的IGBT 有新型号的IGBT 的芯片要有部分面积来完成反向释放二极管的作用,由于IGBT 芯片有效面积的减小,导致其电流能力力不如原来型号的IGBT ,整机中IGBT 的工作电流比较临界,因此,使用过程中由于电流问题的发生大量失效。
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电子元器件失效分析技术与案例费庆学二站开始使用电子器件当时电子元器件的寿命20h.American from 1959 开始:1。
可靠性评价,预估产品寿命2。
可靠性增长。
不一定知道产品寿命,通过方法延长寿命。
通过恶裂环境的试验。
通过改进提高寿命。
―――后来叫a.可靠性物理—实效分析的实例 b.可靠数学第一部分:电子元器件失效分析技术(方法)1.失效分析的基本的概念和一般程序。
A 定义:对电子元器件的失效的原因的诊断过程b.目的:0000000c.失效模式――》失效结果――》失效的表现形式――》通过电测的形式取得d.失效机理:失效的物理化学根源――》失效的原因1)开路的可能失效机理日本的失效机理分类:变形变质外来异物很多的芯片都有保护电路,保护电路很多都是由二极管组成正反向都不通为内部断开。
漏电和短路的可能的失效机理接触面积越小,电流密度就大,就会发热,而烧毁例:人造卫星的发射,因工人误操作装螺丝时掉了一个渣于继电器局部缺陷导致电流易集中导入产生热击穿(si 和al 互熔成为合金合金熔点更低)塑封器件烘烤效果好当开封后特性变好,说明器件受潮或有杂质失效机理环境应力:温度温度过低易使焊锡脆化而导致焊点脱落。
,2.失效机理的内容I失效模式与环境应力的关系任何产品都有一定的应力。
a当应力>强度就会失效如过电/静电:外加电压超过产品本身的额定值会失效b应力与时间应力虽没有超过额定值,但持续累计的发生故:如何增强强度&减少应力能延长产品的寿命c.一切正常,正常的应力,在时间的累计下,终止寿命特性随时间存在变化e机械应力如主板受热变形对零件的应力认为用力塑封的抗振动好应力好陶瓷的差。
f重复应力如:冷热冲击是很好的零件筛选方法重复应力易导致产品老化,存在不可靠性故使用其器件:不要过载;温湿度要适当II如何做失效分析例:一个EPROM在使用后不能读写1)先不要相信委托人的话,一定要复判。
2)快始失效分析:取NG&OK品,DataSheet,查找电源断地开始测试首先做待机电流测试(IV测试)电源对地的待机电流下降开封发现电源端线中间断(因为中间散热慢,两端散热快,有端子帮助散热)因为断开,相当于并联电阻少了一个电阻,电流减小。
原因:闩锁效应应力大于产品本身强度责任:确定失效责任方:模拟试验->测抗闩锁的能力看触发的电流值(第一个拐点的电流值),越大越好,至少要大于datasheet或近似良品的值在标准范围内的。
看维持电压(第二个拐点的电压),若大于标准值,则很难回到原值。
若多片良品抽测都OK,说明使用者使用不当导致。
改善措施:改善供电,加保护电路。
III失效分析技术的延伸失效分析的关键是打开样品进货分析:不同的封装厂,在芯片面积越小(扫描声学检测器,红的部分为空气,可用于辨别尺寸的大小),受应力越小。
版本过新的产品也有可能存在可靠性问题。
可能存在设计的问题。
良品分析的作用:可以采取一层一层的分解拍照,找捷径破坏性物理分析(DPA):失效前的物理分析VI失效分析的一般程序●收集失效现场数据:作用:根据失效现场数据估计失效原因和失效责任方根据失效环境:潮湿,辐射根据失效应力:过电,静电,高温,低温,高低温根据失效发生的时期:早期,随机(如维修过程中导致),磨损具体见文档:其中:随即失效的突发性可为静电,瞬间大电流即过电电测并确定失效模式――非正式测试用得最多的为连接测试:用万用表测量各管脚ISP(大规模可编程集成电路)端口过电应力损伤例:不良:输出特性不随输入特性变化(模拟的数据准确)万用表量正(看是否开)反向(是否漏电&短路)电阻:电源与地正反向电阻其他端子与地正反向电阻端子对电源正反向电阻例R1------OL →完全开路或电流为0R2------偏大→部分开路或电流偏小R3------偏大→部分开路或电流偏小OK-----0Si片上加SiO2 ,在其上挖洞反之,端口电流增大,有短路●非破坏检查――如X-Ray,反射式扫描声学显微镜●模拟失效分析技术―――历史重演定义:通过比较模拟试验引起的失效现象与现场失效现象,确定能够失效原因的技术。
种类:高温储存,潮热,高低温循环,静电放电,过电试验,门闩试验等。
绝缘体间摩擦会产生静电,人带静电没有接地相当于带电绝缘体。
当接近零件时,放电。
(5V-4。
5V)/5V=10%。
先打到A充电,,再打回B放电,模拟人放电。
DVT为被测设备。
打静电不能作为筛选,筛选为所有产品的测试。
打静电只是部分的测试,而且静电会导致产品的老化,有不可靠性。
案例:●打开封装聚焦离子束技术―――物理作用:抛切,修改电路(可在芯片上直接修改芯片)用途见教材P14。
●镜检通电并进行失效定位(查找发光部位-漏电部位(电流大):用光反射放大镜――正常发光)●对失效部位进行物理化学分析,确定失效机理焊接失效:焊接性由a浸润性(材料;薄膜(水,氧化物,油);角度(<60度))b合金化强度:焊接的时间和温度c形变:自身形变&外力芯片的钝化层为绝缘层炭化的SiO2为可导电。
二次效应:ESD使俩极放电,。
●综合分析,确定失效原因,提出纠正措施第二部分半导体器件失效机理,分析方法和纠正措施塑封失效机理内因:封装NG,好的塑胶封装不应出现断层。
原因:a长期暴露潮湿环境,受热后,水气膨胀,而分层。
――实例:爆米花现象b.机械应力-变形&压焊点脱落c.漏电流变化或开路对策:改善储存条件;装配前烘烤;控制工艺避免分层:控制电路板焊接工艺;a)引线键合失效键合有:热压焊:焊接温度300度。
时间控制不当,导致的科可德可空洞(金铝互相扩散,应铝扩散快于金,故产生BondingPad的铝流向金键,而产生空洞),从而导致:导电性差,易脱落。
超声焊(通过振动实现)受潮也会导致引线键合失效。
应受潮铝被腐蚀,使铝与Si脱落b)水汽和离子沾污的失效分析和方法表面&内部受潮:烘烤或开封清洗高温储存&反偏试验看是否存在可恢复来判断c)EOS过流引起热烧坏线路――一般为大面积的烧毁漏电――内部缺陷or 大电流――穿钉现象金属热电迁移d)ESDe)CMOS电路的闩锁效应――――保护电路同ESD保护电路触发电流>产品本身敏感电流触发电流越高越好f)金属电迁移g)金属电化学腐蚀原子由阳极向阴极移动,使离子留在两个电极间-金虚-常见的电阻,电容,电路板易发生此现象h)金属-半导体接触失效不要过电;工艺控制;设计变更(追加隔离层)h)芯片沾接失效(芯片断裂-膨胀系数差异导致;形变;引线键合力度过大;封装后打印编号力度过大;Si&Al合金化过程过渡,Al深入过多Si,使局部发生厚薄度差异,使应力产生差异,而导致;)对策:避免热老化,控制温度和时间;采用合金焊:芯片和底座两金属层间加合金,金si合金即金中含20%Si,300度的熔点,此适合小功率器件。
较结实但易脆易断;软焊(有缓冲,难断裂);软胶;环氧树脂;第三部分电子元件失效机理,分析方法和纠正措施电阻器――最容易发生的失效为:阻值增大;开路a受潮,发生电腐蚀(金属原子->金属离子)-》一端变窄,过载,烧断。
纯水不会发生电解,掺有离子的水会发生电解反应b.过电应力电容电解电容-用于电源滤波,一旦短路,后果严重。
用于低频电路。
容值大(频率越高,容值越小),寿命短;漏液使电容减少;大电流烧坏电极而短路放电;电源反接产生大电流烧坏电极,阴极氧化使绝缘膜增厚,导致电容下降;长期放置不通电,阳极氧化膜不断脱落不能及时修补,漏电电流增大,可加直流点一段时间使之修复。
――>降温使用,使用标称温度(85 105 125度-1000h)高的电容;经常通电。
10度法则――温度每升高10度,寿命缩短目前的一半。
反之加倍。
坦电容――易被过电烧毁。
电路串联电阻(每V,3欧姆)美军标。
多层陶瓷电容(多层使电容大)――外因:再流焊使PCB变形,引起,而导致漏电流增大。
内因:银迁移引起边缘漏电和介质内部漏电――杂质,受潮-电解反应,继电器问题:触点飞弧放电粘结键合点外围回路有线圈,线圈产生大的电动势时,且当键间有水气,会发生触点飞弧放电,而粘结。
连接器卡合;被氧化电路板离子迁移最易发生的是两条线间的短路。
当线间有水份和杂质,通电后就使离子通电,短路。
――可取短路物质的成份(能谱分析:E=h.1/λ=hL)溴能加速离子的运动,存在于助焊济中。
零件分析:外观:是否颜色变深,变深则很可能为EOS反射式扫描声学显微象:被烧的会被炭化。
有阴影的为炭化。
腐蚀开封:被炭化的塑封部分是无法的腐蚀。
X-Ray看键合点:看是否有断裂(受热和机械应力)过电引起金属热电迁移&金铝化合(非键合点不能有金,有金则说明有过热)另:静电试验不会有过热,不会有炭化。
而EOS有。
浓硫酸:发烟硝酸=1:2,温度60度,两分钟可适度腐蚀炭化塑封材料。
或49%HF,1.5分钟可完全清除,但也会去除金属。
剩下的为Si。
可见Si也有损伤。
可见是过电应力的损伤。
过热是EOS的主要损伤。
结论见案例分析之P3。