扩散原理及基本知识

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单向扩散的知识点总结

单向扩散的知识点总结

单向扩散的知识点总结1. 单向扩散的基本原理单向扩散的基本原理是物质在高浓度处具有较高的自由能,而在低浓度处具有较低的自由能,因此在没有外部干扰的情况下,物质会自发地从高浓度处向低浓度处传播,直到两者达到平衡。

在单向扩散的过程中,物质的传播是通过分子间的碰撞来实现的。

高浓度处的分子具有较高的速度和较高的动能,它们会不断地与周围的分子碰撞,从而将能量和动量传递给周围的分子,使得分子不断地向周围扩散。

而低浓度处的分子则会不断地受到来自高浓度处分子的碰撞,从而增加其自由能,使得分子不断地向高浓度处扩散。

2. 单向扩散的影响因素单向扩散的速率受到多种因素的影响,其中最主要的因素包括浓度差、温度、扩散距离和介质性质。

首先是浓度差的影响。

浓度差是指高浓度处和低浓度处的浓度差异程度,浓度差越大,单向扩散的速率就越快。

这是因为浓度差越大,分子之间的碰撞次数就越多,从而使得扩散速率增加。

其次是温度的影响。

温度越高,分子的平均动能就越大,分子的运动速率就越快,从而扩散速率也就越快。

这是因为在较高的温度下,分子会不断地进行高速碰撞,从而使得扩散速率增加。

另外,扩散距离也是影响单向扩散速率的重要因素。

扩散距离越大,扩散速率就越慢。

这是因为在较长的扩散距离下,分子需要经过更多的碰撞才能到达目的地,从而使得扩散速率减慢。

最后是介质性质的影响。

不同的介质具有不同的分子间相互作用力,这直接影响了单向扩散的速率。

一般来说,介质的分子间作用力越小,扩散速率就越大。

3. 单向扩散的应用单向扩散在生物学、化学工程、环境科学等领域都有着重要的应用。

在生物学中,单向扩散是细胞内外物质交换的重要方式。

例如在呼吸过程中,氧气和二氧化碳通过单向扩散的方式在肺部和血液中进行交换。

此外,在植物中,养分和水分也是通过单向扩散的方式在根部和土壤中进行交换的。

在化学工程中,单向扩散被广泛应用于气体分离、蒸馏和脱水等过程中。

例如在气体分离中,通过调节不同气体间的扩散速率,可以实现对混合气体的分离。

扩散现象的知识点总结

扩散现象的知识点总结

扩散现象的知识点总结一、定义扩散是指分子、离子或其他微观粒子由高浓度向低浓度扩散的过程。

在这一过程中,物质会在不同浓度区域间发生自发性的热运动,最终达到浓度均匀的状态。

二、扩散的原理1. 布朗运动:布朗运动是扩散现象最基本的原理之一。

物质在水平方向上不断做无规则的运动,这种无规则的运动导致了物质的扩散。

2. 浓度差驱动:扩散是由高浓度区域向低浓度区域自发性的运动。

浓度差是扩散的驱动力。

3. 气体分子的扩散:气体分子在容器内由高浓度区域向低浓度区域自发性地运动,从而实现了扩散。

这个过程是由气体分子的不断热运动所驱动的。

三、扩散的影响因素1. 温度:温度升高会加快分子的热运动速度,从而促进扩散的发生。

2. 浓度差:浓度差越大,扩散越快。

3. 扩散系数:扩散系数是评价某种物质在给定条件下的扩散速率的因素。

四、扩散的应用1. 生物学:细胞能够通过扩散的方式从细胞外部获取氧气和营养物质,排除废物。

2. 化学工业:化学反应中许多反应物和产物都需要通过扩散来实现。

3. 材料科学:扩散对于材料的热处理和表面处理具有重要意义。

五、扩散的研究方法1. 扩散试验:扩散试验是通过对实验条件的控制,通过测定扩散系数等参数来研究扩散现象。

2. 模拟计算:计算机模拟可以通过数值计算模拟扩散过程,进一步深入研究扩散现象。

3. 实验观察:通过显微镜等仪器观察扩散现象,了解扩散的过程和规律。

六、扩散的发展趋势1. 理论研究:扩散现象的理论研究将进一步深化,更精确的模型将被建立。

2. 技术应用:扩散技术将被应用到更多的领域,包括新材料的生产和表面处理等。

3. 环境保护:在环境保护领域,扩散技术将有望用于污染物的清除和处理。

综上所述,扩散现象是自然界中一种普遍存在的物理现象,它在生物学、化学工业、材料科学等领域都有重要的应用和研究价值。

通过对扩散现象的深入研究,可以更好地认识自然界的规律,推动科学技术的发展。

高一生物渗透与扩散知识点

高一生物渗透与扩散知识点

高一生物渗透与扩散知识点渗透与扩散是高一生物学中的重要知识点,它们在细胞内的生理过程中起着至关重要的作用。

渗透是指溶液通过半透膜从浓度较高的一侧向浓度较低的一侧移动,而扩散是指溶质在溶剂中自由移动和分布的过程。

本文将详细介绍渗透和扩散的原理、影响因素以及在生物体中的应用。

一、渗透的原理渗透是依靠溶质在溶剂中的运动来实现的。

根据溶质和溶剂之间的浓度差异,溶剂分子会自发地从溶液浓度较低的一侧向浓度较高的一侧运动,直到两侧浓度达到平衡。

二、渗透的影响因素渗透过程受到多种因素的影响,其中包括以下几个方面:1. 浓度差异:渗透速率与溶液的浓度差有关,浓度差越大,渗透速率越快。

2. 温度:温度的升高能够加快溶质在溶剂中的运动速率,从而增加渗透速率。

3. 渗透体的特性:渗透体的尺寸、形状和渗透性等特性都会影响渗透速率。

4. 渗透压:渗透压是溶液中渗透体造成的压力差异。

渗透压越大,渗透速率越大。

三、扩散的原理扩散是指分子由高浓度区域向低浓度区域运动的过程。

在生物体内,扩散是维持多种物质浓度平衡的重要方式。

扩散的原理主要由浓度梯度和热运动两个因素决定。

四、扩散的影响因素1. 浓度差异:与渗透类似,扩散速率与溶质浓度差异成正比,浓度差异越大,扩散速率越快。

2. 温度:扩散速率随温度的升高而增加。

3. 分子大小:扩散速率与扩散分子的大小和形状有关,分子越小,速率越快。

4. 扩散距离:扩散速率与扩散距离的平方成反比,扩散距离越远,速率越慢。

五、渗透与扩散在生物体中的应用渗透与扩散在生物体内的应用广泛。

举例如下:1. 细胞渗透调节:细胞通过渗透调节维持细胞内外溶液的浓度平衡,保证正常的生物活动。

2. 植物根系吸水:植物通过渗透作用吸收土壤中的水分和营养物质。

3. 呼吸作用:氧气通过扩散进入生物体细胞,二氧化碳则通过扩散排出。

综上所述,渗透与扩散是高一生物学中重要的知识点,对于理解细胞的生理过程和维持生物体内稳态具有重要作用。

扩散原理及技术介绍

扩散原理及技术介绍
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1.3 晶体中的扩散
晶体中原子的扩散涉及到具体的扩散机制以及晶体结构,因此需要对公式 X 2 = 6Dt 做一些修正。
以面心立方晶格的空位机制为例。如右图 所示,晶格中的空位A可能跃迁的有12个方向 矢量,这12个方向矢量是等价的,其跃迁的几 率相等。
对于某特定的跃迁矢量,必定有另一个方 向相反大小相等的跃迁矢量,所以有:
则有,在左面,流量 J x dydz 是流 入,在右面流量 J x+dx dydz 则是流出。
( ) ( ) 净流入量= J x −J x+dx dydz = − J x+dx − J x dydz
又 J = −D ∂C ,所以上式为: ∂X
= − ∂J dxdydz dx
净流入量=

∂J dx
dxdydz=
12
12
∑ ∑ sis j = s2 cosθij = 0
j =1
j =1
12
所以,在空位扩散机制和面心立方格子中,下式中第二项为零。
n
n−1 n
∑ ∑ ∑ X
2 i
=
( s1
+
s2
+
+ sn )2 =
s2j + 2
s j sk
j =1
j=1 k = j+1
即 考虑到
n
∑ ( ) X
2 i
=
s1 + s2 +
在晶格中原子每次跃迁的距离就是该方向上的原子间距a。一个原子经过多次 跃迁才出现一个净位移,如下图所示。但单位时间内原子跃迁的次数愈多造成较大 净位移的可能性愈大,或者说回到原来位置的可能性愈小。 所以可以认为单位时间内的净位移愈大,表征布朗运动愈 强烈。这种净位移的大小与浓度梯度的存在与否无关。没 有浓度梯度时原子的布朗运动照样存在,只是不出现定向 扩散流。

溶解扩散原理

溶解扩散原理

溶解扩散原理
溶解扩散原理是一种物理现象,指的是在两种相邻的物质之间,由高浓度向低浓度移动的过程。

在这个过程中,物质通过溶解在另一个物质中扩散,使它们的浓度趋于平衡。

下面,我们来详细介绍一下溶解扩散原理的相关知识。

一、溶解扩散的定义
溶解扩散是指在两种相邻的物质中,通过溶解在另一个物质中,由高浓度向低浓度移动的过程。

其原因是分子能量的趋向平衡。

二、扩散的因素
1、浓度差异
溶解在另一个物质中的物质的浓度差异越大,其扩散速度就越快。

2、环境温度
如果环境温度较高,扩散速度就会加快;反之,如果环境温度较低,则扩散速度会减慢。

3、物质的质量
分子质量越小的物质,扩散速度越快。

4、扩散的距离
扩散的距离越短,扩散速度越快;反之,则扩散速度会减慢。

三、扩散的应用
1、生物体内
在生物体内,溶解扩散起着重要的作用。

生物体内有许多化学反应都是在细胞内进行的,这些反应需要有氧气和营养物质为支持,而氧气和营养物质就是通过溶解扩散到细胞内完成的。

2、合金制造
在合金制造中,金属元素的溶解扩散对于合金的形成和性能有着重要的影响。

通过控制分子的扩散速度和扩散距离,可以获得合金材料中所需要的特定性能。

3、制备纳米材料
制备纳米材料也经常要利用溶解扩散技术。

通过控制溶剂中的物质浓度,可以使小颗粒逐渐形成较大的颗粒,从而制备出纳米材料。

总之,溶解扩散原理是一个普遍存在的物理现象,我们可以通过掌握其相关知识来更好地理解和利用这种现象,从而开展更多的科研和生产活动。

扩散传质的物理原理应用

扩散传质的物理原理应用

扩散传质的物理原理应用一、扩散传质的基本概念扩散传质是指物质在混合体系中由高浓度区向低浓度区传播的过程。

其基本原理是分子之间的热运动使得高浓度区的分子自发地向低浓度区扩散。

扩散传质在许多领域中都有重要的应用,如材料科学、化学工程、生物医学等。

二、扩散的物理原理扩散的物理原理可以用布朗运动模型来解释。

布朗运动是指在液体或气体中,微观粒子由于受到周围分子的碰撞而发生的无规则运动。

在布朗运动中,微观粒子的位置在长时间的平均下,呈现出无规则的变动。

扩散传质中,扩散的速率与温度、浓度梯度和物质的分子大小有关。

三、扩散传质的应用1. 材料科学中的扩散在材料科学中,扩散传质是一种重要的质量传递方式。

通过控制材料中的扩散过程,可以改变材料的物理、化学性质,从而实现材料的功能改造。

例如,在金属材料中,通过控制金属原子之间的扩散可以改变材料的硬度、导电性等性质。

2. 化学工程中的扩散在化学工程中,扩散传质是许多反应过程中的重要步骤。

通过扩散传质的控制可以调节反应的速率、选择性等。

例如,在化学反应中,扩散传质可以影响反应物的扩散到反应物表面的速率,从而影响反应的进行。

3. 生物医学中的扩散在生物医学中,扩散传质的应用非常广泛。

扩散在生物体内起着重要的作用,包括氧气的吸收、二氧化碳的排出、药物的传输等。

通过扩散传质的研究,可以更好地理解生物体内物质传输的机理,从而指导医学领域的治疗和药物设计。

4. 环境保护中的扩散在环境保护领域,扩散传质有着重要的应用。

例如,在大气污染控制中,通过分析和模拟空气中污染物的扩散过程,可以确定对污染源的控制策略。

此外,在水体中的污染物的扩散过程中,也需要考虑扩散传质的影响。

四、总结扩散传质是一种重要的质量传递方式,其基本原理是分子之间的热运动导致物质自发地从高浓度区向低浓度区扩散。

扩散传质在众多领域中有着广泛的应用,包括材料科学、化学工程、生物医学和环境保护等。

通过研究和控制扩散传质的过程,可以改变材料的性质、调节化学反应的速率、指导医学治疗和环境保护措施的制定。

九年级物理扩散知识点

九年级物理扩散知识点

九年级物理扩散知识点物理扩散是指物质自高浓度区域向低浓度区域的自发性传递过程。

在九年级物理学中,学生需要学习掌握物理扩散的基本原理和相关概念。

本文将为您详细介绍九年级物理扩散的知识点。

一、扩散的概念和特点扩散是指物质由高浓度区域向低浓度区域传播,使物质的浓度趋于均匀分布的过程。

它具有以下特点:1. 自发性:扩散过程是自发进行的,不需要外力干预。

2. 分子运动:扩散是由物质分子之间的碰撞引起的,分子具有热运动。

3. 高浓度向低浓度:扩散的方向是由高浓度区域向低浓度区域传播。

二、离子扩散离子是带电的原子或分子,离子扩散是指离子在溶液或气体中,由浓度较高的地方向浓度较低的地方传播的过程。

离子扩散受到扩散速率的影响,主要受以下几个因素的影响:1. 浓度差异:浓度差异越大,扩散速率越快。

2. 温度:温度升高,分子热运动加剧,扩散速率加快。

3. 分子大小:较小的离子扩散速率较快。

三、气体扩散气体扩散是指气体分子从高浓度区域向低浓度区域自发传播的过程。

它表现出一系列的规律:1. Graham定律:在相同的温度下,气体扩散的速率与其分子质量成反比。

2. 扩散速率与浓度成正比:浓度越高,扩散速率越快。

3. 温度与扩散速率正相关:温度升高,气体分子热运动增强,扩散速率加快。

四、液体中的扩散液体中的扩散与气体扩散不同,液体分子之间具有较强的相互作用力,扩散速率较慢。

液体扩散主要有以下形式:1. 二进和跃迁:溶质通过吸附剂催化剂上的表面通过氧化还原等反应实现扩散过程。

2. 渗透:液体溶质通过多孔质媒介中的孔隙传播和扩散。

五、扩散的应用扩散在生活和工业中有着广泛的应用,例如:1. 饮食烹饪中的调味品扩散:烹饪中的调味品通过扩散使食物更加美味。

2. 植物养分吸收:植物通过根部的扩散作用吸收土壤中的养分。

3. 工业领域的化学反应:许多工业化学反应中的扩散是反应进行的重要因素。

六、总结物理扩散是物质自发传播的过程,具有自发性、分子运动性和高浓度向低浓度等特点。

disco diffusion原理

disco diffusion原理

disco diffusion原理Disco扩散原理引言Disco扩散原理是一种常用于描述物质在液体或气体中扩散的理论。

该理论以分子间的碰撞和相互作用为基础,解释了物质在不同浓度区域之间的传播过程。

本文将详细介绍Disco扩散原理的基本概念、应用领域以及相关实例。

一、Disco扩散原理的基本概念1.1 分子间碰撞和相互作用Disco扩散原理认为,在液体或气体中,分子之间会发生碰撞和相互作用。

这些碰撞和相互作用导致分子的运动和传递,从而实现物质的扩散。

1.2 扩散速率Disco扩散原理中,扩散速率是一个重要的概念。

它表示单位时间内物质在单位面积上的传播量。

扩散速率与物质浓度梯度有关,浓度梯度越大,扩散速率越快。

1.3 扩散系数扩散系数是Disco扩散原理中的一个关键参数,它描述了物质在单位时间内通过单位面积的扩散量。

扩散系数与物质的性质、温度和介质的性质有关。

二、Disco扩散原理的应用领域2.1 化学反应中的扩散在化学反应中,反应物扩散到反应中心是一个重要的过程。

Disco 扩散原理可以用来描述反应物在溶液中的扩散过程。

通过研究扩散速率和扩散系数,可以推断出反应速率和溶液中各组分的浓度分布。

2.2 生物学中的扩散在生物学中,细胞内外的物质交换依赖于扩散过程。

Disco扩散原理可以用来解释细胞膜上物质的扩散和渗透过程。

通过研究扩散速率和扩散系数,可以揭示细胞内外物质交换的机制。

2.3 环境科学中的扩散Disco扩散原理在环境科学领域有广泛的应用。

例如,可以用来研究大气中污染物的扩散和传播过程;也可以用来分析水体中溶解物质的扩散和迁移规律。

这些研究有助于环境污染的治理和预防。

三、Disco扩散原理的实例3.1 气体扩散气体在容器中的扩散过程是Disco扩散原理的一个典型实例。

当容器中存在浓度梯度时,气体分子会从高浓度区域向低浓度区域扩散。

扩散速率和扩散系数可通过实验测量得到。

3.2 溶质扩散在溶液中,溶质的扩散过程也符合Disco扩散原理。

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扩散基本知识一、半导体基本知识太阳电池是用半导体材料硅做成的。

容易导电的是导体,不易导电的是绝缘体,即不像导体那样容易导电又不像绝缘体那样不容易导电的物体叫半导体,譬如:锗、硅、砷化缘等。

世界上的物体都是由原子构成的,从原子排列的形式来看,可以把物体分成2大类,晶体和非晶体。

晶体通常都有特殊的外形,它内部的原子按照一定的规律整齐地排列着;非晶体内部原子排列乱七八糟,没有规则;大多数半导体都是晶体。

半导体材料硅是原子共价晶体,在晶体中,相邻原子之间是以共用电子结合起来的。

硅是第四族元素,硅原子的电子层结构为2、8、4,它的最外层的四个电子是价电子。

因此每个硅原子又分别与相邻的四个原子形成四个共价键,每个共价键都是相邻的两个原子分别提供一个价电子所组成的。

如果硅晶体纯度很高,不含别的杂质元素,而且晶体结构很完美,没有缺陷,这种半导体叫本征半导体,而且是单晶体。

而多晶体是由许多小晶粒聚合起来组成的,每一晶体又由许多原子构成。

原子在每一晶粒中作有规则的整齐排列,各个晶粒中原子的排列方式都是相同的。

但在一块晶体中,各个晶粒的取向(方向)彼此不同,晶粒与晶粒之间并没有按照一定的规则排列,所以总的来看,原子的排列是杂乱无章的,这样的晶体,我们叫它多晶体。

半导体有很特别的性质:导电能力在不同的情况下会有非常大的差别。

光照、温度变化、适当掺杂都会使半导体的导电能力显著增强,尤其利用掺杂的方法可以制造出五花八门的半导体器件。

但掺杂是有选择的,只有加入一定种类和数量的杂质才能符合我们的要求。

我们重点看一下硼和磷这两种杂质元素。

硼是第三族主族元素,硼原子的电子层结构为2、3,由于硼原子的最外电子层只有三个电子,比硅原子缺少一个最外层电子,因此当硼原子的三个最外层价电子与周围最邻近的三个硅原子的价电子结合成共价键时,在与第四个最邻近的硅原子方向留下一个空位。

这个空位叫空穴,它可以接受从邻近硅原子上跳来的电子,形成电子的流动,参与导电。

硼原子在硅晶体中起着接受电子的作用,所以叫硼原子为受主型杂质。

掺有受主型杂质的半导体,其导电率主要是由空穴决定的,这种半导体又叫空穴型或P型半导体。

磷是周期表中第五族元素,磷原子的电子层结构为2、8、5,它的最外层的五个电子是价电子。

由于磷原子比硅原子多一个最外层电子,因此当磷原子的四个价电子与周围最邻近的四个硅原子的价电子形成共价键后,还剩余一个价电子。

这个价电子很容易成为晶体中的自由电子参与导电。

磷原子在硅晶体中起施放电子的作用,所以叫磷原子为施主型杂质。

掺有施主型杂质的半导体,其导电率主要是由电子决定的,这种半导体又叫电子型半导体或n型半导体。

二、扩散基本知识我们知道,太阳能电池的心脏是一个PN结。

我们需要强调指出,PN结是不能简单地用两块不同类型(p型和n型)的半导体接触在一起就能形成的。

要制造一个PN结,必须使一块完整的半导体晶体的一部分是P型区域,另一部分是N型区域。

也就是在晶体内部实现P型和N型半导体的接触。

我们制造PN结,实质上就是想办法使受主杂质在半导体晶体内的一个区域中占优势(P型),而使施主杂质在半导体内的另外一个区域中占优势(N型),这样就在一块完整的半导体晶体中实现了P型和N型半导体的接触。

我们制作太阳电池的多晶硅片是P型的,也就是说在制造多晶硅时,已经掺进了一定量的硼元素,使之成为P型的多晶硅。

如果我们把这种多晶硅片放在一个石英容器内,同时将含磷的气体通入这个石英容器内,并将此石英容器加热到一定的温度,这时施主杂质磷可从化合物中分解出来,在容器内充满着含磷的蒸汽,在硅片周围包围着许许多多的磷的分子。

我们用肉眼观察硅片时,认为晶片是密实的物体,实际上硅片也是像海绵一样充满着许多空隙,硅原子并不是排列得非常严实,它们的之间存在着很大的缝隙。

因此磷原子能从四周进入硅片的表面层,并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散。

当硅晶体中掺入磷后,磷原子就以替代的方式占据着硅的位置。

理想晶体中原子的排列是很整齐的,然而在一定的温度下,构成晶体的这些原子都围绕着自己的平衡位置不停地振动,其中总有一些原子振动的比较厉害,可以具有足够高的能量,克服周围原子对它的作用,离开原来的位置跑到其它地方去,这样就在原来的位置上留下一个空位。

替位或扩散是指杂质原子进入晶体后,沿着晶格室位跳跃前进的一种扩散。

这种扩散机构的特征是杂质原子占据晶体内晶格格点的正常位置,不改变原材料的晶体结构。

在靠近硅晶片表面的薄层内扩散进去的磷原子最多,距表面愈远,磷原子愈少。

也就是说,杂质浓度(磷浓度)随着距硅表面距离的增加而减少。

从以上分析中我们可以看到,浓度差别的存在是产生扩散运动的必要条件,环境温度的高低则是决定扩散运动快慢的重要因素。

环境温度愈高,分子的运动越激烈,扩散过程进行得就越快。

当然,扩散时间也是扩散运动的重要因素,时间愈长,扩散浓度和深度也会增加。

硅晶片是P型的,如果扩散进去的磷原子浓度高于P型硅晶片原来受主杂质浓度,这就使得P 型硅晶片靠近表面的薄层转变成为N型了。

由于愈靠近硅晶片表面,硼原子的浓度愈高,因此可以想象:在距离表面为Xj的地方,那里扩散进去的磷原子浓度正好和硅晶体中原来的硼原子浓度相等。

在与表面距离小于Xj的薄层内,磷原子浓度高于原来硅晶片的硼原子浓度,因此这一层变成了N型硅半导体。

在与表面距离大于Xj的地方,由于原来硅晶片中的硼原子浓度大于扩散进去的磷原子浓度,因此仍为P型。

由此可见,在与表面距离Xj处,形成了N型半导体和P型半导体的交界面,也就是形成了PN结。

Xj即为PN结的结深。

这样我们就可以利用杂质原子向半导体晶片内部扩散的方法,改变半导体晶片表面层的导电类型,从而形成P、N结,这就是用扩散法制造P-N结的基本原理。

三、液态源磷扩散原理太阳电池制造工艺中,磷扩散一般有三种方法,一是三氯氧磷(POCl3)液态源扩散,二是喷涂磷酸水溶液后链式扩散,三是丝网印刷磷浆料后链式扩散。

本公司目前采用的是第一种方法。

POCl3是目前磷扩散用得较多的一种杂质源,它是无色透明液体,具有刺激性气味。

如果纯度不高则呈红黄色。

其比重为1.67,熔点2℃,沸点107℃,在潮湿空气中发烟。

POCl3很容易发生水解,POCl3极易挥发,高温下蒸气压很高。

为了保持蒸气压的稳定,通常是把源瓶放在0℃的冰水混合物中。

磷有极毒,换源时应在抽风厨内进行,且不要在尚未倒掉旧源时就用水冲,这样易引起源瓶炸裂。

POCl 3在高温下(>600℃)分解生成五氯化磷(PCl 5)和五氧化二磷(P 2O 5),其反应式如下:5POCl 3 3PCl 5 + P 2O 5 生成的P 2O 5在扩散温度下与硅反应,生成二氧化硅(SiO 2)和磷原子,其反应式如下:2P 2O 5 + 5Si 5SiO 2 + 4P由上面反应式可以看出,POCl 3热分解时,如果没有外来的氧(O 2)参与其分解是不充分的,生成的PCl 5是不易分解的,并且对硅有腐蚀作用,破坏硅片的表面状态。

但在有外来O 2存在的情况下,PCl 5会进一步分解成P 2O 5并放出氯气(Cl 2)其反应式如下:4PCl 5 +5O 2 2P 2O 5 +10Cl 2生成的P 2O 5又进一步与硅作用,生成SiO 2和磷原子,由此可见,在磷扩散时,为了促使POCl 3充分的分解和避免PCl 5对硅片表面的腐蚀作用,必须在通氮气的同时通入一定流量的氧气,在有氧气的存在时,POCl 3热分解的反应式为:4 POCl 3 + 3O 2 2P 2O5 + 6Cl 2POCl 3分解产生的P 2O 5淀积在硅片表面,P 2O 5与硅反应生成SiO 2和磷原子,并在硅片表面形成一层磷-硅玻璃,然后磷原子再向硅中进行扩散,反应式如前所示:2P 2O 5 + 5Si 5SiO 2 + 4PPOCl 3液态源扩散方法具有生产效率较高,得到PN 结均匀、平整和扩散层表面良好等优点,这对于制作具有大的结面积的太阳电池是非常重要的。

四、POCl 3液态源扩散装置磷扩散装置如附图4-1所示,这里有几点说明。

如图所示除了磷扩散外,还有一个TCA 瓶,这是用于清洗石英管道而设置的。

其基本原理是:1:1:1三氯乙烷(C 2H 3Cl 3)高温氧化分解,产生的氯分子与重金属原子化合后被气体带走,达到清洗石英管道的目的。

其反应式为:C 2H 3Cl 3 + O 2 Cl 2 + H 2O + CO 2 +……磷扩散源是无色透明有窒息性气味的毒性液体,所以要求扩散系统必须有很高的密封性,特别是源瓶进出口两端最好用聚四氟乙烯来连接,若用其它塑料管或乳胶管连接时易被腐蚀,需要经常更换新管。

接口处用聚四氟带封闭,由系统流出的气体应通进排风管道连接到室外,不能泄露在室内。

源瓶要严加密封,切勿让湿气进入源瓶,因为POCl 3易吸水汽而变质,使扩散表面浓度上不去,其反应式如下: 2POCl 3 + 3H 2O P 2O 5 + 6HCl所以如果发现POCl 3出现淡黄色时就不能再用了。

磷扩散的系统应保持清洁干燥,如果石英管内有水汽存在,就会使管内P 2O 5水解生成偏磷酸(HPO 3),使管道内出现白色沉积物和粘滞液体,石英舟容易粘在管道上,不易拉出。

因此对扩散气体脱水是十分重要的。

>600℃ 过量氧加热五、TCA工艺12、TCA清洗:石英管清洗后,采用TCA清洗。

平时生产中也要三天做一次TCA清洗。

当炉温升至预定温度(1050℃)后直接运行TCA工艺,直至TCA+饱和工艺结束。

六、扩散层薄层电阻在太阳电池扩散工艺中,扩散层薄层电阻是反映扩散层质量符合设计要求与否的重要工艺指标之一。

对应于一对确定数值的结深和薄层电阻,扩散层的杂质分布是确定的。

也就是说,把薄层电阻的测量同结深的测量结合起来,我们就能够了解到扩散入硅片内部杂质的具体分布。

深入了解薄层电阻的定义和测试方法,对我们控制扩散条件和提高产品质量具有十分现实的意义。

1、薄层电阻的定义扩散层的薄层电阻也称方块电阻,常分别用Rs和R口表示。

所谓薄层电阻,就是表面为正方形的半导体薄层在电流方向(电流方向平等于正方形的边,见图6-1)所呈现的电阻。

我们知道金属导体的电阻公式R=ρl /s,R是电阻,ρ电阻率,s面积,l长度。

与之类似薄层电阻的大小应为:Rs=ρl / lXj=ρ/Xj ,可见,薄层电阻的大小与薄层的平均电阻率成正比,与薄层的厚度成反比(一般电阻的大小与边长成正比),而与正方形的边长无关,其单位为欧姆。

为了表示薄层电阻不同于一般电阻,其单位常用[欧姆/方块]或[Ω/口]表示。

2、扩散层薄层电阻的测试目前生产中,测量扩散层薄层电阻广泛采用四探针法。

测量装置示意图如图6-2所示。

图中直线陈列四根金属探针(一般用钨丝腐蚀而成)排列在彼此相距为S一直线上,并且要求探针同时与样品表面接触良好,外面一对探针用来通电流、当有电流注入时,样品内部各点将产生电位,里面一对探针用来测量2、3点间的电位差。

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