七星电子流量计 D07-60B中文使用手册
电磁流量计操作方法
电磁流量计操作方法
1、检查流量计并调整流量计流量归零，具体步骤为：
1)、将电磁流量计的管道中充满介质（工艺水），关闭电磁流量计两端的阀门，使介质在管道中处于满管静止状态。
2）、进入电磁流量计转换器菜单，参照电磁流量计使用说明书查看各菜单内容是否符合初始设定（不能排除电磁流量计在使用中被其他人员将参数调整），并将流量零点修正为±0.0000。
2、全部开启进水阀门，保证管道中工艺水充满管道和流量计。
3、半开进入反应釜内出水阀，保证工艺水经过管道和流量计流速正常。
4、观察瞬时流量计量变化，如果平稳可以逐步开大出水阀。
5、每月对流量计计量进行核准，如出现偏差较大应通知机修清洁电极，并检查电极有没有损伤。
本操作手册包含重要的流量计使用和操作信息请仔细阅读以
本操作手册包含重要的流量计使用和操作信息，请仔细阅读以使你的流量计发挥最佳性能，防止流量计损坏和不正当使用。
本操作手册将以循序渐进的方式介绍如何使用流量计，由流量计的产品组成开始，安装、接线、快速设置，让你很容易的使用流量计。
通过了解更多的菜单设置，让流量计强大的功能选项和输出功能满足你的更高要求。
警告本手册上及流量计上带有“警告标志”或“警告”是指：如果不遵守有关要求、不采取相应措施，就存在着造成人身伤害或损坏流量计的潜在危险。
注意本手册上及流量计上带有“注意标志”或“注意”是指：如果不遵守有关要求、不采取相应措施，就存在着损坏流量计或导致流量计不能正常测量的潜在危险。
本说明书中的一些内容可能与你购买的流量计不同，取决于选购时的配置要求；另一方面由于产品的设计更改和升级需要，在说明书中没有注明，请留意版本号以及增加的附页说明。
产品组成请在安装流量计之前检查备件是否与装箱清单内容相符，确保不存在潜在的损坏、螺丝脱落等，如有任何疑问，请及时与供应商联系。
目录1.变送器的安装和接线 (5)1.1.检查变送器安装 (5)1.2.电源接线 (5)1.2.1. 电源类型 (5)1.2.2. 变送器接线 (6)1.3.通电 (6)1.4.键盘 (7)1.5.键盘操作方法 (7)1.6.流量计菜单简介 (8)2.快速设定菜单说明 (8)3.选择测量点 (10)4.传感器安装 (11)4.1.传感器安装注意事项 (11)4.1.1. 安装间距 (11)4.1.2. 传感器的安装类型 (11)4.1.3. V 型 (11)4.1.4. Z 型 (11)4.1.5. N 型（不常用） (12)4.1.6. W 型（很少用） (12)4.2.安装检查 (12)4.2.1. 信号强度 (12)4.2.2. 信号质量（Q 值） (13)4.2.3. 总传输时间、时差 (13)4.2.4. 传输时间比 (13)4.2.5 安装时需注意的问题 (13)5.操作说明 (14)5.1.系统工作状态判断 (14)5.2.零点切除 (14)5.3.零点设置 (14)5.4.仪表系数 (14)5.5.密码保护 (14)5.6.4~20M A电流环输出（可选） (15)5.7.频率输出 (15)5.8.恢复出厂设置 (15)5.9.4-20M A电流环输出校准 (15)5.10.序列号 (16)6.菜单菜单介绍 (17)6.1.菜单一览表 (17)6.2.菜单详解 (17)7.故障分析 (27)7.1.表1.上电自检信息、原因及对策 (27)7.2.表2.工作错误代码原因及对策 (27)7.3.问题回答 (28)8.产品概述 (29)8.1.产品介绍 (29)8.2.产品特点 (29)8.3.技术指标 (29)附录–联网使用及通讯协议 (31)1.概述 (31)2.RS-485连接 (31)3.通讯协议及其使用 (31)3.1.基本命令 (31)3.2.功能前缀和符号 (32)更新信息：_________________________________________________________________________________________ _________________________________________________________________________________________ _________________________________________________________________________________________ _________________________________________________________________________________________1.变送器的安装和接线你能发现包装中有一张“安装图”用5.5mm的钻头，钻4个安装孔（如右图）。
质量流量计简明使用手册
P/N2007年7月简明使用手册目录第一章传感器安装 (3)1.1概述 (3)1.2安装注意事项 (3)1.3传感器的安装方向 (4)1.4电气连接注意事项 (5)第二章仪表接线与上电 (6)2.1概述 (6)2.2变送器的型号识别。
(6)2.3变送器与传感器连接 (7)2.4最大布线距离 (8)2.5电源规格 (9)2.6变送器、显示组件方向调整 (10)2.7变送器输出 (12)第三章流量计组态 (15)3.1概述 (15)3.2组态项目 (15)3.3变送器的显示器面板结构 (16)3.4组态过程变量的测量单位 (16)3.5组态变送器的毫安输出 (17)3.6组态变送器的脉冲/频率输出 (17)3.7变送器的回路测试 (18)3.8 显示器菜单功能 (3)3.9流量计调零 (27)第四章流量计投用及报警状态 (28)4.1流量计投用 (28)4.2获取报警 (28)附录1报警代码含义表 (29)附录2核心处理器检查 (34)附录3传感器检查 (35)附录4软件版本4.x变送器的显示器菜单 (37)第一章传感器安装1.1 概述相对于其他类型的流量计，质量流量计具有安装简便、易于使用、测量精度高以及直接质量测量等优点，尤其是没有直管段要求的特点，用户可因地制宜的选择安装位置，节约安装成本。
1.2 安装注意事项1.2.1 安装位置应避免电磁干扰。
传感器、变送器的安装位置以及电缆铺设应尽量远离易产生强电磁场的设备，如大功率马达、变压器设施、变频设备等。
1.2.2 工艺管道应对中，两侧法兰应平行。
严禁用传感器硬行拉直上、下游工艺管道，否则将影响测量甚至损坏传感器。
另外在两侧的工艺管道近法兰处（约2～10倍管径处）应有稳固的支撑。
1.2.3 在传感器的上、下游管道上，建议安装截止阀及旁路以方便调零、日常维护及确保传感器在不工作时亦可处于满管状态。
使用流量计下游的调节阀进行流量控制。
1.2.4 在测量易汽化介质时，流量计下游建议安装压力表，供检查下游压力，流量计后建议工艺管与流量计保持同口径一段距离，以及流量计后有阀门可以用以调节适当的背压，防止汽化或气穴发生。
七星电子流量计 CS200产品使用手册(A,C,D)(+profibus+0-20ma)(su)
输入信号
输出信号 零漂 电源 表面化学成分 表面粗糙度
标准接头形式
电源接头形式 重量
CS200-A
CS200
CS200-C
CS200-D
常开(流量规格≤30SLM) 或常闭
无
常开或常 闭
无
常开或常闭
无
(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
北京七星华创电子股份有限公司
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1.2 使用须知
尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的 CS 系列气体质量流量控制器/质量流量计产品。 本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。
产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有 标 志的文字及注意事项中包含的所有内容。
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i）请使产品在安全入口压力下工作 请勿使仪器的入口压力超出最大工作压力（请参阅产品说明书中的最大工作压力） j）请使整个系统远离污染 系统在运行过程中，请勿使用含有污染物的气体。如气体中含有灰尘、污垢、纤维、玻 璃碎片或者铁屑等。 k）请预热仪器后再使用 请预热后再使用，尤其是危险气体，更加应该注意。请使用绝对关闭的阀以确保在预热 过程中不会有错误的流量通过。
1.4 概述
气体质量流量控制器（MFC）和气体质量流量计（MFM）用于对气体的质量流量进行 精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环 保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 集成电路工 艺设备, 如外延炉、扩散炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机; 以及镀膜设备、 光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及 其它分析仪器。
北京七星华创电子 D08-2B、D08-3B、D08-4B 型 流量显示仪 说明书
D08-2B、D08-3B、D08-4B型流量显示仪使 用 手 册版号2 0 0 9 . 07目录1 用途和特点............................... 1 5.3 外控信号插座接线 (5)2 主要技术数据............................ 1 6 操作方法 (8)3 前后操作面板............................ 2 6.1 使用前的准备工作 (8)4 结构说明.................................. 3 6.1.1 显示仪各控制钮的状态 (8)4.1 ±15V电源............................... 3 6.1.2 电源线的连接 (8)4.2 +5.00V基准电源........................ 3 6.1.3 控制线的连接 (8)4.3 显示器..................................... 3 6.2 操作使用步骤. (8)4.4 阀控开关.................................. 3 6.2.1 开机 (8)4.5 调零电位器............................... 4 6.2.2 MFC（或MFM）调零 (8)4.6 设定电位器............................... 4 6.2.3 阀控开关置位 (8)4.7 电源开关.................................. 4 6.2.4 设定流量 (8)4.8 电源插座.................................. 4 6.2.5 关机 (8)4.9 保险丝盒.................................. 4 7 参数设置和更改 (9)4.10 内外设转换开关......................... 4 8 注意事项. (9)4.11 控制器信号插座........................... 4 8.1 禁止调整内部电位器 (9)4.12 外控信号插座............................ 5 8.2 接地问题 (9)4.13 铭牌........................................ 5 8.3 产品替换注意 (9)5 安装和接线............................... 5 9 选型与订货规格填写 (10)5.1 外形和安装尺寸......................... 5 9.1 显示仪选型表 (10)5.2 与MFC（或MFM）插座接线......... 5 9.2 标准订单填写格式.. (11)D08 SERIES FLOW READOUT BOXES第 1 页 共 11 页D08-2B 、D08-3B 、D08-4B 型流量显示仪使用手册1. 用途和特点流量显示仪用于为气体质量流量控制器（MFC ）和质量流量计（MFM ）提供工作电源、操作控制、流量设定和流量数字显示等。
海尔电子H17075液氧流量计操作指南说明书
56Scaling With Known Loads (Continued)6.Press MENU to store I N!1. The unit displays:7.Press ᮣ/TARE. The unit displays the last setting for R D!1.8.Change R D!1as necessary:•Press ᮣ/TARE to scroll to the digit(s) you want to change(it flashes on the display).•Press ᮡ/MAX to change the value of the flashing digit. Valuescan range from 0 to 9. For the first digit, you can also enter aminus sign (–) or –1.9.Press MENU to store the value shown for R D!1.The unit displays:To identify the maximum known load (I N!2and R D!2):1.Apply the maximum known load (100%).2.Repeat steps 4–9 above, for I N!2and R D!2.Once you've completed all steps, the unit displays:To begin operation:Reinitialize the unit (press RESET twice orpress MENU until RST flashes on the display).When a numeric reading appears, the unit isoperational.Scaling Without Known LoadsFor 4-20 mA sensors, the values for the minimum and maximuminput loads are always as follows:•Minimum load (I N!1)— 2000•Maximum load (I N!2)— 9999.If your installation uses a different sensor type, you must calculatethe values for I N!1and I N!2before proceeding with the stepsbelow. Use the formula provided in the Operator's Manual.To define the minimum load (I N!1and R D!1):1.If it's not already shown, press MENU untilthe unit displays:2.Press ᮣ/TARE. The unit displays:It is the policy of OMEGA to comply with all worldwide safety and EMC/EMI regulations that apply.OMEGA is constantly pursuing certification of its products to the European New Approach Directives.OMEGA will add the CE mark to every appropriate device upon certification.The information contained in this document is believed to be correct, but OMEGA Engineering,Inc.accepts no liability for any errors it contains, and reserves the right to alter specifications withoutnotice.WARRANTY/DISCLAIMEROMEGA ENGINEERING, INC. warrants this unit to be free of defectsin materials and workmanship for a period of 61 months fromdate of purchase. OMEGA’s WARRANTY adds an additional one (1)month grace period to the normal five (5) year product warrantyto cover handling and shipping time. T his ensures that OMEGA’scustomers receive maximum coverage on each product.If the unit malfunctions, it must be returned to the factory for evalua-tion. OMEGA’s Customer Service Department will issue an AuthorizedReturn (AR) number immediately upon phone or written request.Upon examination by OMEGA, if the unit is found to be defective, itwill be repaired or replaced at no charge. OMEGA’s WARRANTY doesnot apply to defects resulting from any action of the purchaser, includ-ing but not limited to mishandling, improper interfacing, operationoutside of design limits, improper repair, or unauthorized modifica-tion. This WARRANTY is VOID if the unit shows evidence of havingbeen tampered with or shows evidence of having been damaged as aresult of excessive corrosion; or current, heat, moisture or vibration;improper specification; misapplication; misuse or other operatingconditions outside of OMEGA’s control. Components in which wearis not warranted, include but are not limited to contact points, fuses,and triacs.OMEGA is pleased to offer suggestions on the use of its vari-ous products. However, OMEGA neither assumes responsibil-ity for any omissions or errors nor assumes liability for anydamages that result from the use if its products in accordancewith information provided by OMEGA, either verbal or writ-ten. OMEGA warrants only that the parts manufactured bythe company will be as specified and free of defects. OMEGAMAKES NO OTHER WARRANTIES OR REPRESENTATIONS OFANY KIND WHATSOEVER, EXPRESSED OR IMPLIED, EXCEPTTHAT OF TITLE, AND ALL IMPLIED WARRANTIES INCLUDINGANY WARRANTY OF MERCHANTABILITY AND FITNESSFOR A PARTICULAR PURPOSE ARE HEREBY DISCLAIMED.LIMITATION OF LIABILITY: The remedies of purchaser setforth herein are exclusive, and the total liability of OMEGAwith respect to this order, whether based on contract, warran-ty, negligence, indemnification, strict liability or otherwise,shall not exceed the purchase price of the component uponwhich liability is based. In no event shall OMEGA be liable forconsequential, incidental or special damages.CONDITIONS: Equipment sold by OMEGA is not intended to be used,nor shall it be used: (1) as a “Basic Component” under 10 CFR 21 (NRC),used in or with any nuclear installation or activity; or (2) in medical appli-cations or used on humans. Should any Product(s) be used in or withany nuclear installation or activity, medical application, used on humans,or misused in any way, OMEGA assumes no responsibility as set forthin our basic WARRANT Y/DISCLAIMER language, and, additionally,purchaser will indemnify OMEGA and hold OMEGA harmless from anyliability or damage whatsoever arising out of the use of the Product(s)in such a manner.RETURN REQUESTS/INQUIRIESDirect all warranty and repair requests/inquiries to the OMEGACustomer Service Department. BEFORE RE URNING ANYPRODUC(S) O OMEGA, PURCHASER MUS OB AIN ANAUTHORIZED RETURN (AR) NUMBER FROM OMEGA’S CUSTOMERSERVICE DEPART MENT (IN ORDER T O AVOID PROCESSINGDELAYS). T he assigned AR number should then be marked on theoutside of the return package and on any correspondence.FOR WARRANTY RETURNS,please have the followinginformation available BEFOREcontacting OMEGA:1. Purchase Order numberunder which the productwas PURCHASED,2.3.Model and serial number of theproduct under warranty, andRepair instructions and/orspecific problems relativeto the product.FOR NON-WARRANTY REPAIRS,consult OMEGA for current repaircharges. Have the followinginformation available BEFOREcontacting OMEGA:1.P urchase Order number to coverthe COST of the repair orcalibration,2.3.Model and serial number of theproduct, andR epair instructions and/or specificproblems relative to the product.OMEGA’s policy is to make running changes, not model changes,whenever an improvement is possible. This affords our customersthe latest in technology and engineering.OMEGA is a trademark of OMEGA ENGINEERING, INC.© Copyright 2018 OMEGA ENGINEERING, INC. All rights reserved.T his document may not be copied, photocopied, reproduced,translated, or reduced to any electronic medium or machine-readableform, in whole or in part, without the prior written consent of OMEGAENGINEERING, INC.MQS3597/0918DP25B-EProcess Panel Meter***********************The information contained in this document is believed to be correct, butOMEGA accepts no liability for any errors it contains, and reserves the right toalter specifications without notice.Servicing North America:U.S.A. Omega Engineering, Inc.Headquarters: Toll-Free: 1-800-826-6342 (USA & Canada only)Customer Service: 1-800-622-2378 (USA & Canada only)Engineering Service: 1-800-872-9436 (USA & Canada only)Tel: (203) 359-1660 Fax: (203) 359-7700e-mail:**************For Other Locations Visit /worldwideFor complete product manual:/manuals/manualpdf/M3597.pdfUsing This Quick Start ManualUse this Quick Start Manual to set up your Process Meter and begin operation. Information is provided on how to:•Connect ac power •Set basic options for operation Connect the sensor •Scale the meter.Features with are for the “B” version which has three-colorthe “B” version.This Quick Start Manual includes specific configurationparameters for transducers with an output range of 4–20 mA and 24 V excitation. Other sensor types may require different parameters or additional ones. When this is the case, we refer you to the Operator's Manual for detailed instructions.1.Remove the panel at the back of the unit.2.Locate the TB1 connector.3.Insert the correct wire in each terminal as shown in the following figure and tighten the lockdown screws.4.Tug gently on the wires to verify the connections.External Fuse Required:Time-delay, UL 248-14 listed Time-lag, IEC 127-3 recognized175 mA (115 Vac line)125 mA (115 Vac line)80 mA (230 Vac line)63 mA (230 Vac line)AC Powered Unit Connections234To Set the Input Type1.Press MENU until the unit displays:2.Press ᮣ/TARE . The unit displays:3.For this application you want 0-20. If 0-20is not displayed,press ᮡ/MAX until it appears. Other choices are 100M , 50M ,10V and 5V .Refer to the Operator's Manual for more information on changing ranges.4.Press MENU to select the sensor shown. The meter displays the next menu item. If you changed input type, the meter displays:To Set the Decimal Point1.If it's not already shown, press MENU until the unit displays:2.Press ᮣ/TARE . The unit displays:。
DO7传感器操作手册说明书
DO7传感器操作手册Ver17.05目录1.综述 (2)1.1原理介绍 (2)1.2优势 (2)1.3应用： (2)1.4测量的影响因素 (2)2.技术规格 (3)3.认证 (4)4尺寸和接线图 (4)4.1尺寸图 (4)4.2接线图 (4)5.安装 (5)5.1安装位置要求 (5)5.2浸没式安装 (5)6维护 (6)6.1概述 (6)6.2膜帽更换 (6)7.故障排除 (7)1.综述1.1原理介绍DO7基于“荧光淬灭”原理来测量水中氧的含量。
暴露在测量介质中的探头荧光指示部分是一种特殊的铂卟啉复合物，将该物质嵌入具有气体透过性的金属薄片中。
外表涂覆一层黑色涂层来保护该复合物远离阳光和介质中的颗粒物。
这种敏感性金属薄片通过螺纹固定板推向蓝宝石窗口。
调制的绿色光源激发敏感盘片产生荧光，返回的红光与激发光源有一定相位差。
荧光的持续时间，强度依赖于环境中的氧含量。
氧气含量越少，响应时间和强度约大。
反过来，较高的氧含量会猝熄荧光，使响应时间和强度变得比较小。
DO7传感器利用相位差值来计算测量介质中的氧含量。
测量信号通过传感器进行连续的检测和分析，在计算中，水温和压力被包含进去。
数字化通讯在传感器和变送器之间提供无故障的通讯，这可以避免在现场常见的电磁噪声干扰。
1.2优势(1)光学技术：DO7使用ASTM D-888-5国际通用冷光源技术，不需要频繁校正且功耗很低。
传感器满足绝大多数的现场使用要求。
测量过程中不消耗氧气，可以精确测量。
特别适合低氧量使用。
(2)数字技术：智能化的DO7将校正和历史数据存储在传感器中，允许用户不用校正就可以即插即用。
由于使用通用的RS485MODBUS协议，此传感器可以与多种通用设备连接。
如数据记录仪，GDC通用变送器，远程系统等。
1.3应用：DO7设计用于连续测量水中的溶解氧，典型应用包括：曝气池氧气的测量和控制污水厂排放中氧含量的监测公共水源地氧含量的测量和控制鱼塘氧含量的测量和控制饮用水的氧含量测量和控制传感器适用于大部分的水质测量。
智能涡街流量计使用说明书(三线制)
智能涡街流量计使用说明书目录一，产品概述二，测量原理三，结构与技术参数四，流量计的选型五，流量计的安装六，流量计的电气连接七，故障排除与日常维护一、 产品概述1． 概述涡街流量仪表是根据卡门涡街理论，利用了流体的自然振动原理，以压电晶体或差动电容作为检测部件而制成的一种速度式流量仪表。
该仪表具有无可动部件、测量范围度大、介质适应性广、测量精度高、检定周期长、传输信号距离远、压力损失小、结构简单、运行可靠、使用寿命长、安装维护方便等许多显著优点。
可广泛应用于石油化工、治金机械、食品、造纸，以及城市管道供热、供水、煤气等行业的各种液体、气体、蒸气等单相流体的工艺计量和节能管理。
2． 产品特点● 采用抗机械震动，抗冲击和抗脏污的结构新设计。
● 采用最先进的集成电路，信号处理精度高，高抗干扰性，可靠性高。
● 可选用加宽量程型号，获得优越的小流量性能和扩宽的流量范围。
● 可选用电容式流量计，抗震性能好，最高测量温度达到400 ℃。
二、 测量原理涡街流量计是由设计在流场中的旋涡发生体、检测探头及相关的电子线路等组成。
当液体流经三角柱形旋涡发生体时，它的两侧就成了交替变化的两排旋涡，这种旋涡被称为卡门涡街（图1）,在此基础上得出了频率与流体的流速的关系： F= St ×V/d式中：f ————————————涡街发生频率（Hz ）V ————————旋涡发生体两测的平均流速（m/s ）St-----------------------斯特罗哈尔系数（常数）这些交替变化的旋涡就形成了一系列替变化的负压力，该压力作用在检测深头上，便产生一系列交变电信号，经过前置放大器转换、整形、放大处理后，输出与旋涡同步成正比的脉冲频率信号（或标准信号）旋涡发生体探头交变力图1三、 结构与技术参数1． 流量计的结构形式流量计是由表体与检测放大器及连接这两部分的连接杆组成，表体及其组成部件和连接杆均由1Cr18Ni9Ti 不锈钢材质制成，具有防腐耐用之优点；仪表根据安装方式不同分三种结构形式，分别是满管式、简易插入式、球阀插入式，结构形式如下图所示：图2 结构示意图2．流量计的外形尺寸流量计表体屏蔽罩检测放大器连接导线图33、流量计的技术参数●测量介质：液体、气体、蒸汽●测量范围：（见表2）●公称通径：（见表2）非标产品可根据用户要求特殊定做●温度范围：压力式 -40℃~350℃电容式 -60℃~400℃●压力规格：PN1.6Mpa; PN2.5Mpa; PN4.0Mpa,更高的压力规格可特殊定做●范围度:正常范围1:10 扩展范围1:15●测量精度: 液体、气体示值±1%蒸汽示值±1.5%插入式流量计示值±2.5%参数公称通径（mm）H L15 290 6520 290 6525 290 6532 290 7040 293 7550 299 7565 307 7580 315 90100 325 90125 338 100150 351 120200 376 150250 400 160300 425 160●供电: 24VDC，6.14v锂电池●输出信号: 脉冲信号 4~20mA电流信号●充许振动加速度:电压式≤0.2g 电容式≤1.0g●环境温度: -40℃~55℃(非防爆场所) -20℃~55℃(防爆场所) ●环境湿度:相对湿度5~85%●大气压力:86~106Kpa●信号远传距离: ≤500m●信号线接口:内螺纹M20×1.5●防爆等级(ia)ⅡCT2-T5●防护等级：数量级IP65 潜水型IP68仪表材质：仪表外壳采用铝合金，表体部分采用1Cr18Ni9Ti不锈钢结构形式通径（mm）工况流量范围（m3/h）液体气体蒸汽满管式25 0．9-10 10-100 12-120 40 2．5-26 25-250 30-300 50 3．5-38 40-400 50-500 65 5．2-65 68-680 85-850 80 8-100 100-100 120-1200 100 12-150 160-1600 190-1900 125 20-250 230-2300 280-2800 150 32-380 380-3800 440-4400 200 50-620 670-6700 790-7900 250 80-1150 1060-10600 1200-12000 300 120-1300 1540-15400 1780-17800插入式400 180-2700 2700-27000 3200-32000 500 280-4200 4240-42400 4950-49500 600 410-6100 6100-61000 7100-71000 800 720-10800 10850-108500 12660-126600 1000 1130-16900 17000-170000 20000-200000 1200 1630-24400 24400-244000 28500-285000 1500 2550-38000 38200-382000 44500-445000四、流量计的选型1、选型表LUGB（E）□□-□-□□-□压电式/电容式涡街流量计型谱安装方式2 法兰卡装式3 简易插入式直径≥250mm可做插入式流量计4 球阀插入式被测介质2 液体3 气体4 蒸气（250℃以下）5 高温（350℃以下）高压蒸汽6 特高温（400℃以下）蒸汽（电容式）公称通径（mm）-02 25 -04 40 -05 50 -06 65 -08 80 -10 100 -12 125 -15 150 -20 200 -25 250 -30 300 -40 400 ：：-150 1500介质压力1．6Mpa-2 2．5Mpa-4 4．0Mpa以上输出信号脉冲频率信号D 4-20mADC标准信号特殊规格-F 分体式-B 本安防爆型-N 耐腐蚀型-Q 潜水型-X 现场显示型型谱举例：125口径压电式法兰卡装型涡街流量变送器，测量介质蒸汽，温度220度，压力0.8Mpa,仪表型号为LUGB24-12-D2、选型的方法仪表的选型是仪表应用中非常重要的工作，选型的正确与否直接影响仪表的计量精度。
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D07 – 60B/60BM 型质量流量控制器/流量计使 用 手 册2013 .6目录1. 用途和特点..............................1 6. 注意事项 (16)2. 主要技术指标...........................2 6.1 禁用流量介质 (16)3. 结构和工作原理........................3 6.2 使用腐蚀性气体问题 (16)3.1 结构.......................................3 6.3 阀口密封问题 (16)3.2 工作原理.................................3 6.4 阀控操作注意 (17)4. 安装和接线 ...........................4 6.5 安装位置问题 (17)4.1 外形及安装尺寸........................4 6.6 注意工作压差 (17)4.2 气路接头形式...........................9 6.7 标定和不同气体的换算 (17)4.3 连接电缆插头...........................10 6.8 D07-60B、60BM标准订单填写格式 (18)4.4 与计算机信号的连接..................117. 故障判断和处理 (21)4.5 调零和外调零...........................138. 保证、保修与服务 (23)5. 使用方法和操作步骤..................148.1 产品保证和保修.. (23)5.1 质量流量控制器的操作...............148.2 保修对使用的要求.. (23)5.1.1 开机操作..............................148.3 服务.. (23)5.1.2 清洗功能..............................159. 附录.. (25)5.1.3 显示仪与计算机连接的操作......159.1 气体质量流量转换系数 (25)5.1.4 直接与计算机连接的操作.........159.2 转换系数使用说明 (27)5.1.5 阀控功能 (15)5.1.6 关机操作 (15)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER第 1 页 共27页质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册1. 用途和特点质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM) 用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。
其典型的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD 、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
D07系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便, 可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。
D07-60B 质量流量控制器一般与D08系列流量显示仪等产品配套使用,控制器与显示仪之间用专用电缆连接(如图1所示)。
图 1. 质量流量计与流量显示仪配套使用第 2 页 共27页2. 主要技术指标： 表1. D07-60B 型MFC 性能指标编号 项 目 D07-60BD07-60BM1 流量规格 300，500，750，1000，1500，2000SLM2 准确度 ± 2% F.S3 线性 ±1% F.S4 重复精度 ±0.2%F.S5 响应时间 ＜ 10 sec6 工作压差范围(0.25 ~ 0.5) MPa （≤1000SLM ） (0.4 ~ 0.6) MPa （＞1000SLM ）＜0.2 MPa7 耐压3 MPa8 工作环境温度 5~ 45 ℃ 9 输入信号 0 ~ 5.00 V (输入阻抗大于 100K)无10 输出信号 0V ~ 5.00 V (输出电流≤3mA) 11 阀的类型 常闭 无12 电源 +15V 50 mA -15V 200 mA+15V 50 mA -15V 50 mA13 外形尺寸 见图3a 、3b 、3c 、3d14 重量6 kg5 kg注意:质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分); SLM (标准升/分) 标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ ); 气压 — 101325 Pa (760mm Hg) F.S (Full Scale): 满量程值第 3 页 共27页3. 结构和工作原理3.1 结构D07-60B 质量流量控制器由流量传感器, 分流器通道、流量控制阀及进出气接头和控制电路板等部件组成。
D07-60BM 与D07-60B 相比无流量控制阀。
3.2工作原理流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。
将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
分流器决定主通道的流量。
与之配套的D08流量显示仪上设置有稳压电源, 3位半数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。
D07-60B 质量流量控制器与流量显示仪连接后的工作原理如图2所示。
图2. 质量流量控制器原理第 4 页 共27页控制器输出的流量检测电压与流过通道的质量流量成正比, 满量程(F.S)流量检测输出电压为+5V 。
质量流量控制器的流量控制范围是(2~100)%F.S （量程比为50:1）, 流量分辨率是0.1%F.S 。
注意:当质量流量控制器的“阀控”线置于“清洗”位时，也可以当质量流量计使用。
在做流量计使用时，流量检测电压的输出值最大可能达+10V 以上，不过要注意，当流量超过满量程值（+5V）后，流量检测电压与通过的实际流量不成线性对应关系。
清洗时，流量显示不准确，还可能出现流量增大显示反而减小的异常现象，但并不会对流量计本身造成损伤。
控制操作一般在流量显示仪上进行。
当设定开关打到“内”设时, 由设定电位器控制流量; 当打到“外”设时, 由用户提供的设定信号控制流量。
在显示面板上还设置有三位阀门控制开关, 当置为“关闭”位时,阀门关闭; 当置为“清洗”位时,阀门开到最大,以便气路清洗，或作为流量计使用；当置于“阀控”时，质量流量控制器随设定信号自动控制流量。
4 安装和接线4.1 外形及安装尺寸:各型号产品的外形和安装尺寸如图3a 、3b 、3c 、3d 所示:第 5 页 共27页图 3a. D07-60B 质量流量控制器 1/2”双卡套/φ10双卡套接头外形尺寸第 6 页 共27页法兰接头 D K L DIN DN15- PN40 95 65 14 DIN DN20- PN40 105 75 14 DIN DN25- PN401158514图 3b. D07-60B 质量流量控制器法兰接头外形尺寸第 7 页 共27页图 3c. D07-60BM 质量流量计 1/2”双卡套/φ10双卡套接头外形尺寸第 8 页 共27页K 、D 、L 尺寸见图3b 附表图 3d. D07-60BM 质量流量计法兰接头外形尺寸注意:图中的高度152.8 mm 是不加电缆插头的高度,加上插头后的高度要再增加50mm左右。
4.2 气路接头形式可提供下列几种接头类型:表3. 接头规格一览表型号 双卡套接头 法兰接头D07-60B /60BM 1/2"(F.S.≤1000SLM)DINDN15-PN40 RFDINDN20-PN40RFDINDN40-PN40 RF0.5"ASNI150LBS RF0.5"ASNI300LBS RF1"ASNI150LBSRF1"ASNI300LBSRF φ10( F.S.=300SLM):第 10 页 共27页4.3 连接电缆插头质量流量控制器通过专用电缆与配套流量显示仪连接后, 即可通电通气工作。
D07-60B 质量流量控制器的插座接线见图5。
图 5. D07-60B 质量流量控制器接线图D07-60BM 质量流量计的插座接线无设定、阀电压，阀关闭、阀控，。
第 11 页 共27页4.4 与计算机或外部信号的连接a. 质量流量控制器通过流量显示仪与计算机(或其它外部信号)的连接方法, 见图6。
图6. 通过流量显示仪与计算机的连接若用户要检测流量输出信号(0V ～+5V)时, 将线引至显示仪外控信号插座的“流量检测”和“信号地”(0电平)线上即可，也可直接与计算机的模数(A/D)转换器连接，+5.00V 输出电压对应质量流量控制器满量程额定流量值。
注意，流量检测输出电流不大于3mA 。
若流量设定使用外部信号，应将设定选择开关打至“外”，并从显示仪上的外控信号插座送入0V ～+5.00V 外设电压。
若用户外接电位器设定,可以用一个3.3K 左右的多圈电位器, 将两端连接到外控信号插座“+5.00V ”和“信号地”上即可。
也可直接与计算机的数模(D/A)转换器连接，实现自动控制。
注意流量设定的输入阻抗大于100K Ω。
如果还需要计算机实现“阀控”线的关闭和清洗功能，可以用两个继电器的（两组）转换触点来实现。
一个继电器控制“关闭”，一个继电器控制“清洗”，两个继电器都不动作则为自动控制。
注意不能因两个继电器同时动作时引起电源短路, 推荐使用图7的继电器触点接线方式。
第 12 页 共27页b. 质量流量控制器直接与计算机连接的接线方法，见图7。
图7. 直接与计算机连接的接线方法如果是质量流量控制器直接与计算机连接，需要用户自己提供±15V 电源（要求电源抗干扰能力要强）；将“设定”线接计算机D/A 输出；将“流量检测”线接计算机A/D 输入端；“信号地”线接外部信号参考地；小电流地线“公共地”和大电流地线“电源地”，分别引线，一起接在±15V 电源的公共端。
如果需要计算机实现“阀控”、“关闭”和“清洗”功能，推荐使用图7的阀控线与继电器触点之间的接线方式。
第 13 页 共27页4.5 调零和外调零首次使用或工作一段时间后，若发现零点偏移, 可以调整。