设备自主点检管理制度

1.目的

为规范我厂设备自主点检工作，通过设备点检掌握设备运行状态，维持并改善设备的工作性能，预防安全事故发生，延长设备的使用寿命，特制定本管理制度。

2.定义

设备自主点检：即为自主保全，又分设备清扫和设备点检。设备自主点检指设备操作人员利用五感按规定标准、一定的周期对设备规定部位进行检查，以便早期发现设备缺陷，及时改善和修理，避免影响生产运行，增加维修费用，降低设备寿命等。

3.适用范围

本制度适用于硅片厂全部生产设备的点检管理。

4.制定设备自主点检标准

4.1设备的自主点检标准分为设备清扫标准和点检标准，设备班组根据生产环境，设备使用时间、设备实际状态等变化及时进行更新。

4.2点检标准内容：

1、设备点检的名称、项目及顺序、部位、周期

2、点检时设备正常判断标准

3、设备清扫方法及清扫工具

4、设备点检路线，及清扫人员分工

5.设备自主点检职责

5.1在当班时间内，按自主点检指导书实施点检作业，按《自主点检记录表》要求认真做好记录。

5.2当班时间内点检发现问题或隐患影响安全和生产时，能自行处理的要立即组织处理，或主动与维修人员联系协同处理，并做好记录。处理不了的应及时报告，并将发现问题、处理情况及处理人员认真记录。

5.3当班点检发现的问题未能处理的，必须向下一班交待清楚，不准隐瞒。

5.4当班时间内对于重点设备非关键部位存在的问题，因客观原因暂时解决不了而又不影响正常生产的，需上报工段和设备维修班组，经上级领导同意，并采取必要的预防措施，可维持运行。

5.5当班班长负责协助对当班时间内发生的设备事故进行事故调查和原因分析，并及

时组织、协调和配合处理。

5.6各岗位必须向工段点检责任人汇报每天的设备点检实绩情况，反馈当班时间内点检发现和存在的问题及处理建议。

5.7加强当班时间内的设备维护与保养，并按润滑标准进行润滑作业。

6.设备自主点检的要求

6.1点检主要依靠五感（视、听、嗅、味、触）对设备进行点检，点检内容按自主点检标准规定执行。

6.2设备的操作、维护要做到定机、定人，严格执行“三好”、“四懂”、“三会”规定，达到“四项要求”：

“三好”：管好、用好、修好；

“四懂”：懂原理、懂构造、懂用途、懂性能；

“三会”：会使用、会维护保养、会排除故障；

“四项要求”：稳定、润滑、安全、清洁。

6.3在岗位操作工点检时如果发现设备运行缺陷，有备台设备的，应经请示后立即切换备台设备，通知设备责任人或当班维修人员，岗位操作和维护人员能排除的应立即排除，并在《缺陷及六源跟踪处理单》做好记录。岗位操作人员无力排除的设备缺陷要详细记录并逐级上报，同时精心操作，加强观察，注意缺陷发展。未能及时排除的设备缺陷，必须及时召开设备缺陷专题会议研究决定如何处理。在安排处理每项缺陷前，必须有相应的措施，明确专人负责，防止缺陷扩大。

6.4操作工点检记录必须放在现场按时填写，当班班长或相关设备人员每天收集分析点检数据。

6.5记录存档，由硅片厂设备部进行整理存档，存档期限为一年。

7.设备自主点检记录

7.1设备的点检人要真实、完整的、按要求填写《自主点检记录表》，且不得随意更改（包括：乱涂、乱改等现象）。

7.2设备点检中发现设备不合理现象（缺陷）及六源要及时填写《缺陷及六源跟踪处理单》。

8 发现缺陷处理

点检发现问题及缺陷处理流程按设备缺陷及六源管理制度执行

9.量化考核

设备自主点检考核按设备量化考核制度执行。

10.其它

10.1本制度由设备部制定，其解释权、修改权归设备部。

10.2本制度从签订批准之日开始执行。

11.附录

附图1：设备自主点检管理流程

附表1：《缺陷及六源跟踪处理单》

附图1：

设备自主点检管理流程

附表1：

缺陷区分：（A）整理（B）整顿（C）微小缺陷（D）基本条件：清扫/注油/紧固; （E）困难部位（F）污染发生源;（G）不安全部位（H）其它

缺陷及六源跟踪处理单

工段