(完整版)材料表面改性习题整理答案

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表面工程习题

表面工程习题

名词解释1、表面重构:在平行基底的表面上,原子的平移对称性与体内显著不同,原子位置作了较大幅度的调整,这种表面结构称为重构。

2、离子镀:在真空料件下,利用气体放电使气体或被蒸发物质部分离化,在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时把蒸发物或其反应物沉积在基底上。

3、表面改性:采用某种工艺手段使材料表面获得与其基体材料的组织结构、性能不同的一种技术。

4、莱宾杰尔效应:受环境介质影响以致表面自由能的减少,从而导致固体材料的塑性、强度降低减小的现象。

5、等离子体:是一种电离度超过0.1%的气体,是离子、电子和中性粒子(原子和分子)所组成的集合体。

6、化学镀:在没有外电流通过的情况下,利用化学法使溶液中的金属离子还原为金属并沉积在金属表面,形成镀层的一种表面加工方法。

7、物理气相沉积:在真空条件下,利用各种物理方法,将镀料气化成原子、分子,或离子化为离子,直接沉积到基体表面的方法。

8、阳极氧化:是指在适当的电解液中,以金属为阳极,在外加电流的作用下,使其表面生成氧化膜的方法。

9、真空化学热处理:是在真空条件下加热工件,渗入金属或非金属元素,从而改变材料表面化学产能成分、组织结构和性能的热处理方法。

10、贝尔比层:固体材料经切削加工后,在几微米到几十微米的表层中,可能发生组织结构的剧烈变化,而最外的5-10nm 厚可能形成的一种非晶态层。

11、现代表面技术:为满足某种特定的工程需要,使金属表面或零件表面具有特殊的成分、结够、功能的物理化学方法与工艺。

12、磷化:把金属放入含有Mn\Fe\Zn 的磷酸盐溶液中进行化学处理,使金属表面生成一层不溶于水的磷酸盐保护膜的方法。

13、CVD: 在一定的真空度和温度下,将几中含有构成沉积膜层的材料元素的单质或化合物反应源气体,通过化学反应而生成固态物质幷沉积在基体上的成膜方法。

二、填空题1、CVD 分类,按综合分类为热激发CVD 、低压CVD 、等离子体CVD 、激光(诱导)CVD 、金属有机化合物CVD 等。

碳素材料表面改性方法考核试卷

碳素材料表面改性方法考核试卷
A.离子注入
B.激光表面处理
C.化学气相沉积
D.等离子体处理
3.碳素材料表面改性中,化学气相沉积(CVD)可以用于以下哪些过程?()
A.沉积金属涂层
B.制备碳纳米管
C.表面氧化处理
D.表面疏水性改性
4.以下哪些因素会影响碳素材料表面改性的效果?()
A.改性剂的种类
B.改性时间
C.改性温度
D.碳素材料的种类
13.以下哪些气体可以用于碳素材料的化学气相沉积(CVD)?()
A.甲烷
B.乙烯
C.乙炔
D.氮气
14.以下哪些方法可以用于碳素材料表面的光催化改性?()
A.离子注入
B.等离子体处理
C.化学气相沉积
D.激光表面处理
15.以下哪些方法属于碳素材料表面改性的化学方法?()
A.氧化还原处理
B.化学气相沉积
C.等离子体处理
碳素材料表面改性方法考核试卷
考生姓名:__________答题日期:__________得分:__________判卷人:__________
一、单项选择题(本题共20小题,每小题1分,共20分,在每小题给出的四个选项中,只有一项是符合题目要求的)
1.以下哪种方法不属于碳素材料表面改性的物理方法?()
4.氧气等离子体处理
5.硅烷偶联剂
6.化学气相沉积
7.硅烷偶联剂
8.碳纳米管复合
9.改性剂种类改性条件
10.磁控溅射
四、判断题
1. ×
2. √
3. ×
4. √
5. ×
6. ×
7. √
8. ×
9. √
10. ×
五、主观题(参考)
1.碳素材料表面改性的主要目的是提高其表面功能性,如润湿性、生物相容性和导电性等,这对于扩展其在不同领域的应用至关重要。

高分子材料改性(郭静主编)课后习题标准答案

高分子材料改性(郭静主编)课后习题标准答案

第一章绪论第二章高分子材料共混改性1.什么是相容性,以什么作为判断依据?是指共混无各组分彼此相互容纳,形成宏观均匀材料的能力,其一般以是否能够产生热力学相互溶解为判据。

2.反应性共混体系的概念以及反应机理是什么?是指在不相容或相容性较差的共混体系中加入(或就地形成)反应性高分子材料,在混合过程中(例如挤出过程)与共混高分子材料的官能团之间在相界面上发生反应,使体系相容性得到改善,起到增容剂的作用。

3.高分子材料体系其相态行为有哪几种形式,各自有什么特点,并举例加以说明。

(1)具有上临界混溶温度UCST,超过此温度,体系完全相容,为热力学稳定的均相体系;低于此温度为部分相容,在一定的组成范围内产生相分离。

如:天然橡胶-丁苯橡胶。

(2)具有下临界混溶温度LCST,低于此温度,体系完全相容,高于此温度为部分相容。

如:聚苯乙烯-聚甲基乙烯基醚、聚己内酯-苯乙烯/丙烯腈共聚物。

(3)同时出现上临界混溶温度UCST和下临界混溶温度LCST,如苯乙烯/丙烯腈共聚物-丁腈橡胶等共混体系。

(4)UCST和LCST相互交叠,形成封闭的两相区(5)多重UCST和LCST4.什么是相逆转,它与旋节分离的区别表现在哪些方面?相逆转(高分子材料A或高分子材料B从分散相到连续相的转变称为相逆转)也可产生两相并连续的形态结构。

(1)SD起始于均相的、混溶的体系,经过冷却而进入旋节区而产生相分离,相逆转主要是在不混溶共混物体系中形态结构的变化。

(2)SD可发生于任意浓度,而相逆转仅限于较高的浓度范围(3)SD产生的相畴尺寸微细,而相逆转导致较粗大的相畴,5.相容性的表征方法有哪些,试举例加以说明。

玻璃化转变法、红外光谱法、差热分析(DTA)、差示扫描量热法(DSC) 膨胀计法、介电松弛法、热重分析、热裂解气相色谱等。

玻璃化转变法:若两种高分子材料组分相容,共混物为均相体系就只有一个玻璃化温度,完全不溶,就有两个玻璃化温度,部分相容介于前两者之间。

高分子材料表面改性技术考核试卷

高分子材料表面改性技术考核试卷
答案:(请考生自行回答)
标准答案
一、单项选择题
1. C
2. B
3. A
4. D
5. A
6. C
7. B
8. C
9. C
10. B
11. A
12. D
13. D
14. C
15. C
16. A
17. C
18. A
19. B
20. B
二、多选题
1. ABCD
2. ABCD
3. AB
4. ABC
5. ABC
2.等离子体处理通过高能粒子轰击材料表面,产生活性位点,增强表面化学反应性,用于清洗、活化、交联等改性过程,提高材料表面性能。
3.化学气相沉积(CVD)技术在制备涂层中的应用包括热CVD、等离子体增强CVD等,通过气相反应在材料表面沉积薄膜,改变其表面特性。
4.表面改性在生物医学领域的应用如改善植入材料的生物兼容性,通过引入生物活性分子(如羟基、胺基等)减少蛋白质吸附和细胞粘附,降低炎症反应。
B.光刻技术
C.化学腐蚀
D.热压贴合
19.以下哪些改性剂常用于高分子材料表面的化学改性?()
A.酰化剂
B.磺化剂
C.硅烷偶联剂
D.表面活性剂
20.以下哪些技术可以用于高分子材料表面的功能性涂层制备?()
A.化学气相沉积
B.等离子体增强化学气相沉积
C.溶液涂层
D.热喷涂
三、填空题(本题共10小题,每小题2分,共20分,请将正确答案填到题目空白处)
8.以下哪些情况下需要高分子材料表面改性?()
A.提高粘接强度
B.改善抗污染性
C.减少表面缺陷
D.提高导电性
9.在进行高分子材料表面改性时,哪些因素需要重点考虑?()

《材料表面工程基础》课后习题目录及答案

《材料表面工程基础》课后习题目录及答案

《材料表面工程基础》课后习题目录及答案11.材料表面工程技术为什么能得到社会的重视获得迅速发展?2.表面工程技术的目的和作用是什么?3.为什么说表面工程是一个多学科的边缘学科?4.为什么会造成表面原子的重组?5.什么是实际表面?什么是清洁表面?什么是理想表面?6.常用的材料表面处理预处理种类及方法有哪些?7.热喷涂技术有什么特点?8.热喷涂涂层的结构特点是什么?其形成过程中经历了哪几个阶段?9.简单分析热喷涂涂层的结合机理?10.热喷涂只要有哪几种喷涂工艺?各有什么特点?11.热喷涂材料有哪几大类?热喷涂技术在新型材料开发方面可以做什么工作?12.镀层如何分类?怎样选择使用?13.金属电镀包括哪些基本步骤?说明其物理意义。

14.电镀的基本原理?15.共沉积合金的相特点有几种类型?16.电刷镀的原理及特点是什么?17.什么叫化学镀?实现化学镀过程有什么方式。

18.与电镀相比,化学镀有何特点?19.热浸镀的基本过程是什么?控制步骤是什么?其实质是什么?20.形成热浸镀层应满足什么条件?21.简述钢材热镀铝时扩散层的形成过程。

22.热镀铝的优缺点怎样?23.表面淬火与常规淬火的区别:临界温度上移、奥氏体成分不均匀、晶粒细化、硬度高、耐磨性好、抗疲劳强度高。

24.表面淬火层组成:淬硬区、过渡区和心部区。

25.硬化层厚度的测定:金相法和硬度法。

26.喷丸强化技术原理、特点、应用范围。

27.感应加热淬火原理、涡流、集肤效应。

28.工件感应加热淬火的工艺流程。

29.各种表面淬火的特点和应用范围。

《表面技术概论》习题30.什么是表面工程?表面工程技术的作用是什么?31.金属离子电沉积的热力学条件是什么?金属离子从水溶液中沉积的可能性取决于什么?32.什么是热喷涂技术?试简述热喷涂的特点。

33.热喷涂的涂层结构特点是什么?其涂层与基体的结合机理是什么?一般的等离子喷涂层不可能形成太厚的涂层,为什么?而HVOF技术则可以获得10余毫米厚的超厚涂层,又是为什么?34.化学镀的基本原理是什么?有哪些特点?35.材料表面工程技术是我校材料科学的学科优势之一?你对于我校材料表面技术的发展有什么想法和建议?1■■■■■■■■■■■■■■■524宿舍整理■■■■■■■■■■■■勿删■■■■■■■■■■■■36.材料表面耐腐蚀的技术有哪些?我国规定煤矿系统的井筒井架、电力塔架、广播发射塔等必须要进行钢结构长效防腐处理。

石材加工中的表面改性技术考核试卷

石材加工中的表面改性技术考核试卷
五、主观题(本题共4小题,每题10分,共40分)
1.请简述石材表面改性的主要目的及其在实际应用中的重要性。
2.描述热处理和化学镀层两种石材表面改性技术的原理,并比较它们的主要优缺点。
3.论述硅烷偶联剂处理在石材表面改性中的应用及其作用机理。
4.请结合实际案例,分析石材表面改性技术选择的关键因素,并说明如何根据石材的不同特性选择合适的改性技术。
A.提高耐化学性
B.改善附着力
C.提高装饰效果
D.提高耐磨性
15.以下哪些改性技术可以用于石材表面的纹理加深处理?( )
A.酸洗
B.热处理
C.磨料水射流
D.激光刻蚀
16.以下哪些因素会影响石材表面热处理的效果?( )
A.热处理温度
B.保温时间
C.石材的种类
D.加热速率
17.以下哪些改性技术可以提高石材的抗菌性?( )
1.以下哪种石材表面改性技术属于物理方法?( )
A.热处理
B.酸洗
C.激光刻蚀
D.化学镀层
2.通常用于提高石材耐磨性的表面改性技术是:( )
A.热喷涂
B.真空镀膜
C.硅烷偶联剂处理
D.水磨抛光
3.以下哪种方法不适用于石材表面的清洁处理?( )
A.蒸汽清洗
B.高压水射流
C.酸洗
D.火焰喷射
4.石材表面的火焰喷射改性主要应用在:( )
10.附着力测试
四、判断题
1. √
2. ×
3. √
4. √
5. ×
6. ×
7. √
8. ×
9. ×
10. ×
五、主观题(参考)
1.石材表面改性的主要目的是提高装饰性、功能性和使用寿命。在实际应用中,改性技术能够提升石材的耐磨、防滑、抗污染等性能,增强其市场竞争力,满足不同场合的使用需求。

电子材料表面改性考核试卷

电子材料表面改性考核试卷
四、判断题(本题共10小题,每题1分,共10分,正确的请在答题括号中画√,错误的画×)
1.电子材料表面改性只能提高材料的物理性能。()
2.等离子体处理可以在不损伤材料表面的情况下进行。()
3.纳米压印技术可以用于大规模生产纳米结构。()
4.磁控溅射只能在金属表面进行。()
5.激光熔覆是一种只能用于金属材料的表面改性技术。()
A.离子注入
B.热氧化
C.磁控溅射
D.激光烧蚀
12.以下哪些材料常用于电子材料表面改性的靶材?()
A.铜
B.铝
C.钛
D.金
13.电子材料表面改性中,以下哪些现象与离子注入法相关?()
A.表面硬度增加
B.表面电阻率降低
C.形成致密改性层
D.产生纳米结构
14.以下哪些方法可以用于电子材料表面改性的纳米级别的结构制备?()
9. C
10. C
11. D
12. D
13. B
14. D
15. A
16. C
17. D
18. A
19. A
20. D
二、多选题
1. ABC
2. ABCD
3. ABD
4. ABC
5. ABC
6. AC
7. ABCD
8. ABC
9. ABC
10. ABC
11. ABC
12. ABCD
13. ABC
14. ABCD
A.等离子体处理
B.硅烷偶联剂处理
C.长链脂肪酸修饰
D.金属涂层沉积
19.电子材料表面改性中,以下哪种现象与离子注入法相关?()
A.表面硬度增加
B.表面粗糙度增加
C.形成致密改性层

橡胶零件的表面改性技术考核试卷

橡胶零件的表面改性技术考核试卷
A.火焰处理
B.激光刻蚀
C.化学镀
D.离子注入
2.以下哪项不是橡胶表面改性的目的?()
A.提高耐磨性
B.提高抗老化性
C.降低耐水性
D.改善粘接性能
3.关于等离子体处理橡胶表面,以下说法正确的是?()
A.等离子体处理会使橡胶表面变硬
B.等离子体处理会降低橡胶的强度
C.等离子体处理可以增加表面的亲水性
D.等离子体处理对橡胶无任何影响
D.云母粉
16.通常情况下,橡胶表面改性后的储存要求不包括以下哪一项?()
A.避免高温
B.保持干燥
C.避免强光直射
D.储存在高湿度环境中
17.下列哪种改性方式可以增强橡胶与金属的粘接强度?()
A.火焰处理
B.紫外线处理
C.硅烷偶联剂处理
D.电晕处理
18.橡胶表面改性中,哪种处理通常不用于增加表面活性?()
D.激光刻蚀
3.硅烷偶联剂在橡胶表面改性中的应用包括哪些?()
A.提高与填料的结合力
B.改善粘接性能
C.提高抗水性
D.降低橡胶的强度
4.以下哪些因素会影响橡胶表面改性的效果?()
A.处理时间
B.处理温度
C.橡胶的品种
D.环境湿度
5.常见的橡胶表面改性填料有哪些?()
A.炭黑
B.氢氧化铝
C.硅藻土
D.玻璃微珠
A.提高硬度
B.改善颜色
C.提高耐磨性
D.提高抗拉强度
11.关于橡胶表面改性的化学方法,以下说法错误的是?()
A.可以提高橡胶的耐化学品性能
B.可以改变橡胶表面的物理状态
C.包括使用偶联剂或填充剂
D.通常不会影响橡胶的内部结构
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第六章热喷涂、喷焊与堆焊技术1.什么是热喷涂?根据所使用的热源不同,可以将热喷涂工艺分为哪两大类?热喷涂:采用各种热源将涂层材料加热熔化或半熔化,高速气体将其雾化,并在高速气流的带动下雾化粒子撞击基材表面,冷凝后形成具有某种功能的涂层。

喷焊是用热源将涂层材料重熔,涂层内颗粒之间、涂层与基体之间形成无孔隙的冶金结合。

堆焊技术是将具有一定使用性能的材料(线材或焊条)借助一定的热源手段熔覆在基材表面,使基体表面具有耐磨、耐蚀、耐热等特殊性能或使零件恢复原有形状尺寸的工艺方法。

2.热喷涂技术的特点是什么?局限性是什么?热喷涂的技术特点:可在各种基材上制备各种涂层;基材温度低(30~200℃),热影响区浅,变形小;涂层厚度范围宽(0.5~5mm);喷涂效率高,成本低;操作灵活,可在不同尺寸和形状的工件上喷涂;局限性:加热效率低,喷涂材料利用率低,涂层与基体结合强度低。

3.热喷涂涂层的结构是什么?如何改善涂层结构?涂层是由无数变形粒子相互交错呈波浪式一层一层堆叠而成的层状结构。

涂层中伴有氧化物等夹杂、未熔化的球形颗粒,并存在部分孔隙,孔隙率0.025%-50%。

改善涂层结构的方法(1)选用高温热源(如激光热源、等离子弧)、超音速喷涂、以及保护气氛或低压下喷涂,都可以减少涂层中的氧化物夹杂和气孔,改善涂层的结构和性能。

(2)喷涂层的结构还可以通过重熔处理来改善,涂层中的氧化物夹杂和孔隙会在重熔中消除,涂层的层状结构会变成均质结构,与基体的结合强度也会提高。

4.对热喷涂材料有什么要求?(1)热稳定性好,在高温焰流中不升华,不分解。

(2)较宽的液相区,使熔滴在较长时间内保持液相。

(3)与基材有相近的热膨胀系数,以防止因膨胀系数相差过大产生较大的热应力。

(4)喷涂材料在熔融状态下应和基材有较好的润湿性,以保证涂层与基材之间有良好的结合性能。

(5)粉末固态流动性好,保证送粉的均匀性。

5.热喷涂涂层与基体的结合机理是什么?一般认为在涂层与基体之间机械结合起主要作用,即熔融态的粒子撞击到基材表面凹凸不平处,铺展成扁平状的液态薄层,这些覆盖并紧贴基体表面的液态薄片,在冷却凝固时收缩咬住凸出点而形成机械结合。

同时,其它几种结合机理(扩散、冶金、物理结合)也在不同程度地起作用,其程度受粉末的成分、表面状态、温度、热物理性能等因素的影响。

6.热喷涂的工艺流程。

7.什么是火焰喷涂?说明线材火焰喷涂和粉末火焰喷涂的工艺原理。

其中预热的目的是什么?火焰喷涂:用氧-乙炔气体燃烧提供热量加热熔化喷涂材料,通过压缩气体雾化并加速喷涂材料,在基材表面沉积形成涂层。

线材火焰喷涂原理:喷涂用线材送入喷枪后,由喷枪内的驱动轮连续输送到喷嘴,在喷嘴前端被同轴燃烧气的火焰加热而融化,然后被压缩空气雾化并加速,喷涂在基体表面。

粉末火焰喷涂的工艺原理:用少量气体将喷涂粉末输送到喷枪的喷嘴前端,通过燃气加热、融化并加速喷涂到集体表面。

在喷嘴前端加上空气帽,可以压缩燃烧焰流并提高喷涂速度。

预热目的:去除工件表面的水分;提高工件表面与熔粒的接触温度;降低涂层冷却速度,减小涂层内应力。

8.火焰喷涂的优点和不足是什么?优点:设备价格低,操作容易,喷涂设备轻便简单,可移动,沉积效率高。

不足:喷出颗粒速度较小,火焰温度较低,孔隙较多,容易氧化,涂层强度较低。

9.火焰喷涂主要用于什么材料的喷涂?火焰喷涂的应用:焰流温度较低,一般用于金属材料和塑料的喷涂。

10.什么是电弧喷涂?电弧喷涂用于什么材料的喷涂?电弧喷涂:在两根焊丝状的金属材料之间产生电弧,因电弧产生的热使金属焊丝逐渐熔化,熔化部分被压缩空气气流喷向基体表面而形成涂层。

喷涂材料局限于能制成丝的金属和合金材料。

11.电弧喷涂的特点是什么?(1)热效率高:电弧喷涂热能利用率高达60%~70%。

(2)涂层密度(70~90%):比火焰喷涂涂层致密,结合强度比火焰喷涂高。

(3)由于电弧喷涂是两丝同时送进,所以喷涂效率高。

(4)火焰喷涂消耗的燃料费是电弧喷涂电费的几十倍。

(5)构造简单,操作灵活,材料价格低,气源单一,总的处理成本低。

12.什么是等离子喷涂?特点是什么?等离子喷涂:利用等离子弧的热能将引入的喷涂粉末加热到熔融或半熔融状态,并在高速等离子焰的作用下,高速撞击工件表面,并沉积在经过粗糙处理的工件表面形成很薄的涂层。

特点:13.等离子喷涂和等离子喷焊的区别是什么?等离子喷焊采用的等离子弧和等离子喷涂的有区别。

等离子喷涂等离子弧焰流温度高,适合喷涂高熔点材料。

涂层密度可达85~98%,结合强度高达35~70Mpa,喷涂质量远优于火焰喷涂层。

与其它涂层技术相比,等离子喷焊技术的主要特点:生产效率高。

稀释率低(~5%)。

工艺稳定性好,易实现自动化。

喷焊层平整,成分均匀,可获得0.25~8mm 任意厚度喷焊层。

14.爆炸喷涂最大的特点是什么?射流速度高15.喷涂工艺的选择原则?(1)对涂层结合力要求不高,喷涂材料熔点<2500℃,可采用火焰喷涂。

(2)对涂层性能要求较高,喷涂高熔点材料时,应采用等离子喷涂。

(3)工程量大的金属喷涂施工最好采用电弧喷涂。

(4)要求高结合力、低孔隙度的金属、合金及以某些金属陶瓷涂层可采用超音速火焰喷涂。

(5)对于批量大的工件,宜采用自动喷涂。

16.热喷焊的基本特点是什么?特点:用热源将涂层材料重熔,涂层内颗粒之间、涂层与基体之间形成无孔隙的冶金结合。

17.比较热喷涂、热喷焊和堆焊技术的异同点。

热喷焊工艺与热喷涂工艺的区别:(1)工件表面温度:喷涂时工件表面温度<250℃;喷焊要>900℃。

(2)结合状态:喷涂层以机械结合为主;喷焊层是冶金结合。

(3)粉末材料:喷焊用自熔性合金粉末,喷涂粉末不受限制。

(4)涂层结构:喷涂层有孔隙,喷焊层均匀致密无孔隙。

(5)承载能力:喷焊层可承受冲击载荷和较高的接触应力。

堆焊与热喷焊的比较:热喷焊也属于堆焊技术的范畴,只是热喷焊采用的是粉末填充材料,而堆焊一般采用线材或焊条;堆焊的熔敷效率比热喷焊高,但稀释率比热喷焊大得多。

堆焊技术比热喷涂、热喷焊技术更加成熟。

第十章气相沉积技术1.什么是物理气相沉积和化学气相沉积?物理气相沉积分为哪几类?物理气相沉积:在真空条件下,利用各种物理方法,将镀料气化成原子、分子或使其离子化为离子,直接沉积到基体表面上的方法。

化学气相沉积:把含有构成薄膜元素的一种或几种化合物、单质气体供给基体,借助气相作用或在基体表面上的化学反应在基体上制得金属或化合物薄膜的方法。

物理气相沉积分为真空蒸镀、溅射镀膜、离子镀膜2.什么是真空蒸发镀膜?真空蒸镀:在真空条件下,用加热蒸发的方法使镀料转化为气相,然后凝聚在基体表面的方法。

3.根据蒸发源的不同,可以把真空蒸发镀膜分为哪几种类型?每种类型的优缺点是什么?电阻加热蒸镀优点:结构简单,使用方便,造价低廉;缺点:蒸发源材料会成为杂质污染膜料;加热所能达到的最高温度有限;加热器的寿命也较短。

电子束加热蒸镀优点:对高、低熔点的膜料都能适用;避免了坩埚材料对膜料的玷污。

缺点:化合物部分分解和电离,将对薄膜的结构和物理性能产生影响;体积较大,需要调整的部分也较多。

高频感应加热蒸镀优点:此法主要用于铝的大量蒸发,得到的膜层纯净而且不受带电粒子的损害。

缺点:不能对坩埚进行去气,不易对输入功率进行微调,难以避免坩锅的污染。

激光蒸镀法优点:能蒸发任何高熔点材料;简化了真空室内部的空间布置;缺点:制作大功率连续式激光器的成本较高。

4.什么是溅射镀膜?简要说明二极溅射镀膜的过程。

在真空室中,利用荷能粒子轰击材料表面,使其原子获得足够的能量而溅出进入气相,然后在工件表面沉积的过程。

工作时先抽真空,再通氩气,使真空室内达到溅射气压。

接通电源,阴极靶上的负高压在两极间产生辉光放电并建立起一个等离子区。

其中带正电的氩离子在阴极附近的电场作用下,加速轰击阴极靶,使靶物质表面溅射,并以分子或原子状态沉积在基片表面。

5.什么是磁控溅射?结合它的基本原理说明它有什么优点?磁控溅射:在阴极靶面上建立一个环状磁靶,以控制二次电子的运动。

优点:高速,高速是指沉积速率快;磁控溅射的镀膜速率与二极溅射相比提高了一个数量级。

低温和低损伤,基片的温升低、对膜层的损伤小。

高速和高效的原因,二次电子在靶附近作循环运动,路程足够长,电子与气体原子的碰撞几率高;另外,工作气压降低,减少了对溅射出来的原子或分子的碰撞。

6.与真空蒸镀比,溅射镀有哪些特点?结合力高;容易得到高熔点物质的膜;可以在较大面积上得到均一的薄膜;容易控制膜的组成;可以长时间地连续运转;有良好的再现性;几乎可制造一切物质的薄膜7.什么是离子镀?离子镀的过程包括哪几个过程?简述它的基本原理。

离子镀是在真空条件下,借助于惰性气体的辉光放电使被蒸发物质部分离化,被蒸发物质离子经电场加速后对带负电荷的基体轰击的同时把蒸发物或其反应物沉积在基体上。

过程包括镀膜材料的受热,蒸发,离子化和电场加速沉积等过程。

见书P230最后一段很长8.离子镀有哪些特点?①粘着力强;②均镀能力好;③被镀基体材料和镀层材料可广泛搭配;④工艺无污染9.化学气相沉积的过程是什么?反应气体扩散至工件表面;反应气体分子被基材表面吸附;在基材表面产生化学反应,形核等;生成物由表面解吸;生成物从基材表面扩散离开。

10.从温度、清洁度、镀层厚度、绕镀性、安全性等方面比较PVD和CVD技术。

温度:CVD法的工艺温度超过了高速钢的回火温度,用CVD法镀制的高速钢工件,必须进行镀膜后的真空热处理,以恢复硬度。

镀后热处理会产生不容许的变形。

清洁度:CVD工艺对进入反应器工件的清洁要求比PVD工艺低一些,因为附着在工件表面的一些脏东西很容易在高温下烧掉。

此外,高温下得到的镀层结合强度要更好些。

镀层厚度:CVD镀层往往比各种PVD镀层略厚一些,前者厚度在7.5μm左右,后者通常不到2.5μm厚。

绕镀性:CVD具有很好的绕镀性,除去支承点之外,全部表面都能完全镀好,甚至深孔、内壁也可镀上。

PVD由于气压较低,绕镀性较差,因此工件背面和侧面的镀制效果不理想。

安全性:PVD是一种完全没有污染的工序。

而CVD的反应气体、反应尾气都可能具有一定的腐蚀性,可燃性及毒性,因此对设备、环境、操作人员都必须采取一定的措施加以防范。

11.什么是分子束外延?它与真空蒸发镀膜相比有什么不同?分子束外延一种制备单晶薄膜的新技术,在适当的衬底上,合适的条件下,沿衬底原来的结晶轴向生成一层晶格结构完整的新单晶层的制膜方法。

不同:分字束外延是将真空蒸发镀膜加以改变和提高形成的成膜技术,超高真空,能生长单晶并能准确地控制膜厚、组分和掺杂。

12.分子束外延的优缺点?优点:可严格控制生长过程和生长速率,实现了原位实时监测;生长速率低;膜的组分和掺杂浓度可随着源的变化而迅速调整;外延薄膜质量好,面积大而均匀;晶体的生长温度较低;可以生长用热平衡生长方法难以得到的薄膜。

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