ZEMAX软件在曝光光源设计中的应用
ZEMAX光学设计软件操作说明详解
ZEMAX光学设计软件操作说明详解Zemax是一种光学设计软件，它提供了丰富的功能和工具，用于设计和优化光学系统。
以下是对Zemax光学设计软件的操作说明的详细解释。
工具栏是软件的快速访问工具。
其中包含了一些最常用的工具按钮，例如放大、缩小、旋转和平移视图等。
您可以通过单击这些按钮来快速执行相应的操作。
设置和属性面板是对光学系统进行设置和属性调整的地方。
您可以在设置面板中设置光源的参数，例如光强和颜色。
在属性面板中，您可以对每个光学元件的属性进行调整，例如位置、形状和材料属性等。
三维视图是用于可视化整个光学系统的地方。
您可以在这里查看光线的传播路径、光束的参数和各个光学元件的位置。
通过旋转、缩放和平移操作，您可以查看整个系统的不同视角。
在操作Zemax时，您需要先创建或导入光学设计文件。
然后，按照以下步骤进行操作：2.双击光学元件或在属性面板中进行设置，例如位置、孔径、曲率和折射率等。
3.在设置面板中选择光源类型和参数，并将其添加到光学系统中。
4.在光学系统中添加或删除光学元件，例如透镜、镜面和光学器件等。
5.使用光线追迹工具来模拟光线在光学系统中的传播，并分析光线的参数，例如入射角、焦点位置和光强分布等。
6.使用优化工具来调整光学元件的参数，以优化光学系统的性能，例如最小化像差、最大化光束质量和最优化焦点位置等。
7.最后，可以通过三维视图和结果分析面板来查看和评估整个光学系统的性能和效果。
需要注意的是，Zemax是一种强大的光学设计软件，操作较为复杂。
在使用之前，建议您先阅读官方提供的操作手册和教程，熟悉软件的功能和操作方法。
此外，良好的光学基础知识也是操作Zemax的前提。
以上是对Zemax光学设计软件操作说明的详细解释。
希望能帮助您理解和使用这一软件。
光学应用软件zemax
• 小视场大孔径光学系统：球差、正弦差、 位臵色差 • 大视场小孔径光学系统：彗差、像散、场 曲、畸变、倍率色差 • 大视场大孔径光学系统：要考虑全部像差
类 别
名称
成 因
光束
方 向 轴 向 垂 轴 轴 向 轴 向 垂 轴 轴 向 垂 轴
影响
现
象
校
正
球差 轴上点发出的 大孔径光束 单 色 像 差 彗差 近轴物点发出 的大孔径光束 像散 远轴物点细光 束成像 场曲 轴外物点由于 像散而造成 畸变 轴外不同高物 点的放大不同 色 像 差 位置 折射率随波长 色差 而变 倍率 折射率随波长 色差 而变
• 把实际波面和理想波面之间的光程差，作为衡量该像点质 量优劣的指标，称为波像差。如图所示
• 瑞利判断是根据成像波面相对理想球面波的变形 程度来判断光学系统的成像质量。 • 瑞利认为“实际波面与参考球面波之间的最大波 像差不超过λ/4时,光学系统的成像质量是良好 的”，此判断称之为端利判断。 • 该判断提出了光学系统成像时所允许存在的最大 波像差公差，即认为波像差 W<λ/4时，光学系统 的成像质量是良好的。
• 优点：便于实际应用。只要计算出几何像 差曲线，再对其积分就可得到波像差，即 可判断成像的优劣。同时还可用它求出几 何像差的公差。 • 缺点：不够严密，没有考虑局部缺陷在整 个波面面积中的分量。 • 适用范围：是一种较为严格的像质评价方 法，适用于小像差光学系统，如显微镜、 望远镜等对像质要求较高的系统。
• 匹兹万设计的镜头不但提高了镜头对细节的解析 能力，更把镜头的通光口径提高到了一个前所未 有的程度：从日瓦列风景镜头的f/16提高到f/3.6， 镜头的通光能力一下子提高了将近20倍，摄影曝 光时间从以分钟计算变成了以秒计算，从而让拍 摄人像成为可能，所以匹兹万镜头也被成为匹兹 万人像镜头。
zemax光学设计案例
zemax光学设计案例
Zemax光学设计案例。
在光学设计领域，Zemax是一个非常优秀的光学设计软件，它能够帮助工程师
们进行光学系统的设计、优化和分析。
下面，我们将介绍一个使用Zemax进行光
学设计的案例，以便更好地了解Zemax软件的应用和优势。
在这个案例中，我们需要设计一个具有特定光学性能的摄像头透镜系统。
首先，我们需要明确设计要求和约束条件，然后利用Zemax软件进行光学系统的建模和
优化。
在建模过程中，我们需要考虑透镜的曲率、厚度、材料等参数，同时还需要考虑系统的光路布局、光学元件的位置和角度等因素。
利用Zemax的光学设计工具，我们可以对透镜系统进行快速而准确的建模和分析。
通过Zemax的光学优化算法，我们可以对系统的光学性能进行优化，以满足
设计要求。
同时，Zemax还提供了丰富的光学分析工具，可以对系统的像差、光学传递函数、热像模拟等进行全面的分析和评估。
在这个案例中，我们利用Zemax软件成功设计出了一个具有优秀光学性能的摄像头透镜系统。
通过对系统的建模、优化和分析，我们实现了对系统光学性能的精确控制和调节，最终达到了设计要求。
这充分展示了Zemax软件在光学设计领域
的强大功能和广泛应用价值。
总的来说，Zemax是一款非常优秀的光学设计软件，它能够帮助工程师们实现
复杂光学系统的设计、优化和分析。
通过这个案例，我们可以更好地了解Zemax
软件的应用和优势，相信在未来的光学设计工作中，Zemax将会发挥越来越重要的作用，为光学工程领域的发展做出更大的贡献。
zemax光学设计例子
在光学设计中，Zemax是一款非常受欢迎的软件，它提供了强大的工具和功能，可以帮助设计师轻松地完成各种光学设计任务。
本文将通过一个具体的例子，向大家展示如何使用Zemax进行光学设计。
一、设计背景我们假设需要设计一款望远镜，需要观察远处的星空。
望远镜的主要性能指标包括放大倍率、像差和亮度。
我们需要通过Zemax软件，找到最佳的光学系统方案，以达到最佳的观察效果。
二、设计步骤1.建立基本光学系统模型：在Zemax中，我们需要建立一个基本的光学系统模型，包括望远镜的主镜和次镜。
可以通过手动输入镜片数据或者使用预设的镜片库来建立模型。
2.调整参数：在Zemax中，我们可以调整各种参数来优化望远镜的性能。
例如，可以通过调整放大倍率和亮度参数来找到最佳的观察效果。
3.检测像差：在调整参数后，我们需要检测望远镜的像差。
Zemax 提供了强大的像差检测功能，可以帮助我们找到镜片上的缺陷和误差。
4.优化镜片：根据检测结果，我们可以对镜片进行优化。
可以通过添加或删除镜片、调整镜片位置和角度等方式来改善望远镜的性能。
5.模拟观察：在完成镜片优化后，我们可以模拟观察望远镜的成像效果。
可以通过调整望远镜的焦距和观察角度来查看不同情况下的成像效果。
6.调整和优化：根据模拟观察结果，我们可以再次调整和优化望远镜的设计。
直到达到满意的观察效果为止。
三、设计结果经过一系列的设计和优化步骤，我们得到了一个满意的光学设计方案。
该方案包括两片反射镜，放大倍率为10倍，像差在可接受范围内，亮度较高。
通过Zemax模拟观察，成像效果清晰、稳定，符合我们的预期。
四、总结通过这个具体的例子，我们展示了如何使用Zemax进行光学设计。
虽然只是一个简单的望远镜设计，但是它涵盖了光学设计的基本步骤和技巧。
在实际应用中，光学设计需要考虑的因素很多，例如环境因素、成本预算、材料选择等。
Zemax提供了丰富的工具和功能，可以帮助设计师轻松应对各种挑战。
光学设计软件ZEMAX实验讲义
光学设计软件ZEMAX实验讲义光学设计软件ZEMAX是一款广泛应用于光学设计和仿真的工具。
它通过建立光学系统模型、进行光学分析和优化，来实现光学元件的设计和性能评估。
本实验讲义将介绍使用ZEMAX进行光学系统设计的基本流程和方法，以帮助读者快速上手使用该软件进行实验。
实验目的：1.掌握ZEMAX软件的基本操作方法；2.学习使用ZEMAX进行光学系统的建模和分析；3.能够使用ZEMAX进行光学系统的优化和性能评估。
实验仪器和材料：1.计算机（安装有ZEMAX软件）；2.光学元件（例如透镜、棱镜等）；3.光源（例如激光器、光纤等）；4.探测器（例如光电二极管、CCD等）。
实验步骤：1.启动ZEMAX软件，并加载需要的光学元件模型。
可以通过导入现有的元件文件，也可以自己创建新的模型。
2.在光学系统中定义光源和探测器。
选择合适的光源类型，并设置光源的参数，例如波长、光强等。
同样，选择合适的探测器类型，并设置其参数。
3.在光学系统中添加光学元件。
选择需要的元件类型，例如透镜、棱镜等，并设置其参数，例如焦距、角度等。
4.运行光学分析。
可以选择进行光线追迹分析，用于确定光线在系统中的传播路径和光学性能。
还可以进行波前分析，用于评估系统的像差情况。
5.进行光学系统优化。
根据实际需求，调整光学系统中的参数，例如透镜的位置、曲率等，以优化系统的性能。
可以使用自动优化功能，也可以手动调整参数进行优化。
6.进行光学系统性能评估。
通过分析光线传播路径、像差情况等，评估光学系统的性能。
可以使用图像质量指标，例如MTF（传递函数）和PSF（点扩散函数），来评估系统的成像能力。
7.导出结果。
根据需要，将优化后的光学系统结果导出为文件。
可以导出光学系统的参数、光线路径图、波前图等。
实验注意事项：1.在进行光学系统设计前，需要确保熟悉光学基础知识，并了解所使用的光学元件的特性和性能。
2.在使用ZEMAX软件时，需要注意模型的准确性和合理性。
【ZEMAX光学设计软件操作说明详解】2-上
第十三章表面类型§1 简介ZEMAX 模拟了许多种类型的光学元件。
包括常规的球面玻璃表面，正非球面，环带，柱面等。
ZEMAX 还可以模拟诸如衍射光栅、“薄”透镜、二元光学、菲涅耳透镜、全息元件之类的元件。
因为ZEMAX 支持大量的表面类型，用常用的电子表格形式安排用户界面就比较困难。
例如，对于一个没有发生衍射的表面，开辟“衍射阶数”一列就没什么必要。
为了使用户界面尽可能不显得乱，ZEMAX 使用了不同的类型界面以便指出定义某一种类型的表面时，需要哪一些数据。
§2 参数数据一个标准的表面可以是一个紧随着一均匀介质（如空气，反射镜或玻璃）的平面、球面或圆锥非球面。
所要求的参数仅仅是半径（半径也可以是无穷大，使之成为一个平面），厚度，圆锥系数（缺省值为0，表示是球面），和玻璃类型的名字。
其他的表面类型除使用一些其他值外，同样使用这些基本数据。
例如，“偶次非球面”表面就是使用所有的“标准”列数据再加上八个附加值，这些附加值是用来描述多项式的系数的。
这八个附加值被称为参数，且被称为参数1，参数2，等等。
要理解的参数值的最重要特性是它们的意思会随着所选择的表面类型的不同而改变意思。
例如，“偶次非球面”表面类型用参数1 来指定非球面近轴抛物线项的系数，而“近轴”面则用参数1 来指定表面焦距。
两个表面同样使用参数1，但用途却不同，因为这两个表面类型永远不会同时在同一个面上使用。
数据存储的共享性简化了ZEMAX 界面，也减少了运行程序时所要求的总内存。
但由于你必须去记每一个参数的作用，是否这样的共享反而会使ZEMAX 用起来变得麻烦呢？回答是否定的，因为ZEMAX始终掌握着你所定义的每一面上的每一个参数代表什么的记录。
当你将一个表面从“标准的”改成其他的表面类型后，ZEMAX 会自动改变参数列的列头以使你知道你对表面上的每一个参数作了什么改动。
所有需要你做的只是在正确的格子中键入适当的数据。
当你将光标从一个格子移动到另一个时，列头会一直显示该格是用来作什么的。
ZEMAX实验报告
ZEMAX实验报告一、引言ZEMAX是一款常用于光学系统设计和优化的软件工具。
本实验旨在通过使用ZEMAX软件，设计并验证一个简单的光学系统，以加深对光学器件的理解，并掌握ZEMAX软件的使用方法。
本实验采用的光学系统为凸透镜成像系统。
二、实验目的1. 了解并熟悉ZEMAX软件的界面和基础操作方法。
2. 设计一个简单的凸透镜成像系统。
3. 验证设计成像系统的成像质量，并进行优化。
三、实验步骤1. 打开ZEMAX软件，进入新建系统的界面。
2. 选择光源，设置波长、光强等参数。
4. 添加目标平面和接收面，调整其位置和大小。
5. 进行光线追迹和模拟，分析成像效果。
6. 优化系统，调整凸透镜参数，如位置、厚度，以改善成像质量。
7. 记录和分析实验结果。
四、实验结果根据实验步骤，设计并模拟了一个凸透镜成像系统。
经过优化调整后，系统的成像质量得到了明显的提高。
在最终模拟结果中，目标物体能够清晰地成像在接收面上，成像质量较高。
五、讨论分析本实验通过使用ZEMAX软件设计和优化了一个简单的凸透镜成像系统。
通过实验结果可以发现，ZEMAX软件具有较高的计算精度和可视化效果，能够有效地进行光学系统的设计和分析。
通过不断调整凸透镜参数，我们成功改善了系统的成像质量，证明了ZEMAX软件在光学系统优化中的实用性。
六、结论通过本次实验，我们了解并掌握了ZEMAX软件的基础操作方法，并成功设计和优化了一个凸透镜成像系统。
实验结果表明，ZEMAX软件能够较好地模拟和分析光学系统，为光学器件的设计和优化提供了有力的工具。
1. ZEMAX软件使用手册。
2. 光学设计与光子技术教材。
八、致谢感谢指导老师对本实验的支持和指导，也感谢实验室的同学们在实验过程中的合作和协助。
ZEMAX主要功能介绍
ZEMAX主要功能介绍1.光学设计：ZEMAX可以用于各种类型的光学设计，包括折射和反射结构的透镜、物镜、反光镜和棱镜等。
设计人员可以使用ZEMAX提供的各种工具进行光学元件的几何参数设定、曲面形状设计和光束传播仿真，从而实现光学系统的高效设计。
2.光束传播分析：通过ZEMAX的光束传播分析功能，用户可以对光束在光学系统中的传播进行模拟和优化。
这包括光束的展宽、光线反射、折射和散射等。
用户可以根据需要进行光束修正和优化，以达到预期的光学性能。
3.焦点分析：ZEMAX提供了强大的焦点分析工具，可以评估光学系统的焦点质量。
用户可以使用这些工具来分析和优化光束的聚焦度、聚焦点的大小和形状，并进行光学系统的调整，以获得更好的聚焦性能。
4.像差分析：ZEMAX能够对光学系统的像差进行分析和优化。
用户可以使用像差分析工具来评估和改进光学系统的畸变、球差、色差、像散、象散等像差参数。
通过调整光学元件的参数和位置，用户可以改善光学系统的像差性能。
5.系统优化：ZEMAX具有强大的系统优化功能，可以自动调整和优化光学系统的参数。
用户可以使用ZEMAX提供的优化算法来实现光学系统的最佳设计。
这可以包括调整曲面形状、镜片厚度、曲面间距和光学元件的位置等。
6.散射分析：ZEMAX可以进行散射分析，以评估和优化光学系统中的散射效应。
用户可以使用ZEMAX提供的散射分析工具来模拟和优化散射的光束传播和光学系统中的散射损失。
7.结果可视化：ZEMAX提供了丰富的结果可视化功能，用户可以对仿真结果进行图形和图像的展示。
这包括光束传播路径图、片面图、距离图、相位图和散射图等。
通过结果可视化功能，用户可以更清晰地理解和评估光学系统的性能。
总之，ZEMAX是一款功能强大的光学设计和仿真软件，提供了丰富的工具和功能，支持各种类型的光学元件和系统的设计、分析和优化。
无论是从事光学研发、光学工程或光学教学领域的专业人士，都可以通过ZEMAX来提高光学设计的效率和准确性，实现更好的光学系统设计和优化。
ZEMAX的使用中几何光学和物理光学的划分领域
ZEMAX的使用中几何光学和物理光学的划分领域ZEMAX是一种常用的光学设计软件，它可以在几何光学和物理光学领域进行光学系统的设计和分析。
在使用ZEMAX时，几何光学和物理光学的划分领域包括光学元件的设计和特性分析、光场传播的模拟和分析、光照度和光强度的计算和优化等等。
在几何光学的划分领域中，ZEMAX可以用于设计和分析光学元件，例如透镜、反射镜、棱镜等，以及光学系统，例如显微镜、望远镜、摄像头等。
在设计光学元件时，可以使用ZEMAX的光学设计工具来优化元件的形状、曲率、厚度等参数，以实现所需的光学性能。
例如，可以使用ZEMAX 进行平面透镜的形状优化，以最小化球差和像散。
同时，ZEMAX还可以进行光学元件的特性分析，例如光学元件的波前畸变、像差、散焦程度等。
在物理光学的划分领域中，ZEMAX可以用于光场传播的模拟和分析。
在模拟光场传播时，可以使用ZEMAX的非几何光学工具来模拟光线的传播和相互作用，例如衍射、干涉、散射等现象。
这些模拟结果可以帮助分析系统的成像质量、传递函数、衍射等效应等。
例如，在设计一个光学系统时，可以使用ZEMAX模拟光线的通过，以及光场的传播和衍射效应，以评估系统的成像质量和性能。
此外，ZEMAX还可以用于光照度和光强度的计算和优化。
光照度是指单位面积上通过单位时间的光通量，通常用于评估光源的亮度分布和光照条件。
使用ZEMAX的光照度计算工具，可以帮助计算光源在特定环境中的光照度分布，并优化光源布置和光照条件。
光强度是指单位立体角内的光通量，通常用于描述光源的辐射强度和光束的传播特性。
使用ZEMAX的光强度计算工具，可以帮助计算光源的辐射强度和光束的传播特性，以优化光源的设计和性能。
总之，ZEMAX在使用中划分了几何光学和物理光学的不同领域，包括光学元件的设计和特性分析、光场传播的模拟和分析、光照度和光强度的计算和优化等。
这些功能可以帮助光学工程师和研究人员在光学设计和分析中提高效率和准确性。
zemax案例
zemax案例
以下是一些关于Zemax仿真软件的案例：
1. 光学系统设计
Zemax可以用于光学系统设计和优化。
例如，可以使用Zemax来设计望远镜、显微镜、放大镜和其他光学仪器。
2. 焦散问题分析
Zemax可以用于分析和优化光学系统的焦散问题。
通过模拟光线的轨迹和相位变化，可以确定焦点的位置和形状，并确定任何可能的相位偏差。
3. 光学组件模型建立
Zemax可以用于建立光学组件的三维模型，包括透镜、棱镜和反射器等，以更准确地模拟光学系统的性能。
4. 光学系统图像模拟
Zemax可以用于模拟光学系统中的图像。
可以通过更改光线的特定属性，如入射角度和波长，以模拟不同的光学系统图像。
5. 激光光束分析
Zemax可以用于分析激光光束的特性，包括光斑大小、波前畸变、相位传输和偏振特性等。
6. 照明系统设计
Zemax可以用于设计照明系统，以确定最佳的光源和透镜组合来实现所需的照明效果。
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收稿 日期 ： ０ ２ ０ —０ ２ １ ．６ ３
直 观 ， 此 ， 行 以 Ｚ ＭＡ 软 件 为依 托 进 行 曝 光 为 进 Ｅ Ｘ
光源设计平台建设。
１ 背 景 与 现 状
纵 观 国 内外 各 种 光 刻 曝 光 机 光 源 的 设 计 思 路 ， 略地 可 以分 为 两类 。 一 类 是 将 汞 灯 直 接 按 粗 第 点 光 源 进 行 准 直 投 射 到 工 作 面 上 （ 图 １ 相 关机 如 ）
Ｅｘ ｏ ｕ ｅ Ｌｉ ｈ ｏ ｒ ｅ ｐ ｓ ｒ ｇ ｔＳ ｕ ｃ
Ｐ ｉｕ Ｕ Ｊｚ
（ ｈ ５ｈＲ ｓａｃ ｓｔｔ ｏ Ｅ Ｃ， ｅ ｉｇ１０ ， ｈｎ ） Ｔ ｅ４ ｔ ｅｅｒｈＩ ｔｕｅ ｆ Ｔ Ｂ ｉｎ ０ ６ Ｃ ｉａ ｎｉ Ｃ ｊ １ ７
Ａｂｓｒ ｃ ：Ｔｈｉ ｐｅ ｓ ｄ ｏｎ ｔ ｅ ｏ ｔｃ ｌｄ ｓｇ ｏｆｗａ ｅ ＺＥＭ ＡＸ ，ｃ ｍｂ ｎ ｄ ｗｉｈ ｔ ｅ ｅ ｐ ｓ ｒ ｉｈｔ ｔａ ｔ ｓｐａ ｒｂａ ｅ ｈ ｐ ｉ ａ ｅ ｉ ｎ ｓ ｔ ｒ ｏ ｉ ｅ ｔ ｈ ｘ ｏ ｕ ｅ ｌｇ
ｌ 膜 面 掩
（ 凸 透镜 准 直 光 路 ａ ）
枷 ， ” ｏ 踟 ０ ０ ０ ０
ＭＩ ＲＲＯ Ｒ
Ｊ ＧＳ ２５
ｆ） 面镜 准直 光 路 ｂ凹
图 ２ ＢＧ．０ ４ １光 源 示 意 图
ｓ ｕ ｃ ｅ ｉｎ ｉ ｅ ｓ ｌ ｓ ａ ｅ ｅｅ ｐ ｓ ｒ ｉ ｈ ｏ ｒ ｅ ｄ ｓ ｔ ｏ ｎ ｅ ｃ ｉ ｅ ｓｐ ａ ｔ ａ ｉ ｔ ｏ ｒ ｅ ｄ ｓｇ ｄ ａ ，ｉ ｕ ｔ ｔｓｔ ｘ ｏ ｕ ｅ ｌ ｔ ｕ ｃ ｅ ｉ ｍｅｈ ｄ ａ ｄ ｄ ｓ ｒ ｓ ｉ ｒ ｃ ｉ ｂ ｌ ｙ ｌ ｒ ｈ ｇ ｓ ｎ ｇ ｂ ｔ ｃ ｉ
ｂｙ ｅ ｍｐｌｓ Ａｎ ｈｉ ｐ ｒｍ ａ ｉ ｅｏｆＺＥＭ ＡＸ ｏ ｕ ｅ ｉ ｅ ｅ ｉ ｎ ｌ ｚ ｓｇ ｓ ｏｃ ｆｔ ｅ ｘａ ｅ ． ｄ ｔ ｓｐａ ｅ ｋ ｎｇｕｓ ｃ ｍｐ ｔ ｒａ ｄ ｄ ｄ ｓｇ ａ ａｙ ｅ ｈｏ ｔｆ ｕｓｏ ｎ ｈ ｅ ｐｏ ｕｒ ｉ ｈ ｏ ｒ ｅ ｘ ｓ ｅｌｇ ｔｓ ｕ ｃ ． Ｋ ｅ ｗｏ ｄ ：Ｅｘ ｓ ｒ ｇ ｔＳ ｕ ｃ ； ｙ ｒｓ ｐｏ ｕ ｅＬｉ ｈ ｏ ｒ ｅ ＺＥＭ ＡＸ ； ｍｐ ｔ ｒＡｉ ｅ ｓｇ ； ｏ ｔＦｏ ｕｓ Ｃｏ ｕ ｅ ｄ ｄ Ｄｅ ｉ Ｇｈ ｓ ｃ ｎ
鼍
电 子 工 业 苣 用 设 备
光刻 技 术 与 设 备
型 ＧＫ ７ ３ Ｂ ７ ６ ＭＪ ． １等 ； －０ 、 Ｇ一０ 、 Ｂ ２
光学 零件 及 组成 系 统 中 的光 线 近似 分布 如 图 ３ 。
～
一
图 １ ＢＧ一０ ７ ６光 源 示 意 图
第 二类 是 将汞灯 发 出的光 ， 经椭球 反 光镜会 聚 ， 再经 后续 光路 反射 、 割 匀光 、 凸透 镜透 射准 直或 分 经 经 凹面镜 反射准 直 ， 后投 射叠 加到 工作 面上 （ 图 然 如
表 １ 光 源 系 统 数 据 表
醋 ２ 一 ４ 黼
半 径
９ Ｈ ＂ ¨ 巧
二 次系 数
面 型
材 料
ＭＩ ＲＲｏ Ｒ
半 Ｅ径 ｌ
移
标准 面 。 ｏ 标 准 面 一５ ４ 标 准 面 ｏ ｏ 坐 标 转 折 标准 面 ｃ Ｏ 坐 标 转 折 标 准 面 ．２ １５
光刻技术与设备
电 子 工 业 专 用 设 苗
１ Ｄ
Ｚ ＭＡＸ 软件 在曝 光光源 设计 Ｅ 中的应 用
蒲 继 祖
（ 国 电子 科 技 集 团公 司第 四十 五 研 究 所 ， 京 １０ ７ ） 中 北 ０ １６
摘 要 ：以光 学设 计 软件 Ｚ ＭＡＸ 为依 托 ， Ｅ 结合 曝 光光 源设 计 思路 ， 以 实例 展 示设 计 方 法和描 并 述 它 的 实用性 ， 用 Ｚ ＭＡＸ 计 算机辅 助 设计 分析 了曝光 光 源 的鬼 点。 利 Ｅ 关 键词 ：曝光 光源 ； Ｅ Ｘ 软 件 ； Ｚ ＭＡ 计算 机辅 助 设计 ； 点 鬼
中 国 电子 科 技 集 团公 司 第 四十 五 研 究 所 多 年 来 一 直 从 事 曝 光机 的研 究 ， 己完 成 多项 关 于 曝 光 机 的 国家 课 题 任 务 。 曝 光光 源 是 曝光 机 的重 要 组 成 部 分 ， 然在 之 前 的研 究 中 已积 累 了许 多经 验 ， 虽 但 为使 设 计 结 果 高 效化 ， 设 计 过 程 简捷 化 、 骤 使 步 化 ， 行 光 源 设计 平 台 的建 设 很有 必要 。 进 随着 计 算 机 技 术 的飞 速 发 展 ， 泛 应 用 于 各 行 各 业 ， 光 学 广 在
中 图分 类号 ： Ｎ ０ Ｔ ３５ 文 献标 识 码 ： Ｂ 文章 编 号 ：０ ４４ ０ （０ ２ ０ —０ ００ １０ —５ ７２ １ ）８０ ４ ４
Ａｐｐ ｉａ ｉ ｎ ｏ ｌｃ ｔｏ ｆＺＥＭ ＡＸ ｆｗａ ｅ ｉ ｈｅ Ｄｅ ｉ ｎ ｏ ｈｅ Ｓｏ ｔ ｒ ｎ ｔ ｓｇ ｆｔ
２ 相 关机 型 ＢＧ ４ １ ＭＡ ） ．０ Ａ、 ４和 ＭＡ４ ０ ２ ０等 。
图 ３ 光路 中各 光 学零 件 及 光 线近 似 分 布 图
２ 设 计 模 版 的 搭 建
上
一 ７ ０．８
以图 ２ ａ所 示 光 源 结 构 创 建 曝 光 光 源 设 计 平 台 的 Ｚ ＭＡ 模 版 文档 ， 理 后 的数 据 见表 １ Ｅ Ｘ 整 。