场发射扫描电子显微镜系统 技术参数

场发射扫描电子显微镜系统技术参数

一、货物名称及数量：

场发射扫描电子显微镜系统一台

二、主要技术规格及要求

2.1 基本要求

2.1.1发射源：热场发射电子枪

*2.1.2物镜系统：电磁/静电式物镜系统，电子束无交叉光路设计

*2.1.3分辨率：0.8 nm @ 15kV

1.6 nm @ 1kV

*2.1.4加速电压范围：20V－30kV，连续可调

*2.1.5放大倍数范围：12X－1,000,000X，连续可调

2.1.6探针电流：范围 4pA-20nA，连续可调

稳定度优于 0.2 %/h

2.1.7减震方式：自动水平系统

2.2 真空系统

2.2.1样品室极限真空度：≤2×10-4 Pa

2.2.2换样抽真空时间：小于3 min。

2.3 样品室及样品台

*2.3.1样品室尺寸（不小于）：内部直径520mm，高度300mm

2.3.2 集成8英寸样品交换室

*2.3.3 配备四个探测器：

环形高效完全内置式In-lens二次电子探测器

样品室内ET SE二次电子探测器

4QBSD AsB背散射电子探测器

样品室内红外CCD摄像机

*2.3.4 样品台：类型 6轴全自动马达驱动超优中心样品台

安装抽屉式

控制双操纵杆控制盒

*2.3.5 样品台马达移动范围（不小于）： 152mm（X方向），152mm（Y方向），43mm（Z方向），

10mm（Z’方向），-15 - 60°（倾斜），360°（旋转）

2.3.6 能谱仪工作条件：工作距离8.5 mm，X射线出射角35°

*2.3.7 物镜光栏：数量不少于 6孔

更换与对中方式电磁式

2.4 图像处理系统

2.4.1配套计算机系统（不低于）：CPU Intel Pentium 2 Quad;2.33 GHz Quad Core，RAM 4 Gb，硬盘 1TB，光盘刻录机，19″TFT显示屏，键盘，鼠标，USB接口。

2.4.2显示图像分辨率：不小于 1024×768像素

2.4.3最大存储图像分辨率：不小于3072×2304像素

2.4.4存储图象格式：TIFF、BMP与JPEG

2.4.5降噪方式：像素平均、帧/行平均、帧/行叠加

2.5 控制系统

2.5.1操作系统Windows XP，电镜操作控制软件。

2.5.2自动功能：自动电子枪启动，电子枪自动对中，自动偏压调整，自动镜筒参数控制，磁滞校正，自动聚焦，聚焦补偿，动态聚焦，旋转补偿，自动消像散，图像混合，扫描旋转，倾斜补偿，图像降噪处理。

2.5.3分屏显示，双放大，直方图，伪彩色，图像注释，图像测量。

3、附件及备件

3.1 X射线能谱仪

3.1.1 探测器：

3.1.1.1 硅漂移晶体，超薄窗口，完全独立真空；晶体实际面积不小于30 mm2，有效采

集面积不小于20mm2,场效应管（FET）与晶体分离，独立封装；适合低电压或小束流分析，可以分析纳米尺度的元素成份，有效延长灯丝寿命。

3.1.1.2 活性区面积：20mm2

3.1.1.3 分辨率：MnKa优于127eV；在不同计数率下谱峰稳定，分辨率变化小于1eV。

3.1.1.4 探测元素范围：Be(4)到Pu(94)

3.1.1.5 免维护性：无需加液氮，帕尔帖制冷，随时可以断电，探头不结霜。

3.1.1.6 输出最大计数率：大于500,000CPS谱峰无畸变，可处理最大计数率优于

750,000CP S

3.1.2 软件系统：

3.1.2.1 分析导航器。

3.1.2.2 全中文软件操作界面。

3.1.2.3 信息管理系统。

3.1.2.4 实验报告系统。

3.1.2.5 元素面分布分析软件。具备点、线、面扫描分析功能，高帽法扣除背景避免人为误差，可自动和手动进行全谱元素谱峰识别，并具有检验重叠峰剥离准确性以及合峰效应的有效方法。

3.1.2.6 电子束任意定位和分析软件。

3.1.2.7 定性、定量分析软件。采用最先进的XPP修正技术,可对抛光表面或粗糙表面进行点、线和面的分析；具有虚拟标样法（间接标样法）以及有标样法（直接标样法）；可以方便的得到归一化和非归一化结果。

3.1.2.7 离线分析：具备全谱离线分析功能，一次采集全谱元素可以重建和再定量。3.1.2.8 轻元素分析准确可靠，空间分辨率好。

3.1.2.9 图像输出：可在能谱平台上采集电子图像，支持BMP,TIFF, JPEG等流行的图像格式，对视场上任选区域进行能谱分析和线、面扫描，可得到元素的线分布、常规面分布、快速面分布和定量面分布等。

3.1.2.10 实验报告：多种输出格式，支持WORD文档转换和存储。

3.1.2.11 与电镜联机的相关软件，直接读出电镜参数。

3.1.2.12 软件版本开放，可以在任意其他数据处理计算机上安装离线软件。

3.1.3 计算机系统（最低配置）：

3.1.3.1 Intel Core CPU

3.1.3.2 操作系统：Windows XP

3.1.3.3 RAM：4GB

3.1.3.4 硬盘：500 GB

3.1.3.5 显示器：22″彩色LCD显示器

3.1.3.6 打印机：彩色打印机

3.1.3.7 DVD/RW 刻录光驱

3.1.3.8 和电镜室烟台一体化设计的原装专用实验台

3.2 主动防震台

3.2.1 防震性能表：