真空计说明书
真空计PSG500说明书
注意
注意: 真空元件
污垢和损坏影响真空元件的功能.
取拿真空元件时,采取适当的确保清洁和防止损
管
坏的措施.
克
克
克
克
克
克
克
长管
克
长管
克
(毫巴)
压强范围低于 1 毫巴的校准因数
压强读值
气体类型 校准因素 C
气体类型
校准因素 C
空气,
水蒸气 氟里昂 12
注意 注意: 污物灵敏区域 用裸手接触产品或部件将增大退吸率. 在这区域工作时, 始终戴上清洁的无纤维手套和 使用清洁的工具.
DIN 1.4301, DIN 1.4305, DIN 1.4435, 玻璃, Ni, NiFe
W Ni
1
INFICON 控制器满足这些要求.
内部容积
管
允许压强 允许温度
工作温度 真空连接
灯丝 贮存
相对湿度 使用 安装方向 保护类型 尺寸
重量
测量讯号与压强的关系
压强 p［毫巴］
长管 长管
巴(绝对) 10,限于惰性气体
PSG502-S (Ni-丝)
350-140 350-142 350-141 350-144 350-145 350-143 350-146
350-147
350-148
(DN 16 ISO-KF) (DN 16 CF-R) (1/8"NPT) (8 VCR®) (4 VCR®) (½"-管) (7/16-20 UNF)
规管可任何方向安装. 为防止来自测量室的 凝聚物和微粒, 最好选择水平向上的位置,使 用带有对中环和过滤件的密封结构.如规管 安装后需要调整, 确保安装后可通过针尖操 作按键控制 (→”调整真空计”).
U型压力真空计说明书2
U型压力真空计说明书2第一篇：U型压力真空计说明书2一、概述：U型压力真空计（以下简称真空计）是测量粗真空压力的理想仪表，它结构小巧美观、重量轻、安装操作方便，其特点是精度高、响应快、测幅度广、稳定可靠、零部件采用不锈钢制品，有较高的耐腐蚀性，这些都是其它压力真空计无法比拟的。
本真空计的应用面很广，可用于冶金、化工、石油、轻工、医药、科学实验以及中央空调主机溴化锂制冷机组等，所以它是深受用户欢迎的理想仪表。
二、主要技术指标：测量范围0-100mmHg 误差±25%精度等级1.0级单位换算 1mmHg=133.322Pa1KPa=1000Pa三、工作环境条件：环境温度：-5--35℃相对湿度：≤85%外形尺寸：270mm×90mm×38mm四、工作原理：该真空计是一种液体压力计，它的基本原理是利用流体静力平衡原理，利用液体高度并有直接进行压力测量的仪表。
真空计玻璃管二端必须平衡，玻璃管内径均匀一致，一边玻璃管顶端封闭，并始终保持一定的真空度。
管内装有工作介质---高纯度水银，真空计的铜接头与被测设备相连接，设备内的压力由真空泵排气后，看真空计玻璃管内的水银柱端面高度差对照刻度板，直接读出绝对压力（*两端读数相加之和即为真空度）。
五、安装使用说明：将真空计垂直安装在设备上，用户可购￠5mm-￠8mm紫铜管与真空计上端的铜管焊接，另一端与真空阀门焊接，焊接时请注意以下事项：1、温度不要过高，以防止铜接头变形，影响密封性能。
2、铜管必须清洗，有条件可用(乙醚)，不能用油类清洗。
3、焊接质量保证，必须焊二层，绝对不能漏气。
4、“O”型圈拆卸要小心，安装时注意平均。
抽真空时必须关紧真空阀门，等真空泵运转后才慢慢打开真空阀门，以防一下子抽气，把真空中的水银抽出不能使用，停机时同样先关真空阀门，以防大气压强烈进入真空计玻璃管内而击碎玻璃管。
真空计玻璃管后面装有铝质刻度板，刻度板中间有二个调整“0”位的螺丝钉出厂时已调整好，用户不必再调整。
真空计说明书
DL-10型真空计说明书一、 概述DL-10型真空计是石英晶振真空计。
它的量程较宽，精度较高。
该真空计由规管与控制单元组成，控制单元的数码管显示压强值。
二、 技术要求1、测量范围：10-105Pa2、电源：交流220V,50Hz3、功率：7W4、几箱尺寸：200×90×160mm（宽×高×深）三、 原理DL-10型真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与气体压强有关的特性做的真空计。
石英晶振装在铝壳中做成规管，管径为15.5mm，可通过接口插入系统。
谐振阻抗的测量电路如图1所示：图1 谐振阻抗测量电路谐振阻抗Z=V ABV AB 为晶振两端电压 I 为流过晶振的电流电流I 流过与晶振串联的电阻R ，在电阻两端的电压为V BD ∴ I =V BDZ=BDAB V V RV AB 近似等于AC 两端电压V 0,V BD 近似等于DC 两端电压V 1，由测量的V 0，V 1值及电阻值，可以计算出阻抗。
单片机将阻抗转换成压强，由数码管显示压强值。
四、 DL-10真空计的安装DL-10真空计的安装如图2所示：控制单元图2 DL-10 的安装石英晶振及振荡电路放在探头内，引线电缆通过5芯插头插入控制单元后面板的插座内，探头Φ15.5直径的管道插入真空系统。
电源电缆一头插入控制单元后面板插座，另一端插入电源插座。
电源插座应含接地线，使控制单元机箱接地。
打开电源开关，控制单元数码管显示压强值。
数码管显示3.2 E 2 表示压强值为3.2×102Pa 。
五、 校准当环境温度变化时，应对DL-10进行校准，校准方法如下：1、 大气校准：在规管压强为大气时，用改锥按压控制单元前面板大气孔内的按键，松开后即可。
2、 零点调节：在规管压强小于1×10-2Pa 时，用改锥按压控制单元前面板零点孔内的按键，松开后即可。
如果真空系统达不到1×10-2Pa ，不可按压零点按键。
西特真空计说明书
西特真空计说明书摘要：1.西特真空计的概述2.西特真空计的工作原理3.西特真空计的结构特点4.西特真空计的操作方法5.西特真空计的维护与保养6.西特真空计的注意事项7.西特真空计的适用范围正文：一、西特真空计的概述西特真空计是一种用于测量真空度（即气体压强）的仪器，适用于各种真空设备的测量和控制。
西特真空计以其精度高、可靠性好、结构简单等特点，在我国的科研、生产和教育等领域得到了广泛应用。
二、西特真空计的工作原理西特真空计的工作原理是基于气体动力学理论，利用气体流速与压强之间的关系进行测量。
当被测气体流经真空计的测量孔时，气体的流速与压强呈正比关系。
通过测量气体的流速，就可以间接测量出气体的压强，从而得到真空度。
三、西特真空计的结构特点西特真空计主要由以下几部分组成：测量管、喷嘴、气室、转子、弹簧和指针。
其中，测量管和喷嘴构成了测量气体流速的部分；气室用于连接测量管和转子；转子通过弹簧和指针带动，可以自由旋转；指针则指示出真空度的数值。
四、西特真空计的操作方法1.将西特真空计连接到被测真空设备上，确保连接处密封无漏气。
2.打开真空设备的气阀，使被测气体流经真空计。
3.观察指针的转动，根据指针所指位置读取真空度数值。
4.在测量过程中，要注意保持真空计的清洁和避免受到撞击，以免影响测量精度。
五、西特真空计的维护与保养1.使用后要及时清理真空计内外的灰尘和污垢，保持真空计的清洁。
2.定期检查真空计的连接部位，确保密封无漏气。
3.避免将真空计暴露在高温、高湿或腐蚀性环境中，以免损坏。
4.长期不使用时，应将真空计存放在干燥、通风、避光的地方，以延长使用寿命。
六、西特真空计的注意事项1.使用前要认真阅读说明书，了解真空计的使用方法、注意事项和维护保养方法。
2.使用过程中要注意避免撞击、摔落和剧烈震动，以免损坏真空计。
3.不得擅自拆卸和改装真空计，以免影响测量精度和安全性。
七、西特真空计的适用范围西特真空计适用于各种科研、生产和教育领域的真空设备，如真空泵、蒸镀机、溅射仪、电子束蒸发器等。
ZDZ T电阻真空计说明书
产品名称: 电阻真空计产品型号： ZDZ-52T使用说明书Operation Panel目录1.简介--------------------------------------------------11.1 仪器简介----------------------------------------11.2 包装内容----------------------------------------12. 主要技术参数-----------------------------------------13. 仪器安装---------------------------------------------23.1仪器安装尺寸-------------------------------------------23.2仪器后面板图示及接线说明-----------------------------24. 仪器操作指南------------------------------------------------25. 故障诊断---------------------------------------------36. 注意事项 -------------------------------------- --41.1仪器简介ZDZ-52T型电阻真空计,可测量1路规管信号，控制2路继电器触点输出及0～5V模拟量输出。
在测量范围内,可自由设定点控或区域控制。
适合用于粗、低真空的测控。
ZDZ-52T型电阻真空计采用高档微处理器作主机,压缩外围部件,以提高可靠性。
本机电源采用高档模块电源，硬件采用模块化结构设计及EMI抑制、WATCHDOG电路,软件采用冗余、陷阱、数字滤波等抗干扰技术,进一步提高了仪器的抗干扰能力及整机性能,使仪器具有很高的可靠性,可在恶劣的工业环境下使用。
1.2 包装内容◆ZDZ-52电阻真空计一台◆ZDZ-52使用手册一本◆ZJ-52T电阻规管一支◆5芯电缆线(5M) 一根◆电源线(1.5M) 一根2.主要技术参数1测量路数 1路2 测量范围 1.0×105—1.0×10-1 (Pa)4 配接规管 ZJ-52T/KF165 测量精度 ±30%6 零点漂移 ±1%7 控制范围 1.0×105—1.0×10-1 (Pa)8 控制方式 2路点控或区域控制（本机无）9 控制精度 ±1%10 控制时间 < 1S11 输出容量 3A/220VAC无感负载12 模拟输出 0～５V13 使用电源 AC 220V/50Hz ±10%14 环境温度 -10℃--45℃15 环境湿度 < 85%(25℃)16 额定功耗 10W17 仪器净重 约1.5Kg3．仪器安装3.1仪器安装尺寸:单位(mm)A．外形尺寸：96X96X190(宽X高X深)B．面板尺寸：96X96C．开孔尺寸: 92X923.2 后面板接线说明：A:电源插座:接3芯电源线B:电阻规插座(5PIN):电缆线说明:仪器端←--------→规管端 后面板接线端口 (1,2,3,4) 对应 (1,2,3,4)选配扩展功能：C: 模拟输出接口(DB-9)，可输出0-5/10V/10mV 或 0/4-10/20mA等的真空度模拟输出量。
ZDF-IV复合真空计使用说明书
2A 21 4 3
设定 控制输出端 设定 控制输出端 设定 控制输出端 设定 控制输出端 电阻规管插口
电离规管插口 收集极插口 电源插口
保险
接地端
Z D F -Ⅳ- L E D后 面 板
真 空 计 前/后 面 板 功 能 图: Z D F -Ⅳ- L E D前 面 板
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电 阻 规( 皮 拉尼 规 )以 气体 分 子热传 导 方式来 检 测真空 ， 这 种热传导电阻规在低压力（真空）下，气体传热量与气体的摩尔 质量，气体分子温度，热丝表面等有关。因此不同种类的气体对 电阻规的灵敏度不同。
1 21 2
4 34 3
电源开关
发射电流指示灯 真空显示指示灯 关闭电离按键 开启电离按键 去气按键
设定 继电器指示灯 设定 按键 设定 按键 设定 继电器指示灯 去气指示灯 设定下限指示灯 设定上限指示灯
满度修正小孔 零点修正小孔
设定 按键 设定 按键 设定 继电器指示灯 设定 继电器指示灯 设定下限指示灯 设定上限指示灯
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3、 工 作 原 理
3.1 电阻单元工作原理
电阻单元采用热传导式电阻真空规（又称皮拉尼规），基于 这种规通以电流的热丝温度是随真空（压力）而变化的。由于温 度的改变导致热丝电阻的变化。因此用测量电阻的变化来测量真 空度。
3.2 电离计工作原理
电 离单元 采 用热阴 极 电离规 。 基于这 种 规 在低压 力 (真 空)
采 用国 际 通用流 行 的2U标 准机 箱 以及PV C彩 色薄 膜 面板 ， 使 真空计外型更为美观、时尚。
5、 使 用 概 述
真 空计 为 一路电 阻 测量和 一 路电离 测量,组合为 复 合真 空 计。 这种复合的电阻单元用于真空系统粗、低真空的测量与控制。 这种复合的电离单元用于高、超高真空测量与控制。 由于电阻单元与电离单元无重叠测量区域，则电离单元应手 动开启电离规灯丝，使其进入真空测量。 为满足真空设备真空度的自动测量，该复合真空计电离单元 的 电离规 可 通过外 控 端口PLC信 号 等 “开启 ”和“ 关 闭”电离规 以 实现 与 真 空 系 统 联 动 ， 确 保 在 适 宜 的 真 空 度“开 启”和“关 闭”电 离 规 ， 避 免了在低真空时使点亮的电离规灯丝氧化，以延长规管寿命。 可通过前面板完成控制点的设定。 可通过前面板零点（真空），满度（大气压）修正小孔，修 正电阻单元零点（真空）和满度（大气压）值。 可通过面板完成去气功能等操作。
飞越真空计vmv-1说明书
飞越真空计vmv-1说明书让您的工作更愉快真空计操作手册VMV-1品质保证描述VMV-1内置皮拉尼专业真空传感器，可以精确测量真空度。
因此，您可以从测量中收集有关湿度和异物（油、异物等）去除的息，从而了解填充制冷剂的最佳状态。
VMV-1可用于真空系统监测、泄漏检测和泵质量鉴别。
安全说明操作应按照本指令进行，并在指定参数范围内。
电量不足时更换新电池。
请勿将新旧电池混用，禁止使用不同品牌的电池。
如果长时间不使用，请取出所有电池。
请勿使用腐蚀性清洁剂或溶剂清洁仪器。
戴上护目镜和防护手套。
拧紧铜盖并存放在干燥的地方。
仪器过view1. 1/4“喇叭2. ：电源开/关/背光 UNIT：设置模式下的单位选择/加值 SET：长按按钮进入闹钟设置模式 SAVE/CAL：保存报警值/满量程校准/设置模式下的零位校准 3. 显示（真空度、单位和电池容量） 4. 电池盖（3xAA 电池）技术参数最大过载压力 14PSI / 0.1Mpa Range 0- 帕，0-100.00 毫巴，0-75.000 毫米汞柱，0- 微米分辨率 0.01 (<10 Pa), 0.0001 (<10 mBar),0.0001 (<10 mmHg) , 1 (< 微米) 准确性 2-100 Pa：读数的±5%（20t 时）工作温度 0–2-122 F) 电池寿命 45 小时（3 节AA 电池）单位 Pa, mBar, mmHg, 微米刷新率 0.5第二连接1×1/4″ 喇叭口传感器 lx 皮拉尼传感器自动关机时间 10分钟背光时间 20秒蜂鸣器警报 90分贝，10秒后关闭重量约125克（不含电池）应用大气环境（不能在存在制冷剂和其他气体环境）运营安装三节“AA”电池。
长按电源键 CD 3 秒可打开 LCD 灯。
当设备完全预热时，显示屏显示“。
直接或通过连接附件连接到系统。
启动真空泵，显示屏会从高到低显示极限压力。
皮拉尼pon100真空计说明书
皮拉尼pon100真空计说明书将电源开关置于“关”的位置，用规管电缆将电阻规与本机对应连接好，用电源线将电源插座和本机电源座连接。
继电器开关量信号输出座与被控制的执行设备用电缆线对应接好，仪器背板上的“J1”、“J2”两个继电器输出座各有一组开触点和常闭触点，供用户自行选择使用。
1、开机、接通电源，仪器显示“P”约3秒（预热）后进入测量状态。
仪器采用以10（用E表示）为底的指数，表示单位为Pa的气体压力值（真空度）。
“E”前两位为系数，后两位是正负指数。
2、电阻真空计的零点和满度调校。
3、请一定按照以下先调零点，后调满度的秩序进行。
（1）调零点当确定真空系统的真空度在1.0×10-1Pa以上时，工作5分钟后，按仪器面板（上三角）（下三角）（上三角）增加数值，（下三角）减少数值）使仪器显示“1.0E-1”（1.0×10-1Pa），零点调校工作即告完成。
（2）调满度完成了调零点的工作，将被测系统放大气后，让仪器工作5分钟，按下（ATM）键，并保持，显示值由原数值变为“1.0E5”（1.0×105Pa），松开按键，此时满度调校完成。
一旦调节好零点和满度，以后就不必再调，只有更换规管时才需要调节。
在调完零点将系统放大气后，即使仪器已经显示“1.0E5”（1.0×105Pa）,仍然需要执行调满度的步骤。
注意：本机在出厂前已经调好零点，不需调试，由于各地气压不同只要调一下满度即可，也可以不调。
注意规管号与相应仪器配合使用即可。
4、控制点和控制区域设置，真空度用气体的压力值表示，本机使用的压力单位是帕（Pa），真空度越高，压力值越低。
区域指真空的区域，上限指区域真空度的一端（也就是气压值小的一端），下限指区域真空度低的一端（也就是气压值大的一端）。
打开本机电源，在窗口显示“P”的3秒内，按一下面板上的“功能（Fun）键，进入设置状态，窗口显示第1路控制的真空区域上限符号“1-”，再按一下（Fun）键，显示过去设置的真空度上限压力值，其系数的整数位闪烁，按（SET）键，在“0--9”中间选定要置入的上限压力值系数的整数位，再按（Fun）键，使系数的小数位闪烁，再按（Set）键选定小数位，同样的方法可设定压力值指数的正负号和数字位。
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ZDR—II—LED
微机型数显电阻真空计
使用说明书
OPERATION.INSTRUCTION
一、简介
ZDR—II—LED型数显双路电阻真空计，是目前国内的新型真空计测量仪器。
它采用微机控制、数字显示，具有测量精度高，控制准确方便，显示直观等特点。
本仪器采用当今世界流行的薄膜面板及能触摸按钮，造型美观大方。
二、适用范围
ZDR—II—LED型数显双路电阻真空计配ZJ-52T电阻规管，其测量范围为1*105～1*10-1Pa，适用于要求测量范围宽，反映灵敏的粗、低真空的双路测量，并带有双路定值控制功能。
三、技术指标
1、ZJ-52T规管电阻值：85Ω
2、真空度测量范围：1*105～1*10-1Pa
3、定值控制设定范围：1*105～1*10-1Pa
4、定值控制负数：AC220V/3A（或DC28V/10A）
5、放大器满度误差：≤4％±1个字
6、工作电源：220V±10% 50HZ±5%
7、功耗：约30W
8、使用环境温度：0～45℃
9、空气相对湿度：＜85%
10、仪器外型规格：480*88*280或240*88*320mm
11、重量：3KG
四、工作原理
电阻计的工作原理是基于在低压强时，利用气体分子的热传导，在高压时，利用气体分子的对流传热特性，使得电阻规的电阻随所测系统的压强变化而变化。
电阻规的电阻与压强的变化是一种非线性关系，鉴次本机采用微机对此非线性进行误差修正，从而提高了测量精度。
由压强变化所引起的电阻规电阻的变化，由测量桥路输出电压信号，由放大器放大，经A/D转换换入微机进行非线性处理过算，最后送显示器显示。
其工作原理框图如下
五、使用方法：
1、将玻璃电阻规或金属电阻规开封与系统妥善密封连接，将仪器电缆线与规管连接。
2、接通仪器电源，数秒后显示“规1”测量值（左边），“规2”真空测量值（右边）。
真空度显示前两位为系数，第三位是底数10，用数字符号E来表示，最后位为指数。
如显示2.8E2时，其真空度P=2.8*102Pa=280Pa
3、零点、满度校准
由于电阻规制造时材料、工艺、装配等方面的因素，不同电阻规的性能有差异。
因此，在使用新的电阻规时，需对该电阻规的性能连同仪器进行零点和满度的校准，以减少测量误差。
其方法如下：
首先校准零点，在完成使用方法1、2后，对被测真空系统抽真空，确定被测真空度高于1.0E—1，（如9.0E—2）此时仪器应显示1.0E—1，若不为此值，调节仪器前面板（或后面板）零点电位器，使其显示1.0E—1，这样零点即调整完毕。
其次，校准满度。
在零点调整完毕后，按被测系统的工艺要求，对系统放大气，确保电阻所测位置为大气状态，此时，仪器显示应为1.0E5；不为此值，调节仪器前面板（或后面板）对应的满度电位器，使其显示1.0E5。
按此重复1或2次，仪器与电阻规的零点、满度即调整完毕。
以后的测量过程不必再调整，即可进行测量。
在仪器与电阻规使用一段时间后，若零点、满度有变化，应按上述步骤调整。
特别说明：在仪器测量大气状时，有一定的变化或漂移，一般显示1.0E4…1.0E4～1.0E5均为正常，不必再调节满度电位器。
4、控制设定是对真空系统进行控制增设的功能，可在测量范围内任意设定需要控制的真空度。
仪器“规管1”（即电阻规1所在的测量支路）设定值由“设定1”“设定2”按钮实现；仪器“规管2”（即电阻规2所在的测量支路）设定值由“设定3”“设定4”按钮实现。
开机后5秒内根据用户要求进行设定，5秒后仪器显示真空度，此后按下“设定”按钮将显示设定值，而不能改变设定值。
开机后5秒内设定具体操作如下：
按下“设定1”按钮不松开，显示0.0E—1，同时“设定1”上限灯亮，显示值每隔0.3秒系统加1，逢10指数加1，过程如下：
1.0E—1→
2.0E—1→
3.0E—1→……→1.0E2→……→2.0E2→……7.0E4→8.0E4→9.0E4→1.0E1
当显示到所需设定值时，松开按钮，“设定1”上限设定完毕，此时再按下“设定1“按钮不松开，“设定1”下限灯亮，显示值将从上限设定值开始变化，变化过程同上，当显示到所需设定值下限时，松开按钮，“设定1”下限完成。
“设定”“设定3”“设定4”操作同上。
以上操作必须在开机后5秒内（不包括按下“设定”后的时间）进行，若未设定完仪器已进入测量状态，可重新开机进行“设定”操作。
仪器对“设定值”具有掉电保护功能，若“设定”完成后，下次开机可不进行“设定”操作，仪器在5秒内自动进行测量和控制状态。
当“规管1”真空度达到“设定1”或“设定2”上限时，“控制1”继电器动作，输出“控制1”触点信号，同时“设定1”灯亮，当真空速低于“设定1”下限设定值时，设定1指示灯灭，继电器恢复原态，继电器触点信号由后面板“J1”接线盒输出。
“规管2”控制过程同上。
继电器触点为：AC220V/1A
DC28V/5A
六、仪器附件
1、ZJ-52T规管 2只
2、规管电缆 2根
3、电源电缆 1根
4、使用说明书 1份
5、合格证 1份。