玻璃镀膜的膜系结构和性能 共28页PPT资料共30页
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镀膜工艺简介.pptx
原子飞弹，而在样品表面形成金属皮膜的方法。
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2.磁控溅射镀膜的定义
电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的
氩离子和电子，电子飞向基片，氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量
的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉积在基片上成膜。
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3.辉光放电的定义
辉光放电是指在稀薄气体中，两个电极之间加上电压时产
生的一种气体放电现象。
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直流溅射：适用于金属材料
射频溅射：是适用于各种
金属和非金属材料的一种
溅射沉积方法
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4.真空溅射镀膜的优缺点
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三、真空离子镀膜
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4.热蒸发原理及特点
热蒸发是在真空状况下，将所要蒸镀的材料利用电阻加热达到熔化温
度，使原子蒸发，到达并附着在基板表面上的一种镀膜技术。
特点：装置便宜、操作简单广泛用于Au、Ag、Cu、Ni、In、Cr等导体
材料。
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5.E-Beam蒸发原理
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1.真空离子镀膜的定义
在真空条件下，利用气体放电使气体或蒸发物质离化，在气体离
子或被蒸发物质离子轰击作用的同时，把蒸发物或其反应物蒸镀在
基片上。
离子镀把辉光放电、等离子体技术与真空蒸发镀膜技术结合在
一起
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2.磁控溅射镀膜的定义
电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的
氩离子和电子，电子飞向基片，氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量
的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉积在基片上成膜。
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3.辉光放电的定义
辉光放电是指在稀薄气体中，两个电极之间加上电压时产
生的一种气体放电现象。
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直流溅射：适用于金属材料
射频溅射：是适用于各种
金属和非金属材料的一种
溅射沉积方法
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4.真空溅射镀膜的优缺点
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三、真空离子镀膜
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4.热蒸发原理及特点
热蒸发是在真空状况下，将所要蒸镀的材料利用电阻加热达到熔化温
度，使原子蒸发，到达并附着在基板表面上的一种镀膜技术。
特点：装置便宜、操作简单广泛用于Au、Ag、Cu、Ni、In、Cr等导体
材料。
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5.E-Beam蒸发原理
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1.真空离子镀膜的定义
在真空条件下，利用气体放电使气体或蒸发物质离化，在气体离
子或被蒸发物质离子轰击作用的同时，把蒸发物或其反应物蒸镀在
基片上。
离子镀把辉光放电、等离子体技术与真空蒸发镀膜技术结合在
一起
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镀膜玻璃性能参数介绍
04
镀膜玻璃的力学性能
硬度
总结词
硬度是镀膜玻璃的重要性能参数之一，它决 定了玻璃的抗划痕和抗磨损能力。
详细描述
镀膜玻璃的硬度取决于其制造工艺和表面涂 层技术。硬度较高的镀膜玻璃能够更好地抵 抗划痕和磨损，保持长期的外观效果和使用 寿命。硬度的测试方法通常采用摩氏硬度计 进行测量，其数值越高，表示玻璃的硬度越 大。
THANKS
感谢观看
详细描述
镀膜玻璃的透光性取决于膜层的厚度和材料性质。较薄的膜层通常具有较高的透光率，使光线 能够更好地透过玻璃。透光率越高，玻璃的清晰度就越好，视野也更加清晰。
反射性
总结词
镀膜玻璃的反射性是指光线在玻璃表面反射的能力。
详细描述
镀膜玻璃的反射性能主要取决于膜层的反射率和表面粗糙度。高反射率的膜层可 以将光线有效地反射，减少光的透过，从而减少光线的热量进入室内。这种特性 使得镀膜玻璃在炎热的夏季能够有效地阻挡阳光，降低室内温度。
详细描述
镀膜玻璃的隔热性能主要得益于其表面的镀膜层。该镀膜层能够反射大部分太阳光，减少太阳光的透 射，从而降低室内温度。此外，镀膜玻璃还可以有效阻挡室内的热量向室外传递，保持室内凉爽。
耐热性
总结词
镀膜玻璃的耐热性是指其承受高温的能 力。
VS
详细描述
优质的镀膜玻璃具有良好的耐热性，能够 在较高的温度下保持稳定。这使得镀膜玻 璃在炎热的夏季或阳光直射下仍能保持良 好的性能和外观。此外，其耐热性还使其 适用于厨房、浴室等高温环境。
吸收性
总结词
镀膜玻璃的吸收性是指光线被玻璃吸收的能力。
详细描述
镀膜玻璃的吸收性能与膜层的材料有关。某些膜层可以吸收部分光线，减少光 的透过和反射。吸收性能对于控制光的透过和反射具有重要意义，可以影响玻 璃的整体光学性能。
镀膜技术PVD-PPT幻灯片课件
5
Hale Waihona Puke 最早出现的金属沉积工艺钨W(Tm=3380℃) 钽Ta(Tm=2980℃) 钼Mo(Tm=2630℃)
6
蒸发装置的选择和运用很重要
热效率：热传导和热辐射对薄膜制备是不利的 (必须使坩埚或电极冷却)
For example, 在1500°C下蒸发Al: 选用合适的蒸发源, 所需能量为2.4kW.h/kg; 用电阻丝蒸发,所需能量为7-20kW.h/kg; 用TiB2电阻加热蒸发, 所需能量为50-100kW.h/kg;
溅射：常用的物理气相沉积方法。
溅射 RF磁控溅射 DC磁控溅射 离子束溅射 —反应溅射，活性气体，生长化合物薄膜。
分子束外延：MBE，超高真空，缓慢蒸发过程，多蒸发源，生长外延的单晶薄 膜。(ALE, MLE)
1
PVD的概念：在真空度较高的环境下，通过加热或高能
粒子轰击的方法使源材料逸出沉积物质粒子（可以是原子、 分子或离子），这些粒子在基片上沉积形成薄膜的技术。 其技术关键在于：如何将源材料转变为气相粒子（而非CVD 的化学反应）！
② 单个入射离子轰击出的产物粒子数与入射离子的能量/质量都有关；
均可用弹性碰撞理论解释！
22
③ 溅射产物粒子的平均速度 >> 蒸发出的粒子。
溅射镀膜的基本物理过程：
溅射镀膜何以实现？
气体放电 等离子体 带电离子 电场作用 离子加速 高能离子 撞击靶材 溅射 发射靶材原子 飞向基板 形成 沉积 获得薄膜！
所以可蒸发材料受到限制； 蒸发率低； 加热速度不高，蒸发时待蒸发材料如为合金或化合物，
则有可能分解或蒸发速率不同，造成薄膜成分偏离蒸发物 材料成分。
高温时，钽和金形成合金，铝、铁、镍、 钴等与钨、钼、钽等形成合金
镀膜玻璃简介
镀膜玻璃镀膜玻璃是在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜，以改变玻璃的光学性能，满足某种特定要求。
镀膜玻璃按产品的不同特性，可分为以下几类：热反射玻璃、低辐射玻璃（Low-E）、导电膜玻璃等。
热反射玻璃一般是在玻璃表面镀一层或多层诸如铬、钛或不锈钢等金属或其化合物组成的薄膜，使产品呈丰富的色彩，对于可见光有适当的透射率，对红外线有较高的反射率，对紫外线有较高吸收率，因此，也称为阳光控制玻璃，主要用于建筑和玻璃幕墙；低辐射玻璃是在玻璃表面镀由多层银、铜或锡等金属或其化合物组成的薄膜系，产品对可见光有较高的透射率，对红外线有很高的反射率，具有良好的隔热性能，主要用于建筑和汽车、船舶等交通工具，由于膜层强度较差，一般都制成中空玻璃使用；导电膜玻璃是在玻璃表面涂敷氧化铟锡等导电薄膜，可用于玻璃的加热、除霜、除雾以及用作液晶显示屏等；镀膜玻璃的生产方法很多，主要有真空磁控溅射法、真空蒸发法、化学气相沉积法以及溶胶—凝胶法等。
磁控溅射镀膜玻璃利用磁控溅射技术可以设计制造多层复杂膜系，可在白色的玻璃基片上镀出多种颜色，膜层的耐腐蚀和耐磨性能较好，是目前生产和使用最多的产品之一。
真空蒸发镀膜玻璃的品种和质量与磁控溅射镀膜玻璃相比均存在一定差距，已逐步被真空溅射法取代。
化学气相沉积法是在浮法玻璃生产线上通入反应气体在灼热的玻璃表面分解，均匀地沉积在玻璃表面形成镀膜玻璃。
该方法的特点是设备投入少、易调控，产品成本低、化学稳定性好，可进行热加工，是目前最有发展前途的生产方法之一。
溶胶—凝胶法生产镀膜玻璃工艺简单，稳定性也好，不足之处是产品光透射比太高，装饰性较差。
镀膜玻璃中应用最多的是热反射玻璃和低辐射玻璃。
基本上采用真空磁控溅射法和化学气相沉积法两种生产方法。
镀膜玻璃性能特点：1、太阳能透过率；2、较好的单向透视功能及较高的镜面反射效果;3、对太阳能中的红外线部分有较高的反射率，对紫外线部分有较高的吸收率，避免室内物品的褪色，并能节约房屋内冷暖空调的能耗;4、保护隐私：由于镀膜玻璃反射作用，限制了可见光的通过量，是光线强的一面看不见光线弱的一面；5、性能持久：膜层使用的金属化合物与玻璃结合牢固，可有效地提高玻璃的化学稳定性和使用寿命；镀膜玻璃产品应用：广泛应用于各类建筑幕墙及门窗装饰，可制作钢化夹胶、中空等多种用途的复合玻璃制品。
镀膜玻璃国内外标准ppt课件
.
术语和定义适用于ASTM C 1376-03
7
➢ 痕迹/夹杂物
➢ 在玻璃表面的一种外来物质沉积。
➢ 色差
➢ 在一片玻璃中或在同一幢或两幢建筑物中的两片玻璃之间膜层的 反射颜色的明显变化。
➢ 带纹
表现为一直线的线条并可能会在一片玻璃的任何地方出现的具有 分界线的范围或宽或窄的色差。
➢ 热分解
➢ 用于描述一种制造镀膜玻璃的方法的术语。通常在制造平板玻璃时，向 热玻璃施加膜层的过程。
.
术语和定义适用于ＥＮ 1096 1
12
➢ 紫外线透过率
➢ 镀膜玻璃所透过的入射阳光辐射中UV成分中的百分数。
➢ 光透过率
➢ 镀膜玻璃所透过的入射光的百分数。
➢ 透过标称颜色
➢ 透过观察的玻璃颜色。按定性指示定义。
➢ 透过颜色补偿
因光透过镀膜玻璃的结果而致一个物体的颜色变化
➢ 镀膜面的光反射率 ➢ 当光入射在镀膜面上时镀膜玻璃反射的入射光的百分数。
9
➢ 玻璃基片
➢ 一种基本玻璃，热钢化安全玻璃，热钢化硼硅酸盐安全玻璃，热 增强玻璃，热增强硼硅酸盐玻璃，夹层玻璃或夹层安全玻璃。
➢ 膜层
➢ 通过各种沉积方法施加在一种玻璃基片上的一层或多层薄的固体 的无机材料。
➢ 在线镀膜
➢ 在其切割之前的某个制造阶段中，连续动动基片玻璃带的表面 的处理。
➢ 离线镀膜
➢ 粉末镀膜
➢ 粉末在玻璃基片的热表面上化学地反应。
➢ 物理的膜层形成过程
在真空状态下，材料人一个源上以原子、化合物或离子态迁移的过程。随后它们 积聚在玻璃表面上形成膜层。该过程也会伴随化学反应。
➢ 蒸发
➢ 形成膜层的材料受热蒸发并沉积在玻璃表面。
术语和定义适用于ASTM C 1376-03
7
➢ 痕迹/夹杂物
➢ 在玻璃表面的一种外来物质沉积。
➢ 色差
➢ 在一片玻璃中或在同一幢或两幢建筑物中的两片玻璃之间膜层的 反射颜色的明显变化。
➢ 带纹
表现为一直线的线条并可能会在一片玻璃的任何地方出现的具有 分界线的范围或宽或窄的色差。
➢ 热分解
➢ 用于描述一种制造镀膜玻璃的方法的术语。通常在制造平板玻璃时，向 热玻璃施加膜层的过程。
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术语和定义适用于ＥＮ 1096 1
12
➢ 紫外线透过率
➢ 镀膜玻璃所透过的入射阳光辐射中UV成分中的百分数。
➢ 光透过率
➢ 镀膜玻璃所透过的入射光的百分数。
➢ 透过标称颜色
➢ 透过观察的玻璃颜色。按定性指示定义。
➢ 透过颜色补偿
因光透过镀膜玻璃的结果而致一个物体的颜色变化
➢ 镀膜面的光反射率 ➢ 当光入射在镀膜面上时镀膜玻璃反射的入射光的百分数。
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➢ 玻璃基片
➢ 一种基本玻璃，热钢化安全玻璃，热钢化硼硅酸盐安全玻璃，热 增强玻璃，热增强硼硅酸盐玻璃，夹层玻璃或夹层安全玻璃。
➢ 膜层
➢ 通过各种沉积方法施加在一种玻璃基片上的一层或多层薄的固体 的无机材料。
➢ 在线镀膜
➢ 在其切割之前的某个制造阶段中，连续动动基片玻璃带的表面 的处理。
➢ 离线镀膜
➢ 粉末镀膜
➢ 粉末在玻璃基片的热表面上化学地反应。
➢ 物理的膜层形成过程
在真空状态下，材料人一个源上以原子、化合物或离子态迁移的过程。随后它们 积聚在玻璃表面上形成膜层。该过程也会伴随化学反应。
➢ 蒸发
➢ 形成膜层的材料受热蒸发并沉积在玻璃表面。
《镀膜基础知识讲义》课件
详细描述
新型镀膜工艺的应用，使得镀膜 层的厚度和均匀性得到更好的控 制，减少了原材料的浪费和废品 的产生，从而降低了生产成本。
镀膜技术的发展前景与挑战
总结词
镀膜技术的发展前景广阔， 但仍面临挑战。
详细描述
随着科技的不断进步和应用 领域的拓展，镀膜技术的发 展前景广阔。然而，随着新 材料、新工艺的不断涌现， 也面临着技术更新换代快、 市场竞争激烈等挑战。
铜硅复合镀膜材料
结合了铜的导电性和硅的 透光性，常用于电子和太 阳能领域。
铬氮复合镀膜材料
结合了铬的高硬度和氮化 硅的耐磨性，常用于装饰 和机械领域。
04
镀膜的设备与工具
镀膜设备的分类与选择
真空镀膜设备
包括真空蒸发镀膜机、电子束蒸 发镀膜机等，适用于金属、非金 属表面的镀膜。
化学气相沉积设备
通过化学反应在基材表面形成薄 膜，适用于各种材料的表面处理 。
测量精度
要求测量精度达到±1微米 ，以确保镀膜厚度的准确 性。
测量步骤
先清洁样品表面，然后选 择合适的测量点，最后读 取测量数据并记录。
镀膜质量的评估
评估指标
镀膜的硬度、耐磨性、耐腐蚀性、光学性能等。
评估方法
采用硬度计、摩擦试验机、盐雾试验箱、光谱分 析仪等设备进行测试。
评估标准
根据不同镀膜材料和用途，制定相应的评估标准 ，以确保镀膜质量符合要求。
镀膜技术涉及物理、化学、材料科学 等多个领域，是现代工业制造和表面 处理领域的重要技术手段。
镀膜技术的发展历程
镀膜技术的起源可以追溯到古代的金属加工和宝石镶嵌技术。
随着科技的发展，20世纪中叶以后，真空技术、物理气相沉积、化学气相沉积等技 术的出现，推动了镀膜技术的发展和应用。
镀膜工艺介绍.pptx
1、溅射原理
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第3页/共14页
第4页/共14页
进口室 缓冲室 输送室
溅射室
输送室 缓冲室 进口室
第5页/共14页
平面靶
旋转靶
第6页/共14页
• 前提:以S=4m/min走速计算
• 一次单银调片时间约为12分钟 • 试镀时间约为12分钟 • 产品从上片到出片时间约为17分钟 • 连续生产时的产能=S×2.44×装载率×60
2、同一编号的TS系列仅是对应钢化后的TB系列， 和钢化前的TB系列颜色会相差很多。即使是钢化后TB 系列与TS相比也只是近似，原则上不能混用。
第12页/共14页
TB系列与Super系列对应关系
Super系列 TB系列
SuperⅠ
SuperⅢ
SuperⅣ
SuperⅤ
Ces11-80/TB Ceb14-60/TB Ceb14-50/TB Cef16-50/TB
D
中低透 光
多数高 反
双银
字3
字4
字5
数 基片 数字 反射 数字 透过 字
字 颜色
色
率母
1 白玻 1
中性 色
2 F绿 2
银色
3 灰玻 3 4 茶玻 4Biblioteka 蓝色 8-85 8%- S
灰色
85%
字6
含 字 特殊 义母
TS 新结 构
TB 可钢 化
南 玻
Y 耀皮
5 蓝玻
V Varicon
第11页/共14页
1、字8缺省表示老结构Low-e，但现在有时后 新结构后也不加“TS”。新老结构颜色只是近似。
1、钢化前和钢化后的颜色不一样 2、SuperⅠ和SuperⅠ+钢化颜色变化规律不一样
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进口室 缓冲室 输送室
溅射室
输送室 缓冲室 进口室
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平面靶
旋转靶
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• 前提:以S=4m/min走速计算
• 一次单银调片时间约为12分钟 • 试镀时间约为12分钟 • 产品从上片到出片时间约为17分钟 • 连续生产时的产能=S×2.44×装载率×60
2、同一编号的TS系列仅是对应钢化后的TB系列， 和钢化前的TB系列颜色会相差很多。即使是钢化后TB 系列与TS相比也只是近似，原则上不能混用。
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TB系列与Super系列对应关系
Super系列 TB系列
SuperⅠ
SuperⅢ
SuperⅣ
SuperⅤ
Ces11-80/TB Ceb14-60/TB Ceb14-50/TB Cef16-50/TB
D
中低透 光
多数高 反
双银
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数 基片 数字 反射 数字 透过 字
字 颜色
色
率母
1 白玻 1
中性 色
2 F绿 2
银色
3 灰玻 3 4 茶玻 4Biblioteka 蓝色 8-85 8%- S
灰色
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含 字 特殊 义母
TS 新结 构
TB 可钢 化
南 玻
Y 耀皮
5 蓝玻
V Varicon
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1、字8缺省表示老结构Low-e，但现在有时后 新结构后也不加“TS”。新老结构颜色只是近似。
1、钢化前和钢化后的颜色不一样 2、SuperⅠ和SuperⅠ+钢化颜色变化规律不一样
光学镀膜ppt课件
光学镀膜
© 2006, ZTE Corporation.
1
分类
增透膜 单层增透 多层增透 反射膜 金属反射膜 介质反射膜 分光膜 普通分光 偏振分光 消偏振分光 二相色分光膜
2
© 2006, ZTE Corporation. All rights reserved.
增透膜
单层增透膜： 理论解析 ： 若是由介质 n1垂直入射至 n2 反射率＝[ (n2 －n1) / (n1+n2) ]2 穿透率＝4n1n2 / (n1+n2)2 若是空气的折射率是 1.0 ，镀膜的折射率 nc (例如：1.5) ，玻璃的折射率 n (例如：
带通膜 带通膜
通用指标 截止区截止深度：＜0.1% 半带宽 ＜10nm
27
© 2006, ZTE Corporation. All rights reserved.
作业：
作业： 分光膜：普通分光，偏振分光，消偏振分光 滤光膜或二向色分光膜：长波通，短波通，带通 任选四个找出其应用的具体实力及说明 例子：
名称 偏振分光膜
应用 法拉第电流传感器
说明
利用磁光效应改变光的偏振面，当电流变 化，由于磁性变化导致光在导光棒中偏振 面的改变，从而测量电流，由于需要对光 起偏和检偏，且检偏需要分光以检测S和P 光在不同电流影响下的分光比 ，所以需要 用到偏振分光棱镜，高级的传感器用到的 偏振器实际是格兰泰勒棱镜等高偏振度， 高透过率的元件
7
© 2006, ZTE Corporation. All rights reserved.
增透膜 用途：
所有透过型光学系统如照相机、测距仪、潜望镜、显微镜等各种视觉观察和测 量系统 指标说明 ： 单层增透：对于一般玻璃反射R<1.5%@532nm，
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1
分类
增透膜 单层增透 多层增透 反射膜 金属反射膜 介质反射膜 分光膜 普通分光 偏振分光 消偏振分光 二相色分光膜
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增透膜
单层增透膜： 理论解析 ： 若是由介质 n1垂直入射至 n2 反射率＝[ (n2 －n1) / (n1+n2) ]2 穿透率＝4n1n2 / (n1+n2)2 若是空气的折射率是 1.0 ，镀膜的折射率 nc (例如：1.5) ，玻璃的折射率 n (例如：
带通膜 带通膜
通用指标 截止区截止深度：＜0.1% 半带宽 ＜10nm
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作业：
作业： 分光膜：普通分光，偏振分光，消偏振分光 滤光膜或二向色分光膜：长波通，短波通，带通 任选四个找出其应用的具体实力及说明 例子：
名称 偏振分光膜
应用 法拉第电流传感器
说明
利用磁光效应改变光的偏振面，当电流变 化，由于磁性变化导致光在导光棒中偏振 面的改变，从而测量电流，由于需要对光 起偏和检偏，且检偏需要分光以检测S和P 光在不同电流影响下的分光比 ，所以需要 用到偏振分光棱镜，高级的传感器用到的 偏振器实际是格兰泰勒棱镜等高偏振度， 高透过率的元件
7
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增透膜 用途：
所有透过型光学系统如照相机、测距仪、潜望镜、显微镜等各种视觉观察和测 量系统 指标说明 ： 单层增透：对于一般玻璃反射R<1.5%@532nm，
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1、最灵繁的人也看不见自己的背脊。——非洲 2、最困难的事情就是认识自己。——希腊 3、有勇气承担命运这才是英雄好汉。——黑塞 4、与肝胆人共事，无字句处读书。——周恩来 5、阅读使人充实，会谈使人敏捷系结构和性能 共28页 PPT资料
1、战鼓一响，法律无声。——英国 2、任何法律的根本；不，不成文法本 身就是 讲道理 ……法 律，也 ----即 明示道 理。— —爱·科 克
3、法律是最保险的头盔。——爱·科 克 4、一个国家如果纲纪不正，其国风一 定颓败 。—— 塞内加 5、法律不能使人人平等，但是在法律 面前人 人是平 等的。 ——波 洛克