光学薄膜表面微细缺陷在线检测方法研究

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钟球盛 胡广华 李静 蓉
（ 华南理 工大学 机械 与汽 车工程 学院 ， 广州 ５ ０ ４ ） １６ １
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机 械 设 计 与 制 造
１２ ０ 文 章 编 号 ：０ １ ３ ９ （０ １ ｌ— １２ ０ １ ０ — ９ ７ ２ １ ）０ ０ ０ — ３
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第１ ０期 ２１年 １ ０１ ０月
光学薄膜表 面微细缺 陷在线检测方法研究 木
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传统的光学薄膜质量的检测方法主要是人工离线通过放大 种通用 的视觉 系统。 首先 ， 光学薄膜作 为被检测对象 ， 其材质具有
镜肉眼检测 的方法。 用于光学薄膜行业 的机器视觉检测 系统 尚不 透明性 ， 透光率大于 ９ ％， ０ 高透光率 、 低反射率对光路系统设计 有 多见。人工视觉一般能够对常见物体进行准确判断 ， 但是也存在 着 特殊要求 ， 括光源的选择 、 源的安装位置 、ｃ 包 光 ｃ Ｄ镜头安 装 限制Ｏ 旦环境异常， － 人工视觉可能会对被识别物产生错误判断 ， 位 置与角度 ； 次 ， 其 被测物 体处于运动 当中 ， 实现在线 同步 检 要 甚至是无法识别 。 人工对缺陷的检测 ， 由于检测工作劳动强度大 ， 测 ，则相机的采集频率必须与光学薄膜的运动速度保持一致 ； 最 容易受周 围环境 的影响 ， 而产生误判 ； 能力有限 ， 观测 检测精度不 后 ， 光学薄膜处于复杂的背景 中， 要实现缺 陷特征与背景分离 ， 图 高， 无法识别微米级 的光膜缺 陷； 的主观Ｉ ， 人 生强 得到结论不一定 像处理的算法必须进行大量的实例验证 ； 并且要实现高速图像 的
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关键词： 光学薄膜； 缺陷检测； 计算机视觉
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中图分类号 ：Ｈ ６Ｔ ３ １ ，Ｎ ４ 文献标识码 ： Ｔ １ ，Ｐｎｔ ａ ｅｏｔ ８ ｆ ｉｔ ｍＣ ｐ ｅｗｈ ａ ａ ｅｔ ｏｒ ｍｒｎｍ ｈｅｏ ｒ ｔ ｓ０ ｔ ｄｅｓ ｅｌ．ｍａｄ ｉ ｍｎ ｕｄｏ ｎ ｌ ｋｇ ａｉ ｋ ｐ ｉｎｏｈ ｅｃ ｎｈ ￣ｏ ｒ ｔ ｕ ｏ ｍ ｈ ｉ ｆｅ ｆ ｉ ｌ
｝光学薄膜缺陷图像的同步采集。 基于计算机视觉的理论 ， 出了一种有效的 自 提 动质量监测方案， 实现对 ｛
；光学薄膜表面 微细缺陷项目 的检测， 并根据检测结果驱动打标机对光学薄膜缺陷进行 自 动标识和定 ：
｝位 ， 该方法具有高精度、 实时、 在线和非接触的显著优势。 探索性实验结果表明 ， 采用该方法可获得光学 ｌ薄膜表面缺陷的清晰图像 ， 缺陷的细节能够得到很好的展现， 并且能够完成缺陷特征的提取与／ ￣ 。 ７１ ．ｊ ２
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【 要】 摘 为了对光学薄膜进行精密光学检测， 需要采用数个具有高解析度的线阵Ｃ Ｄ相机进行 ｉ Ｃ