PVDF压电薄膜传感器的制作
压电薄膜材料与器件制备技术
压电薄膜材料与器件制备技术一、压电薄膜材料的概述压电薄膜材料是指具有压电效应的薄膜材料，其特点是在外加电场或机械应力下产生形变或反之，即使在微小应变下也能产生大的电荷或电场。
常见的压电薄膜材料有PZT、AlN、ZnO等。
二、压电薄膜器件制备技术1. 压电薄膜制备技术(1) 溅射法：将靶材置于真空室中，通过氩气等惰性气体离子轰击靶材表面，使得靶材表面原子被剥离并沉积在基片上形成压电薄膜。
(2) 溶胶-凝胶法：将金属离子与有机物形成络合物后，在加热过程中逐渐失去溶剂和有机物，形成纳米级粒子，并在基片上形成压电薄膜。
(3) 化学气相沉积法：通过化学反应沉积出具有良好结晶性的压电陶瓷晶体，并在基片上形成良好的压电薄膜。
2. 压电薄膜器件制备技术(1) 压电传感器：将压电薄膜固定在弹性体上，当受到外力作用时，弹性体会发生形变，从而使得压电薄膜产生电荷或电场变化，实现对外力的检测。
(2) 压电陶瓷换能器：将压电陶瓷片固定在机械结构上，当施加外力时，陶瓷片会发生形变，从而产生振动或声波。
(3) 压电马达：将压电陶瓷片与机械结构相连，在施加交流电场的情况下，使得陶瓷片产生振动，并通过机械结构转换为旋转运动。
三、压电薄膜材料与器件应用领域1. 传感领域：利用压电传感器检测温度、气体、液体等物理量。
2. 能量转换领域：利用压电陶瓷换能器将机械能转化为声波或振动能。
3. 运动控制领域：利用压电马达实现精密定位和微型运动控制。
4. 生物医疗领域：利用压电薄膜制备超声探头、人工耳蜗等医疗器械。
四、压电薄膜材料与器件的未来发展趋势1. 高性能化：发展高性能压电材料，提高其压电效应、稳定性和可靠性。
2. 微型化：将压电薄膜材料与微纳加工技术相结合，实现微型化器件的制备。
3. 多功能化：将多种功能集成在一起，实现多功能化的压电器件。
4. 智能化：利用新型材料、新型结构和智能控制技术，实现智能化的压电器件。
五、总结随着科技的不断进步，压电薄膜材料与器件在各个领域得到了广泛应用。
PVDF压电薄膜结构监测传感器应用研究
２
石 家
庄 铁
道 学 院 学 报
第ｌ ９卷
式中， Ｓ为 Ｐ Ｄ Ｖ Ｆ传感元件的电极所覆盖 的面积 ； Ｐ Ｐ Ｄ 压 电薄膜弹性模量 ； 为应变（ ＝ ， ， Ｅｖ 为 Ｖ Ｆ Ｄ １２
３。 ）
利用 Ｐ Ｄ 传感元件对结构 面检测 ，Ｖ Ｆ压 电薄膜 的基本尺寸为 ｔ × 如图 １ ａ 所示）极化方 ＶＦ ＰＤ ×ｚ Ｗ（ （） ，
（ ＝ｌ２ ３ ｉ ，， √＝ｌ２ …，） ， ， ６
（） １
Ｐ Ｄ 压电薄膜 的电荷输 出是它所有方 向的应变在极化方向上作用的响应 ＶＦ
Ｑ＝∑ｄ Ｆ ｑｎ Ｅ
收稿 日期 ： ０ ０ ０ ２ ５‘７‘ ４ ０ 作者 简介 ： 杜彦 良 男 １５ ９６年出生 教授
（） ２
维普资讯
ｌ 引言
动态应变的测量一直是许多工程和力学工作者所关心 的问题。常用 的应变传 感器有金属 电阻应变 片和半导体应变片。前者的灵敏度系数 较低 ， 后者的灵敏度 系数有非线性 和受温度影 响大的缺点。因 而， 开发研究新的应变测量技术是很有意义的¨ 。 Ｊ
压电材料是智能材料系统 中应用最为广泛的一类传感材料 ， 近年来研制开发的 Ｐ Ｄ 压 电薄膜 ， ＶＦ 由于 柔性好 、 强度大 、 耐力学冲击 、 耐腐蚀和可以任意分割等优点而受到广泛应用 。尤其是它的压 电电压常数 高， 与基体结合后对结构的性能影响很小 ， 对于机械应力或应变的变化具有极快 速的响应 ， 频响范 围宽
２２ Ｐ Ｄ ． Ｖ Ｆ压电传感元件的电路等效模型 从功能上看， 当压 电薄膜作为传感元件 时是一个 电荷发生器 ， 因此 可用 一个 电荷源 等效 ； Ｐ Ｄ 从 Ｖ Ｆ压 电传感 元件的组成 和几何 结构看 ， 也是一个电容器。因此 ， 输出电学理 想条件下 的传感模型可 以用 电荷 源等效 。 ］
压电薄膜传感器
传感器 优势(yōushì)
对人体微弱生理信号的有效采集和处理一直是医疗器械领域(lǐnɡ yù)的研
究热点。目前有多种用于人体微弱信号采集的传感器。
新型高分子压电材料聚偏氟 乙烯研制的压电传感器
结构简单、灵敏度高、频带宽 能准确测量微弱的人体信号
与人体接触安全舒适，能紧贴体壁
声阻抗与人体组织声阻抗十分接近等一
精品资料
系统 硬件 系统 (xìtǒng)
(yìnɡ jiàn)
信号的处理控制部分
利用8031单片机中的两个定时器/计数器T0和T1分别工作 于定时和计数方式，对心音心电波形整形后的脉冲进行 计数，然后通过软件计算脉搏心率每分钟跳动次数，并根据软
件分析心电心音数据相关的量。
精品资料
系统 硬件 系统 (xìtǒng)
精品资料
传感器 设计 压电薄膜传感器的设计主要考虑了传感器的灵敏度和信噪
(shèjì)
比，根据测量信号的频率和响应幅度。
在采集人体心音的信号时，由于心音的频响范围(fànwéi)较宽， 同时其输出的物理信号值也很微弱，采用硬质衬底和中空的
设计。
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传感器 设计(shèjì)
优点：提高传感器中薄膜在收到心音信号时的形变量，从而提高信 号强度。
精品资料
计数，读取寄存器值，计算最终结果。
精品资料
(zǒngjié)
ห้องสมุดไป่ตู้
总 结
利用高分子压电材料聚偏氟乙稀研制成压电薄膜传感 器应用于心音心电监测系统，能够准确不失真的采集 人体微弱(wēiruò)的心音脉搏信号。该薄膜传感器与心音 心电整机之间结构、性能匹配，通过实验，本心音心 电监测系统可以初步监测人体的心音心电信号，该系
PVDF超声检测传感器的原理与应用
PVDF超声检测传感器的原理与应用目前，国内在激光超声波检测方面大多局限于声场理论的探讨，需要新的检测技术来测量高频超声波，如阵列传感接收装置。
阵列检测不仅能同时检测多个不同位置点，而且能够产生检测对象的图像。
阵列检测技术既能提高检测质量又能减少检测时间。
PVDF是一种半结晶性聚合物，由CF2CH2长链分子构成，广泛应用于航空航天、铁路、石油化工等现代工业领域。
新型PVDF材料具有良好的力学与压电性能，适用于制作声波的接收器件，开发新型PVDF阵列的超声波接收传感器件具有下列优势：①成本比相控阵检测技术要低；②可用于测量薄膜材料的力学参数；③通过成像技术能够得到薄膜材料亚表面特征和多个力学参数。
本文对PVDF压电薄膜材料的优缺点及传感机理等进行概述，研究PVDF圆膜及其影响因素，并设计梳状传感器，探讨其超声检测性能。
二、PVDF压电薄膜（--）PVDF压电薄膜的优缺点PVDF材料压电应变常数低，机电耦合系数较小，压电电压常数高，具有极高灵敏度；PVDF薄膜厚度极薄，可紧贴于物体表面，几乎不影响被粘物体结构；介电强度高，电场耐受力强，在强电场下仍可保持原有性能；声阻抗低，可有效防止声波信号失真；材质软，易加工，可制成大面积阵列传感器和各种不规则形状传感器；热电性强，可制成火灾报警器、防盗报警器、非接触温度计等。
此外，PVDF薄膜还具有频响宽、热稳定性好等优点。
（二）PVDF压电薄膜的传感机理PVDF压电薄膜受力形变产生极化电荷，极化电荷的大小与分布与物体形变密切相关。
在零外电场情况下，PVDF压电薄膜的输出信号是它在各方向的应变总响应，强度较弱，须经运算放大器放大后，才可进行后续处理。
（三）PVDF压电薄膜的制备方法PVDF压电薄膜制备方法有有流延法、匀胶法、小分子蒸发镀膜法和压膜法等。
其中流延法对设备要求较低，成品致密性好，强度高，因此成为最常见的制备方法。
将PVDF溶于定量的N-甲基吡咯烷酮（NMP）中，经过滤、真空除气泡、升温蒸发等操作，除去NMP，在流延皿上形成一层薄膜，即为原始的PVDF薄膜。
聚偏氟乙烯PVDF纳米纤维的制备方法
聚偏氟乙烯纳米纤维的制备一、背景聚偏氟乙烯(polyvinylidenefluoride，PVDF)主要是指偏氟乙烯均聚物或者偏氟乙烯与其它少量含氟乙烯基单体的共聚物，属于线性结晶聚合物，PVDF树脂属于热塑性聚合物，呈白色粉末状、粒状。
具有优良的耐热和耐化学性、高机械强度和韧性、高耐磨性、卓越的耐气候性、以及对紫外线和核辐射的稳定性。
聚偏氟乙烯的结构式聚偏氟乙烯因其具有高机械强度，耐酸，耐碱，压电等优良性质，被广泛的用于电纺纤维制备电池隔膜，传感器，过滤膜等。
S.S.Choi等人研究发现，将PVDF基电纺纤维膜应用在锂离子电池中，不仅可以直接作电池隔膜使用，还可以在电解液中活化作为聚合物电解质使用[1]。
王永荣用PVDF纳米纤维膜制作了一个压力传感器，每个传感器由三层结构构成，包括柔性上电极、PVDF纳米纤维膜和固定的下电极构成[2]。
迪肯大学的Fang等人研制了利用静电纺PVDF薄膜制成的一个能量发电机，通过桥电路将机械力产生的交流电转换成直流电，点亮了电路中的LED灯[3]。
武汉理工大学的翟威釆用引入聚氨酯预聚体的方法对PVDF 电纺膜进行粘结改性,使聚氨酯预聚体反应交联后和PVDF形成半互穿性网络,从而提高PVDF 膜的力学性能[4]。
二、纳米纤维的制备2.1仪器和试剂仪器：静电纺丝装置(SS-2535H)；磁力搅拌器；电子天平；扫描电子显微镜(SEM)试剂：聚偏氟乙烯；N,N-二甲基甲酰胺(DMF)，丙酮（市售，分析纯）；2.2聚偏氟乙烯纳米纤维膜的制备使用静电纺丝装置制备纳米纤维膜。
称取一定量的PVDF样品放入100mL磨口锥形瓶，按溶剂的DMF和丙酮按体积比3:2加入锥形瓶内配制成浓度为17%的溶液，水浴加热将其溶解。
取5mL配制好的溶液进行静电纺丝。
用铝箔作为接收，调节正电压为10KV，负高压1.5KV，喷射距离15cm。
液滴在静电力作用下在喷针形成Taylor锥形成射流和纤维。
pvdf 压电 电路
pvdf 压电电路
PVDF压电薄膜是一种常用的压电材料，具有3层结构薄膜，在两个表面已经覆了很薄的铝电极。
这种材料具有较高的压电常数、居里点温度高、热稳定性好、耐腐蚀性强等优点。
在应用方面，PVDF压电薄膜主要用于制作传感器和换能器，如压力传感器、加速度传感器、流量传感器等。
在电路设计方面，以PVDF压电薄膜为材料的传感器通常需要将信号从传感器的输出端传输到后续的信号处理电路中。
为了实现这一目标，需要设计相应的电路来连接传感器和信号处理电路。
具体电路设计需要根据实际应用需求和传感器特性进行定制，但通常需要包括信号放大、滤波、调理等环节，以提高信号的信噪比和稳定性。
总之，以PVDF压电薄膜为材料的电路设计需要根据实际应用需求和传感器特性进行定制，以确保电路的性能和稳定性。
PVDF压电薄膜
PVDF压电薄膜PVDF压电薄膜即聚偏氟乙烯压电薄膜是本世纪70年代在日本问世的一种新型高分子压电材料。
到目前为止，世界上只有少数先进国家生产。
PVDF压电薄膜是一种柔软、质轻、高韧度塑料薄膜，可以根据需要制成各种形状，厚度的元件。
与微电子技术结合，能制成多功能传感元件。
•PVDF压电薄膜的应用o PVDF压电薄膜具有独特的介电效应、压电效应、热电效应。
与传统的压电材料相比具有频响宽、动态范围大、力电转换灵敏度高、机械性能强度高、声阻抗易匹配等特点，并具有重量轻、柔软不脆、耐冲击、不易受水和化学药品的污染、易制成任意形状及面积不等的片或管等优势。
在力学、声学、光学、电子、测量、红外、安全报警、医疗保健、军事、交通、信息工程、办公自动化、海洋开发、地质勘探等技术领域应用十分广泛。
产品主要有金、银、铝三个品种，膜厚30—500μm，产品形状、面积大小，可根据用户需要确定，是制作改进压力动态传感器和超声、智能探测的新型换能材料。
</F ON T>•PVDF压电薄膜的优点o PVDF压电膜具有较高的化学稳定性、低吸湿性、高热稳定性、高抗紫外线辐射能力、高耐冲击、耐疲劳能力，其化学稳定性比陶瓷高10倍，在80℃以下可长期使用。
PVDF压电膜质地柔软、重量轻，与水的声阻抗相近，匹配状态好，应用灵敏度高；PVDF压电膜在厚度方向的伸缩振动的谐频率很高，可以得到较宽的平坦响应，频响宽度远优于普通压电陶瓷换能器；PVDF压电膜优点如下：(1) 良好的工艺性。
可用现有设备进行加工；(2) 能制作大面积的敏感元件；(3) 频带响应宽(0～500MHz)；(4) 声阻抗接近于人体组织和水，所以可用于医疗诊断的敏感装置结构中；(5) 具有高冲击强度(可使用于冲击波的传感器中)；(6) 耐腐蚀性(在活性介质中使用时这种性能是必需的)；(7) 相对介电常数较低；相应较高的压电常数值d33(约比其它压电材料高一个数量级以上)和热信号灵敏度(p/ε)值；(8) 与压电陶瓷相比有更低的导热性；并能制得更薄的薄膜；(9) 柔软坚韧(PVDF的柔顺系数约为PzT的30倍,并且轻(比重只有PzT的1/4左右)；能制成所需的各种较复杂的形状(锥形、穹顶形等)，可使用在需要具有特殊定向的元件中。
压力传感器的设计与制备
压力传感器的设计与制备压力传感器是一种常见的感应器件，它可以将压力信号转换成电信号输出，广泛用于汽车、机器人、工业自动化等领域。
本文主要描述了压力传感器的设计和制备过程。
一、压力传感器的原理压力传感器只能检测压力，它通过一组薄膜或金属杆等敏感零部件感知压力，将压力信号转换为电信号输出。
其中，薄膜式压力传感器又分为应变式和压电式。
应变式薄膜压力传感器的原理是利用膜片的外力变形以及力臂延伸使得应变表层比例变化，从而引起电阻值或电容变化。
压电式薄膜压力传感器则利用电极附近的电荷移动将压力信号转换成电信号输出。
二、压力传感器的参数压力传感器需要考虑以下参数：1、灵敏度：指传感器输出变化与输入量变化之间的比值。
2、测量范围：指传感器能够测量的最大压力值。
3、线性范围：指输出信号与输入信号成正比的范围。
4、分辨率：指检测器对物理量变化的最小量级。
5、稳定性：指在稳定工作状态下，输出信号与输入信号之间的变化率。
三、压力传感器的设计1、电路设计压力传感器的电路设计要考虑灵敏度、分辨率和放大系数。
我们需要选择合适的运放来作为信号放大器。
在不同应用领域中，电路设计可能有所不同。
2、悬臂梁设计悬臂梁是薄膜薄片式压力传感器的重要部分。
我们需要考虑悬臂梁的尺寸、材料以及悬臂梁与基底的粘合剂。
同时，我们需要使用有限元法进行模拟，来研究悬臂梁对压力响应的影响。
3、封装设计为了保护传感器，我们需要封装传感器。
封装材料需要满足防水、防尘和耐腐蚀的要求。
同时，为了方便使用，封装材料还需要具有良好的热稳定性和mechnical strength。
四、压力传感器的制备1、膜片成型我们可以使用化学蚀刻、激光切割、电镀等方法制作薄膜悬臂梁。
2、印刷电极我们可以使用屏幕印刷或气相沉积等方法制作电极。
3、衬底附着我们需要使用特殊的粘合剂将悬臂梁附着在衬底上。
4、系统集成在将传感器封装后，我们需要接入电路和调整参数，以确保传感器输出满足特定应用要求。
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PVDF压电薄膜传感器的制作
作者：韩莉莉
来源：《智富时代》2015年第09期
【摘 要】通过对PVDF压电薄膜压电特性的了解，实验室中制作PVDF薄膜传感器的工
艺流程主要包括薄膜形状的确定、薄膜切割、边缘化处理、电极的引出、加保护层等步骤。在
传感器的制作过程中本文还总结出制作工艺中的注意事项。
【关键词】PVDF；压电薄膜；制作工艺
爆炸冲击下测试曲面或脆性材料表面的压力比较困难，设计一种能够直接粘贴在材料表面
的传感器十分必要。PVDF作为新型有机聚合物材料，其压电性能好，压电常数d33比较高，
是石英材料的十几倍，且PVDF柔和加工性能好，机械强度高，化学稳定性较好，此外对加载
信号的响应时间可达到纳秒级，压力的测量范围至Gpa级。基于上述优点，PVDF在动态压力
测量领域有应用前景广阔。
一、实验材料的准备
通过对PVDF材料的压电特性、等效模型的分析，对其特征有所掌握，因此针对其特征，
课题中通过选用锦州科信电子材料有限公司生产的PVDF压电薄膜来制作用于爆炸冲击力测试
的薄膜传感器。
由于PVDF薄膜表面电极很薄，所以不能用常规的焊接方式将电极引出，本课题将通过使
用导电银胶的方法把电极用导线引出。除了上述材料外，制作传感器前还应准备好薄铜片、铜
导线、剪刀、丙酮、和封装材料等。
二、传感器的结构
所研制传感器需要粘贴在曲面材料或脆性材料的表面，用来测定表面材料受到的冲击力，
所以首先要把PVDF薄膜做成传感器的感芯。
使用的PVDF压电薄膜是由上下铝电极和中间PVDF敏感材料组成的三明治结构。试验中
剪裁下一定面积的薄膜材料作为感芯，由于表面铝电极很薄且PVDF薄膜承受的温度不能超过
80℃，所以用导电银胶把电极和铜线粘贴在一起引出电极。电极和引出导线的接头还裸露在外
面，比较容易遭到破坏并且影响传感器的性能，因此在不影响传感器性能的情况下需要在感芯
的上下两层加保护层。
三、传感器的制作工艺
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PVDF压电薄膜很薄，在μm量级，质地脆弱，抗剪能力差，并且电极涂在外表面上，如
果直接粘贴在被测结构表面会使得薄膜材料在使用过程中极易遭到破坏，另外，PVDF薄膜还
容易受到外界电子干扰，对实验结果有较大的影响。因此，必须采取有效的封装措施对敏感材
料加以保护，提高它的耐久性和稳定性。由于实验需要和薄膜本身的性质，要求封装材料及工
艺必须能保证PVDF压电薄膜的柔韧性和灵敏性，同时还要确保压电薄膜和结构有良好的兼容
性，即能保证冲击力能够有效的传递到PVDF压电薄膜上。
实验室中制作PVDF薄膜传感器的工艺流程主要包括薄膜形状的确定、薄膜切割、边缘化
处理、电极的引出、加保护层等步骤。
（一）薄膜形状确定
在本文将PVDF薄膜形状剪切为Φ10mm2圆形和5×10mm2的方形，使用的PVDF压电薄
膜的厚度分别为30um、50um、100um。
（二）薄膜切割
在剪裁PVDF压电薄膜时要注意其极化方向与所设计传感器方向一致。由于圆形PVDF薄
膜比较难切割，所以我们是委托北京工业大学激光研究实验室用激光切割技术加工的圆形膜
片。方形PVDF膜片是在实验室剪裁，剪裁过程如下：在PVDF压电薄膜上用铅笔轻轻地标记
出所设计的薄膜形状，此时标记出的形状要比需要的形状稍大一点，留出非金属化边缘和引出
电极的部分。根据标出的尺寸用锋利的剪刀剪裁，剪裁时无法避免的会造成人为误差，因此用
游标卡尺对裁剪下的薄膜进行二次测量，以确保薄膜尺寸的精确。
切割后，薄膜表面的铝电极在剪裁过程中很容易出现毛刺，可能会导致PVDF压电薄膜在
厚度方向上出现短路，影响制作的传感器的性能，因此在剪裁薄膜时，要尽量注意薄膜边缘的
平整度。
（三）非金属化边缘
为了防止切割后，铝电极的边缘毛刺互联，传感器上下电极导通，致使传感器短路而使传
感器失效，对其剪切边缘要用丙酮作为腐蚀剂处理剪裁下的圆形和方形薄膜，实现PVDF压电
薄膜的非金属化边缘处理，最后用万能表检测处理过的薄膜是否会发生短路。
（四）引出电极
由于PVDF压电薄膜表面的电极涂层很薄，仅有几个微米，并且PVDF压电薄膜本身具有
较好的柔性，厚度也较小，因此不能使用常规的焊接方式引出电极。本课题中将采用导电银胶
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把PVDF压电薄膜和薄铜片粘接的的方式引出电极，采取同向反面引出PVDF压电薄膜的上下
两电极面的方法。
因为导电银胶的粘着力大小与粘着面积有很大的关系，所以如果使用铜导线粘结，会因为
导电银胶和铜导线的粘着面积较小而使得粘着力不够，进而影响自制传感器的使用性能。因
此，在实验中选择薄铜箔作为引出电极的材料，这样不仅增强了粘着力，同时也增大了压电薄
膜和电极的接触面积，并且薄铜箔十分柔软，这样可以把作用在导线上的应力通过薄铜箔自身
的弯曲形变转化，防止应力直接传递到电极和导线的连接处造成导线脱落。另外，为了使铜箔
和薄膜能很好的粘贴，在粘着之前首先用丙酮把PVDF压电薄膜和铜箔表面清洗干净。
与PVDF压电薄膜接触的薄铜箔的面积是3×5mm2，露出电极的薄铜箔则可以剪裁的尽可
能的细，这样既可以PVDF压电薄膜和屏蔽线之间的距离，使得电荷信号受干扰的机会大大减
少，又可以保证当导线受到应力时让较少的应力传递到粘结处，加强了引出导线的粘着度。
实验中采用的是AB双组份的导电银胶，在使用导电银胶时，首先在室温下放置20分钟
左右，等到其软化后分别用两只丙酮清洗过的玻璃棒从装有A组份和B组份的瓶中取出A、B
两种组份，然后用天平称重，使得两种组分的质量相等。把取出的质量相等的A组份和B组
份放在干净的玻璃片上用玻璃棒混合，取适量的混合后的导电银胶涂抹在用丙酮清洗过的压电
薄膜和薄铜箔表面进行粘合。为了提高粘着力和避免上下电极发生短路，导电银胶涂抹的越薄
越好。最后把粘合好的PVDF压电薄膜和薄铜片放在常温下固化，这就完成了电极的引出步
骤。
（五）加保护层
由于本文中的PVDF薄膜传感器用来测试应力或冲击波，所以为了避免实验中造成电极损
坏，需要在压电薄膜传感器的两面加保护层。为了不影响传感器的性能，选择聚酰亚胺和聚对
苯二甲酸类塑料（PET）两种绝缘材料对传感器进行封装，保护层和压电薄膜传感器之间用环
氧树脂胶进行粘结。
为了使传感元器件与电极有更好的接触，需要将刚制作完的薄膜传感器进行压实，这样也
可以避免传感器在使用过程中出现褶皱，保持较好的平整度。最后，在上下两个电极末端各焊
接一根铜导线，方便与导线连接，为了避免在做冲击试验时导线损坏，用绝缘胶带粘贴住薄铜
片与铜导线的焊接处。
四、制作过程中的注意事项
因为PVDF压电薄膜本身是具有容性的，所以它的抗电磁干扰能力比较弱，在数据精度要
求不高或者输出信号较低时可以不用考虑电磁干扰的问题。如果需要考虑时可以采取使用同轴
电缆和加屏蔽件的方法。
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对PVDF压电薄膜进行非金属化边缘，引出电极上下错开以及涂抹导电银胶是要尽量的
薄，这些措施都是为了防止传感器在厚度方向上发生短路。
加保护层时用到绝缘胶，绝缘胶的涂抹要尽量的均匀，涂抹完后把薄膜传感器和保护层粘
合时要防止气泡的产生。如果采用的绝缘胶是固化胶，在加上保护层后需及时对其进行压实。
在制作薄膜传感器的过程中最好能实时检测制作过程中是否会出现短路情况。
五、结语
本文制定了PVDF传感器的实验室制作工艺，包括薄膜形状的确定、薄膜切割、非金属化
边缘、引出电极、加保护层五个步骤，最后对实验室制作PVDF传感器过程中的注意事项进行
了总结。