先进制造技术论文-超精密加工技术

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金陵科技学院论文

先进制造技术——课程结业(论文)

设计(论文)题目:超精密加工技术

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摘要 (1)

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1 绪论 (1)

2 超精密加工技术综述 (2)

2.1 超精密加工技术的内涵及其重要性 (2)

2.2 超精密加工技术的国内外发展现状 (2)

3 超精密加工的主要方法 (4)

3.1 超精密切削加工 (4)

3.2 超精密磨料加工 (4)

4 超精密机床 (6)

4.1超精密主轴 (6)

4.2机床的布局和导轨 (6)

4.3超精密驱动系统 (6)

4.4在线监测与误差补偿问题 (6)

4.5金刚石刀具在超精密切削技术中的应用 (7)

5 结论 (8)

参考文献 (9)

超精密加工技术的发展

摘要

精密超精密加工技术的发展,直接影响到一个国家尖端技术和国防工业的发展,因此世界各国对此都极为重视,投入很大力量进行研究开发,同时实行技术保密,控制关键加工技术及设备出口。

精密超精密加工技术,是现代机械制造业最主要的发展方向之一。在提高机电产品的性能、质量和发展高新技术中起着至关重要的作用,并且已成为在国际竞争中取得成功的关键技术。

关键词:超精密;微米;纳米;尖端产品;数字控制

1 绪论

超精密加工技术综合应用了机械技术发展的新成果及现代电子技术、测量技术和计算机技术等,是尖端技术产品发展中不可缺少的关键环节…。同时,超精密加工技术的发展也促进了机械、液压、电子、半导体、光学、传感器和测量技术以及材料科学的发展。从某种意义上说,超精密加工对先进制造技术特别是纳米技术对整个社会生产力水平的提高起到举足轻重的地位,也成为衡量一个国家科技发展的标准之一。

目前超精密加工还没有确切的定义,一般是指达到绝对加工精度为0.1μm或表面粗糙度为Ra 0.0lμm以及达到加工允差和加工尺寸之比为106的加工技术。超精密加工对环境的要求十分严格,纳米加工对环境的要求就更加苛刻。只有对它的支撑环境加以严格控制,才能保证加工精度。加工所需的支撑环境主要包括空气环境、热环境、振动环境、声环境和磁环境等几个方面。本文着重介绍温度环境以及振动环境两个方面的环境因素以及一般的解决措施。

2 超精密加工技术综述

2.1 超精密加工技术的内涵及其重要性

当前,精密加工是指加工精度为1~0.1μm、表面粗糙度为Ra0.1~0.025μm的加工技术;超精密加工是指加工精度高于0.1μm、表面粗糙度Ra小于0.025μm的加工技术,因此,超精密加工又称之为亚微米级加工。但是,目前超精密加工已进入纳米级精度阶段,故出现了纳米加工及其相应的技术。

从精密加工和超精密加工的范畴来看,它应该包括微细加工、超微细加工、光整加工、

微细加工技术是指制造微小尺寸零件的加工技术;超微细加工技术是指制造超微小尺寸零件的加工技术,它们是针对集成电路的制造要求而提出的,由于尺寸微小,其精度是

光整加工一般是指降低表面粗糙度和提高表面层力学机械性质的加工方法,不着重于提高加工精度,其典型加工方法有珩磨、研磨、超精加工及无屑加工等。实际上,这些加工方法不仅能提高表面质量,而且可以提高加工精度。精整加工是近年来提出的一个新的名词术语,它与光整加工是对应的,是指既要降低表面粗糙度和提高表面层力学机械性质,又要提高加工精度(包括尺寸、形状位置精度)的加工方法。

航天、航空工业中,人造卫星、航天飞机、民用客机等,在制造中都有大量的精密和超精密加工的需求,如人造卫星用的姿态轴承和遥测部件对观测性能影响很大。该轴承为真空无润滑轴承,其孔和轴的表面粗糙度要求为Ry0.01μm,即1nm,其圆度和圆柱度均要求纳米级精度。被送入太空的哈勃望远镜(HST),可摄取亿万千米远的星球的图像,为了加工该望远镜中直径为2.4m、重达900kg的大型反光镜,专门研制了一台形状精度为0.01μm的加工光学玻璃的六轴CNC研磨抛光机。据英国Rolls-Royce公司报道,若将飞机发动机转子叶片的加工度,由60μm提高到12μm、表面粗糙度由Ra0.5μm减少到0.2μm,发动机的加速效率将从89%提高到94%;齿轮的齿形和齿距误差若能从目前的3~6μm,降低到1μm,则其单位重量所能传递的扭距可提高近1

当前,微型卫星、微型飞机、超大规模集成电路的发展十分迅猛,涉及微细加工技术、纳米加工技术和微型机电系统(MEMS)等已形成微型机械制造。这些技术都在精密和超精密加工范畴内,与计算机工业、国防工业的发展直接相关。

2.2 超精密加工技术的国内外发展现状

在过去相当长一段时期,由于受到西方国家的禁运限制,我国进口国外超精密机床严重受限。但当1998年我国自己的数控超精密机床研制成功后,西方国家马上对我国开禁,

我国现在已经进口了多台超精密机床。

我国北京机床研究所、航空精密机械研究所、哈尔滨工业大学等单位现在已能生产若干种超精密数控金刚石机床,如北京机床研究所研制的加工直径800mm的超精密车床和哈尔滨工业大学研制的超精密车床,这两台机床均有两坐标精密数控系统和两坐标激光在线测量系统,可以加工非球回转曲面;还有哈尔滨工业大学研制了加工KDP晶体大平面的超精密铣床。KDP晶体可用于光学倍频,是大功率激光系统中的重要元件。必须承认,在超精密机床技术方面,我们与国外先进水平相比还有相当大的差距,国产超精密机床的质量水平尚待进一步提高。

在大型超精密机床方面,目前美、英、俄等国都拥有自行开发的大型超精密机床,而我国由于没有大型超精密机床,因此无法加工大直径曲面反射镜等大型超精密零件,国外对这些大型超精密零件的出口有严格限制,从而严重影响了我国国防尖端技术的发展。现在我国正在加紧研制加工直径1m以上的立式超精密机床。

3 超精密加工的主要方法

3.1 超精密切削加工

3.1.1 超精密切削加工的历史

60年代初,由于宇航用的陀螺,计算机用的磁鼓、磁盘,光学扫描用的多面棱镜,大功率激光核聚变装置用的大直径非圆曲面镜,以及各种复杂形状的红外光用的立体镜等等,各种反射镜和多面棱镜精度要求极高,使用磨削、研磨、抛光等方法进行加工,不但加工成本很高,而且很难满足精度和表面粗糙度的要求。为此,研究、开发了使用高精度、高刚度的机床和金刚石刀具进行切削加工的方法加工。

3.1.2 超精密切削对刀具的要求

为实现超精密切削,刀具应满足以下要求。

1.极高的硬度、极高的耐磨性和极高的弹性模量,以保证刀具有很长的寿命和很高的尺寸耐用度。

2.有研磨得特别锋利的刀口。刀口半径ρ值极小,能实现超薄的切削厚度。刀尖无缺陷。因切削时刀形将印在加工表面上,而不能得到超光滑的镜面和工件材料的抗黏结性号、化血亲和性小、摩擦系数小的要求。

3.2 超精密磨料加工

国内外都采用超精密磨削、精密修整、微细磨料磨具进行亚微米级以下切深磨削的研究,以获得亚微米级的尺寸精度。微细磨料磨削,用于超精密镜面磨削的树脂结合剂砂轮的金刚石磨粒平均直径可小至 4 μm。日本用激光在研磨过的人造单晶金刚石上切出大量等高性一致的微小切刃,对硬脆材料进行精密磨削加工,效果很好。超硬材料微粉砂轮超精密磨削主要用于磨削难加工材料,精度可达0.025 μm。日本开发了电解在线修整(ELID)超精密镜面磨削技术,使得用超细微(或超微粉)超硬磨料制造砂轮成为可能,可实现硬脆材料的高精度、高效率的超精密磨削。作平面研磨运动的双端面精密磨削技术,其加工精度、切除率都比研磨高得多,且可获得很高的平面度, 在工具和模具制造中,磨削是保证产品的精度和质量的最后一道工序。技术关键除磨床本身外、磨削工艺也起决定性的作用。在磨削脆性材料时,由于材料本身的物理特性,切屑形成多为脆性断裂,磨剂后的表面比较粗糙。在某些应用场合如光学元件,这样的粗糙表面必须进行抛光,它虽能改善工件的表面粗糙度,但由于很难控制形状精度,抛光后经常会降低。为了解决这一矛盾,在80年代末日本和欧美的众多公司和研究机构相继推回了两种新的磨削工艺:塑性磨削(Ductile Grinding)和镜面磨削(Mirror Grinding)。

塑性磨削它主要是针对脆性材料而言,其命名来源出自该种工艺的切屑形成机理,即磨削脆性材料时,切屑形成与塑性材料相似,切屑通过剪切的形式被磨粒从基体上切除

下来。所以这种磨削方式有时也被称为剪切磨削(Shere Mode Grindins)。由此磨削后的表面没有微裂级形成,也没有脆必剥落时的元规则的凹凸不平,表面呈有规则的纹理。

(2)镜面磨削顾名思义,它关心的不是切屑形成的机理而是磨削后的工件表面的特性。当磨削后的工件表面反射光的能力达到一定程度时,该磨削过程被称为镜面磨削。镜面磨削的工件材料不局限于脆性材料,它也包括金属材料如钢、铝和钼等。为了能实现镜面磨削,日本东京大学理化研究所的Nakagawa和Ohmori教授发明了电解在线修整磨削法ELID(Electrolytic In-Process Dressing)。镜面磨削的基本出发点是:要达到境面,必须使用尽可能小的磨粒粒度,比如说粒度2μm乃至0.2μm。在ELID发明之前,微粒度砂轮在工业上应用很少,原因是微粒度砂轮极易堵塞,砂轮必须经常进行修整,修整砂轮的辅助时间往往超过了磨削的工作时间。ELID首次解决了仅用微粒度砂轮时,修整与磨削在时间上的矛盾,从而为微粒度砂轮的工业应用创造条件。

4 超精密机床

4.1关键技术在超精密机床中的应用

超精密机床的质量,取决于关键部件的质量。世界各国都给予了足够的重视,投入大量人力物力,对超精密机床的关键部件和关键技术进行开发研究。

4.1.1超精密主轴

精密主轴部件的回转精度决定了精密机床的加工精度,其关键在于精密轴承。早期的精密主轴采用超精密级的滚动轴承,制造超精密级的滚动轴承变得尤为困难。

于是推出了液体静压轴承,这种轴承具有刚度高、动态特性好等特点,但发热是其致命的弱点。20世纪60年代开始发展空气轴承主轴,与液体静压轴承相比,它有很高的回转精度、温升甚小,空气轴承的应用促进了超精密机床的发展。空气轴承的主要问题是刚度低,只能承受较小的载荷。超精密切削时,切削力甚小,因此空气轴承能满足要求,故得到广泛的应用。

4.2机床的布局和导轨

超精密机床的总体布局对其性能好坏起决定性影响。对于超精密车床来说,一般有z 和x两个方向的导轨,某些机床,如Moore车床,还增加一个垂直的转轴。目前超精密机床的总体布局有十字形滑板工作台布局、T形布局、R-θ布局、偏转圆转角布局、立式结构布局。

超精密机床床身结构因材料不同而异。目前,花岗岩已是制造超精密机床的床身和导轨的热门材料,这是因为花岗岩比铸铁长期尺寸稳定性好,热膨胀系数低,对振动的衰减能力强,硬度高、耐磨并不会生锈等。导轨的类型有液体静压导轨、气浮导轨和空气静压导轨。

4.3超精密驱动系统

现在当多的相超精密机床采用精密滚珠丝杠作为进给系统的驱动元件,但是由于丝杠的螺距有一定制造误差,影响进给运动的平稳性。为此,在更高要求时采用摩擦驱动。摩擦驱动具有运动平稳、无反向间隙等特点,在一些轻载、低速的超精密加工设备及检测设备上得到了应用。近年来,直线电机在超精密加工设备的驱动上得到了广泛的应用,也成为一个趋势。和传统的伺服电机加滚珠丝杠不同,在直线电机与机床工作台之间,没有直接的机械联系,而是依靠磁性驱动作用,从而实现机床进给系统的零传动,极大地减小了各种传动误差。

4.4在线监测与误差补偿问题

现在国外生产的超精密机床,都装有在线检测系统,检测机床运动部件的位移,并和

精密数控系统组成精密反馈闭环控制系统,以保证加工的尺寸精度。现在超精密机床的在线检测系统大部分都是使用双路双频激光干涉测距仪,因为它有很高的测量分辨率和测量精度,使用分光镜容易实现多路测量。精密检测是超精密加工的必要手段,误差补偿是提高加工精度的有效措施。关键技术主要有几何尺寸的纳米级测量。包括测量基准的建立、测量仪器的研究表面质检测技术及其侧量仪器的研究、测量集成技术的研究、空间误差补偿技术的研究。

4.5金刚石刀具在超精密切削技术中的应用

金刚石刀具是超精密切削中的重要关键。金刚石刀具有两个比较重要的问题:一是晶面的选择,这对刀具的使用性能有着重要的关系;再就是金刚石刀具的研磨质量———切削刃钝圆半径γn,它关系到切削变形和最小切削厚度,因而影响加工表面质量。使用单晶天然金刚石刀具加工有色金属和非金属,可以加工出超光滑的加工表面。1986年开始日本大阪大学和美国LLL实验室合作进行了一项名为“超精密切削极限”的实验研究,研究结果表明,使用极锋锐的刀具和机床条件最佳的条件下,金刚石刀具的超精密切削,可以实现切削厚度为纳米级的连续稳定切削。由于金刚石硬度极高,且晶体各向异性,因此单晶金刚石刀具的刃磨极为困难。制造金刚石刀具及刃磨时都需要对晶体定向,过去的晶体定向方法主要是使用X光晶体定向仪,仪器昂贵,且定向操作相当繁琐。哈尔滨工业大学成功开发了一种新的激光晶体定向方法,所用设备较简单,且定向操作方便,可使金刚石晶体定向大大简化。

5 结论

超精密加工,是现代机械制造业最主要的发展方向之一,在提高机电产品的性能、质量和发展高新技术中起着至关重要的作用,并且已成为在国际竞争中取得成功的关键技术。我国的制造业发展已进入了高速发展阶段,中国民营企业已具备足够的经济实力来使企业迈向现代化,先进设备的引进和大量专业人才的涌入使许多沿海地区的制造业水平迅速提高。随着国家决策的科学化、民主化进程不断深入,相信我国的制造业会更快速、更健康地发展。

参考文献

[1]于亚非.介绍两种超精密加工用金刚石刀具.机械制造,1995(12):39

[2]王先逵.机械制造技术与科学的发展.1989

[3]王志标, 杨辉. 超精密加工技术在新形势下面临的任务[J]. 航空精密制造技

术, 2004, 40(3):1-5.

[4]匡同春.金刚石薄膜涂层刀具的研究进展与应用现状.2002

[5]李志宏,邵德厚,刘庆选,邵强,宜云雷.我国超硬材料的发展及在机械加工中的应用[期刊论文]-工具技术.1999(5)

[6]国家自然科学基金委员会工程与材料科学部.学科发展战略研究报告(2006年-2010年)——机械与制造科学[M].北京:科学出版社, 2006.

先进材料成型技术及理论

华中科技大学博士研究生入学考试 《先进材料成形技术与理论》考试大纲 一、《先进材料成形技术及理论》课程概述 编号:MB11001 学时数:40 学分:2.5 教学方式:讲课30、研讨6、实验参观4 二、教学目的与要求: 材料的种类繁多,其加工方法各异,近年来随同科学技术的发展,新材料、材料加工新技术不断出现。本课程将概述材料的分类及其加工方法的选择;重点介绍液态金属精密成形、金属材料塑性精确成形及金属连接成形等研究与应用领域的新技术、新理论;阐述材料加工中的共性与一体化技术。本课程作为材料加工工程专业的学位课,将使研究生对材料加工的新技术与新理论有个全面的了解,引导研究生在大材料学科领域进行思考与分析,为从事材料加工工程技术的研究与发展奠定基础。 三、课程内容: 第一章材料的分类及其加工方法概述 1.1材料的分类及加工方法概述 1.2材料加工方法的选择(不同材料)及不同加工方法的精度比较(同一种材料) 1.3材料加工中的共性(与一体化)技术 1.4材料加工技术的发展趋势 第二章液态金属精密成形理论及应用 2.1 材料液态成形的范畴及概述 2.2 消失模精密铸造原理及应用(原理、关键技术、应用实例、缺陷与防治) 2.3 Corsworth Process新技术(精密砂型铸造:锆英(砂)树脂砂型、电磁浇注、热法旧砂再生) 2.4 半固态铸造成形原理与技术(流变铸造、触变成形、注射成形) 2.5 铝、镁合金的精确成形技术(金属型铸造、压铸、反重力精密铸造、精密熔模铸造等) 2.6 特殊凝固技术(快速凝固、定向凝固、振动凝固) 2.7 金属零件的数字化铸造(铸件三维造型、工艺模拟及优化、样品铸件快速铸造、工业化生产及 其设计) 2.8 高密度粘土砂紧实机理及其成形技术(高压造型、气冲造型、静压造型) 第三章金属材料塑性精密成形工艺及理论 3.1 金属塑性成形种类与概述 3.2金属材料的超塑性及超塑成形(概念、条件、成形工艺) 3.3 复杂零件精密模锻及复杂管件的精密成形(精密模锻、复杂管件成形) 3.4 板料精密成形(精密冲裁、液压胀形、其它板料精密成型) 3.5 板料数字化成形(点(锤)渐进成形、线渐进(快速)成形、无模(面、液压缸作顶模)成形)

精密和超精密加工的应用和发展趋势

精密和超精密加工的应用和发展趋势 [摘要]本文以精密和超精密加工为研究对象,对世界上精密和超精密加工的应用和发展趋,势进行了分析和阐释,结合我国目前发展状况,提出今后努力方向和发展目标。 【关键词】精密和超精密加工;精度;发展趋势 精密和超精密制造技术是当前各个工业国家发展的核心技术之一,各技术先进国家在高技术领域(如国防工业、集成电路、信息技术产业等)之所以一直领先,与这些国家高度重视和发展精密、超精密制造技术有极其重要的关系。超精密加工当前是指被加工零件的尺寸精度高于0.1μm,表面粗糙度Ra小于0.025μm,以及所用机床定位精度的分辨率和重复性高于0.01μm的加工技术,亦称之为亚微米级加工技术,且正在向纳米级加工技术发展。超精密加工技术在国际上处于领先地位的国家有美国、英国和日本。这些国家的超精密加工技术不仅总体成套水平高,而且商品化的程度也非常高。 美国是开展超精密加工技术研究最早的国家,也是迄今处于世界领先地位的国家。早在20世纪50年代末,由于航天等尖端技术发展的需要,美国首先发展了金刚石刀具的超精密切削技术,称为“SPDT技术”(Single Point Diamond Turning)或“微英寸技术”(1微英寸=0.025μm),并发展了相应的空气轴承主轴的超精密机床。用于加工激光核聚变反射镜、战术导弹及载人飞船用球面非球面大型零件等等。如美国LLL实验室和Y-12工厂在美国能源部支持下,于1983年7月研制成功大型超精密金刚石车床DTM-3型,该机床可加工最大零件¢2100mm、重量4500kg的激光核聚变用的各种金属反射镜、红外装置用零件、大型天体望远镜(包括X光天体望远镜)等。该机床的加工精度可达到形状误差为28nm(半径),圆度和平面度为12.5nm,加工表面粗糙度为Ra4.2nm。 在超精密加工技术领域,英国克兰菲尔德技术学院所属的克兰菲尔德精密工程研究所(简称CUPE)享有较高声誉,它是当今世界上精密工程的研究中心之一,是英国超精密加工技术水平的独特代表。如CUPE生产的Nanocentre(纳米加工中心)既可进行超精密车削,又带有磨头,也可进行超精密磨削,加工工件的形状精度可达0.1μm,表面粗糙度Ra<10nm。 日本对超精密加工技术的研究相对于美、英来说起步较晚,但是当今世界上超精密加工技术发展最快的国家。日本的研究重点不同于美国,是以民品应用为主要对象。所以日本在用于声、光、图象、办公设备中的小型、超小型电子和光学零件的超精密加工技术方面,是更加先进和具有优势的,甚至超过了美国。 我国的精密、超精密加工技术在20世纪70年代末期有了长足进步,80年代中期出现了具有世界水平的超精密机床和部件。北京机床研究所是国内进行超

材料先进加工技术

1. 快速凝固 快速凝固技术的发展,把液态成型加工推进到远离平衡的状态,极大地推动了非晶、细晶、微晶等非平衡新材料的发展。传统的快速凝固追求高的冷却速度而限于低维材料的制备,非晶丝材、箔材的制备。近年来快速凝固技术主要在两个方面得到发展:①利用喷射成型、超高压、深过冷,结合适当的成分设计,发展体材料直接成型的快速凝固技术;②在近快速凝固条件下,制备具有特殊取向和组织结构的新材料。目前快速凝固技术被广泛地用于非晶或超细组织的线材、带材和体材料的制备与成型。 2. 半固态成型 半固态成型是利用凝固组织控制的技术.20世纪70年代初期,美国麻省理工学院的Flemings 教授等首先提出了半固态加工技术,打破了传统的枝晶凝固式,开辟了强制均匀凝固的先河。半固态成型包括半固态流变成型和半固态触变成形两类:前者是将制备的半固态浆料直接成型,如压铸成型(称为半固态流变压铸);后者是对制备好的半固态坯料进行重新加热,使其达到半熔融状态,然后进行成型,如挤压成型(称为半固态触变挤压) 3. 无模成型 为了解决复杂形状或深壳件产品冲压、拉深成型设备规模大、模具成本高、生产工艺复杂、灵活度低等缺点,满足社会发展对产品多样性(多品种、小规模)的需求,20世纪80年代以来,柔性加工技术的开发受到工业发达国家的重视。典型的无模成型技术有增量成型、无摸拉拔、无模多点成型、激光冲击成型等。 4.超塑性成型技术 超塑性成型加工技术具有成型压力低、产品尺寸与形状精度高等特点,近年来发展方向主要包括两个方面:一是大型结构件、复杂结构件、精密薄壁件的超塑性成型,如铝合金汽车覆盖件、大型球罐结构、飞机舱门,与盥洗盆等;二是难加工材料的精确成形加工,如钛合金、镁合金、高温合金结构件的成形加工等。 5. 金属粉末材料成型加工 粉末材料的成型加工是一种典型的近终形、短流程制备加工技术,可以实现材料设计、制备预成型一体化;可自由组装材料结构从而精确调控材料性能;既可用于制备陶瓷、金属材料,也可制备各种复合材料。它是近20年来材料先进制备与成型加工技术的热点与主要发展方向之一。自1990年以来,世界粉末冶金年销售量增加了近2倍。2003年北美铁基粉末。相关的模具、工艺设备和最终零件产品的销售额已达到91亿美元,其中粉末冶金零件的销售为64亿美元。美国企业生产的粉末冶金产品占全球市场的一半以上。可以预见,在较长一段时间内,粉末冶金工业仍将保持较高的增长速率。粉末材料成型加工技术的研究重点包括粉末注射成型胶态成型、温压成型及微波、等离子辅助低温强化烧结等。 6. 陶瓷胶态成型 20世纪80年代中期,为了避免在注射成型工艺中使用大量的有机体所造成的脱脂排胶困难以及引发环境问题,传统的注浆成型因其几乎不需要添加有机物、工艺成本低、易于操作制等特点而再度受到重视,但由于其胚体密度低、强度差等原因,他并不适合制备高性能的陶瓷材料。进入90年代之后,围绕着提高陶瓷胚体均匀性和解决陶瓷材料可靠性的问题,开发了多种原位凝固成型工艺,凝胶注模成型工艺、温度诱导絮凝成形、胶态振动注模成形、直接凝固注模成形等相继出现,受到严重重视。原位凝固成形工艺被认为是提高胚体的均匀性,进而提高陶瓷材料可靠性的唯一途径,得到了迅速的发展,已逐步获得实际应用。 7. 激光快速成型 激光快速成形技术,是20实际90年代中期由现代材料技术、激光技术和快速原型制造术相结合的近终形快速制备新技术。采用该技术的成形件完全致密且具有细小均匀的内部组

先进制造技术论文

先进制造技术论文 学院:xxx 班级:xxx 姓名:xxx 学号:xxx 目录 ? ? ? ? ? ? ? 概述 摘要:随着我国制造业的的不断发展,先进制造技术得到越来越广泛的应用。介绍了先进制造技术和先进制造模式的内容和发展情况,从两种角度解释其结构特征和关系,并从各种不同角度展望先进制造技术和先进生产模式的发展前景及其趋势特征。 先进制造技术AMT(AdvancedManufacturingTecnology)是在传统制造的基础上,不断吸收机械、电子、信息、材料、能源和现代管理技术等方面的成果,将其综合应用于产品设计、制造、检测、管理、销售、使用、服务的制造全过程,以实现优质、高效、低耗、清洁、灵活生产,提高对动态多变的市场的适应能力和竞争能力的制造技术的总称,也是取得理想技术经济效益的制造技术的总称。 当前的金融危机也许还会催生新的先进制造制造技术,特别在生产管理技术方面。先进制造技术不是一般单指加工过程的工艺方法,而是横跨多个学科、包含了从产品设计、加工制造、到产品销售、用户服务等整个产品生命周期全过程的所有相关技术,涉及到设计、工艺、加工自动化、管理以及特种加工等多个领域,并逐步融合与集成。 可基本归纳为以下五个方面:

一、先进的工程设计技术 二、先进制造工艺技术 三、制造自动化技术 四、先进生产管理技术、制造哲理与生产模式 五、发展。 一、先进的工程设计技术 先进的工程设计技术包括众多的现代设计理论与方法。包括CAD、CAE、CAPP、CAT、PDM、模块化设计、DFX、优化设计、三次设计与健壮设计、创新设计、反向工程、协同产品商务、虚拟现实技术、虚拟样机技术、并行工程等。 (1)产品(投放市场的产品和制造产品的工艺装备(夹具、刀具、量检具等))设计现代化。以CAD为基础(造型,工程分析计算、自动绘图并提供产品数字化信息等),全面应用先进的设计方法和理念。如虚拟设计、优化设计、模块化设计、有限元分析,动态设计、人机工程设计、美学设计、绿色设计等等; (2)先进的工艺规程设计技术与生产技术准备手段。在信息集成环境下,采用计算机辅助工艺规程设计、即CAPP,数控机床、工业机器人、三坐标测量机等各种计算机自动控制设备设备的计算机辅助工作程序设计即CAM等。 二、先进制造工艺技术 (1)高效精密、超精密加工技术,包括精密、超精密磨削、车削,细微加工技术,纳米加工技术。超高速切削。精密加工一般指加工精度在10~μm(相当于IT5级精度和IT5级以上精度),表面粗糙度Ra值在μm以下的加工方法,如金刚车、金刚镗、研磨、珩磨、超精研、砂带磨、镜面磨削和冷压加工等。用于精密机床、精密测量仪器等制造业中的关键零件加工,如精密丝杠、精密齿轮、精密蜗轮、精密导轨、精密滚动轴承等,在当前制造工业中占有极重要的地位。 超精密加工是指被加工零件的尺寸公差为~μm数量级,表面粗糙度Ra值为μm 数量级的加工方法。此外,精密加工与特种加工一般都是计算机控制的自动化加工。 (2)精密成型制造技术,包括高效、精密、洁净铸造、锻造、冲压、焊接及热处理与表面处理技术。 (3)现代特种加工技术,包括高能束流(主要是激光束、以及电子束、离子束等)加工,电解加工与电火花(成型与线切割)加工、超声波加工、高压水加工等。电火花加工(Electricaldischargemachining(EDM)电火花加工electricsparkmachining)是指在一定介质中,通过工具电极和工件电极之间脉冲放电的电蚀作用对工件进行的加工。能对任何导电材料加工而不受被加工材料强度和硬度的限制。可分为电火花成型加工(EDM)和电火花线切割加工(电火花线切割加工electricaldischargewire–cutting--EDW) 两大类。一般都采用CNC控制。 (4)快速成型制造(RPM).快速成形技术是在计算机控制下,基于离散堆积原理采用不同方法堆积材料最终完成零件的成型与制造的技术。从成型角度看,零件可视为“点”或“面”的叠加而成。从CAD电子模型中离散得到点、面的几何信息,再与成型工艺参数信息结合,控制材料有规律、精确地由点到面,由面到体地堆积零件。 (5)先进制造工艺发展趋势 1)采用模拟技术,优化工艺设计; 2)成形精度向近无余量方向发展; 3)成形质量向近无“缺陷”方向发展; 4)机械加工向超精密、超高速方向发展; 5)采用新型能源及复合加工,解决新型材料的加工和表面改性难题; 6)采用自动化技术,实现工艺过程的优化控制;

精密和超精密加工技术复习思考题答案

精密和超精密加工技术复习思考题答案 第一章 1.试述精密和超精密加工技术对发展国防和尖端技术的重要意义。 答:超精密加工技术在尖端产品和现代化武器的制造中占有非常重要的地位。国防方面,例如:对于导弹来说,具有决定意义的是导弹的命中精度,而命中精度是由惯性仪表的精度所决定的。制造惯性仪表,需要有超精密加工技术和相应的设备。 尖端技术方面,大规模集成电路的发展,促进了微细工程的发展,并且密切依赖于微细工程的发展。因为集成电路的发展要求电路中各种元件微型化,使有限的微小面积上能容纳更多的电子元件,以形成功能复杂和完备的电路。因此,提高超精密加工水平以减小电路微细图案的最小线条宽度就成了提高集成电路集成度的技术关键。 2.从机械制造技术发展看,过去和现在达到怎样的精度可被称为精密和超精密加工。 答:通常将加工精度在0.1-lμm,加工表面粗糙度在Ra 0.02-0.1μm之间的加工方法称为精密加工。而将加工精度高于0.1μm,加工表面粗糙度小于Ra 0.01μm的加工方法称为超精密加工。 3.精密和超精密加工现在包括哪些领域。 答:精密和超精密加工目前包含三个领域: 1)超精密切削,如超精密金刚石刀具切削,可加工各种镜面。它成功地解决了高精度陀螺仪,激光反射镜和某些大型反射镜的加工。 2)精密和超精密磨削研磨。例如解决了大规模集成电路基片的加工和高精度硬磁盘等的加工。 3)精密特种加工。如电子束,离子束加工。使美国超大规模集成电路线宽达到0.1μm。 4.试展望精密和超精密加工技术的发展。 答:精密和超精密加工的发展分为两大方面:一是高密度高能量的粒子束加工的研究和开发;另一方面是以三维曲面加工为主的高性能的超精密机械加工技术以及作为配套的三维超精密检测技术和加工环境的控制技术。 5.我国的精密和超精密加工技术和发达国家相比情况如何。 答:我国当前某些精密产品尚靠进口,有些精密产品靠老工人于艺,因而废品率极高,例如现在生产的某种高精度惯性仪表,从十几台甚至几十台中才能挑选出一台合格品。磁盘生产质量尚未完全过关,激光打印机的多面棱镜尚不能生产。1996年我国进口精密机床价值达32亿多美元(主要是精密机床和数控机床)。相当于同年我国机床的总产值,某些大型精密机械和仪器国外还对我们禁运。这些都说明我国必须大力发展精密和高精密加工技术。 6.我目要发展精密和超精密加工技术,应重点发展哪些方面的内容。

材料与材料加工技术

材料加工技术讲义 徐刚,韩高荣编制 浙江大学材料科学与工程学系 二0一二年六月

绪论 材料是人类文明的物质基础,是社会进步和高新技术发展的先导。自上世纪70年代开始,人们把信息、能源和材料看作是现代社会的三大支柱。新材料和新材料技术的研究、开发和应用反映了一个国家的科学技术与工业化水平。以大规模集成电路为代表的微电子技术,以光纤通信为代表的现代通信技术,以及及现代科技与技术于一体的载人航天技术等,几乎所有的高新技术的发展与进步,都以新材料和新材料技术的发展为突破和前提。 材料的制备与加工,和材料的成分与结构,材料的性能是决定材料使用性能的三大基本要素,构成材料科学与工程学四面体的底面,这充分反映了材料制备及加工技术的重要作用和地位。材料制备与加工技术的发展既对新材料的研究开发、应用和产业化具有决定性的作用,同时又可有效地改进和提高传统材料的使用性能,对传统材料产业的更新改造具有重要作用。因此,材料制备与加工技术的研究开发是目前材料科学与工程学最活跃的领域之一。 材料种类很多,按材料的键合特点和组成分类,大致分为四大类:金属材料、无机非金属材料、高分子材料和复合材料;按材料的用途分类,既可分为结构材料和功能材料两大类,也可细分为建筑材料、信息材料、能源材料、生物材料、航空航天材料等等。相应地,为了适应不同种类材料的键合特点,和使用特点及功能要求,材料制备和加工技术也多种多样。 本讲义是面向浙江大学材料科学与工程学专业学位硕士研究生培养而编写的“材料加工技术”。主要涉及金属材料加工和陶瓷粉体成型烧结先进制备技术,包括:金属材料快速凝固、定向凝固、半固态加工、连续铸轧、复合铸造技术,以及金属粉体、陶瓷粉体制备,和先进陶瓷成型、烧结等材料加工新技术新工艺。注重材料制备及加工技术案例分析,从技术个案的起源、开发、改进和完善的整个过程,对材料加工技术特点及其原理进行系统介绍,重点突出新技术创新的基本规律,培养学生自主创新和利用新技术开发新材料的能力。

精密和超精密加工论文

精密和超精密加工论文 一、精密和超精密加工的概念与范畴 通常,按加工精度划分,机械加工可分为一般加工、精密加工、超精密加工三个阶段。目前,精密加工是指加工精度为1~0.1?;m,表面粗糙度为Ra0.1~0.01?;m的加工技术,但这个界限是随着加工技术的进步不断变化的,今天的精密加工可能就是明天的一般加工。精密加工所要解决的问题,一是加工精度,包括形位公差、尺寸精度及表面状况;二是加工效率,有些加工可以取得较好的加工精度,却难以取得高的加工效率。精密加工包括微细加工和超微细加工、光整加工等加工技术。传统的精密加工方法有砂带磨削、精密切削、珩磨、精密研磨与抛光等。 a.砂带磨削是用粘有磨料的混纺布为磨具对工件进行加工,属于涂附磨具磨削加工的范畴,有生产率高、表面质量好、使用范围广等特点。 b.精密切削,也称金刚石刀具切削(SPDT),用高精密的机床和单晶金刚石刀具进行切削加工,主要用于铜、铝等不宜磨削加工的软金属的精密加工,如计算机用的磁鼓、磁盘及大功率激光用的金属反光镜等,比一般切削加工精度要高1~2个等级。 c.珩磨,用油石砂条组成的珩磨头,在一定压力下沿工件表面往复运动,加工后的表面粗糙度可达Ra0.4~0.1?;m,最好可到Ra0.025?;m,主要用来加工铸铁及钢,不宜用来加工硬度小、韧性好的有色金属。 d.精密研磨与抛光通过介于工件和工具间的磨料及加工液,工件及研具作相互机械摩擦,使工件达到所要求的尺寸与精度的加工方法。精密研磨与抛光对于金属和非金属工件都可以达到其他加工方法所不能达到的精度和表面粗糙度,被研磨表面的粗糙度Ra≤0.025?;m加工变质层很小,表面质量高,精密研磨的设备简单,

超精密加工技术论文

超精密加工技术简介论文 学校:XXXXX 学院:XXXX 班级:XXXXX 专业:XXXXX 姓名:XXXX 学号:XXXX 指导教师:XXX

目录 目录 .......................................................................................................................................... - 2 - 一、概述................................................................................................................... - 1 - 1、超精密加工的内涵...................................................................................... - 1 - 2.、发展超精密加工技术的重要性................................................................. - 1 - 二、超精密加工所涉及的技术范围....................................................................... - 2 - 三、超精密切削加工............................................................................................... - 3 - 1、超精密切削对刀具的要求.......................................................................... - 3 - 2、金刚石刀具的性能特征.............................................................................. - 3 - 3、超精密切削时的最小切削厚度.................................................................. - 3 - 四、超精密磨削加工............................................................................................... - 4 - 1、超精密磨削砂轮.......................................................................................... - 4 - 2、超精密磨削砂轮的修整.............................................................................. - 4 - 3、磨削速度和磨削液...................................................................................... - 5 - 五、超精密加工的设备........................................................................................... - 5 - 六、超精密加工的支撑环境................................................................................... - 6 - 1、净化的空气环境.......................................................................................... - 6 - 2、恒定的温度环境.......................................................................................... - 6 - 3、较好的抗振动干扰环境.............................................................................. - 7 - 七、超精密加工的运用领域................................................................................... - 7 - 八、超精密加工的现状及未来发展....................................................................... - 7 - 1、超精密加工的现状...................................................................................... - 7 - 2、超精密加工的发展前景.............................................................................. - 8 - 总结:....................................................................................................................... - 9 - 参考文献:.....................................................................................错误!未定义书签。

金属材料加工先进技术

金属材料加工先进技术 1.块状纳米晶金属材料的显微组织与力学性能特点。 显微组织 纳米材料是指在三维空间中至少有一维处于纳米尺度范围或由它们作为基本单元构成的材料。就最近邻组态而言,纳米晶(金属)材料是由晶体部分(由所有“晶体原子”所组成)和晶界部分(由所有“晶界原子”所组成)构成的。 纳米材料微观组织超细,含有大量的内界面,大量原子位于纳米内界面上,与传统微米、亚微米尺度的材料相比,纳米材料常表现出一系列特殊的物理性能和优异的机械性能,如高比热、高热膨胀率、高强度、高塑性变形能力等。 力学性能 晶粒大小是影响传统多晶金属材料力学性能的重要因素。随着晶粒减小,材料的强度和硬度增大。当晶粒小到纳米量级时,它将具有非常独特的力学性能。 强度与延伸率:纳米金属比粗晶金属具有较高的屈服强度,对于金属面心立方纳米晶金属(如Cu, Ni, Pd等),当晶粒尺寸在15 -100nm时,屈服强度和硬度随着晶粒尺寸的减小而增大,而当晶粒尺寸小于l0nm时,纳米金属的强度随晶粒尺寸的减小而降低,呈现出反Hall-Petch 关系。 对于同成分的单质或合金纳米材料,除了晶粒大小外,影响因素还有:(1)应力状态和微观结构(如界面结构、微观应变等);(2)样品的致密度; (3)合金及化合物的相组成、成分分布和界面组态;(4)纳米材料的强度对样品表面状态。 塑性:当晶粒细化至纳米量级时,通常几乎不能变形的陶瓷或金属间化合物将可能表现为相当大的塑性,但是在压制纳米粉粒时引入的空隙等缺陷会大幅度降低塑性。 变形机理:a)纳米晶体变形过程少有位错行为。b)金属单质样品的变形过程主要由晶粒转动或晶界滑动完成。 断裂机制:纳米晶金属块体材料的断裂很大程度上与晶界和三叉晶界上空隙的形成和试样的致密度有关。 2.块体纳米晶金属材料的主要制备工艺及每种工艺的优缺点。 金属蒸发凝聚一原位冷压成型法、机械研磨法、非晶晶化法、电解沉积法等几种主要制备技术。 这些制备方法按其界面形成过程可分为三大类: (1)外压力合成,如超细粉冷压法、机械研磨法; (2)沉积合成,如各种沉积方法; (3)相变界面形成,如非晶晶化法。 针对不同的用途,这三类方法各有其优缺点。 目前,金属纳米晶材料制备的一个主要目标,是获得大尺寸的纳米晶体样品,其中界面清洁致密,无微孔隙,晶粒尺寸细小均匀。而目前利用上述几种制备方法均较难达到这一目标。 惰性气体冷凝法 该方法适应范围广,微粉颗粒表面洁净,块体纯度高,相对密度较高;但由于为了防止氧化,制备的整个过程是在惰性气体保护和超高真空室内进行的,设备昂贵,对制备工艺要求较高,故制备难度较大;且加上制备的固体纳米晶体材料中都不可避免地存在杂质和孔隙等缺陷,从而影响了纳米材料的性能,也影响了对纳米材料结构与性能的研究。 高能球磨法

先进制造技术论文

随着科学技术的飞速发展和市场竞争日益激烈,越来越多的制造企业开始将大量的人力、财力和物力投入到先进的制造技术和先进的制造模式的研究和实施策略之中。改革开放以来,我国制造科学技术有日新月异的变化和发展,确立了社会主义市场经济体制,但与先进的国家相比仍有一定差距,为了迎接新的挑战,必须认清制造技术的发展趋势,缩短与先进国家的差距,使我国的产品上质量、上效率、上品种和上水平,以增强市场竞争力,因此,对制造技术及制造模式的研究和实施是摆在我们面前刻不容缓的重要任务,以实现我国机械制造业跨入世界先进行列。 一.先进制造技术的概念 (1)先进制造技术的内涵 目前对先进制造技术尚没有一个明确的、一致公认的定义,经过近年来对发展先进制造技术方面开展的工作,通过对其特征的分析研究,可以认为:先进制造技术是制造业不断吸收信息技术和现代管理技术的成果,并将其综合应用于产品设计、加工、检测、管理、销售、使用、服务乃至回收的制造全过程,以实现优质、高效、低耗、清洁、灵活生产,提高对动态多变的市场的适应能力和竞争能力的制造技术的总称。 (2)先进制造技术的特点 先进制造技术最重要的特点在于,它首先是一项面向工业应用,具有很强实用性的新技术。先进制造技术相对传统制造技术在应用范围上的一个很大不同点在于,传统制造技术通常只是指各种将原材料变成成品的加工工艺,而先进制造技术虽然仍大量应用于加工和装配过程,但由于其组成中包括了设计技术、自动化技术、系统管理技术,因而则将其综合应用于制造的全过程。并且传统制造技术的学科、专业单一独立,相互间的界限分明;先进制造技术由于专业和学科间的不断渗透j交叉、融合,界线逐渐淡化甚至消失,技术趋于系统化、集成化、已发展成为集机械、电子、信息、材料和管理技术为一体的新型交叉学科。随着微电子、信息技术的引入,使先进制造技术还能驾驭信息生成、采集、传递、反馈、调整的信息集成过程。先进制造技术是可以驾驭生产过程的物质流、能量流和信息流的系统工程。为确保生产和经济效益持续稳步的提高,能对市场变化做出更灵捷的反应,以及对最佳技术效益的追求,提高企业的竞争能力,先进制造技术比传统的制造技术更加重视技术与管理的结合,更加重视制造过程组织和管理体制的简化以及合理化,从而产生了一系列先进的制造模式。随着世界自由贸易体制的进一步完善,以及全球交通运输体系和通信网络的建立,制造业将形成全球化与一体化的格局,新的先进制造技术也必将是全球化的模式。 先进性作为先进技术的基础——制造技术,必须是经过优化的先进工艺。因此,先进制造技术的核心和基础必须是优质、高效、低耗、清洁的工艺。它从传统工艺发展起来,并与新技术实现了局部或系统集成。通用性先进制造技术不是单独分割在制造过程的某一环节,它覆盖了产品设计、生产设备、加工制造、维修服务、甚至回收再生的整个过程。系统性随着微电子、信息技术的引入,先进制造技术能驾驭信息生成、采集、传递、反馈、调整的信息流动过程。先进制造技术能驾驭生产过程的物质流、能源流和信息流的系统工程。集成性先进制造技术由于专业、学科间的不断渗透、交叉、融合,界限逐渐淡化甚至消失,技术趋于系统化,已发展成为集机械、电子、信息、材料和管理技术于一体的新兴交叉学科,因此有人称其为制造工程。技术与管理的更紧密结合对市场变化做出更敏捷的反应及对最佳经济效益的追求,使先进制造技术十分重视生产过程的

精密和超精密加工现状与发展趋势

精密和超精密加工现状与发展趋势 一、精密和超精密加工的概念与范畴 通常,按加工精度划分,机械加工可分为一般加工、精密加工、超精密加工三个阶段。目前,精密加工是指加工精度为1~0.1μ;m,表面粗糙度为Ra0.1~0.01μ;m的加工技术,但这个界限是随着加工技术的进步不断变化的,今天的精密加工可能就是明天的一般加工。精密加工所要解决的问题,一是加工精度,包括形位公差、尺寸精度及表面状况;二是加工效率,有些加工可以取得较好的加工精度,却难以取得高的加工效率。精密加工包括微细加工和超微细加工、光整加工等加工技术。传统的精密加工方法有砂带磨削、精密切削、珩磨、精密研磨与抛光等。 a. 砂带磨削是用粘有磨料的混纺布为磨具对工件进行加工,属于涂附磨具磨削加工的范畴,有生产率高、表面质量好、使用范围广等特点。 b. 精密切削,也称金刚石刀具切削(SPDT),用高精密的机床和单晶金刚石刀具进行切削加工,主要用于铜、铝等不宜磨削加工的软金属的精密加工,如计算机用的磁鼓、磁盘及大功率激光用的金属反光镜等,比一般切削加工精度要高1~2个等级。 c. 珩磨,用油石砂条组成的珩磨头,在一定压力下沿工件表面往复运动,加工后的表面粗糙度可达Ra0.4~0.1μ;m,最好可到Ra0.025μ;m,主要用来加工铸铁及钢,不宜用来加工硬度小、韧性好的有色金属。 d. 精密研磨与抛光通过介于工件和工具间的磨料及加工液,工件及研具作相互机械摩擦,使工件达到所要求的尺寸与精度的加工方法。精密研磨与抛光对于金属和非金属工件都可以达到其他加工方法所不能达到的精度和表面粗糙度,被研磨表面的粗糙度Ra≤0.025μ;m加工变质层很小,表面质量高,精密研磨的设备简单,主要用于平面、圆柱面、齿轮齿面及有密封要求的配偶件的加工,也可用于量规、量块、喷油嘴、阀体与阀芯的光整加工。 e. 抛光是利用机械、化学、电化学的方法对工件表面进行的一种微细加工,主要用来降低工件表面粗糙度,常用的方法有:手工或机械抛光、超声波抛光、化学抛光、电化学抛光及电化学机械复合加工等。手工或机械抛光加工后工件表面粗糙度Ra≤0.05μ;m,可用于平面、柱面、曲面及模具型腔的抛光加工。超声波抛光加工精度0.01~0.02μ;m,表面粗糙度Ra0.1μ;m。化学抛光加工的表面粗糙度一般为Ra≤0.2μ;m。电化学抛光可提高到Ra0.1~0.08μm。 超精密加工就是在超精密机床设备上,利用零件与刀具之间产生的具有严格约束的相对运动,对材料进行微量切削,以获得极高形状精度和表面光洁度的加工过程。当前的超精密加工是指被加工零件的尺寸精度高于0.1μm,表面粗糙度Ra小于0.025μm,以及所用机床定位精度的分辨率和重复性高于0.01μm的加工技术,亦称之为亚微米级加工技术,且正在向纳米级加工技术发展。 超精密加工包括微细加工、超微细加工、光整加工、精整加工等加工技术。微细加工技术是指制造微小尺寸零件的加工技术;超微细加工技术是指制造超微小尺寸零件的加工技术,它们是针对集成电路的制造要求而提出的,由于尺寸微小,其精度是用切除尺寸的绝对

超精密加工技术论文

论述精密与超精密加工的工作环境 前言 超精密加工技术综合应用了机械技术发展的新成果及现代电子技术、测量技术和计算机技术等,是尖端技术产品发展中不可缺少的关键环节…。同时,超精密加工技术的发展也促进了机械、液压、电子、半导体、光学、传感器和测量技术以及材料科学的发展。从某种意义上说,超精密加工对先进制造技术特别是纳米技术对整个社会生产力水平的提高起到举足轻重的地位,也成为衡量一个国家科技发展的标准之一。 目前超精密加工还没有确切的定义,一般是指达到绝对加工精度为0.1μm或表面粗糙度为Ra 0.0lμm以及达到加工允差和加工尺寸之比为106的加工技术。超精密加工对环境的要求十分严格,纳米加工对环境的要求就更加苛刻。只有对它的支撑环境加以严格控制,才能保证加工精度。加工所需的支撑环境主要包括空气环境、热环境、振动环境、声环境和磁环境等几个方面。本文着重介绍温度环境以及振动环境两个方面的环境因素以及一般的解决措施。 一、温度控制 随着科学技术的飞速发展和国际竞争的加剧,超精密加工技术越来越成为工业化国家长远发展的根本支撑。保证良好的稳定加工条件是实现超精密加工的关键之一。据文献统计,在精密加工、超精密加工中机床热变形引起的加工误差占总误差的40%~70%。超精密加工60mm长的铝合金工件,温度变化1℃将产生1.35μm的误差。若确保0.1μm级加工精度,环境温度变化至少应控制在0.1℃范围内。 国外比较成功的经验是将机床加工部位或其特征部位实现局部恒温化,进行积极的温度控制,例如美国LLNL实验室把超精密机床放置在铝制框架和耐热塑料制成的掩蔽间中,从天棚顶向下吹入流量为20m3/min的恒温空气,采用冷却水-空气热交换方式的温控系统,达到±0.04℃的温控精度。 温度控制主要的2种传热介质是油和空气,油的热容比较高且不可压缩,所以油喷淋温度可以比气喷淋达到更高的控制精度,美国LLNL实验室使用恒温油对放在局部恒温玻璃罩内的一台双轴超精密金刚石车床进行喷射,可以使加工区域内的温度保持在20℃±0.06℃。然而,对于由于气浮运动所具有的低摩擦和高精度的突出特点,很多超精密机床和超精密机构采用了气喷淋的温度控制系统。本文介绍的气喷淋系统在较低的成本下,实现了超精密环境±0.05℃的温度控制精度。 环境规划 我们实现的超精密加工环境见图1。其一般控制区域为一无窗的房间,以避免日光的影响。房内未设置暖气,因为在冬季,暖气会引起很大的局部过热。该房间有一玻璃门与外界隔离。此区域的控制用较大功率的空调实现,其温度控制精度在3℃以内,设定温度比玻璃隔间内低4℃~5℃。操作人员在此区域内活动。 精密控制区域用双层玻璃与一般控制区隔开。使用石英电热管加热,最高功率达3kW。

精密和超精密加工基础试题

《精密超精密加工技术》期末试题 1~6题为必答题(每题10分)。 1.精密和超精密加工的精度范围分别为多少?超精密加工包括哪些领 域? 答:精密加工的精度范围为1μm~0.1μm、表面粗糙度为0.1μm~0.025μm;超精密加工的精度范围为高于0.1μm、表面粗糙度小于0.025μm。 超精密加工领域包括: (1)超精密切削加工。如采用金刚石刀具进行超精密切削,可进行各种镜面、反射镜、透镜等大型器件的精密加工。它成功地解决了激光核聚变系统和天体望远镜中地大型抛物面加工。 (2)超精密磨削和研磨抛光加工。如高密度硬磁盘地涂覆表面加工和大规模集成电路基片的加工,以及高等级的量块加工等。 (3)精密特种加工。如在大规模集成电路芯片上,采用电子束、离子束的刻蚀方法制造图形,目前可以实现0.1μm线宽。 2.超精密切削对刀具有什么要求?天然单晶金刚石、人造单晶金刚石、人 造聚晶金刚石和立方氮化硼刀具是否适用于超精密切削? 答:超精密切削对刀具性能的要求:1)极高的硬度、极高的耐磨性和极高的弹性模量,以保证刀具有很长的寿命和尺寸耐用度。2)切削刃钝圆半径要极小,这样才能实现超薄切削厚度。3)切削刃无缺陷,因为切削时刃形将复印在加工表面上,切削刃无缺陷能得到超光滑的镜面。4)和工件材料的抗粘结性好、化学亲和性小、摩擦因数低,能得到极好的加工表面完整性。 天然单晶金刚石有着一系列优异的特性,如硬度强度耐磨性极高导热性好,与有色金属摩擦因数低,刀具钝圆半径极小等。虽然价格昂贵,仍被公认为理想不能替代的超精密切削刀具材料。 人造单晶金刚石现在已能工业生产,并已开始用于超精密切削,但它的价格仍很昂贵。 人造聚晶金刚石无法磨出极锋锐的切削刃,钝圆半径很难小于1微米,因此它只能用于有色金属和非金属的精切,很难达到超精密镜面切削。

《精密与超精密加工技术》知识点总结

《精密与超精密加工技术》知识点总结 1.加工的定义:改变原材料、毛坯或半成品的形状、尺寸及表面状态,使之符合规定要求的各种工作的统称。规定要求:加工精度和表面质量。 2.加工精度:是指零件在加工以后的几何参数(尺寸、形状、位置)与图纸规定的理想零件的几何参数相符合的程度。符合程度越高,加工精度则越高。 3.表面质量:指已加工表面粗糙度、残余应力及加工硬化。 4.精密加工定义:是指在一定时期,加工精度和表面质量达到较高程度的加工技术(工艺)。 5.超精密加工:是指在一定时期,加工精度和表面质量达到最高程度的加工技术(工艺)。 6.加工的划分普通加工(一般加工)、精密加工和超精密加工。普通加工:加工精度在1μm 以上(粗加工IT13~IT9、半精加工IT8~IT7、精加工IT6~IT5),粗糙度Ra0.1-0.8μm。加工方法:车、铣、刨、磨等。适用于:普通机械(汽车、拖拉机、机床)制造等。 精密加工:加工精度在1~0.1μm ,粗糙度Ra0.1μm 以下(一般Ra0.1~0.01μm )的加工方法。加工方法:车削、磨削、研磨及特种加工。适用于:精密机床、精密测量仪器等中的关键零件的制造。 超精密加工:加工精度在0.1~0.01μm ,粗糙度小于Ra0.01μm(Ra0.01~Ra0.001μm)的加工方法。 加工方法:金刚石刀具超精密切削、超精密磨削、超精密特种加工。适用于:精密元件的制造、计量标准元件、集成电路等的制造。 7.精密加工影响因素 8.切削、磨削加工:精密切削和磨削、超精密切削与磨削。 9.特种加工:是指一些利用热、声、光、电、磁、原子、化学等能源的物理的,化学的非传统加工方法。 10.精密加工和超精密加工的发展趋势:向高精度方向发展、向大型化,微型化方向发展、向加工检测一体化发展、研究新型超精密加工方法的机理、新材料的研究。 11.精密加工和超精密加工的特点:形成了系统工程它是一门多学科的综合高级技术;它与特种加工关系密切传统加工方法与非传统加工方法相结合;加工检测一体化在线检测并进行实时控制、误差补偿;与自动化技术联系密切依靠自动化技术来保证;与产品需求联系紧密加工质量要求高、技术难度大、投资大、必须与具体产品需求相结合。 12.金刚石刀具是超精密切削中的重要关键。金刚石刀具有两个比较重要的问题:一是晶面的选择,因为金刚石晶体各向异性;二是研磨质量,也就是刃口半径,因为影响变形和最小切削厚度。 13.检测技术是超精密切削中一个极为重要的问题。超精密加工要求测量精度比加工精度高一个数量级。 14.超精密加工必须在超稳定的加工环境条件下进行:恒温条件、防振条件。恒温:20℃±(1~0.02)℃恒湿:35﹪~45﹪空气净化、防振等。 15.金刚石分类:天然金刚石和人造金刚石两大类(碳的同素异形体)。 16.金刚石晶体的三种晶面晶体——原子具有规则排列的物体。晶体中各种方位上的原子面 叫晶面。晶体中各种方位上的原子列叫晶向。金刚石晶格中有三种重要晶面,(100),(110),(111)。 17.金刚石晶体具有强烈的各向异性不同晶面,不同方向性能有明显差别;金刚石刀具的晶面选择直接影响切削变形和加工表面质量;金刚石晶体和铝合金、紫铜间的摩擦系数在0.06~0.13之间,而

材料与材料加工技术

材料加工技术讲义 徐冈I」,韩高荣编制 浙江大学材料科学与工程学系

二0一二年六月 绪论 材料是人类文明的物质基础,是社会进步和高新技术发展的先导。自上世纪70年代开始,人们把信息、能源和材料看作是现代社会的三大支柱。新材料和新材料技术的研究、开发和应用反映了一个国家的科学技术与工业化水平。以大规模集成电路为代表的微电子技术,以光纤通信为代表的现代通信技术,以及及现代科技与技术于一体的载人航天技术等,几乎所有的高新技术的发展与进步,都以新材料和新材料技术的发展为突破和前提。 材料的制备与加工,和材料的成分与结构,材料的性能是决定材料使用性能的三大基本要素,构成材料科学与工程学四面体的底面,这充分反映了材料制备及加工技术的重要作用和地位。材料制备与加工技术的发展既对新材料的研究开发、应用和产业化具有决定性的作用,同时又可有效地改进和提高传统材料的使用性能,对传统材料产业的更新改造具有重要作用。因此,材料制备与加工技术的研究开发是目前材料科学与工程学最活跃的领域之一。 材料种类很多,按材料的键合特点和组成分类,大致分为四大类:金属材料、无机非金属材料、高分子材料和复合材料;按材料的用途分类,既可分为结构材料和功能材料两大类,也可细分为建筑材料、信息材料、能源材料、生物材料、航空航天材料等等。相应地,为了适应不同种类材料的键合特点,和使用特点及功能要求,材料制备和加工技术也多种多样。 本讲义是面向浙江大学材料科学与工程学专业学位硕士研究生培养而编写的材料加工技术”。主要涉及金属材料加工和陶瓷粉体成型烧结先进制备技术,包括:金属材料快速凝固、定向凝固、半固态加工、连续铸轧、复合铸造技术,以及金属粉体、陶瓷粉体制备,和先进陶瓷成型、烧结等材料加工新技术新工艺。注重材料制备及加工技术案例分析,从技术个案的起源、开发、改进和完善的整个过程,对材料加工技术特点及其原理进行系统介绍,重点突出新技术创新的基本规律,培养学生自主创新和利用新技术开发新材料的能力。

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