基于LabVIEW的微机械陀螺自动测试系统开发

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第２４卷第２期
２１０１年２月
传感技术学报
ＣＮＥＥＪＲＮＦＳＮＯＤＡＣＵＴＳＨＩＳＯＵＡＬＯＥＳＲＳＡＮＴＡＯＲ
Ｖｏ．４Ｎｏ２１２．
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基于ＬｂＩＷ的微机械陀螺自动测试系统开发ａＶＥ
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，．京大学微电子学研究院微米／米加工技术国家级重点实验室，京１０７；１北纳北０８１、
＼．２中山大学光电材料与技术国家重点实验室，广州５０７１５２
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