BCD工艺综述

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火龙果果醋的研制文献综述

火龙果果醋的研制文献综述

---------------------------------------------------------------范文最新推荐------------------------------------------------------ 火龙果果醋的研制+文献综述摘要:本论文研究了火龙果果醋的最佳酿造工艺条件。

在单因素实验的基础上,通过正交实验得到酒精发酵阶段的最佳工艺参数为:发酵温度30℃、糖度14%、接种量0.15%;醋酸发酵阶段的最佳工艺参数为:发酵温度32℃、初始酒精度6%、接种量11%。

在最适条件下所得果醋酸度达到3.76%。

发酵得到的火龙果果醋具有火龙果特有的香味,口味极佳。

11136关键词:火龙果;果醋Fermentation of Dragon fruit VinegarAbstract:The production processing of Dragon fruit vinegar was studied in this paper. Based on single experiments, the optimal parameters of alcohol fermentation were confermed through orthogonal experiment as follows:fermentation temperature was at1 / 830℃, sugar was 14%, inoculation quantity was 0.15%. The optimal parameters of acidity fermentation as follows:fermentation temperature was at 32℃, initial alcohol content was 6% , inoculation quantity was 11%. Under these conditions, the acidity of Dragon fruit vinegar was 3.76%. The fermentation fruit vinegar has a peculiar smell of Dragon fruit, with adequate test.Key words:Dragon fruit;fruit vinegar摘要1Abstract1引言11.材料与方法21.1材料与试剂21.2主要仪器设备2---------------------------------------------------------------范文最新推荐------------------------------------------------------ 1.3试验方法21.3.1工艺流程21.3.2操作要点21.3.3酒精发酵阶段工艺条件的确定31.3.4醋酸发酵阶段工艺条件的确定31.3.5测定方法42.结果与讨论42.1酒精发酵阶段工艺参数的确定42.1.1不同温度对酒精发酵的影响42.1.2不同糖度对酒精发酵的影响52.1.3不同接种量对酒精发酵的影响63 / 82.1.4酒精发酵工艺的正交优化62.2醋酸发酵阶段工艺参数的确定72.2.1不同温度对醋酸发酵的影响72.2.2不同酒精度对醋酸发酵的影响8HH-S 6恒温水浴锅巩义市予华仪器有限公司手提式不锈钢压力蒸汽灭菌器上海申安医疗机械厂EL 20实验室pH计梅特勒-托利多仪器(上海)有限公司Panda Plus 1000型均质机北京霍尔斯生物技术有限公司BCD-215 KCM冰箱青岛海尔股份有限公司---------------------------------------------------------------范文最新推荐------------------------------------------------------ BX-1 手持糖度计广州市爱宕科学仪器有限公司SHSL型调温电热套上海树立仪器仪表有限公司1.3 实验方法1.3.1 工艺流程火龙果→清洗榨汁(加适量果胶酶提高出汁率)→过滤→调糖度→酒精发酵→醋酸发酵→过滤→调配→果醋成品。

“大理白族甲马”国内研究综述

“大理白族甲马”国内研究综述

“大理白族甲马”国内研究综述
大理白族甲马是中国云南大理白族地区生长的一种极其珍贵的手工艺品,是白族文化
遗产的重要代表之一。

自古以来,甲马已成为白族人亲情友谊、爱情之情等吉祥寓意的象征,具有丰富的文化内涵和传统价值。

在国内外文化交流中,大理白族甲马艺术得到了广
泛的认可和关注。

大理白族甲马的制作工艺十分精湛,需要经过若干工序才能完成。

主要材料为木质骨
架和棉麻绸缎布料,而骨架的种类、数量以及布料的颜色与图案等均有独特的要求。

制作
过程中,首要是根据制作大马的习惯姿态和形态切割骨架,然后对布面进行画线、绣花、
穿珠等不同工艺的装饰,最后将装饰好的绸缎布料披挂在骨架上制成成品。

白族甲马的形态各异,包括大小型甲马、配单面甲马、配双面甲马等多种类型,其样
式和装饰图案多样,主要以红黄蓝绿四色配以黑白为主,其中花鸟纹、龙凤纹、人物性题
材等最为常见。

此外,白族甲马制作还注重风水,讲究马形线条精致协调,装饰图案巧妙
渲染阴阳五行,完美诠释中国传统文化之美。

近年来,中国对于文化创意产业的强调,推动了白族甲马艺术进入现代化制作和运作
阶段。

不仅展示了白族文化的独特性和多样性,同样也给其发展带来新的机遇与活力。


来发展的方向应该是在传承白族传统文化的基础上,融入现代元素,通过多种渠道的推广,让更多的人了解白族甲马文化,从而保护这一人类非物质文化遗产。

传感器自校准技术综述

传感器自校准技术综述
传感器自校准技术综述
1. 零点校准技术
零点校准技术主要是通过调整传感器的零点偏移来实现校准。常见的零点校准技术包括游动零点校准技术和电子调零技术
2. 增益校准技术
增益校准技术主要是通过调整传感器的增益来实现校准。常见的增益校准技术包括放大器的增益调节和传感器的敏感元件的参数调节
3. 非线性校准技术
3.在进行校准时,需要权衡校准的效果和对系统性能的影响
传感器自校准技术综述
传感器自校准技术的发展趋势
1. 精确性和稳定性的提高:传感器的精确性和稳定性是自校准技术中的重要指标。传感器厂商和研究机构不断努力提升传感器的精度和稳定性,通过改进传感器设计和制造工艺,以及优化传感器算法和校准方法,实现更精确和稳定的测试结果
传感器自校准技术综述
1
2
传感器的校准技术主要可以分为以下几类:基于硬件的自校准技术、基于补偿模型的自校准技术和基于数据处理的自校准技术
传感器自校准技术的出现是为了提高传感器的精度、稳定性和可靠性,降低维护成本,并适应不同的工作环境
传感器自校准技术综述
基于硬件的自校准技术基于硬件的自校准技术主要是通过设计特殊的硬件电路或元件来实现传感器的自校准。其中最常用的技术包括:零点校准技术、增益校准技术和非线性校准技术
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传感器自校准技术综述
基于数据处理的自校准技术
基于数据处理的自校准技术通过对传感器数据的采集、分析和处理,来检测和修正误差。常见的数据处理技术包括最小二乘法、贝叶斯统计法等
具有以下优点
1. 实时性好:通过实时采集和处理数据,可以及时发现系统的误差和偏差,并进行即时的校准

SBR工艺的发展类型及其应用特性

SBR工艺的发展类型及其应用特性

长并不会引起污泥膨胀。因此,+,- 系统具有防止 污泥膨胀的功能。
! 微生物环境的多样性 +,-反应器对有机物去除效果较好,而对难降 解有机物降解效果好是因其在生态环境上具有多样
性,具体讲可以形成厌氧、缺氧和好氧等多种生态条
件,从而有利于有机物的降解。
!"# 缺点 " 连续进水时,对于单一+,- 反应器需要较
% 选择性准则 $A’&年 )EFG=H>等人提出了在活性污泥混合 培养中的动力学选择性准则,这个理论是基于不同
种属的微生物在 I=9=G方程中的参数("!、"J>K)不 同,并且不 同 基 质 的 生 长 速 度 常 数 也 不 同。I=9=G 方程可以写成:
#GG#$C"C"J>K"!%L% 式中 #———生物体浓度
由表$可见在新型!"# 中经典!"# 的优点在
一定程度上被弱化,同时由于改进的!"# 吸收了传 统活性污泥的特点,出现了连续进水、连续出水和带 回流污泥的!"# 反应器以及 )*%+(*, 新型综合 性工艺。不同类型的 !"# 反应器的优点是不同 的, 因此在进行工艺选择和设计计算时应当注意。
参考文献:
&’$("’) 系统可 在 恒 定 水 位 下 连 续 运 行,此 时从整个系统来看它已经不属于#,- 了,与交替运 转的三沟式氧化沟非常相似,更接近于传统的活性
污泥法,这 是 该 工 艺 最 为 显 著 的 一 个 特 点;&’$+ ("’) 也可在恒水位下交替运行,出水采用固定堰 而不是滗水器,在任一时刻总有一个池子作为沉淀

国潮风格的综述

国潮风格的综述

国潮风格的综述国潮风格的综述1. 引言国潮风格,顾名思义,即以中国文化元素为特色,结合现代审美趋势而形成的一种时尚风格。

随着国内经济的崛起和文化软实力的增强,国潮风格逐渐走入人们的视野并得到了广泛的关注。

本文将深入探讨国潮风格的由来、特点以及其在时尚、艺术和社会文化等方面的影响。

2. 国潮的起源与发展国潮风格的兴起源于中国传统文化的复兴运动。

在全球化的浪潮下,中国年轻一代开始重新审视自己的文化根源,并将之融入到时尚与艺术创作中。

以传统民族服饰、传统元素、中国色彩等为灵感的设计作品逐渐在时尚圈中崭露头角。

国潮的发展得益于互联网的兴起和社交媒体的普及。

网红文化、潮流购物平台等的兴起为国潮的传播提供了便利,使得更多人能够了解和接触到这一风格。

互联网还促进了国内品牌的崛起,为国潮风格的传播提供了平台。

3. 国潮风格的特点国潮风格有以下几个突出特点:3.1 国家认同感国潮风格将传统与现代相结合,强调中国的独特文化和民族精神。

通过运用中国传统纹样、图案、剪纸等元素,打造了一种富有民族风格的时尚形象,让人们更加自豪并增强了国家认同感。

3.2 创新与设计国潮风格不仅仅是对传统的复制和模仿,更注重创新和设计。

设计师们将中国传统元素与现代审美相结合,创造出独特而有现代感的艺术品和时尚单品。

这种跳出传统束缚的创新精神,为国潮风格赋予了无限的可能性。

3.3 青春与活力国潮风格以年轻人为主要受众和创作者,注重表达青春和活力。

鲜艳的色彩、时尚的剪裁和流行的潮流元素都融入到国潮设计中,展现出独特的时尚态度和活力十足的气息。

4. 国潮风格的影响4.1 时尚领域国潮风格的兴起对中国时尚产业带来了新的活力和机遇。

越来越多的国内设计师和品牌开始关注和运用国潮元素,在国内外时尚周和潮流展会上展示自己的作品。

国潮设计也成为了全球时尚界瞩目的焦点,为中国设计师赢得了更多国际声誉和机会。

4.2 艺术创作国潮风格对艺术创作产生了巨大的影响。

越来越多的艺术家将国潮元素融入到绘画、雕塑、摄影等创作中,呈现出充满创意和独特的艺术作品。

中国传统服饰综述论文

中国传统服饰综述论文

中国传统服饰综述论文中国传统服饰综述论文无论在学习或是工作中,大家都写过论文,肯定对各类论文都很熟悉吧,论文是进行各个学术领域研究和描述学术研究成果的一种说理文章。

写起论文来就毫无头绪?下面是小编精心整理的中国传统服饰综述论文,仅供参考,希望能够帮助到大家。

论文关键词:中国传统服饰,文化内涵,审美意蕴,时尚服饰设计论文摘要:中国传统服饰的文化内涵极其丰富,具有明快的风格与和谐统一的心理追求,其独特的五色体系和风格表现形式成为中国传统服饰文化的基调。

中国传统服饰具有适中、和谐的“情理美”和追求意境的“含蓄美”。

现代中国服装设计要继承中国传统服饰“谐调”、“统一”的审美原则,把传统服饰文化中的实用价值、文化价值、审美价值融入现代服装设计,结合时尚理念和设计原则,在创新中实现传统与时尚的完美融通。

设计师只有在立足传统的基础上来把握时尚,才能真正拓展中国服饰文化的发展空间。

人类作为智能化生命,一个重要特征就在于其永无止境的进取性,以自身创造的物质文明和精神文明来愉悦人世生活,促进每个人的充分自由发展,推动整个社会的进步,这是一个承传延续的生命演绎历程。

作为人类文明重要组成部分的当代服饰文化理应遵循这种以人为本的人本主义精神。

服饰的文化意义在于适应自然环境以满足生存需要、方便生活日用以便利身体活动、美化身姿体态以娱悦身心健康、显示社会身份以表征社会角色等。

作为人体的延伸,服饰还能够表现出穿着者的长处和特点,极富魅力地表现个性、欲望和心理特征。

为此,服饰设计不仅要切合现时美观大方的流行趋势,使其富有突出的个性表现力,体认穿着者的心理特征和观赏者的趋同心态,而且应将传统服饰文化融入其中,凸显其生命蕴涵和审美意蕴,将传统与时尚有机融合。

惟有如此,方能真正营造出有底蕴的时尚服饰文化。

一、中国传统服饰的文化内涵服饰是人类生活要素和人类文明的重要组成部分,它满足人们物质生活的需要,并代表着一定时期的文化。

服装的款式设计、面料选用、颜色组合等,均记录着特定时期的生产力水平和社会状况,反映着人们的思想文化、宗教信仰、审美观念。

催化剂文献综述

催化剂文献综述

催化剂文献综述催化剂是一种能够加速化学反应速率的物质,广泛应用于工业生产、环境保护和能源领域。

本文将综述催化剂的研究进展,并探讨其在不同领域的应用。

催化剂的研究一直以来都备受关注。

近年来,研究人员通过改变催化剂的结构和成分,不断寻求更高效、更稳定的催化剂。

例如,金属催化剂因其优异的催化性能受到广泛关注。

研究人员通过调节金属催化剂的晶格结构、表面形貌和氧化状态,实现了对反应活性、选择性和稳定性的精确控制。

非金属催化剂也备受研究者的青睐。

非金属催化剂具有较低的成本、较高的稳定性和较好的环境友好性。

例如,过渡金属氧化物、硅基催化剂和碳基催化剂等非金属催化剂在有机合成、环境治理和能源转化等方面展现了巨大的应用潜力。

催化剂在工业生产中发挥着重要作用。

它们能够降低反应温度和能耗,提高生产效率和产品质量。

例如,催化剂在石油加工、化学品合成和废气处理等领域得到广泛应用。

通过优化催化剂的配方和工艺条件,可以提高反应速率、选择性和产率,降低副产物和废弃物的生成,实现资源的高效利用和环境的可持续发展。

催化剂还在环境保护方面发挥着重要作用。

例如,催化剂在汽车尾气净化、工业废水处理和大气污染控制等领域起到了关键作用。

通过催化剂的作用,可以将有害气体转化为无害物质,降低污染物的排放量,保护环境和人类健康。

催化剂在能源领域也具有重要应用价值。

例如,催化剂在燃料电池、光催化和电催化等方面展现了巨大的潜力。

通过催化剂的作用,可以实现能源的高效转化和存储,推动可再生能源的广泛应用,促进能源的可持续发展。

催化剂是一种重要的研究领域,具有广阔的应用前景。

通过不断改进催化剂的性能和结构,可以实现对反应活性、选择性和稳定性的精确控制。

催化剂在工业生产、环境保护和能源领域发挥着重要作用,对推动社会经济发展和促进可持续发展具有重要意义。

未来,我们有理由相信,催化剂将继续发展壮大,并为人类社会的进步做出更大的贡献。

高纯氯化氢气体的制备方法综述

高纯氯化氢气体的制备方法综述

高纯度氯化氢气体的制备方法综述高纯度氯化氢气体用途广泛,可用于制染料,香料,药物等,又是集成电路生产过程中硅片蚀刻,敦化和外延的工艺的重要材料,也可用于合成催化剂,金属冶炼等领域。

随着各行业的发展,高纯度氯化氢的需求量原来越大。

对获得高纯度氯化氢的方法做进一步探讨。

目前国内外高纯度氯化氢的制备方法主要有以下几种。

1.解吸法。

用浓硫酸与烘干的氯化钾反应,生成高纯氯化氢气体,用压缩机压入钢瓶中。

即曼海姆法硫酸钾联产氯化氢气体。

解吸法生产的氯化氢纯度高(体积分数≥99),纯度波动小,不含游离氯,有利于氯乙烯合成实现分子比自控,可使氯乙烯合成的过量氯化氢的量降低到2%-5%,减少了氯化氢的消耗定额。

由于该工艺生产的氯化氢纯度高,几乎不含惰性气体,减少了氯乙烯精馏尾气的放空损失,提高了精馏系统的总收率。

解吸法生产氯化氢是在高温下进行的,高温条件下浓盐酸具有更强的腐蚀性,因此对设备与管道材质的要求比较苛刻,成本增加,并且高温下法兰垫片容易老化发生盐酸渗漏,具有危险性,并且使开停车次数频繁,影响生产。

2.盐酸脱析法。

将浓盐酸置于脱析塔中加热脱析制氯化氢气体。

盐酸脱吸法制高纯氯化氢广泛应用于 PVC、氯丁二烯和高纯盐酸等的生产中。

脱析法生产的氯化氢纯度高(体积分数≥99),设备投资管理要求不高,操作比较简单,对环境和人体损害较低,整个生产费用相对较低,但是原料消耗很高而相对于其他方法其安全生产措施就简单多了, 只是为防止原料酸储槽和稀酸储槽在进酸过程中气体氯化氢外逸污染环境, 其出气经尾气中和槽内的碱液洗涤吸收后排入大气。

此方法所副产的稀盐酸量较大,可用于内部其他生产。

3.合成法合成法的基本原理原理非常简单,即氢气在氯气中均衡燃烧,生成氯化氢气体,反应式如下:CI2+H2=2HCl+1.84×105J合成法生产氯化氢是目前国内大型的氯化氢生产装置所采用的生产工艺,由于该工艺成熟稳定,并且在生产过程中积累了大量的实践经验,有利于生产长期稳定的运行。

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BCD工艺及发展状况综述摘要:随着市场对低功耗、高效率节能功率电子产品需求的不断扩展,单芯片智能功率集成电路(SPIC)得到了迅猛发展。

目前,SPIC的制造主要采用一种称为BCD(Bipolar CMOS DMOS)的集成工艺技术,本文根据实际工艺的电压标准着重阐述了高压BCD、大功率BCD以及高密度BCD工艺的各自特点及发展标准,同时介绍了世界知名IC制造厂商的并阐述了BCD工艺整体的发展特点及趋势。

关键词:SPIC功率集成技术 BCD工艺1、引言智能功率集成电路(SPIC)是指将高压功率器件及低压信号处理电路和外围接口、检测、保护等功能电路集成到单芯片上的集成电路技术。

SPIC的发展依赖于目前最重要的功率集成技术——BCD工艺,BCD工艺的特点是将硅平面工艺用到功率集成上,该工艺是一种可以将双极、CMOS和DMOS器件同时集成到单芯片上的技术,1986年,由意法半导体公司率先研制成功了第一代BCD工艺,当时的技术被称为Multipower BCD technology[1],是一种4μm 60V工艺,在传统结隔离双极工艺中整合进了纵向DMOS(VDMOS)结构,该工艺采用了12掩膜版,其工艺截面结构如图1所示:图1 ST公司的第一代BCD工艺集成器件剖面图[1]在功率应用领域,与传统的双极功率工艺相比BCD工艺具有显著的优势,最基本的优势就是使得电路设计者可以在高精度模拟的双极器件,高集成度的CMOS器件和作为功率输出级的DMOS器件之间自由选择。

由于DMOS具有高效率(低损耗)、高强度(无二次击穿)、高耐压、固有的源漏二极管的存在(作用类似续流二极管) 和高速的开关特性,因此,DMOS特别适合作为功率开关器件,而且其制造工艺可以和和硅栅CMOS制造工艺兼容,从而有利于功率集成。

整合好的BCD工艺可大幅降低功耗,提高系统性能,增加可靠性和降低成本。

经过近三十年的发展,BCD工艺技术已经取得了很大进步,从第一代的4μm BCD工艺发展到了第六代0.13μm BCD工艺,线宽尺寸不断减小的同时也采用了更先进的多层金属布线系统,使得BCD工艺与纯CMOS工艺发展差距缩小;另一方面,BCD工艺向着标准化模块化发展,其基本工序标准化,混合工艺则由这些基本工序组合而成,设计人员可以根据各自的需要增减相应的工艺步骤。

当今BCD工艺中的CMOS与纯CMOS完全兼容,现有的图形单元库可以直接被混合工艺电路调用。

总的来说,今后的BCD工艺主要向着高压,高功率和高密度这三个方向发展,同时提高与CMOS工艺的工艺兼容性,并针对更多的应用需要灵活化工艺设计;另外,BCD技术与SOI 技术相结合也是一种非常重要的趋势,目前一些新兴的BCD技术也已经形成体系,如:HVCMOS-BCD主要用于彩色显示驱动,RF-BCD主要用于实现手机RF功率放大输出级,BCD-SOI 主要用于无线通信。

BCD工艺的发展使更多复杂的功能可以集成。

这使SPIC的设计变得更加灵活、方便,设计时间和费用大幅度减少。

这样便出现了将微处理器、存储器等系统的核心单元与接口、电源、保护等单元单片集成的高智能化功率系统(PSoC),即面向系统的高智能功率技术( system oriented technology)。

2、BCD集成电路技术研究进展2.1 国外知名厂商及其工艺一些著名国际半导体公司在功率集成技术领域处于领先地位,如仪器(TI)、仙童半导体(Fairchild)、Power Integration(PI)、国际整流器公司(IR)、飞思卡尔(Freescale)、意法半导体(ST)、Philips、三菱等。

国拥有BCD工艺线的厂商比较有限,主要有台积电(TSMR)、中芯国际、华虹NEC、宏力半导体、新进半导体、华润上华等。

ST公司是欧洲功率半导体的最大厂商,其首创的BCD工艺在1980年代中期引入时,马上就成为几乎所有智能功率应用的首选。

经过不断改进、分化,ST公司开发了一系列对全球功率IC影响深远的BCD工艺,如BCD3(1.2μm)[2]、BCD4(0.8μm)[3]、BCD5(0.6μm)[4]、BCD6(0.35μm)[5]。

最新的BCD工艺是基于VLSI CMOS平台的0.18μm BCD8[6]和0.13μm BCD工艺。

NXP公司(原飞利浦半导体公司)在BCD工艺方面也做了大量的研究,特别是SOI BCD方面,NXP公司已经推出了一系列基于自己开发的SOIBCD工艺平台的功率集成芯片产品,在低噪声,高可靠性,高频率要求的应用领域占据了很大的市场份额。

TSMC在2009-2012年间推出了模组化BCD工艺,此新的BCD工艺特色在于提供12伏特至60伏特的工作电压围,可支持多种LED的应用,包括:LCD平面显示器的背光源、LED显示器、一般照明与车用照明等,且工艺横跨0.6μm至0.18μm等多个世代,并有数个数字核心模组可供选择。

中芯国际推出的BCD工艺平台主要集中于低压围,已经实现量产的有0.35μm 20V和0.18μm 20V外延和非外延工艺平台,更高电压(60V-80V)的工艺平台正在开发中。

华虹NEC在2009年宣布,其非外延0.35μm BCD工艺开始量产。

华虹NEC在2008年成功研发并量产了BCD350 (0.35μm B CD)工艺。

针对市场的不同需求,华虹NEC现又推出了非外延工艺的 0.35um BCD工艺,即PMU350工艺。

PMU350在BCD350的基础上用Deep Nwell替代了外延层,并简化了工艺流程,使该工艺更具竞争力。

华虹NEC PMU350工艺主要面向电源管理、显示驱动、汽车电子、工业控制等领域,该工艺的标准配置包括3.3V/5V的CMOS,12V/18V/30V/40V的LDMOS以及垂直的NPN和水平的PNP双极管。

此工艺同时还提供高精度的电阻、高密度的电容及一次性可编程器等多种器件。

华虹NEC已经在开发0.18μm BCD技术平台,以期能够提供电源管理和SOC芯片等更高端的技术。

2.2BCD工艺关键技术BCD工艺将双极器件、CMOS器件以及DMOS器件集成到同一芯片上,这就要求在兼容工艺下集成后的这些器件能够基本具有分立器件的良好性能,特别是高压器件如DMOS器件;其次,制造出来的芯片应该有更好的综合性能,要有小的寄生效应;此外,尽量要减少工艺的复杂程度,以节省成本。

在这些基本要求之下,BCD工艺的关键技术主要包括三大类问题:隔离技术,工艺兼容性以及DMOS器件的设计。

2.2.1 隔离技术在传统的双极工艺,CMOS工艺和BiCMOS工艺中都会采用隔离技术以实现器件与器件之间,器件与电路之间,电路与电路之间电学上的隔离,BCD工艺中的隔离技术与其他工艺中隔离技术基本类似,主要的隔离技术包括三种:自隔离,结隔离和介质隔离,如图2所示为三种隔离技术的截面图[7]。

(a)(b) BULK BOXN+N+N+P+N+N+P+P+N+N+Pbase P-Well P-Well N-Well N-Well N-Well N-Well S D DG G S D G S D G E C B SiO 2SiO 2SiO 2SiO 2SiO 2NLDMOSCMOS NPN(c)图2 BCD 工艺中的隔离技术:(a)自隔离[7];(b)结隔离[7];(c)介质隔离 自隔离技术是利用晶体管和衬底之间形成的自然形成的反偏PN 结来实现隔离的,NMOS晶体管的P 阱与N 型外延层,PMOS 的P 型源漏与N 型外延之间均形成PN 结,只要保证这些PN 结均反偏,则各器件就被隔离开来,漏极电流只会通过沟道到达源极而不会流到其它器件中去。

自隔离方法存在一些缺陷:首先,相邻MOS 器件之间为场区,可能存在寄生的沟道,形成寄生MOS 管,电流会从寄生MOS 管过导致器件之间漏电,可以采用场区厚氧化和场区注入来提高寄生MOS 管的阈值电压,以防止寄生沟道形成,但是LOCOS 技术不可避免的“鸟嘴”效应,使得场氧延伸进入有源区,占据有源区面积同时因为鸟嘴部分场氧较薄,厚场阈值减小,因此易形成漏电通道;其次,若由于噪声等因素使得原本反偏的PN 结正偏,发生少子注入,很容易引发闩锁和串扰。

结隔离是BCD 工艺中最常见的隔离方式,即通过穿通外延层的深扩散形成反偏的PN 结和隔离岛实现隔离,器件做在隔离岛,这种工艺简单成熟而且对于一般的应用较为有效,所以现在很多的功率IC中均采用PN结隔离。

结隔离存在一些不可避免的的缺陷:首先,当器件耐压提高,外延层厚度增加,用来形成隔离区的P+注入需要更长的推结时间,杂质的横向扩散更加明显,使得隔离区占据了很大的芯片面积。

通过所谓上下隔离技术可以减少推结时间,从而减小杂质的横向扩散,但是即使这样隔离区的面积还是很大,所以对于高压BCD工艺采用结隔离很难降低其线宽;其次,功率电路中PN结的反向漏电随温度升高而增大,使得功率器件性能退化,甚至导致误操作;另外,PN结大的寄生电容影响了电路工作速度。

介质隔离是指电路中各器件通过绝缘介质隔离,由于是通过绝缘介质隔离,所以介质隔离是真正意义上的物理隔离,目前出现的介质隔离技术主要包括浅槽隔离(STI),深槽隔离(DTI)以及全介质隔离技术。

STI和DTI仅仅是在器件的侧壁形成隔离,而全介质隔离则在器件底部和侧壁都用绝缘介质隔离形成封闭的隔离岛,全介质隔离一般采用现在最为流行的SOI衬底,配合STI或DTI工艺来完成。

介质隔离相比其他的隔离方式存在许多优势:隔离宽度不受外延层厚度和击穿电压影响,所以可以大大节省芯片面积,现代较低线宽高集成度的BCD工艺一般均采用介质隔离;介质隔离效果很好,器件间的串扰和寄生效应很小,减小了闩锁效应的发生,同时提高了电路速度;介质隔离具有优越的电磁兼容(EMC)性。

但是介质隔离也存在缺陷:一是其工艺的复杂程度相对较高,因此成本较高,二是介质热导率小于单晶Si,使得器件工作时散热效果较差,很容易引起局部过热,影响器件和电路工作可靠性。

2.2.2 工艺兼容性典型的BCD工艺包含了低压MOS管、高压MOS管、不同耐压的LDMOS、纵向NPN管、横向NPN 管、横向PNP、衬底PNP、肖特基二极管、扩散电阻、多晶电阻、金属电阻以及MOS电容等丰富的器件,有些工艺还集成了JFET,EEPROM等器件,不同的器件种类有其各自的特点,集成时就必须考虑兼容性问题,首要的兼容性问题有两个:一是高压器件和低压的器件的兼容性;二是MOS器件与双极器件的兼容。

首先要选择合适的隔离技术,确保高压部分不会影响到低压部分的正常工作,其他器件不会影响敏感器件的工作;提高光刻版的兼容性是解决兼容性问题的最关键因素,不同器件各区掺杂有不同要求,但是为了减少掩模版数量降低制造成本,希望能够使其中相同类型掺杂能兼容进行,还要合理调整各工艺顺序,在实现工艺兼容的同时,确保器件性能,但有时还是必须在器件性能和兼容性问题上做出折中,因此需要对器件结构和工艺进行巧妙地设计。

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