扩散炉找哪家？扩散炉有什么特点
半导体扩散炉用产品
四、热魔克之扩散炉专用绝热环片
产品材料说明 1、外附布材： 高三氧化二铝纤维，为一种耐高温之连续纤维，其材质中含有70%的 三氧化二铝及30%的二氧化矽等成分，纤维径为7微米，不含有硼的 成分，于高温中不会释放出影响制程的物质，可用这种纤维编织成 耐高温的布、带、绳、套管、车缝线等纺织品，再加以利用加工缝 制成各式各样的隔热产品。 高三氧化二铝纤维，可以耐极高的温度而不易老化，长时间使用温 度为1250-℃，可短时间使用于1300℃，于高温环境中收缩率低， 不会脆化且保有良好的柔韧性，适用于各种需要耐高温的场所，且 为连续纤维不会扬尘，亦可应用于无尘室内，或需要高温隔热的用 途。
硬式成品型
等级
最大使用温度 连续使用温度 密度［kg/m3］ 线性收缩（%） at 1000℃ at 1100℃ at 1100℃ at 1300℃ at 1400℃ at 1500℃ at 1600℃ 化学成分［%］ Al2O3 46 67 31 2.0 2.5 3.0 — — — — 1.5 2.0 2.5 3.0 — — — — — — — 1.0 1.0 2.0
昆山菘启温控科技有限公司
半导体行业产品
扩散炉
一、Profile TC
产品详细说明： 产品名称：贵金属（B/R/S）铂铑热电偶 分 度 号：S-type（R/B） profile T/C(高纯石英管)热电偶 材 质：正极-10%铑 负极-铂 高纯石英管 耐温：0~1280℃ S分度铂铑丝：0~1450℃ 热偶测温范围：极限温域：-270℃~1768℃ 常用温度：0℃~1268℃ 精 度：CLASS A 适用场所：半导体扩散炉
三、wafer TC
晶片尺寸:2寸-12寸 热电偶:0℃-1100℃温度范围内的间歇。 0℃-800℃连续 精确度:<±0.1°C in cold wall chamber <±0.3°C ± 2.0°C 测温点数量:1-24points TC型号:K、PLⅡ、R/S等 TC引线: TC绝缘材料:硅套管、石英微管材 制造环境:真空室 连接件种类:U型端子，欧式端子，插头
几种主流扩散炉各项对照GOOD
Tempress炉体部分与 centrotherm的不同之处
1.控制方式不同： tempress采用DPC和DTC电路板箱进行数字过程和数 字温度控制，而 centrotherm则采用CESAR控制电脑和温度控制器来实现以 上功能； 2.电源供给不同： tempress有专门的供电箱，而 centrotherm的配电箱 集成在机台的炉体部分； 3.控制系统所处位置不同： tempress的DTC皆位于机台下方， DPC位 于气源柜下方，而 centrotherm的控制系统则位于炉体后面，与动力系统并 位于同一侧； 4.紧急制动不同： tempress每一跟炉管都有一个电源开关，集中位于 炉体下方，而 centrotherm炉体部分只有一个电源和一个 UPS开关，用于控 制整个机台； 5.spike TC超温报警设置不同： tempress只有1，3，5三个温区的spike TC有超温报警监控热偶，而 centrotherm五个spike TC上都有超温监控热 偶；
tempress净 化风机外部
centrotherm净化 风机外部
两者的相同之处有：
1.都是采用碳化硅桨进行石英舟的进出舟操作； 2.都有lift，储存架，冷却箱，净化风机，shuttle等装置； 3.都有手动上料台：shuttle
Gas cabinate—centrotherm
Centrotherm气源柜可以分为如下几个功能区：尾气瓶放置区，bubbler放置区，磷源温度 和液位监视区，气体控制区，热排，酸排，冷却水供给及净化区。其位置如图所示。
炉体部分—centrotherm
centrotherm炉体部位包含炉体，控制柜和电源柜三个部 分。
炉体部位包含五根炉管，控制柜里面包含着负责工艺程序执行的CESAR电脑,CMS和温度 控制器，电源柜负责供给整个机台所需的动力电源，相当于tempress的电源柜。
太阳能电池扩散设备Tempress
DPC
PT压力传感器用来时时检测气体的压力，起报警的作用。当工艺运行时， DPC首先与数字输出板通信，按照工艺要求打开气动阀和MFC流量计。这时 MFC的流量计讲信号时时传回模拟输入输出板，经过处理后将信号发送给DPC， DPC经过处理后将修正值再反馈给MFC，达到控制阀门开度的作用，起到控制 流量的作用。 如下图所示：源瓶的控制是由DPC将信号送到数字输出板，数字输出板将其 变换成相应的信号送到气动部分，然后使气动阀动作，打开阀门，起到开通 和关端的作用。源瓶的开通与关断，必须满足设备的要求才能动作，否则气 动阀门无法打开。
CDA Pressure sensor PT
Manual bypass
1/4” Outlet
Process tube
触摸屏TSC电脑的联系：公司通过一台TSC来监控两台TEMPRESS扩散炉。TSC电脑起到时时 监控的作用，而且在触摸瓶能够改动的参数都能够在TSC上来操作完成。触摸屏与TSC都 是和DPC相连，所有指令都由DPC来处理完成。触摸屏可以直接对DPC参数改动TSC电脑需 要将DPC数据读入才能修改；而TSC改动参数后与DOC通讯后，触摸屏可直接显示当前的参 数设定。
程序控制器 DPC
Shutoff valve
DPC与DTC、DMC、触摸屏直接通信，设备所有 的动作都是DPC发出指令，由相应的控制器完成 控制动作。剩下的一路由DPC直接控制的是气路 部分，它是由DPC直接控制开度和关断，并由DPC 做出相应的计算。如图所示：
MFC
Analog output
Digital output
温度控制器 DTC
温度控制器DTC与加热丝和热电偶的控制示意图： 加热丝与温度补偿线
Spike 热电偶
简介扩散炉中PLCFA
简介扩散炉中PLCFA
PLC = Programmable Logic Controller，可编程逻辑控制器，一种数字运算操作的电子系统，专为在工业环境应用而设计的。
它采用一类可编程的存储器，用于其内部存储程序，执行逻辑运算，顺序控制，定时，计数与算术操作等面向用户的指令，并通过数字或模拟式输入/输出控制各种类型的机械或生产过程。
是工业控制的核心部分。
横河PLC FA-M3在扩散炉上的应用。
扩散炉工作区间内（800到1000mm）一般需要±01℃（个别要求±0.5℃）。
扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一，它的主要用途是对半导体进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。
虽然某些工艺可以使用离子注入的方法进行掺杂，但是热扩散仍是最主要、最普遍的掺杂方法。
硅的热氧化作用是使硅片表面在高温下与氧化剂发生反应，生长一层二氧化硅膜。
氧化方法有干氧氧化和水汽氧化（含氢氧合成）两种，扩散炉是用这两种氧化方法制备氧化层的必备设备。
扩散炉是半导体集成电路工艺的基础设备，它与半导体工艺互相依存、互相促进、共同发展。
扩散炉工作区间内（800到1000mm）一般需要±01℃（个别要求±0.5℃）。
多数情况下只使用外温控制，内温只在数据测试（Profiling）和2-3周一次的矫正时使用。
不同晶片及数量的要求内温相对外温设定值由profiling给出。
使用内温时，使用串级控制，内温输出作为外温设定值使用。
捷佳创DS-300A扩散炉左手
Shenzhen S.C Exact Equipment Co.,Ltd
DS-300A 扩散炉 使用说明书
用户名称：泰州德通电气有限公司
市
捷
佳
伟
深
圳
地址：广东省深圳市宝安区沙井镇蚝四林坡坑工业区（南安科技园）A4 栋 电话：0755－81449726 传真：0755－81449925 邮编：518104 Http： E-mail：weichuang@
司 （
技
公
有
限
石英 石英
电 子
PC31.8-15C PC31.8-16A PC31.8-17A PC31.8-19A PC31.8-22C PC31.8-23A PC31.8-27A PC31.8-30A PC31.8-31A PC31.8-46 PC31.8-48A
设
PC31.8-14B
备
GE214 GE214 石英 GE214 石英 石英 石英 石英 石英 石英 石英 石英
司 （
9、电控转接板接线图
电 子
8、PLC 与继电器接线图
设
备
7、PLC I/O 表电控部分转接板线图
有
6、电控转接板接线图
限
公
技
10、炉门电磁阀与检测开关接线图
微
12、温控表接线图
佳
伟
11、驱动器与行程/光电开关接线图
创
14、元器件接地线图
圳
市
13、工控机接线图
捷
DS-300A 扩散炉技术手册
深
服务热线：0755-81449726
DS-300A 扩散炉技术手册
创
微
深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司
熔化炉厂家哪家好？熔化炉产品特点
熔化炉厂家哪家好？熔化炉产品特点大家知道什么是三大基础热加工工艺吗，三大基础热加工工艺为铸造、锻压、焊接，这三种工艺为现代装备制造业提供大部分零件毛坯。
随着大批量生产的汽车、工程机械、轨道交通等产品快速发展，铸造产业、锻压产业迎来难得发展机遇，熔化炉在锻造行业中也在进行行业转型，今天小编带大家走进康达电炉，了解一下熔化炉厂家哪家好以及熔化炉特点的相关问题。
#详情查看#【熔化炉：厂家直销】#详情查看#【熔化炉：技术指导】【熔化炉厂家哪家好？】潍坊康达电炉有限公司，是一家专业从事熔化炉、中频炉、中频熔炼炉、中频透热炉、中频加热炉、中频锻造加热炉、中频淬火炉、中频热处理炉的高新技术企业。
公司现坐落于风景优美的世界风筝之都--山东省潍坊市，公司地理位置优越，交通便利。
潍坊康达电炉有限公司重视产品技术升级及新产品开发，设有研发中心、项目部、技术部等，技术团队人才济济，拥有工程师、博士技术顾问、硕士研究人员等多类高素质技术人才。
同时加强与国内外科研机构合作、充分借鉴国内外设备的先进经验，不断改进产品结构、细化工艺。
【熔化炉产品特点】●熔化炉加热速度快、生产效率高、氧化脱炭少、节省材料与成本、延长模具寿命由于熔化炉中频感应加热的原理为电磁感应，其热量在工件内自身产生，普通工人用熔化炉上班后十分钟即可进行锻造任务的连续工作，不需烧炉专业工人提前进行烧炉和封炉工作。
由于该加热方式升温速度快，所以氧化极少，中频加热锻件的氧化烧损仅为0.5，煤气炉加热的氧化烧损为2，燃煤炉达到3，中频加热工艺节材，每吨锻件和烧煤炉相比至少节约钢材原材料20-50千克。
其材料利用率可达95。
由于该加热方式加热均匀，芯表温差极小，所以在锻造方面还大大的增加了锻模的寿命，锻件表面的粗糙度也小于50um工艺节能，中频加热比重油加热节能31.5～54.3，比煤气加热节能5～40。
加热质量好，可降低废品率1.5，提高生产率10～30，延长模具寿命10～15。
扩散炉常见故障整合祥解
在R2D机械手屏幕中检查炉管的状态(必要时清除) 检查R2D机械手的触点开关是否工作正常 在R2D屏幕中检查输入输出通迅是否正常
Furnace Spike
Fan
炉门的调整
如果压力低于当前设定值，首先重新检测所有接口，各路阀门以及炉门情况．在确认无 误后，这时就需要我们调整 SoftContact Loader Door.
Tempress扩散炉
1
TUBE尾气压力偏高
检查尾气管是否被偏磷酸堵塞 检查尾气压力控制器是否损坏或需要重新校正 检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否关闭
2
TUBE尾气压力偏低
检查炉管是否存在缺口或裂口
检查炉门是否关闭不良 检查炉门是否被偏磷酸腐蚀或磨损 检查进入炉管的氮气气管或接头是否漏气 检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否调大
调整 SoftContact Loader Door的目的是使用手柄将门完全打开、关闭的位置确认下来. 并且重新调整Sensor的位置,确保门可以完全关闭,没有间隙. 在每次重新安装炉管后,我们无法确保炉管的安装位置完全不变.在安装完成后,CPU模块 内存清除后的校正并不能确认当前炉管的位置是否改变,而是仅仅使用Sensor的位置来确 认当前位置.在这种情况下,有可能所有的Sensor都有完全感应到，但是炉门却没有完全 闭合． 炉门Sensors状态如下： 炉门打开信号： ００１０１ 炉门拉紧信号： ０１１００ 炉门拉紧和关闭信号：０１１１０ Loader位置的校正是依靠炉门打开和炉门关闭信号，在重新调整炉门时，我们要确保当 炉门关闭时（关闭信号感应到位），电机有足够的拉力将炉门拉紧．
8Байду номын сангаас
炉管无法升温
检查温度控制器是否警报
301扩散炉TGA介绍
电磁阀
负责YZ平面运 动两汽缸，汽 缸外有两传感 器，检测YZ平 面运动
TGA 功能介绍
由上述三汽缸所控制的机械手背如下图：
Centrotherm 扩散炉TGA介绍 扩散炉TGA介绍 TGA
2011月 2011月1月
TGA 的介绍 TGA：
是 toxic gas exhaust 的缩写，在Centrotherm扩散炉中TGA主要作 用是 负责开门时有毒气体的排风和热排；炉门开关，舟位置检测。
TGA 功能介绍
一 ：炉门开关
图一显示调节free sensor 物理位置
图二显示可以从 硬件bypass sensor
图一
图二
TGA 功能介绍
图三
图四
图三所示TGA free sensor发出光束形成光斑穿过圆孔打到舟的cam上，图四所示载舟的桨进入 炉门光斑打到cam位置。
TGA 位置为 初调YZ平面位置
细调上下
TGA 炉门介绍
当门装好后，怎么样检测炉门是奉否装好？目前有三种方法。 一.是用一根4号六角能绕着门的周边转动一周，没有阻挡说明门已经装好。 二.是手动推门进出，看门摩擦力怎么样。 三.是看轨道在炉门上呈现的倒影在推动炉门时晃动幅度大小怎么样。 上面所说的方法最终还是要通过调用工艺程序，向tube内通入氮气，看管内压力能否大 于20mbar，最终确认门装的是否好。
厂务连接TGA的 排风
控制TGA抽气的汽缸
TGA 功能介绍
三 ：舟位置检测
舟在桨上位置将会被TGA free sensor 检测到。TGA free sensor 发出 光束打到舟的cam上时，传感器将会检测到舟的位置，进桨时，当桨运动到 440cm 440cm左右，sensor 将会检测到舟的前端位置，运动到1818cm左右时 sensor 1818cm sensor 将会检测到舟尾位置。
扩散工艺特点
扩散工艺特点嘿，咱今儿就来唠唠扩散工艺这档子事儿！扩散工艺啊，就好比是一场奇妙的旅程。
你想啊，那些个小小的粒子，就像是一群调皮的小精灵，在特定的环境里跑来跑去，相互融合、渗透。
它就像是一场看不见硝烟的战斗，各种元素在材料里你争我夺，努力地去占领属于自己的地盘。
这过程可不简单呐，需要精准的控制和巧妙的安排。
咱说扩散工艺那可是个精细活儿，差一点儿都不行。
就好像是在雕琢一件珍贵的艺术品，得小心翼翼地，不能有丝毫马虎。
要是稍微出点岔子，那可就全白费啦！这可真不是闹着玩的呀！你看那半导体制造，扩散工艺在其中可发挥了大作用呢。
没有它，那些神奇的芯片可就出不来啦。
这就好比是盖房子，扩散工艺就是那坚实的根基，没有根基，房子能稳当吗？它又像是一位神奇的魔法师，能把普通的材料变得与众不同。
经过扩散工艺的洗礼，材料就有了新的特性和功能。
而且啊，扩散工艺可不是一成不变的。
它会随着科技的发展不断进化，变得越来越厉害。
就跟咱人一样，得不断学习进步，不然就会被淘汰。
在实际操作中，那可真是得时刻保持警惕。
温度、时间、浓度等等因素，都得把握得恰到好处。
这就像是在走钢丝，稍微有点偏差，后果就不堪设想。
咱再想想，扩散工艺是不是也有点像做饭呀？各种调料的搭配，火候的掌握，不都得拿捏得死死的嘛！做出来的菜才好吃，扩散工艺处理得好，产品才优秀呀！总之呢，扩散工艺是个特别重要又特别神奇的东西。
它在我们生活中的很多领域都默默发挥着作用，我们可不能小瞧了它。
它让我们的科技不断进步，让我们的生活变得更加丰富多彩。
所以啊，咱可得好好重视它，让它为我们创造更多的奇迹和美好！这就是扩散工艺，一个看似平凡却又无比重要的存在！。
扩散炉对太阳能电池中扩散工艺影响及优化
浅谈扩散炉对太阳能电池中扩散工艺影响及优化摘要：太阳能电池做为一种新型绿色能源已广泛的应用于各个领域，做为太阳能电池制造企业，提高太阳能电池的制造工艺，一直被我们追求与探讨，本文主要介绍扩散炉对于晶体硅太阳能电池扩散均匀性的影响与优化，为同行借鉴参考。
关键词：晶体硅太阳能电池扩散均匀性影响因素优化1.晶体硅太阳能电池的概述及步骤目前为止,开发的最快的一种太阳能电池就是晶硅太阳能电池,已经定型的是它的构造和生产工艺,产品已经在空间和地面上有很广泛的应用。
单晶硅棒是这种太阳能电池的原料。
为了能使生产的成本降低,现在对于太阳能电池等采用太阳能级的单晶硅棒在地面的应用,已经基本上放宽了材料性能的指标。
一些也可以对半导体器件加工的头尾和废次单晶硅材料进行使用,经过复拉制成太阳能电池专业的单晶硅棒。
0.3mm是将单晶硅棒切片以后的厚度。
经过抛磨、清晰等工序对硅片,把代加工的原料硅片进行制作。
对太阳能电池片进行加工,首先要掺杂和扩散在硅片上,少量的硼、磷、锑等是通常的掺杂物,可以在石英管制成的高温扩散炉中进行扩散,p ＞n结就会在这样的硅片上形成。
然后对丝网印刷法进行采用,在硅片上把好的银浆印进行精配做成栅线,烧结以后,同时把背电极制成,并且在栅线的面涂覆减反射源,对大量的光子进行防范,把被光滑的硅片表面反射掉。
2.扩散均匀性影响因素及优化根据管式扩散炉的特点,可以扩大扩散均匀性,主要运用的技术是取温补偿。
在大规模的生产中,通过对工艺反应时间、气体流量和反应温度三者的实现进行调整,以便对这种方式进行运用。
将悬臂装载机构扩散炉进行配备,其本身的特点以及恒温区位置的固定,对桨、石英保温挡圈、均流板和石英舟的固定位置的石使用都有所确保。
2.1均流板分流设计对扩散片内片间均匀性的影响在扩散炉中,气体的均匀分流中起着尤为重要作用的是均流板,在悬臂式扩散炉中,均流板的重要性也是不容忽视的。
为了对影响扩散炉均匀性进行分析和研究,分别采用了均流板a和b,进行试验。
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扩散炉找哪家？扩散炉有什么特
点？
扩散炉找哪家？扩散炉有什么特点？合肥日新高温技术有限公司为您解答。
合肥日新高温技术有限公司成立于1998年是专业设计、研发、生产、销售高温热处理设备的民营高新技术企业。
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
扩散炉有垂直扩散炉（vertical）和水平扩散炉（horizontal）两种类型。
垂直扩散炉是石英舟垂直于水平面，更加有利于机械手传送硅片，片内工艺参数一致性更好。
水平扩散炉是石英舟平行于水平面，一台可以4个或4个以上的工艺炉管，平均炉管的占地面积更小，片间的工艺参数较垂直扩散炉更好。
扩散炉由控制系统、进出舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成。
控制部分包括：温控器、功率部件、超温保护部件、系统控制。
系统控制部分有四个独立的计算机控制单元，分别控制每层炉管的推舟、炉温及气路部分，是扩散/氧化系统的控制中心。
辅助控制系统，包括推舟控制装置、保护电路、电路转接控制、三相电源指示灯、照明、净化及抽风开关等。
合肥日新高温技术有限公司成立之初，就确定了依托技术开拓市场空间的经营策略，在秉承传统工艺的基础上，不断引进新技术，消化再吸收新工艺，持续发展，开拓创新。
以专业品质科技创新的产品价值观，以日新盛德笃志笃行的企业精神，精心打造中国窑炉一流品牌日新窑炉。
逢此民族产业迅速发展之盛世，合肥日新高温技术有限公司全体同仁热忱希望能广交业内有识之士，以致力于热能技术、工程提供一流的解决方案为企业核心使命，为携手振兴中国的窑炉事业而贡献力量。