电子器件制造业清洁生产评价指标体系(征求意见稿)编制说明

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电池行业清洁生产评价指标体系

电池行业清洁生产评价指标体系

电池行业清洁生产评价指标体系电池行业的清洁生产评价指标体系是评估电池生产中环境友好和可持续性的指标体系。

电池行业具有较高的环境影响,因此建立一个评价指标体系可以帮助企业进行可持续发展和环境保护。

以下是一个可能的电池行业清洁生产评价指标体系的示例:1.能源消耗:评估电池生产过程中所消耗的能量数量。

这包括原材料提取、制造、运输和废弃物处理等阶段所需的能源消耗。

目标是降低能源的使用和优化能源利用效率。

2.水资源利用:评估电池生产过程中所使用的水量和水资源的保护。

电池制造过程中需要大量水资源,例如用于材料提纯、制造和清洗等。

目标是减少水资源的使用和优化水资源利用效率。

3.材料使用效率:评估电池生产过程中所使用材料的效率。

这包括对电池原材料、辅助材料和包装材料的使用情况评估。

目标是最大限度地减少材料的浪费和提高材料的利用效率。

4.废弃物产生和处理:评估电池生产过程中所产生的废弃物数量和废弃物处理的方式。

电池生产过程中产生的废弃物包括废水、废气、废固体等。

目标是减少废弃物的产生和寻找环境友好的废弃物处理方式。

5.环境排放和污染物控制:评估电池生产过程中所排放的污染物和环境影响。

这包括排放到大气、水体和土壤中的污染物,以及噪音和振动等环境影响。

目标是减少环境排放和污染物的释放,并符合相关环境法规和标准。

6.生态系统影响和生物多样性保护:评估电池生产对周围生态系统和生物多样性的影响。

电池生产对土地的占用和破坏、对水生态系统的影响以及对生物多样性的保护等方面进行评估。

目标是减少对生态系统的不良影响和保护生物多样性。

7.环境管理和责任:评估企业的环境管理能力和环境责任。

包括企业的环境管理体系、环境保护措施、环境宣传和教育等方面的评估。

目标是建立完善的环境管理体系和提高企业的环境责任感。

8.可持续创新和技术发展:评估企业在电池生产过程中的可持续创新能力和技术发展。

包括对环境友好和节能减排新技术的应用情况和研发投入等方面进行评估。

清洁生产指标体系及评价

清洁生产指标体系及评价

清洁生产指标体系及评价引言清洁生产是指在生产过程中最大限度地减少资源的消耗和环境的污染,以及减少对人体的健康影响的生产方式。

为了实现清洁生产的目标,需要建立一个完善的指标体系来进行评价和监控。

本文将从清洁生产指标体系的构建和评价两个方面进行探讨。

清洁生产指标体系的构建清洁生产指标体系的构建应考虑以下几个方面:1. 资源利用效率资源利用效率是衡量清洁生产水平的重要指标之一。

它包括能源利用效率和物质利用效率两个方面。

对于能源利用效率,可以以单位产品消耗的能源数量作为评价指标。

而物质利用效率则可以用单位产品消耗的原材料数量来衡量。

2. 废物排放清洁生产应尽量减少废物的产生和排放。

因此,废物排放量是评价清洁生产的重要指标之一。

可以以单位产品产生的废物数量或单位产品排放的废物浓度作为衡量指标。

3. 环境影响清洁生产应减少对环境的负面影响。

环境影响指标可以包括大气污染、水体污染、土壤污染、噪音污染等方面。

针对不同行业和产品,可以制定相应的环境影响指标进行评价。

4. 健康与安全清洁生产应保障员工的健康和安全。

因此,健康与安全指标是评价清洁生产的重要内容之一。

可以包括职业病发生率、事故频率等指标。

5. 社会责任清洁生产需要企业承担社会责任。

社会责任指标可以包括企业在环境保护、员工福利等方面的表现。

清洁生产指标的评价方法清洁生产指标的评价方法可以根据指标的性质和目标确定。

以下是几种常用的评价方法:1. 比较法比较法是将不同企业或不同产品进行对比评价,采用相同的评价指标进行比较。

比较法能够快速找出清洁生产的先进经验,推动整个行业的发展。

2. 层次分析法层次分析法是一种多准则决策方法,将不同指标的重要性进行排列比较,得出最终的评价结果。

层次分析法可以较为准确地评价清洁生产的效果,并进行定量分析。

3. 专家咨询法在评价清洁生产的过程中,可以请专家进行咨询,得到专业意见和建议。

专家咨询法可以帮助企业更好地识别问题和改进方案,提高清洁生产水平。

清洁生产评价指标体系制修订计划

清洁生产评价指标体系制修订计划

附件清洁生产评价指标体系制(修)订计划(第二批)序号所属行业名称承担单位立项依据水污染防治行动计划(一、十一)水污染防治行动计划(八) 1 2 畜牧业 畜禽养殖业清洁生产评价指标体系 淡水养殖行业清洁生产评价指标体系 北京五月华夏管理技术中心内陆养殖 中国水产科学研究院渔业机械仪器研究所 《农业部关于做好2015年畜禽屠宰行业管理工作的通知》 (农医发[2015]2号) 3 屠宰与肉类加工 畜禽屠宰行业清洁生产评价指标体系 中国建材检验认证集团股份有限公司 中国生物发酵产业协会4 5 发酵行业(味精)清洁生产评价指标体系 发酵行业(酵母)清洁生产评价指标体系水污染防治行动计划(九) 水污染防治行动计划(九)中国轻工业清洁生产中心、中国生物发酵产业协会 6 发酵行业(柠檬酸)清洁生产评价指标体系 水污染防治行动计划(九)调味品、发酵制品制造7 8 发酵行业(酱油)清洁生产评价指标体系 发酵行业(黄原胶)清洁生产评价指标体系发酵行业(木糖醇)清洁生产评价指标体系 葡萄酒制造业清洁生产评价指标体系 白酒制造业清洁生产评价指标体系环境保护部华南环境科学研究所 中国生物发酵产业协会水污染防治行动计划(九) 水污染防治行动计划(九) 水污染防治行动计划(九) 水污染防治行动计划(九) 水污染防治行动计划(九)9 10 11中国食品发酵工业研究院 中国食品发酵工业研究院酒的制造 纺织业 中国食品发酵工业研究院、中国轻工业清洁生产中心1213 14啤酒制造业清洁生产评价指标体系 印染行业清洁生产评价指标体系皮革制品业清洁生产评价指标体系水污染防治行动计划(九)水污染防治行动计划(一、七) 大气污染防治行动计划(一)中国印染行业协会、北京服装学院 中国轻工业清洁生产中心皮革、毛皮、羽毛与其制品和制鞋业1序号所属行业名称承担单位立项依据151617181920 日用化学产品制造家用洗涤剂行业清洁生产评价指标体系甲苯二异氰酸酯行业清洁生产评价指标体系苯乙烯行业清洁生产评价指标体系硫酸行业清洁生产评价指标体系大气污染防治行动计划(二)大气污染防治行动计划(一、九、十七)大气污染防治行动计划(一、九、十七)大气污染防治行动计划(三、五)水污染防治行动计划(二十一)水污染防治行动计划(七)中国化工信息中心基础化学原料制造中国硫酸工业协会硫酸锌行业清洁生产评价指标体系染料中间体H酸清洁生产评价指标体系长沙环境保护职业技术学院中国石油和化学工业联合会中国石油和化学工业联合会、中国橡胶工业协会2122232425262728 专用化学产品制造橡胶助剂行业清洁生产评价指标体系粘胶纤维工业清洁生产评价指标体系大气污染防治行动计划(三、五)水污染防治行动计划(六)水污染防治行动计划(六)水污染防治行动计划(六)水污染防治行动计划(六)水污染防治行动计划(六)水污染防治行动计划(六)大气污染防治行动计划(三、五)纤维素纤维原料与纤维制造中国化学纤维工业协会、北京服装学院合成纤维制造业(维纶)清洁生产评价指标体系合成纤维制造业(氨纶)清洁生产评价指标体系合成纤维制造业(锦纶)清洁生产评价指标体系合成纤维制造中国化学纤维工业协会合成纤维制造业(聚酯涤纶)清洁生产评价指标体系合成纤维制造业(再生涤纶)清洁生产评价指标体系中国橡胶工业协会、中国石油和化学工业联合会橡胶制品业轮胎制造业清洁生产评价指标体系2序号所属行业名称承担单位立项依据玻璃纤维和玻璃纤维2930313233343536 玻璃纤维制造业清洁生产评价指标体系中国轻工业清洁生产中心大气污染防治行动计划(十三)增强塑料制品制造大气污染防治行动计划(一、九、十七)、水污染防治行动计划(二十一)铜冶炼业清洁生产指标体系湖南有色金属研究院北京矿冶研究总院大气污染防治行动计划(一、九、十七)、水污染防治行动计划(二十一)锡行业清洁生产指标体系大气污染防治行动计划(一、九、十七)、水污染防治行动计划(二十一)原生有色金属行业钛行业清洁生产指标体系湖南有色金属研究院辽宁省本溪市环境保护研究所北京矿冶研究总院大气污染防治行动计划(一、九、十七)、水污染防治行动计划(二十一)电解铝清洁生产评价指标体系铅冶炼行业清洁生产评价指标体系钢铁行业(烧结)清洁生产评价指标体系大气污染防治行动计划(一、九、十七)、水污染防治行动计划(二十一)大气污染防治行动计划(一、五、九、十)、水污染防治行动计划(二十一)炼铁钢铁行业(高炉炼铁)清洁生产评价指标体系大气污染防治行动计划(一、五、九、十)、水污染防治行动计划(二十一)北京京诚嘉宇环境科技有限公司(冶金清洁生产技术中心)大气污染防治行动计划(一、五、九、十)、水污染防治行动计划(二十一)37炼钢钢铁行业(炼钢)清洁生产评价指标体系钢铁行业(钢压延加工)清洁生产评价指标体系大气污染防治行动计划(一、五、九、十)、水污染防治行动计划(二十一)38 钢压延加工钢铁行业(铁合金冶炼)清洁生产评价指标体系大气污染防治行动计划(一、五、九、十)、水污染防治行动计划(二十一)3940 铁合金冶炼家用电力器具制造家电行业清洁生产评价指标体系中国家用电器研究院《电器电子产品有害物质限制使用管理办法》(发展改革委、3序号所属行业 名称 承担单位 立项依据科技部、财政部、环境保护部、商务部、海关总署、质检总 局2016年第32号);大气污染防治行动计划(一、八、 九)环境保护部华南环境科学研究所、北京矿冶大气污染防治行动计划(一、三、五)、水污染防治行动计 41 42再生铝行业清洁生产评价指标体系 再生汞行业清洁生产指标体系研究总院划(二十一)大气污染防治行动计划(一、三、五)、水污染防治行动计 划(二十一)北京矿冶研究总院再生有色金属行业中国环境科学研究院、环境保护部环境保护对外合作中心、中国有色金属工业协会再生金属分会大气污染防治行动计划(一、三、五)、水污染防治行动计划(二十一)43 4445 再生铜行业清洁生产指标体系多金属危险废物资源综合利用业清洁生产评价指标体系资源综合利用环境治理业服务业 富阳申能固废环保再生有限公司水污染防治行动计划(五、七、八)环境保护部华南环境科学研究所、东江环保含铜废液处理处置行业清洁生产评价指标体系股份有限公司、华南农业大学、环境保护部水污染防治行动计划(五、七、八)固体废物与化学品管理技术中心 46 47洗染业清洁生产评价指标体系 中国轻工业清洁生产中心 中国轻工业清洁生产中心水污染防治行动计划(九) 大气污染防治行动计划(二)住宿和餐饮业清洁生产评价指标体系农业部农业生态与资源保护总站、中国农业科学院农业环境与可持续发展研究所、中国农业生态环境保护协会农用地膜污染治理分会、内蒙古农业大学《国务院办公厅关于加快转变农业发展方式的意见》(国办发〔2015〕59号)、《农业部关于加快推进农业清洁生产的意见》(农科教发〔2011〕11号)48 49 农业 其他农用地膜行业清洁生产评价指标体系油气管道输送行业清洁生产评价指标体系 中国建材检验认证集团股份有限公司大气污染防治行动计划(第三、五条)4。

化学原料药行业清洁生产评价指标体系(征求意见稿)编制说明

化学原料药行业清洁生产评价指标体系(征求意见稿)编制说明

附件化学原料药行业清洁生产评价指标体系(征求意见稿)编制说明《化学原料药行业清洁生产评价指标体系》编制组2016年8月目录1.前言 (1)1.1 指标体系编制出台的背景 (1)1.2 指标体系编制的必要性与紧迫性 (1)2 编制过程 (2)2.1 编制思路 (2)2.2 编制过程 (3)3 适用范围 (3)4 指标体系编制指导思想 (4)5 指标体系编制原则、依据和参考资料 (4)5.1 编制原则 (4)5.2 编制依据 (4)5.3 参考文献 (5)6 编制方法 (5)7 指标体系框架的确立 (6)8 指标内容的确定 (6)8.1 指标权重值的确定 (6)8.1.1 一级指标权重值的确定 (6)8.1.2 二级指标分权重值的确定 (6)8.2 二级指标基准值的确定 (6)9 指标体系实施的可行性分析 (9)10 指标体系实施的节能减排潜力分析 (10)1.前言1.1 指标体系编制出台的背景为进一步贯彻落实《中华人民共和国清洁生产促进法》,国家发展和改革委员会根据国务院中央编办发〔2010〕108号《关于进一步落实清洁生产促进工作职责分工的意见》)中的有关要求,于2012年4月26日,组织有全国人大环资委、国家工业和信息化部、国家环境保护部、在京各行业协会、行业清洁生产中心参加的清洁生产标准统编工作会议,对行业清洁生产标准统编工作提出具体要求,对各行业协会清洁生产统编工作进行了安排布署。

根据工业和信息化部要求,中国医药企业管理协会负责起草化学原料药行业清洁生产评价指标体系。

协会成立了指标体系编制工作小组,制订指标体系编制工作计划,组织开展指标体系编制工作。

于2013年10月完成了化学原料药行业清洁生产评价指标体系文本及编写说明初稿等编制工作。

1.2 指标体系编制的必要性与紧迫性(1)为政府主管部门提供化学原料药行业清洁生产管理手段政府主管部门需要了解化学原料药行业清洁生产水平状况、评估化学原料药企业清洁生产绩效、设置化学原料药行业节能减排导向目标;以及需要制定化学原料药产业发展政策,促进化学原料药行业实施清洁生产,进而规范和指导化学原料药行业清洁生产持续有效地向前发展,在化学原料药企业中建立并形成长期有效的清洁生产机制。

国家发展改革委办公厅关于征求对有机硅等5项行业清洁生产评价指标体系(征求意见稿)意见的函

国家发展改革委办公厅关于征求对有机硅等5项行业清洁生产评价指标体系(征求意见稿)意见的函

国家发展改革委办公厅关于征求对有机硅等5项行业清洁生产评价指标体系(征求意见稿)意见的函文章属性•【公布机关】国家发展和改革委员会•【公布日期】2015.11.03•【分类】征求意见稿正文国家发展改革委办公厅关于征求对有机硅等5项行业清洁生产评价指标体系(征求意见稿)意见的函(发改办环资[2015]2844号)环境保护部、工业和信息化部办公厅,有关行业协会,有关企业:为贯彻落实《清洁生产促进法》(2012年修正案),进一步形成统一、系统、规范的清洁生产技术支撑文件体系,指导和推动企业依法实施清洁生产,我委会同环境保护部、工业和信息化部委托有关单位对已发布的《电解金属锰行业清洁生产评价指标体系》(试行)、《清洁生产标准汽车制造业(涂装)》、《清洁生产标准电解锰行业》等原有清洁生产标准和评价指标体系进行了整合修编,同时新制定了一批清洁生产评价指标体系。

现将制(修)订的《有机硅行业清洁生产评价指标体系》(征求意见稿)、《涂装行业清洁生产评价指标体系》(征求意见稿)、《黄金行业清洁生产评价指标体系》(征求意见稿)、《电解锰行业清洁生产评价指标体系》(征求意见稿)、《1,4-丁二醇行业清洁生产评价指标体系》(征求意见稿)一并印送你们,请研究提出书面意见,并于2015年11月20日前将意见反馈我委(以上征求意见稿的电子文本可在国家发展改革委网站“意见征求”专栏(/yjzq/)下载,纸质材料将不再附送)。

联系人:国家发展改革委环资司朱凯电话:************传真:************电子邮箱:*****************联系人:中国环境科学研究院扈学文电话:************传真:************电子邮箱:******************附件:1.《有机硅行业清洁生产评价指标体系》(征求意见稿)及编制说明2.《涂装行业清洁生产评价指标体系》(征求意见稿)及编制说明3.《黄金行业清洁生产评价指标体系》(征求意见稿)及编制说明4.《电解锰行业清洁生产评价指标体系》(征求意见稿)及编制说明5.《1,4-丁二醇行业清洁生产评价指标体系》(征求意见稿)及编制说明国家发展改革委办公厅2015年11月3日。

生物制品制造业清洁生产评价指标体系编制说明

生物制品制造业清洁生产评价指标体系编制说明

生物制品制造业(生物制剂)清洁生产评价指标体系(征求意见稿)编制说明《生物制品制造业(生物制剂)清洁生产评价指标体系》编制课题组2013年11月目录1项目背景 (1)1.1任务来源 (1)1.2编制过程 (1)2前言 (1)3 生物制品制造业发展概况 (2)3.1 生物制品制造业的发展状况 (2)3.2 指标体系适用范围的界定 (7)3.3 血液制品生产工艺 (8)3.4 血液制品生产污染物产排现状 (9)4 指标体系的指导思想及依据 (10)4.1指导思想 (10)4.2主要依据 (11)5 制定标准的主要工作步骤 (12)5.1 资料查阅 (12)5.2 企业调研 (12)6 评价指标体系的建立 (13)6.1指标体系适用范围的确定 (13)6.2指标选取原则 (13)6.3指标体系主要内容 (14)7 清洁生产企业的评定 (17)1项目背景1.1任务来源清洁生产是实现循环经济的主要方法,是21世纪工业生产的方向,也是我国工业实现可持续发展的重要保证。

企业要实现清洁生产,必须有一个努力目标和判断标准。

清洁生产评价指标体系中的指标就是企业努力的目标,也是企业是否实现清洁生产的判断标准。

《生物制品制造业(生物制剂)清洁生产评价指标体系》的制定可以促进我国生物制品制造业走清洁生产的道路,为企业开展清洁生产提供技术导向,也可以为企业清洁生产绩效公告提供依据。

根据环境保护部办公厅环办函(2011)312号“关于开展2011年度国家环境保护标准制修订项目工作的通知”及其项目计划表的相关要求,承担单位为中国环境科学研究院,参加单位为北京正丰易科环保科技研究中心有限公司、中国生物技术股份有限公司。

为加快形成统一、系统、规范的清洁生产技术支撑文件体系,国家发改委根据国务院中央编办发〔2010〕108号《关于进一步落实清洁生产促进工作职责分工的意见》)中有关要求,于2012年4月26日,国家发展改革委组织有全国人大环资委、工业和信息化部、环境保护部、各行业协会等单位参加的清洁生产技术文件整合工作会议,对行业清洁生产技术文件的整合工作提出具体要求。

电子器件制造业清洁生产评价指标体系(征求意见稿)编制说明分解

电子器件制造业清洁生产评价指标体系(征求意见稿)编制说明分解

电子器件(半导体芯片)制造业清洁生产评价指标体系编制说明(征求意见稿)1 指标体系制定的主要产业政策介绍90年代初,我国从发达国家引进清洁生产的概念,并与多个国家开展了多种形式的合作。

1997年4月,国家环境保护局制定并发布了《关于推行清洁生产的若干意见》,要求地方环境保护主管部门将清洁生产纳入已有的环境管理政策中,以便更深入地促进清洁生产。

1995和2000年两次修订颁布的《中华人民共和国大气污染防治法》中均明确规定“企业应当优先采用能源利用效率高、污染物排放量少的清洁生产工艺,减少大气污染物的产生。

”2002年6月29日,第九届全国人大常委会第二十八次会议通过《中华人民共和国清洁生产促进法》,该法于2003年1月1日起实施。

从此,清洁生产有了专门的法律保障。

为贯彻落实《清洁生产促进法》,引导企业采用先进的清洁生产工艺和技术,全面推行清洁生产,国家经济贸易委员会、国家环境保护总局分别于2000,2004,2006年先后发布了3批《国家重点行业清洁生产技术导向目录》。

该目录涉及冶金、石化、化工、轻工、纺织、机械、有色金属、建材、电力、煤炭,半导体等行业,共141项清洁生产技术,是行业主管部门在对本行业清洁生产技术进行认真筛选、审核的基础上,组织有关专家进行评审后确定的。

这些技术经过生产实践证明,具有明显的经济和环境效益,同时对于推进清洁生产技术、工艺、设备、产品的升级换代,节约资源能源,促进经济增长方式转变,实现资源优化配置具有重要的现实意义。

在当今全球倡导“绿色制造”的大环境下,各国均相继出台了与电子电气产品污染控制与资源综合利用等相关的指令及法规,企业也通过不断改进技术方案做到合规。

根据《中华人民共和国清洁生产促进法》,企业应开展清洁生产技术研究,通过改进设计、使用清洁的能源和原料、采用先进的工艺技术与设备、改善管理、综合利用等措施,从源头削减污染,提高资源利用效率,减少或者避免生产、服务和产品使用过程中污染物的产生和排放,以减轻或者消除对人类健康和环境的危害。

电子器件制造业清洁生产评价指标体系编制说明

电子器件制造业清洁生产评价指标体系编制说明

电子器件(半导体芯片)制造业清洁生产评价指标体系编制说明(征求意见稿)1 指标体系制定的主要产业政策介绍90年代初,我国从发达国家引进清洁生产的概念,并与多个国家开展了多种形式的合作。

1997年4月,国家环境保护局制定并发布了《关于推行清洁生产的若干意见》,要求地方环境保护主管部门将清洁生产纳入已有的环境管理政策中,以便更深入地促进清洁生产。

1995和2000年两次修订颁布的《中华人民共和国大气污染防治法》中均明确规定“企业应当优先采用能源利用效率高、污染物排放量少的清洁生产工艺,减少大气污染物的产生。

”2002年6月29日,第九届全国人大常委会第二十八次会议通过《中华人民共和国清洁生产促进法》,该法于2003年1月1日起实施。

从此,清洁生产有了专门的法律保障。

为贯彻落实《清洁生产促进法》,引导企业采用先进的清洁生产工艺和技术,全面推行清洁生产,国家经济贸易委员会、国家环境保护总局分别于2000,2004,2006年先后发布了3批《国家重点行业清洁生产技术导向目录》。

该目录涉及冶金、石化、化工、轻工、纺织、机械、有色金属、建材、电力、煤炭,半导体等行业,共141项清洁生产技术,是行业主管部门在对本行业清洁生产技术进行认真筛选、审核的基础上,组织有关专家进行评审后确定的。

这些技术经过生产实践证明,具有明显的经济和环境效益,同时对于推进清洁生产技术、工艺、设备、产品的升级换代,节约资源能源,促进经济增长方式转变,实现资源优化配置具有重要的现实意义。

在当今全球倡导“绿色制造”的大环境下,各国均相继出台了与电子电气产品污染控制与资源综合利用等相关的指令及法规,企业也通过不断改进技术方案做到合规。

根据《中华人民共和国清洁生产促进法》,企业应开展清洁生产技术研究,通过改进设计、使用清洁的能源和原料、采用先进的工艺技术与设备、改善管理、综合利用等措施,从源头削减污染,提高资源利用效率,减少或者避免生产、服务和产品使用过程中污染物的产生和排放,以减轻或者消除对人类健康和环境的危害。

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电子器件(半导体芯片)制造业清洁生产评价指标体系编制说明(征求意见稿)1 指标体系制定的主要产业政策介绍90年代初,我国从发达国家引进清洁生产的概念,并与多个国家开展了多种形式的合作。

1997年4月,国家环境保护局制定并发布了《关于推行清洁生产的若干意见》,要求地方环境保护主管部门将清洁生产纳入已有的环境管理政策中,以便更深入地促进清洁生产。

1995和2000年两次修订颁布的《中华人民共和国大气污染防治法》中均明确规定“企业应当优先采用能源利用效率高、污染物排放量少的清洁生产工艺,减少大气污染物的产生。

”2002年6月29日,第九届全国人大常委会第二十八次会议通过《中华人民共和国清洁生产促进法》,该法于2003年1月1日起实施。

从此,清洁生产有了专门的法律保障。

为贯彻落实《清洁生产促进法》,引导企业采用先进的清洁生产工艺和技术,全面推行清洁生产,国家经济贸易委员会、国家环境保护总局分别于2000,2004,2006年先后发布了3批《国家重点行业清洁生产技术导向目录》。

该目录涉及冶金、石化、化工、轻工、纺织、机械、有色金属、建材、电力、煤炭,半导体等行业,共141项清洁生产技术,是行业主管部门在对本行业清洁生产技术进行认真筛选、审核的基础上,组织有关专家进行评审后确定的。

这些技术经过生产实践证明,具有明显的经济和环境效益,同时对于推进清洁生产技术、工艺、设备、产品的升级换代,节约资源能源,促进经济增长方式转变,实现资源优化配置具有重要的现实意义。

在当今全球倡导“绿色制造”的大环境下,各国均相继出台了与电子电气产品污染控制与资源综合利用等相关的指令及法规,企业也通过不断改进技术方案做到合规。

根据《中华人民共和国清洁生产促进法》,企业应开展清洁生产技术研究,通过改进设计、使用清洁的能源和原料、采用先进的工艺技术与设备、改善管理、综合利用等措施,从源头削减污染,提高资源利用效率,减少或者避免生产、服务和产品使用过程中污染物的产生和排放,以减轻或者消除对人类健康和环境的危害。

另外,在我国《电子信息产品污染控制管理办法》中也提出要通过设计、生产过程中,改变研究设计方案、调整工艺流程、更换使用材料、革新制造方式等技术措施,减少产品中有害物质的使用。

同时,相关部门也在组织制定支撑上述法规的国家标准和行业标准。

目前,工业和信息化部组织制定了有关清洁生产水平评价及审核的国家标准,明确了清洁生产水平评价指标体系;环境保护部也已经或正在组织制定一系列清洁生产标准,其中一些虽涉及到电子行业,但标准数量很少,而且其内容侧重点主要是排放指标的要求。

此外,李毅中部长在《加快产业结构调整推进工业节能减排》署名文章中明确指出:“要加快推行清洁生产,积极推行资源综合利用,切实加强工业“三废”污染防治。

加强工业清洁生产审核工作,编制工业先进适用清洁生产技术指南,制定清洁生产水平评价标准编制通则。

抓紧重点行业、重点企业的工业治污,把减排和治污紧密结合,标本兼治。

控制污染源,实现少减排、零排放”。

因此,作为信息产业中上游半导体行业,希望从产品生命周期的角度,从源头的有害物质减量化,生态设计,特别是工艺制造过程指导企业,制定相关产品清洁生产指导性技术文件,使企业采用优化技术,满足清洁生产审核要求,并达到排放要求。

半导体芯片制造业作为高新产业往往被人误解为也是“清洁”的产业,但事实上,电子器件生产过程中使用了大量繁多的各种有机和无机物,并有许多有毒有害物,对环境危害较为严重,如不加以控制,将会产生较大的环境污染。

我国在大力发展电子器件产业的同时,如果忽视其对环境产生的重大影响,势必将破坏我国的环境现状。

电子器件是电子电气产品中使用量较多,且其生产过程会使用一些有毒有害物质,如清洗剂,如不加以管控,容易污染环境,因此需要尽快研究、制定电子器件行业的清洁生产评价指标体系。

2 半导体行业概况中国半导体行业协会表示,“十二五”期间,我国半导体行业的投资有望超过2700亿元,较“十一五”增加1倍。

报道称我国将继续通过“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”支持集成电路产业,且支持力度还将加大。

在政府的全方位扶持下,中国半导体产业将迎来一个“黄金时期”,龙头上市公司有望被培育成具有国际竞争力的企业。

工信部此前也已明确,将努力打破资金、技术、市场、人才和政策瓶颈,在对集成电路产业加大投入的同时,“十二五”期间将大力推进企业兼并重组,“培育形成具有国际竞争力的企业,实现产业群体性跃升发展”。

2013年国家发展和改革委员会第21号令发布了《产业结构调整指导目录(2011年本)(2013年修正)》第28条明确提出信息产业中的半导体制造业是国家鼓励发展的优先产业。

2.1 我国半导体芯片生产概况目前我国大陆及台湾地区8英寸及12英寸半导体厂商及生产能力见表1和表2。

表1 8英寸半导体生产厂商及产能表1 12英寸半导体生产厂商及产能2.2 我国半导体行业技术发展推动半导体产业发展的技术因素总体上说有两个:一是芯片尺寸的缩小,已经实现1->0.5->0.35->0.25->0.18->0.13->0.11->0.09um的过渡,目前正向65->45->32->22nm挺进;二是晶圆尺寸不断扩大,已从100->125->150->200->300mm得以实现,计划向400mm过渡。

据我们收集到的资料来看,目前全球已建、在建和拟建的300mm晶圆厂约为40座,基本上分布在美国,中国台湾,欧洲、日本、韩国、新加坡各地。

在全球半导体产业由西向东从美国-欧洲/日本-韩国/台湾-中国大陆转移,国内半导体产业和技术得到了较好发展,信息化程度得以提高。

但和发达国家相比,存在较大差距。

目前,我国的半导体产业仍以加工为主,基本上半导体产品是发达国家如美国将要淘汰或者已经淘汰的产品。

激烈的竞争使利润率很低,投资收益率很低,但是由于半导体产业是信息产业的基础,而知识经济又建立在信息产业之上,因此半导体产业又是我国必须发展的产业,必须进行投资。

美国之所以处于世界经济的领先地位,其最根本的原因是在高技术领域始终处于领先地位,在基础研究、应用研究和技术开发的各个环节做到了人力和资金的合理分配,使其科学研究产生了巨大的经济效益。

我国包括半导体研究在内的研究现状,最大的问题就是不能在基础研究、应用研究和技术开发的各个环节中做到人力和资金的合理分配,应用性基础研究与技术开发处于一种脱节状态,基本上各自为政,各自在自己的领域内发展。

这样应用研究就难以走向市场转化为现实的生产力;技术开发由于基础的薄弱,也难以有重大的成果。

3 我国半导体制造业清洁生产技术发展趋势3.1提高产品设计水平在电子产品批量上市以前,首先必须保证可以生产并有适当的成品率。

设计人员拥有更大的机会对制造的成品和成功产生影响。

力求在设计中解决制造问题。

在设计和制造中暴露出来的早期缺陷,主要是来自系统方面的障碍。

对半导体器件的设计,布局要求走线分离得更远,但同时又不影响整体面积。

例如,热循环现象会导致铜互连线中产生拉应力。

这些空隙最有可能在通孔的底部形成,从而使通孔成为引发良率和可靠性问题的首要因素。

在设计时应尽可能在同一层面走线,以避免不必要盼通孔。

当必须放置通孔时,优化布局和布线工具能够插入一些冗余的通孔。

这样即使在某一通孔出现空隙时,也能够保持接触,从而提高成功接触的概率3.2 改进原料和能源首先,应严格材料的纯度和粒子,减少杂质和粒子的引入。

如半导体器件生产,硅单晶中存在着各种杂质,当一些杂质的含量超过它的掺杂浓度时,在制造中的各种温度下,它们的状态和完整性会不断发生变化,各种点缺陷会进入或离开点阵,呈选择性分布或聚集成团,在外应力作用下形成新的缺陷或发生缺陷增值。

应控制对器件影响大的碱金属及重金属等金属杂质元素含量及C、O等非金属杂质元素的浓度。

其次,对进厂元器件或半成品投入生产前进行各种温度、检漏、振动、高压电冲击等试验。

产品或中间生产过程的半成品要按规定及时送检和计量,如利用测试结构对影响成品率的缺陷进行检测和查找,可准确判定影响成品率的有效缺陷,及时采取措施从而提高成品率。

再者,严格辅助材料的纯度。

如超纯水水质、超纯气体、化学试剂等纯度的及时监测。

3.3 优化生产工艺工艺贯穿于产品生产的全过程。

企业应根据生产产品的复杂程度、加工、装配、检验、技术装备等制定相应的生产工艺。

在电子产品生产工艺中,产品的可靠性和成品率关键在于线路板的清洗,清洗时应选择合适的清洗方式,严格控制水质。

选择合适的清洗方式。

超声清洗对于清除不溶性或难溶性焊剂残渣最有效;喷淋清洗适用耐压30伏以上的元器件;免清洗技术适用于生产批量大且元器件相同的产品;回收清洗法采用多级浸洗或多级逆流清洗,多用于电镀,多级浸洗方式是采用静止的水槽,定期将第一级回收槽的水全部拿去回收或补充镀槽液,第二、第三级槽的水分别依次放入第一、第二级槽中,第三级加入新的水;多级逆流清洗法是水与镀件逆向依次流过第一、二、三级清洗槽,由第一级清洗槽排出。

水质的控制。

产品生产过程中多数需用超纯水清洗工序,而且清洗次数多,被加工件与水直接频繁接触,纯水对器件的成品率极其重要,并随集成度的提高和清洗次数的增多而更加重要。

据美国提出的水质指标说明,集成度每提高一代,杂质都要减少l/2~l/10。

水质中,在水质的要求中,粒子、COD(化学需氧量)等,降低COD是当前和今后的最大难点。

另外,还必须提高工序能力,尽可能加大允许的工艺参数规范范围,尽量减少工艺参数分布偏差。

如重点解决压焊、粘片等工序的工艺规范,提高其工序能力指数,从而提高成品率。

3.4 严格过程控制半导体产品精度高,对生产过程和生产环境要求高。

企业应可能对过程严格控制,并保持车间超净环境。

过程控制方面的提高成品率的措施主要有以下几方面:①实现制造工艺自动化,以人工操作为主的操作模式会造成企业在物流操作方面的高出错率。

多数电子产品都具有复杂的性能,精度要求高,实现自动化可实现精确加工和批量生产,避免人为因素的影响。

②超净工艺环境因素,大概有5%以下的成品率损失是由人和环境造成的。

超净工艺环境因素主要包括空气洁净度、高纯水、压缩空气、C02、N2、温度、湿度等。

洁净厂房的洁净级别常以单位体积的空气中最大允许的颗粒数即粒子计数浓度来衡量。

③加强检测,在生产过程中废品产生量大的工位选择适当的关键点进行检测,及时采取4半导体芯片生产工艺及污染控制技术调查分析4.1 半导体生产工艺4.1.1 分立器件制造工艺最常见的双极管(Bipolar)之一的NPN 三极管流程如上图主要工艺有:氧化、光刻、埋层扩散、N 型外延、隔离扩散、基区扩散、发射区扩散、Al 金属化、CVD 钝化层等步骤。

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