PI-I-0060 02 多晶车间应急处理作业指导书
生产车间应急处理范文
生产车间应急处理范文一、事故发生时，应立即向车间主管汇报情况，并启动紧急报警系统。
同时，通知相关人员做好隐患排查，确保所有人员的安全。
二、在事故发生地点附近设置警戒线，防止无关人员进入现场，确保安全。
三、及时通知应急救援队伍参与救援工作。
救援人员应戴好安全帽、手套等防护设备，保障自身安全的前提下进行救援。
四、切勿慌张，要冷静处理紧急情况。
根据事故性质采取相应的处理措施，如停止生产设备、切断电源、关闭阀门等。
根据需要，调动车间工人组成救援小组，全力协助救援工作。
五、尽快将事故情况通知相关部门，及时获得专业指导。
相关部门将根据事故情况制定应对措施，并在第一时间赶往现场提供支援。
六、在处理过程中，要注意保护好事故现场的证据，以便事故调查部门进行事故原因分析。
七、如果有人员伤亡，应立即启动医疗救护措施。
急救人员应经过专业培训，能够熟练运用急救技术，为伤员提供紧急医疗救治。
八、尽可能将事故情况及时向上级主管部门报告，以便他们能够及时了解事故情况并采取必要的措施。
九、在事故处理过程中，要定期向关注此事故的方面进行专业培训，提高应急处理能力。
定期组织模拟演练，提高人员的应急反应能力和处置能力。
十、事故处理完毕后，要及时总结事故处理经验，发现存在的问题，并加以改进。
对于事故中存在的漏洞和不足之处，要及时完善应急处理预案，以避免类似事故再次发生。
以上是生产车间紧急处理范文，希望对您有所帮助。
在面对紧急情况时，冷静应对，科学处置，保障员工的安全是最重要的。
预防事故的最好方法是加强安全意识，提高员工的安全培训和应急处理能力。
多晶硅制作工安全操作规程范文
多晶硅制作工安全操作规程范文第一章总则第一条为保障多晶硅制作工作的安全、顺利进行，确保工作人员的人身安全和设备的正常运行，根据国家有关法律法规和标准，制定本规程。
第二条本规程适用于多晶硅制作工的操作人员，并由企业或单位进行执行。
第三条在多晶硅制作工作中，应遵守本规程的规定，合理使用设备、工具，正确操作，注意安全防护。
第四条多晶硅制作工作中，应注意环保要求，减少环境污染，保护生态环境。
第二章安全操作规范第五条在多晶硅制作工作中，应戴好安全帽、安全鞋等个人防护用品，并保持整齐的仪容仪表。
第六条在多晶硅制作工作中，应严格按照操作规程进行操作，不得擅自改变操作方式。
第七条在多晶硅制作工作中，应遵守电气安全操作规程，确保设备正常运行。
第八条在多晶硅制作工作中，应注意机械设备的安全操作，不得随意开启设备的防护装置。
第九条在多晶硅制作工作中，应保持操作环境的整洁，不得存放杂物，防止造成滑倒等意外事故。
第十条在多晶硅制作工作中，应遵守化学品安全操作规程，正确使用化学品，并戴好防护用品。
第十一条在多晶硅制作工作中，应定期检查设备，确保设备运行正常，不得使用有故障的设备。
第十二条在多晶硅制作工作中，应及时发现问题，并上报处理，不得隐瞒、扩大问题。
第三章紧急情况应急处理第十三条在多晶硅制作工作中，如发生火灾、爆炸等紧急情况，应立即采取应急措施，并及时报警。
第十四条在多晶硅制作工作中，如发生人员受伤、中毒等紧急情况，应及时进行急救处理，并保证伤员的安全。
第十五条在多晶硅制作工作中，如发生设备故障、泄漏等紧急情况，应立即停止操作，采取相应的应急措施，并报告上级主管部门。
第四章职责与管理第十六条多晶硅制作工作的操作人员应严格遵守本规程的规定，确保安全操作。
第十七条企业或单位应制定完善的安全管理制度，提供必要的培训和防护设备，并对操作人员进行安全教育和培训。
第十八条企业或单位应定期进行安全检查，发现问题及时整改，并建立健全的安全事故报告、查处和防范制度。
精密设备应急预案方案模板
一、目的为确保精密设备在运行过程中发生故障时，能够迅速、有效地进行应急处理，最大限度地降低事故损失，特制定本预案。
二、适用范围本预案适用于公司所有精密设备的应急处理工作。
三、组织机构与职责1. 成立精密设备应急指挥部，负责应急处理的组织、指挥和协调工作。
2. 设立应急处理小组，负责具体实施应急处理工作。
3. 各部门负责人为应急处理小组的成员，负责本部门应急处理工作的组织实施。
四、应急处理流程1. 发现故障：精密设备运行过程中，发现故障时，立即向应急指挥部报告。
2. 确认故障：应急指挥部接到故障报告后，立即组织相关人员对故障进行确认。
3. 采取措施：根据故障情况，采取以下措施：（1）如故障可自行排除，由操作人员按照操作规程进行修复；（2）如故障无法自行排除，应急处理小组负责协调维修人员进行修复；（3）如故障可能导致设备损坏，应急处理小组应立即采取隔离措施，防止事故扩大。
4. 恢复运行：故障修复后，经检查确认设备恢复正常，方可恢复运行。
5. 总结分析：应急处理结束后，应急指挥部组织相关部门对事故原因进行分析，制定改进措施，防止类似事故再次发生。
五、应急物资与装备1. 应急物资：备足必要的备件、工具、仪器等，确保应急处理工作的顺利进行。
2. 应急装备：配备应急车辆、通讯设备、照明设备等，提高应急处理效率。
六、应急演练1. 定期组织应急演练，提高员工应对突发事件的能力。
2. 演练内容包括：故障报告、故障确认、应急处理、恢复运行等。
3. 演练结束后，对演练过程进行总结评估，不断优化应急预案。
七、附则1. 本预案自发布之日起实施。
2. 本预案由精密设备应急指挥部负责解释。
3. 本预案如有未尽事宜，由应急指挥部根据实际情况进行补充和完善。
多晶炉作业指导书
多晶炉作业指导书BY 00206作业流程一、目的： 为正确、规范地操作多晶炉，确保生产作业正常，特制订本规范。
二、范围：适用于DSS 450型 多晶炉的操作三、依据：DSS 450型多晶炉 使用说明书作业内容1.作业准备1.1.进入多晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。
1.2.开炉前，按工艺要求检查水、电、气、炉内温度，确认无误后方能开炉。
1.3.准备好一次性PVC手套、高温手套、无尘纸、酒精、吸尘器、防尘口罩等。
1.4.准备好叉车、吊装笼等专用工具。
1.5.将炉体从上到下把有被污染的地方擦拭干净，擦洗时注意不要碰撞所有控制接线及开关以免发生不必要的损失与事故，并把炉子周围吸干净，遇到损坏时要及时报告班长做记录并报修，请专业人事前来修检。
2. 真空泵检查观察罗茨泵和机械泵的油位，确保油位在观察窗1/3以上的位置。
若油位过低时，需报设备维护人员及时加油，以确保泵正常工作，并具有良好的抽率。
3. 热区检修与炉室清理热区检修与炉室清理必需由专业人员或具有一定资质的人员来操作。
每炉均需检修热区，清理炉室。
准备好无尘纸、酒精、软刷、吸尘器及可能需要的配件，如石黑螺栓、螺帽等。
3.1专业检修人员检修热区：首先检测螺丝有无松动，螺栓有无断折，松动的要及时扭紧，断的要及时更换；而后检测相应加热件的连接性以及其与石墨纤板及炉体的电绝缘性，一般要求绝缘阻抗大于2K欧，最小不能低于1 K欧。
若加热件上有颗粒物和脱落物以及其它杂物，需用吸尘器及时除去，吸不去的先用软刷刷一刷，而后再用吸尘吸；若隔热笼上有杂质，也应及时用吸尘器除去，吸不去的先用软刷刷一刷，而后再用吸尘吸。
3.2.用吸尘器将炉腔内清理干净，清理顺序为：DS助凝板、石墨纤维板、防溢石棉、腔内壁杂物，直至确认炉体内无明显污物为准。
3.3.检修及清理完成后，要确认没有物体没有落到炉内，这一点很重要，要切记。
注意不要将任何物品遗漏到炉体内。
3.3.检修清理完成后要做相应的记录。
多晶硅生产应急预案新版
一、编制目的为确保多晶硅生产过程中可能发生的各类安全事故得到及时、有效、有序的处置，最大限度地减少人员伤亡、财产损失和环境污染，保障公司员工及公众的生命财产安全，特制定本应急预案。
二、适用范围本预案适用于公司多晶硅生产过程中可能发生的火灾、爆炸、中毒、泄漏、触电等安全事故的应急处置。
三、组织机构及职责1. 应急指挥部（1）总指挥：公司总经理（2）副总指挥：生产总监、安全总监、各部门负责人（3）成员：各部门相关人员2. 应急指挥部职责（1）负责统一指挥、协调、调度应急处置工作；（2）负责组织、协调各部门开展应急救援工作；（3）负责向上级报告事故情况，接受上级的指导、监督和检查。
3. 应急救援小组（1）火灾应急救援小组：负责火灾事故的初期扑救、人员疏散和现场保护；（2）爆炸应急救援小组：负责爆炸事故的现场处置、人员疏散和医疗救护；（3）中毒应急救援小组：负责中毒事故的现场处置、人员疏散和医疗救护；（4）泄漏应急救援小组：负责泄漏事故的现场处置、人员疏散和环境污染控制；（5）触电应急救援小组：负责触电事故的现场处置、人员疏散和医疗救护。
4. 应急救援小组职责（1）按照应急预案要求，迅速到达事故现场，进行应急处置；（2）负责现场人员疏散、医疗救护、物资保障等工作；（3）根据事故情况，向上级报告事故进展情况。
四、预防措施1. 严格执行安全生产法律法规，加强安全管理，提高员工安全意识；2. 定期开展安全检查，及时消除安全隐患；3. 加强设备维护保养，确保设备安全运行；4. 制定并落实安全操作规程，规范员工操作行为；5. 定期开展应急演练，提高应急处置能力。
五、应急处置程序1. 初期响应（1）事故发生后，现场人员立即启动应急预案，报告应急指挥部；（2）应急指挥部接到报告后，立即启动应急响应程序，通知相关部门和人员；（3）应急救援小组迅速到达现场，开展应急处置工作。
2. 现场处置（1）火灾事故：立即组织灭火，疏散人员，隔离事故区域，防止火势蔓延；（2）爆炸事故：立即组织人员疏散，封锁事故现场，防止次生事故发生；（3）中毒事故：立即组织中毒人员撤离现场，进行救治，隔离事故区域；（4）泄漏事故：立即组织泄漏物质控制，防止扩散，隔离事故区域；（5）触电事故：立即切断电源，进行救治，疏散人员。
多晶硅生产应急预案范文
多晶硅生产应急预案范文1. 总则
1.1 编制目的
1.2 适用范围
1.3 工作原则
1.4 应急组织机构及职责
2. 应急预案分类及级别
2.1 多晶硅生产应急预案分类
2.2 应急预案级别
3. 应急救援保障
3.1 应急设备与设施
3.2 应急通讯与信息
3.3 应急队伍
3.4 应急物资供应
3.5 外部应急救援力量
4. 预防与预警机制
4.1 风险源监控
4.2 预警行动
4.3 报警、通讯与协调
5. 应急响应
5.1 信息报告
5.2 先期处置
5.3 应急救援
5.4 现场指挥
5.5 应急监测
5.6 警戒与疏散5.7 救援行动
5.8 信息发布
5.9 应急终止
6. 后期处置
6.1 现场保护
6.2 事故调查与评估6.3 善后处置
6.4 恢复重建
7. 应急培训与演练7.1 应急培训
7.2 应急演练
8. 奖惩
8.1 奖励
8.2 责任追究
9. 附则
9.1 制定与解释
9.2 实施与生效时间
9.3 预案评审、备案、发布与更新
以上是多晶硅生产应急预案的基本框架和主要内容,具体内容可根据实际情况进一步完善和细化。
2023年精制车间事故应急处理方案
2023年精制车间事故应急处理方案一、前言精制车间是一个高风险的工作环境，事故的发生可能导致人身伤亡、环境污染等严重后果。
为了应对可能发生的事故，保护员工的生命安全，保护环境的可持续发展，特制定本应急处理方案。
二、应急组织1. 应急指挥部：设立应急指挥部，负责组织、协调、指导应急工作。
2. 应急小组：设立应急小组，包括安全、生产、环保、医疗、后勤等部门的代表，负责具体的应急工作。
三、应急预案1. 应急演练：定期组织应急演练，提高员工的应急反应和处置能力。
2. 事故报告：事故发生后，应急小组成员及时向应急指挥部报告，包括事故发生地点、事故性质、伤亡情况等。
3. 事故应对程序：（1）紧急报警：事故发生后，首先应立即启动紧急报警系统，通知相关部门和人员。
（2）紧急疏散：根据事故性质和情况，及时组织员工疏散到安全区域，确保人员的生命安全。
（3）现场控制：组织专业人员进行现场控制，如隔离危险区域、防止事故扩散等。
（4）伤员救治：及时组织伤员救治，将伤员送往医院进行治疗。
（5）事故调查：事故发生后，应组织专业人员进行调查，分析事故原因，并采取措施避免类似事故再次发生。
四、应急设备和物资储备1. 应急设备：备有呼吸器、防护服、灭火器等应急设备，以应对突发事故。
2. 防护装备：员工应配备好防护装备，包括安全帽、防护眼镜、耳塞等，以确保人身安全。
3. 应急物资储备：储备足够的急救物资、消防器材等应急物资，以备突发情况使用。
五、员工培训和意识提升1. 培训计划：制定员工培训计划，定期组织培训，提高员工的安全意识和应急处理能力。
2. 安全教育：定期组织安全教育活动，向员工传达安全知识和预防意识。
3. 事故案例分析：定期组织事故案例分析，让员工学习他人的教训，提高风险意识。
4. 综合演练：定期组织综合演练，提高员工在紧急情况下的反应能力和处置能力。
六、应急通讯和联络1. 应急通讯系统：建立完善的应急通讯系统，确保及时沟通和信息传递。
多晶铸锭车间作业指导书
3.1.11.检查陶瓷片是否有碎掉的，碎掉的及时更换，加热器与隔热层之间电阻不小于3KΩ•cm。
3.1.12.检查各阀门是否能正常开启。
3.1.13.查看主参数是否正确。
3.1.14.检查配方是否正确
3.2装炉作业指导
3.2.1.坩埚内料的高度不能超过坩埚护板的高度，加上盖板后盖板不能碰到硅料，装护板需2人操作，一人扶好护板，防止脱落。
5.4.断电处理：在运行中突然断电，炉温会快速下降。在断电窗口中点静音，并记下断电时的功率、温度、点暂停，进入模式界面，在真值表中将加热模式改为功控模式，并把功率设定值设定为断电时功率值加5%-10%，当温度快上升到断电时的温度时，把加热模式改为断电时的加热控制模式，点“继续运行”继续配方运行。
5.5.断水处理：当发生断水时，会弹出断水警告窗口，若20秒内未来水，将自动断电。断水报警可以分两种情况处理：1、一路断水，可将临界值改为0，防止断电，5分钟内修复流量计，然后重新运行。2、全部断水，则说明冷却水源发生故障，则需要紧急启动备用水源，确保炉体供水正常。
3.4.8.冷却阶段，功率慢慢下降至零，隔热层缓慢提升至350mm，温度曲线平稳下降。至400℃以下时，准备出炉。
3.5出炉
出炉前的准备工作
a)准备好叉车，确认电量是不是符合出锭要求。
b)准备好劳保用具，如高温手套等。
c)保证至少2人作业，1人开叉车，1人在叉车后方注意叉车左右前后位置，以免发生碰撞。
4.1.出炉时佩戴好劳保用品，防止烫伤。
4.2.加热前仔细检查配方主参数是否正确，准确无误后再开始加热。
4.3.熔化阶段保证硅料充分熔化。
4.4.长晶阶段曲线平稳，有异常要及时发现，同时多观察溢流窗口。
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PRODUCT产品： 铸锭多晶部门ORIGINATOR编制TECH 技术QC 质量MFG 制造CUSTOMER客户： 硅片车间签名李媛媛陈雪毛牡丹赵军WORK STATION工序名称：应急处理1.0 适用范围断水或水流量低、主电源丢失或缺相、OT报警、TC1报警、TC2报警、按“紧急停机”按钮、硅液溢流报警、停气或气压低2.0 作业流程2.0.1断水或水流量低某回路水流量低或断水时，一般是设备本身问题（如水流计损坏）。
应急措施如下：1) 该机台操作工立即检查水流计，如果是水流计损坏则更换水流计；2) 报告班组长通知设备人员如果是全部回路水流量低或全部回路断冷却水时，这表明外围冷却水系统出现故障。
应急措施如下：1) 通知班组长或上级领导，通知外围冷却水站2) 各机台操作工负责关闭未运行机台的进出水阀处理断水或水流量低的技术要点如下:1. 各机台或故障机台操作工坚守自己的岗位，密切关注好炉子的水流、压力、温度变化情况；2. 进入“系统报警”界面（如图2-1），点击“报警静音”，在20秒后，由于无冷却水，系统会自动断电，生产人员及时将隔热笼位置手动降为零，点击“关闭窗口”；图2-1 系统报警界面3. 系统会弹出“电源离合开关失效”对话框（如图2-2），记录断电时刻功率值；4. 等待“冷却水流量过低”显示绿色后证明水流量正常；5. 点击“电源离合开关”后显绿色，关闭屏幕，进入工序参数界面（如图2-3）；Reason(s) for Update 更新原因：增加硅液溢流判断处理事项PAGE 页: 1 OF 8生效日期：PRODUCT产品： 铸锭多晶部门ORIGINATOR编制TECH 技术QC 质量MFG 制造CUSTOMER客户： 硅片车间签名李媛媛陈雪毛牡丹赵军WORK STATION工序名称：应急处理图2-2 “电源离合开关失效”对话框6. 如果温度下降值没有超过主参数，1) 如果是功率P控制模式，输入掉电时功率的百分比使温度达到掉电时的温度；2) 如果是T控制模式，应把T改为P，输入的功率比掉电时高5～10；3) 使温度达到掉电时温度后，再把P改为T，在输入功率时应在暂停模式下；7. 如果温度下降值超过主参数，得到工艺、生产、设备相关负责人确认后，进入紧急冷却。
同时密切关注水流量情况；图2-3 工序参数界面Reason(s) for Update 更新原因：增加硅液溢流判断处理事项PAGE 页: 2 OF 8生效日期：部门ORIGINATOR编制TECH 技术QC 质量MFG 制造CUSTOMER客户： 硅片车间签名李媛媛陈雪毛牡丹赵军WORK STATION工序名称：应急处理2.0.2主电源丢失或缺相当主电源丢失或缺陷时将会弹出报警窗口（如图2-4）并有灯塔上的红色报警灯亮和警报器响；1. 生产人员及时将隔热笼位置手动降为零，并记录当前的温度和功率，点击“关闭窗口”；2. 在“备用电源故障”对话框（如图2-5）中点击“重置报警”；图2-4 “断电及相位丢失处理”对话框 图2-5 “备用电源故障”对话框3. 进入程序控制界面，设定生产模式和工序，点击“加载新设置”(如图2-6)；图2-6 “生产模式和工序设定”对话框4. 点击“电源离合开关”后显绿色，关闭屏幕，进入工序参数界面；5. 如果温度下降值没有超过主参数，1) 如果是功率P控制模式，输入掉电时功率的百分比使温度达到掉电时的温度；2) 如果是T控制模式，应把T改为P，输入的功率比掉电时高5～10；3) 使温度达到掉电时温度后，再把P改为T，在输入功率时应在暂停模式下；6. 如果温度下降值超过主参数，得到工艺、生产、设备相关负责人确认后，进入紧急冷却；PAGE 页: 3 OF 8生效日期：部门ORIGINATOR编制TECH 技术QC 质量MFG 制造CUSTOMER客户： 硅片车间签名李媛媛陈雪毛牡丹赵军WORK STATION工序名称：应急处理2.0.3OT报警独立的OT检测到高温或其TC故障时，系统将会自动弹出报警窗口（如图2-7）并且灯塔上红色警报灯亮和警报器响，电脑右上侧的报警灯亮和蜂鸣器响，同时切断主电源自动进入紧急冷却；图2-7 OT断开后弹出报警对话框1. 判断是超温还是TC故障，这点可通过TC2来佐证；2. 如果是超温，必须查明原因采取适当措施；3. 如果确定是TC故障而不是超温，可接备用OT并将温控器复位，退出紧急冷却；4. 点击“电源离合开关”后显绿色，关闭屏幕，进入工序参数界面；5. 如果温度下降值没有超过主参数，1) 如果是功率P控制模式，输入掉电时功率的百分比使温度达到掉电时的温度；2) 如果是T控制模式，应把T改为P，输入功率比掉电时高5～10；3) 使温度达到掉电时温度后，再把P改为T，在输入功率时应在暂停模式下；6. 如果温度下降值超过主参数，得到工艺、生产、设备相关负责人确认后，进入紧急冷却；PAGE 页: 4 OF 8生效日期：部门ORIGINATOR编制TECH 技术QC 质量MFG 制造CUSTOMER客户： 硅片车间签名李媛媛陈雪毛牡丹赵军WORK STATION工序名称：应急处理2.0.4TC1报警当TC1断开时将会弹出报警窗口（如图2-8）并有灯塔上的红色报警灯亮和警报器响，系统会在故障发生时的功率点自动切换到功率控制模式，炉子也将转入暂停模式；图2-8 TC1断开报警对话框1. 禁止点击“重置1号热电偶”，通知设备人员将TC1的连接接头拔掉；2. 点击“报警静音”，打开功率曲线管理，点击“加载功率曲线”（如图2-9），调用最近的一个可用的历史功率曲线，点击“关闭窗口”退到主界面；3. 点击对话框（如图 2-8）“使用功率曲线”，打开功率曲线管理，再次确认名称和日期、调用功率曲线无误后，关闭功率曲线窗口，点击“恢复运行”；图2-9 “功率曲线管理”界面PAGE 页: 5 OF 8生效日期：部门ORIGINATOR编制TECH 技术QC 质量MFG 制造CUSTOMER客户： 硅片车间签名李媛媛陈雪毛牡丹赵军WORK STATION工序名称：应急处理2.0.5TC2报警TC2报警分为TC2超温报警和TC2断开报警。
TC2超温报警： 如果TC2检测到DS-BLOCK的温度超过主参数里所设定的“DS-BLOCK最大温度值”，系统将会自动弹出报警窗口并有灯塔上的红色报警灯亮和警报器响；1. 检测超温原因采取适当措施2. 将炉子转到暂停模式，再转到功率控制模式，降低功率设定值，直到炉子温度降到足够低后将故障彻底排除；3. 如果温度下降值没有超过主参数，1) 如果是功率P控制模式，输入掉电时功率的百分比使温度达到掉电时的温度；2) 如果是T控制模式，应把T改为P，输入功率比掉电时高5～10；3) 使温度达到掉电时温度后，再把P改为T，在输入功率时应在暂停模式下；4. 如果温度下降值超过主参数，得到工艺、生产、设备相关负责人确认后，进入紧急冷却；TC2断开报警：当TC2断开时，系统会自动弹出一个警告对话框（如图2-10），点击“报警静音”和“关闭窗口”。
待出炉后对TC2进行检修。
图2-10 TC2断开后报警对话框PAGE 页: 6 OF 8生效日期：部门ORIGINATOR编制TECH 技术QC 质量MFG 制造CUSTOMER客户： 硅片车间签名李媛媛陈雪毛牡丹赵军WORK STATION工序名称：应急处理2.0.6 按“紧急停机”按钮当按下“紧急停机”按钮时，系统自动弹出对话框(如图2-11)； 图2-11 按“紧急按钮”后弹出报警对话框1. 点击“报警静音”，右旋弹开“紧急停机”按钮，按下二层平台控制柜上的复位按钮，点击“关闭窗口”；2. 进入“系统报警”界面，点击“电源离合开关”后显绿色，关闭屏幕，进入工序参数界面；3. 如果温度下降值没有超过主参数，1) 如果是功率P控制模式，输入掉电时功率的百分比使温度达到掉电时的温度；2) 如果是T控制模式，应把T改为P，输入的功率比掉电时高5～10；3) 使温度达到掉电时温度后，再把P改为T，在输入功率时应在暂停模式下；4. 如果温度下降值超过主参数，得到工艺、生产、设备相关负责人确认后，进入紧急冷却；生效日期：PAGE 页: 7 OF 8PRODUCT产品： 铸锭多晶部门ORIGINATOR编制TECH 技术QC 质量MFG 制造CUSTOMER客户： 硅片车间签名李媛媛陈雪毛牡丹赵军WORK STATION工序名称：应急处理2.0.7硅液溢流报警如果硅液溢流报警发生，将会弹出报警窗口并有灯塔上的红色报警灯亮和警报器响，在系统检测到溢流线断掉5 秒后切断主电源进入紧急冷却，同时溢流系统的高音警报器也将响起并持续20分钟。
1. 通知设备人员检测是真报警还是假报警；2. 如果是真报警，无关人员不得靠近此台铸锭炉附近，更不可到炉子下部，包括维修人员，维修人员可以在二层平台控制柜内测量溢流线断掉后迅速撤离；3. 如果是假报警，进入“系统报警”界面，点击“电源离合开关”后显绿色，关闭屏幕，进入工序参数界面；4. 如果温度下降值没有超过主参数，1) 如果是功率P控制模式，输入掉电时功率的百分比使温度达到掉电时的温度；2) 如果是T控制模式，应把T改为P，输入的功率比掉电时高5～10；3) 使温度达到掉电时温度后，再把P改为T，在输入功率时应在暂停模式下；5. 如果温度下降值超过主参数，得到工艺、生产、设备相关负责人确认后，进入紧急冷却；6. 若炉压持续升高触发异常报警，则车间所有人员紧急撤离，不再干预处理炉台运行情况；7.按正常流程，确认长晶已经完成后发生的溢流报警判为假溢流；8.若设备在同一炉晶锭运行时发生两次掉温现象则终止运行，减少溢流风险；9.料全部化完的程序阶段（如HP4的M4，MC3的M3阶段）发生溢流报警，不做判断，直接按真溢流处理。
2.0.8停气或气压低一般只发生在CDA停气或气压低问题。
这两种情况都会引起氩气导入和导出阀门关闭，发生报警但不会终止程序运行，这时需尽快联系CDA站解决。
Reason(s) for Update 更新原因：增加硅液溢流判断处理事项PAGE 页: 8 OF 8生效日期：。