活性炭滤网技术资料
活性碳过滤器说明书
OM EXELL活性炭过滤器活性炭过滤器一、工艺原理：活性碳过滤器为水处理系统的预处理设备，一般设置在多介质过滤器的后面；目的除去水中的余氯、氧化物和有机物，降低进水的COD值和余氯值，避免树脂或RO受污染；设备可以通过周期性的清洗来恢复它的截污能力。
二、技术参数：1.进水浊度： < 2 NTU2.出水余氯： <0.1ppm3.工作压力: < 0.6MPa4.工作温度: 5-50℃5.运行流速: 10-20m/h6.水反洗强度: 10-20m/h7.填料高度: 活性碳1400mm\石英砂150mm8.活性碳规格： 0.8-1.2mm石英砂规格： 0.5-1.2mm9．承托层：（如设备要求）注：最下一层承托层的顶部至少应高于配水孔眼100 mm。
三、结构形式：设备由本体、布水装置、集水装置、外配管及仪表取样装置等组成。
进水装置为上进水、挡板布水，集水装置为多孔板滤水帽集水或穹形多孔板加承托层结构；设备的本体外部配管配带阀门并留有压力取样接口，便于用户现场安装和实现装置正常运行。
四. 设备的安装1）安装前检查土建基础是否按设计要求施工。
2）设备按设计图纸进行就位，调整支腿垫铁并检查进出口法兰的水平度和垂直度。
3）将设备和基础预埋铁板焊接固定，固定后再次校验进出口法兰的水平度和垂直度。
4）将设备本体配管按编号区分后依设计图纸进行组装，每段管道组装前应用干净抹布对内壁进行清洁工作，组装后应保持配管轴线横平竖直，阀门朝向合理（手动阀手柄朝前，气动阀启动头朝上）。
5）检查本体阀门开关灵活，有不灵活的情况及时整改。
6）设备本体配管完成后应对阀组进行必要的支撑工作等。
7）安装设备上配带的进出水压力表、取样阀等；进出水管道上如有流量探头座应用堵头堵住。
五、初次开车1）. 冲洗考虑到设备和管道连接时的电焊残渣、管道初次投用时的表面污物，设备初次投入运行时应进行冲洗。
A、打开设备的人孔法兰将设备内的零件重新紧固，并确认罐内部件（如水帽等）不缺少；封闭人孔法兰。
活性炭滤芯过滤器的原理
活性炭滤芯过滤器的原理活性炭滤芯是一种常用的水处理设备，其原理是通过活性炭材料对水中的污染物进行吸附和去除，从而提高水的净化效果。
下面将详细介绍活性炭滤芯过滤器的原理。
首先，让我们介绍一下活性炭的特性。
活性炭是一种多孔的材料，其表面积非常大，常见的数值在500-2000平方米/克之间。
这是因为活性炭材料经过特殊的处理工艺，形成了许多的微孔和介孔。
这种多孔结构使得活性炭具有很强的吸附能力。
活性炭滤芯过滤器使用的活性炭通常是疏水性的，也就是说，在水中有很好的分散性。
活性炭可以吸附水中的各种有机物、重金属离子、残余氯等污染物。
活性炭对于各种有机物的吸附特性是非常好的，比如对于苯、甲醛、氨等有害物质具有很强的去除作用。
此外，活性炭还可以吸附大部分的重金属离子，比如铅、汞、铬等，有效降低水中重金属含量。
同时，活性炭还可以去除水中的臭味和色度，提高水的口感和外观。
活性炭滤芯过滤器的运作方式是将待处理的水通过活性炭滤芯进行过滤，污染物被吸附在滤芯表面或者孔道中，从而达到去除水中杂质和污染物的目的。
在过滤过程中，水从滤芯的一侧进入，流经滤芯内部的活性炭层，然后从滤芯的另一侧排出。
在水通过滤芯的过程中，活性炭会吸附水中的污染物。
活性炭吸附污染物的过程是一个物理吸附的过程。
活性炭的多孔结构提供了大量的吸附位点，当水中的污染物分子接触到活性炭表面时，会发生吸附作用。
吸附的力量主要来自于活性炭表面的吸附力和污染物分子的化学性质。
活性炭通常具有一定的亲水性，而水中的许多有机物则是疏水性的，因此在水中有着良好的分散效果。
除了物理吸附外，化学吸附也是活性炭去除水中污染物的重要机制之一。
活性炭表面具有一些化学官能团，如羟基、酚基等，这些化学官能团可以与水中的某些有机物发生化学反应，从而形成共价键，使有机物被活性炭表面吸附。
然而，随着活性炭对污染物的吸附，其表面逐渐被污染物覆盖，吸附位点减少，活性炭的吸附能力会逐渐降低。
当活性炭滤芯满载后，就需要及时更换滤芯，否则会造成滤芯阻塞，影响水的流通和过滤效果。
活性炭静电滤网技术协议
活性炭静电滤网技术协议1适用范围本协议适用于房间空调器用活性炭静电滤网,适用于x x x x有限公司空调器所用的各种规格的活性炭静电滤网在批量生产中使用。
2协作单位甲方（需方单位）：x x xx有限公司乙方（供方单位）：3执行标准Q/LH X002-2000 空气净化器滤芯G B9663-9673-1996公共场所卫生标准4技术要求4.1外观尺寸：4.1.1外观应表面洁净，平整，波纹均匀。
4.1.2使用说明书应清晰易懂，方便实用；4.1.3粘接牢固，无开胶现象。
4.1.4外形尺寸应符合格兰仕空调技术部的图纸设计要求；4.2性能要求：4.2.1活性炭静电滤网的空气净化性能：4.2.1.1尘埃净化率大于65%；4.2.1.2对细菌的去除率大于60%。
尘埃净化滤的试验方法：房间容积45m3，常温、常压下密闭良好，5m i n内连续吸烟5支，用大气尘埃粒子计数器监测尘埃初始浓度C01，随后以风机为动力源（风口前安装有本产品，尺寸为308m m×63m m×5.5m m）开机120m i n后进行检测尘埃浓度，记作C t1。
按（1）式计算该活性炭静电滤网的尘埃净化率。
（C01-C t1）/C01----------------(1)细菌去除率的测定方法：将1片活性炭静电滤网安装在该风机的风口处，置于45m3的全密闭的实验房间中，沿对角线设置5个采样点，分别在开机前及开机120m i n 后采样，测试空气中的细菌量，浓度分别记作C02、C t2。
并以公式（2）计算出该活性炭静电滤网对室内空气中细菌的去除率。
（C02-C t1）/C02---------------(2)5交收检验5.1交收检验项目为 4.1、4.2中的全部重要项目；5.2交收检验项目G B2828-87《逐批计数抽样检查程序及抽样表》，一次抽样方案随机抽样。
6供货必要条件6.1供方单位每批供货必须提供完整的出厂检验报告。
活性炭过滤器技术参数及其工作原理
活性炭过滤器的工作原理和优点铭源凯德过滤设备（北京）有限公司活性炭过滤器产品概述HJ型反冲排污过滤器适用于各种供水系统, 工艺水系统及工业冷却水系统, 特别是24 小时连续运行的不停机系统,可以滤去水中的各种机械杂质, 确保系统设备的安全可靠运行。
反冲排污过滤器产品特点 1.过滤精度高：过滤精度范围广,d=0.5 ～ 1.2mm ； 2.使用寿命长：由不锈钢楔形条状滤网及优质碳钢筒体组成； 3.综合成本低：铭源凯德过滤设备（北京）有限公司无需拆卸和更换滤网，使用寿命长达20 年； 4.操作简便效率高：无需接旁路，无需拆机清理，过滤反冲效果好。
全自动过滤器，过滤器，全程综合水处理器，电子除垢器反冲洗过滤器工作原理HJ型反冲排污过滤器通常由优质碳钢筒体，特殊结构的不锈钢楔形滤网，水流导向阀及排污装置所组成，如用户特殊要求，也可制成全不锈钢结构。
当过滤器工作时，水流导向阀处于开启状态，水流由入口进入过滤器，经过滤网到出口。
当过滤器需要排污时，关闭水流导向阀，打开排污阀，，水流经滤网流入内侧，部分水流由出口流入系统，剩余水流由滤网后半段外侧流入内侧，经排污口排出，起到反向自动冲洗滤网的作用。
这样整个冲洗过程系统可正常运行，无需停机。
铭源凯德过滤设备（北京）有限公司活性炭过滤器的主要特点铭源凯德过滤设备（北京）有限公司，反冲洗过滤器过滤能力强,大流量：煤矿上目前大量使用的大流量“直通式”过滤器,由于结构的限制,最大流量只能达到380L/min,该过滤器可达800L/min 或着更大。
全自动过滤器，过滤器，全程综合水处理器，电子除垢器反冲洗过滤器过滤精度高：反冲洗过滤器内有两组或多组滤芯,通流面积大,原始压力损失小,可实现大流量、高精度过滤（25 m、40 m）,传统过滤器则很难实现。
反冲洗过滤器量化污染程度：该过滤器在液体的流入端Pi 口、流出端Po 口可装有压力表K1、K2,P=K1-K2 的压差大小,定量的反应了过滤器被污染的程度,便于随时清洗,传统过滤器则无次功能。
活性炭滤芯介绍
食品工业领域
总结词
活性炭滤芯在食品工业领域主要用于脱色、除臭、去除杂质等，提高食品质量和安全性。
详细描述
活性炭具有优良的吸附性能和过滤性能，在食品工业中常用于脱色、除臭、去除杂质等 方面，可以提高食品质量和安全性。例如在酿酒、饮料、糖果等食品的生产过程中广泛
应用。
其他领域
总结词
活性炭滤芯还广泛应用于其他领域，如 制药、化工、环保等，具有广泛的用途 和重要的价值。
按照说明书或专业人员 的指导，正确安装活性 炭滤芯，确保密封良好。
定期清洗或更换活性炭 滤芯，保持其良好的过
滤效果。
注意使用环境
避免将活性炭滤芯置于 高温、高湿或强酸强碱
等恶劣环境中。
活性炭滤芯的更换周期及注意事项
更换周期
根据家庭用水量、水质情况和实际使 用情况，定期更换活性炭滤芯，一般 建议每3-6个月更换一次。
活性炭滤芯介绍
目 录
• 活性炭滤芯简介 • 活性炭滤芯的特点 • 活性炭滤芯的应用领域 • 活性炭滤芯的选购与使用 • 活性炭滤芯的发展趋势与未来展望
01 活性炭滤芯简介
活性炭滤芯的定义
01
活性炭滤芯是一种由活性炭颗粒 制成的过滤器，通常用于水处理 、空气净化等领域。
02
活性炭是一种经过特殊处理的碳 材料，具有丰富的孔隙结构和吸 附性能，能够有效地去除水或空 气中的杂质和有害物质。
活性炭滤芯的用途
01
02
03
水处理
用于去除水中的余氯、有 机物、重金属等有害物质， 提高水质。
空气净化
用于去除空气中的甲醛、 苯、氨等有害气体，以及 烟尘、异味等颗粒物，改 善室内空气质量。
溶剂回收
用于工业生产中的溶剂回 收和净化，减少浪费和环 境污染。
活性炭过滤器技术方案
活性炭过滤器技术方案一、活性炭过滤器的工作原理活性炭过滤器的工作原理是通过活性炭对水中的污染物进行吸附和解吸附，从而达到过滤的目的。
活性炭具有极大的比表面积，并且内部具有众多的微孔，这些特性使得活性炭具有很强的吸附能力。
当水通过活性炭层时，吸附在活性炭表面和孔隙内的有机物和颜色等污染物被去除，从而达到水的净化目的。
二、活性炭材料的选择活性炭是活性炭过滤器的核心部件，因此选择合适的活性炭材料非常重要。
活性炭材料的选择应考虑以下几个因素：1.孔径大小：活性炭的孔径大小会影响其对不同种类污染物的吸附能力。
一般来说，孔径越小的活性炭对微小的有机分子有较好的吸附能力，孔径越大的活性炭对大分子有机物的吸附能力较强。
2.表面积：活性炭的比表面积越大，吸附能力越强。
因此，在选择活性炭时应尽量选择比表面积较大的产品。
3.强化处理：有些活性炭产品会经过强化处理，增加其吸附能力和使用寿命。
综合考虑这些因素，我们可以选择适合特定水质特点的活性炭材料，以提高过滤效果。
三、活性炭过滤器的设计与使用1.过滤器的容量：根据水处理量的大小和水质要求，确定过滤器的容量。
一般来说，活性炭过滤器的容量越大，可以处理的水量越大，但也会增加设备成本。
2.过滤介质的厚度：适当的过滤介质厚度可以增加活性炭对污染物的接触时间，提高过滤效果。
3.过滤速度：过滤速度的选择应根据水质要求和设备设计参数来确定。
过高的过滤速度会降低过滤效果，而过低的过滤速度则会增加设备成本。
4.过滤器的自动化程度：根据实际需求，可以选择不同程度的自动化设备，如自动排污、自动补充活性炭等，以提高过滤器的使用便捷性和稳定性。
在使用活性炭过滤器时，应注意以下几个方面：1.定期更换活性炭：活性炭在使用一段时间后会饱和，失去吸附能力。
因此，应定期更换活性炭，以保证过滤效果。
2.定期清洗过滤器：根据实际工况和水质状况，定期清洗过滤器，保持其正常运行和过滤效果。
3.监测水质：使用活性炭过滤器后，应定期监测水质，以确保水的质量达到要求。
活性炭过滤器技术
活性炭过滤器技术字体大小：大| 中| 小2007-04-23 17:28 - 阅读：60 - 评论：1一、活性炭过滤器有两个作用1、利用活性炭的活性表面除去水中的游离氯，以避免化学水处理系统中的离子交换树脂，特别是阳离子交换树脂、或反渗透膜组件受到游离氯的氧化作用。
2、除去水中的有机物、如腐殖酸等，以减轻有机物对强碱性阴离子交换树脂的污染。
据统计，通过活性炭过滤器，可以除去水中60％～80％的胶体物质；50％左右的铁和50％～60％的有机物等。
活性炭过滤器在实际运行中，主要考虑入床水浑浊度，反洗周期，反洗强度等关系。
（1）入床水浑浊度。
入床水浑浊度高，会带给活性炭滤层过多的杂质、这些杂质被截留在活性炭滤层中，并堵塞滤池间隙及活性炭表面，阻碍其吸附效果的发挥。
长期运行下去，截留物就停留在活性炭滤层间，形成冲不掉的泥膜，造成活性炭老化失效。
所以进入活性炭过滤器的水，最好把浑浊度控制在5mg/L以下，以保证其正常的运行（2）反洗周期。
反洗周期的长短是关系到滤池效果好坏的主要因素。
反洗周期过短，浪费反洗水；反洗周期过长则影响活性炭吸附效果：一般讲，当入床水浑浊度在5mg/L以下时，应4～5天反洗一次。
（3）反洗强度。
活性炭过滤器在反洗中，滤层膨胀率对滤层冲洗是否彻底，影响较大。
滤层膨胀率过小，下层的活性炭悬浮不起来，其表面冲洗不干净；当膨胀率过大，容易跑“炭”。
在运行中一般控制其膨胀率为40％～50％。
（4）反洗时间。
一般当滤层膨胀率为40％～50％，反洗强度为13～15L/(m2〃s)时，活性炭过滤器的反洗时间为8～10min。
二、活性炭的吸附特性活性炭有很多不同形状和不同大小的细孔，孔壁的总面积即为表面积，每克活性炭的表面积高达700～1600m2,由于这样大的表面积，使活性炭具有较强的吸附能力。
活性炭的吸附特性不仅受细孔构造的影响，而且受表面化学性质的影响。
活性炭除碳元素外，还含有两种物质，一是以化学键结合的元素，如氧和氢；另一种是灰份，其灰份随活性炭种类不同而异，椰壳炭灰份小于3％，而煤质活性炭灰份高达20％～30％左右，活性炭中含硫是比较低的，质量好的活性炭中不应检出硫化物。
活性炭滤网参数
活性炭过滤网
活性炭过滤网是将吸附性能超越的活性炭粉末通过特殊工艺载附到不同基材上，具有良好的吸附性能和集尘效果，成型性好。
广泛用于处理含苯类、酚类、酯类、醇类、醛类等有机气体及恶臭气体，主要用于各种家用、车用空调、空气净化器、水质净化、气相吸附等领域。
根据基材分：蜂窝状活性炭过滤网、纤维状活性炭过滤网、鱼网状活性炭过滤网以及颗粒活性炭滤网。
常用产品相关技术指标：
*以上产品均可根据客户要求定制，产品分阻燃型和非阻燃型。
颗粒活性炭滤芯的技术参数
颗粒活性炭滤芯的技术参数为您详细介绍了颗粒活性炭滤芯的技术参数与选择。
颗粒活性炭滤芯采用无毒无味高效椰壳活性炭和煤质活性炭作主体，是目前液体，空气净化行业中替代散状活性炭较为理想的新型换代产品。
能有效去除水中的有机物、余氯及其他放射性物质，并有脱色、去除异味的功效。
颗粒活性炭滤芯采用天然果壳活性炭、椰壳活性炭或高质量媒质活性炭等优质净水专用活性炭制作，可有效去除杀虫剂、农药残余物、有机溶剂及其他因工业造成的化学污染。
活性炭颗粒滤芯填充于塑料滤壳容器中，不加任何化学添加剂。
容器上下出入口处皆有多层超细纤维无纺布层以防止炭粉末释出，外壳选用ABS材料超音波熔接工艺生产。
由于液体由下向上流，液体与活性炭颗粒层接触的时间长及面积广，故能有效发挥除氯、除臭、除味的功能。
活性炭滤芯,pp滤芯颗粒活性炭滤芯采用无毒无味高效椰壳活性炭和煤质活性炭作主体，在辅以食用级材料粘合剂，经特殊工艺加工成型，它集吸附过滤或催化作用于一体，是目前液体，空气净化行业中替代散状活性炭较为理想的新型换代产品。
活性炭滤芯将所需要的活性炭颗粒装入特制的塑料壳体中，用焊接设备将端盖焊接在壳体的两端面，壳体的两端分别放入起过滤作用的无纺布滤片，确保炭芯在使用时不会掉落炭粉和黑水。
根据客户的需要，壳体端盖可做成不同型号的连接口。
接口方式有：平压式、管道式。
产品特点：·脱氯、除味、有机溶剂脱色效果好；·吸附能力强，机械强度高；·密度均匀，使用寿命长；·不释放炭粉；1、概述：活性炭滤芯是以优质的果壳炭及煤质活性炭为原料，辅以食用级粘合剂，采用高科技技术，经特殊工艺加工而成，它集吸附、过滤、截获、催化作用于一体，能有效去除水中的有机物、余氯及其他放射性物质，并有脱色、去除异味的功效。
是目前液体，空气净化行业中较为理想的新型换代产品。
1）描述：颗粒活性炭滤芯是一种新型的深层过滤芯。
它由优质的果壳活性炭为原料，再以低热熔性的粘着剂组成其结构，连续挤压成型。
活性炭滤网技术资料
Acetone
20k
250k
Toluene
10k
200k
11
DOPANT
一化學元素會改變半導體原料的電性 Boron（硼）、Phosphours（磷）Arsenic
（砷）
12
無塵室濃度 - Dopant
Contaminant Concentration Range (ppt)
5-10%氫 氧化鉀
活性碳
密度 0.8
0.5
0.8
0.55
壓損50 1“
fpm/1ft bed
1.7
1.8
1.7
26
不織布包覆型
853
147
875
基種g/m2 600
使用
臭氧
揮發性有 機物
600
氨 有機胺類
600
酸 揮發性有 機物
27
濾網的種類
鐵、鋁、紙框不織布 Carbon Tray (V- Bank) Box type
36
檢測
Ion Chromatography離子層析儀：陰離子、 陽離子
GC-MS氣相層析儀-質譜儀：揮發性有機 氣體
ICP-MS：金屬離子 TAGA(Trace Atmospheric Gas Analyzer)微量
氣體分析儀 Copper & Silver Coupon
37
ISA Std S71.04-1985(I)
hydrophobization Corrosion Decreased metal pad adhesion Silicon Carbide formation
14
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24
粒形
MM1000 MM3000 MM7000 MM9000
載體
4%過錳 活性碳 酸鉀
活性鋁
10%磷 酸
活性碳
5-10%氫 氧化鉀
活性碳
密度 0.8
0.5
0.8
0.55
壓損50 1“
fpm/1ft bed
1.7
1.8
可编辑ppt
1.7
25
不織布包覆型
853
147
875
•Wafer and stepper optics hazing
PHOTO
•High contact resistance
QA
可编辑ppt
15
可编辑ppt
16
不能解答的問題
那一個製程的風險最大 晶片在這個製程的那一個步驟有風險 需要多長時間影響污染的風險 那一個濃度AMC會影響何製程的何步驟
清淨室物質的outgasing 人員：氨、硫化物 災害：溢出的化學物質 外部空氣： 循環空氣：
可编辑ppt
4
SEMI F21-95 分類
Acid Base Condensable Dopant
可编辑ppt
5
ACID
一種腐蝕性物質其化學反應性質為電子 接受者
HF(Hydroflouric Acid)氫氟酸、 HNO3 （ Nitric Acid ）硝酸、H3PO4 （Phosphoric Acid）磷酸…
可编辑ppt
17
比較AMC 與Particle(class 1)
尺寸
AMC 3nm
Particle 100nm
數量
3x 1013/m3
29 /m3
質量
5ng/m3
1pg/m3
可编辑ppt
18
分子性污染 - I
化學性污染 – 非粒子 – 氣相污染 把分子視為比細塵小數十倍至數百倍數
千倍的粒子 物理性質：數量大、重量輕、擴散 化學性質：有能力與他種化學物質反應
可编辑ppt
12
無塵室濃度 - Dopant
Contaminant Concentration Range (ppt)
Boric Acid Phosphorous Arsine
ND ND ND
可编辑ppt
200k 5k
<50k
13
AMC之影響
T-topping of resist by organic bases
22
比較
揮發性有機物 臭氧 二氧化氮 酸 HCl, HF, 氯 硫化氫 二氧化硫 有機硫 硝酸
Carbon 8 10 6 0 1 7 5 6
可编辑ppt
KMNO4 2 2 4 0 8 8 8 6
KOH 6 10 9 8 10 9 9 9
23
濾材的種類
顆粒型 植入不織布型 不織布包覆型
可编辑ppt
可编辑ppt
8
無塵室濃度 - BASE
Contaminant Concentration Range (ppt)
Ammonia NMP
10k 20k
可编辑ppt
200k 300k
9
CONDENSABLE
一沸點高於室溫的物質（非水）於大氣 壓力下可凝結於清潔表面
Hydrocarbons VOC、 DOP
產生不同的東西
可编辑ppt
19
作用的方式
吸附－污染物與吸附體間的物理作用力。 活性碳、Silica Gel、活性鋁（氧化鋁）
反應－污染物與吸附體間產生化學反應 產生不揮發性物質。活性碳、活性鋁為 基質化學吸附劑-改質活性碳
Hale Waihona Puke 可编辑ppt20改質活性碳
一些小分子化學物質如HF、NH4+ 等活性 碳幾乎沒有辦法處理必須使用改質碳
Forms crusty surface on resist - ammonia
Defective epitaxial growth
Unintentional doping
Uneven oxide growth
Changes in surface properties, wettability, hydrophobization
•Etch rate shifts and corrosion
ETCH
•SiC formation following pre-oxidation clean DF
•Threshold voltage shifts
QA
•Nucleation irregularities (CVD)
TF
•High-efficiency particulate air (HEPA) filter degradation FE
可编辑ppt
6
無塵室濃度 - ACID
Contaminant Concentration Range (ppt)
HF
40k
250k
HNO3 H3PO4 H2SO4
20k
250k
10k
400k
10k
300k
可编辑ppt
7
BASE
一種腐蝕性物質其化學反應性質為電子 提供者
Ammonia、NMP、Methylamine
可编辑ppt
10
無塵室濃度 - CONDENSABLE
Contaminant Concentration Range (ppt)
Acetone
20k
250k
Toluene
10k
200k
可编辑ppt
11
DOPANT
一化學元素會改變半導體原料的電性 Boron（硼）、Phosphours（磷）
Arsenic（砷）
改質活性碳是一種反應型
過錳酸鉀－約含 4% KMNO4-屬於萬用型， 但對含硫物質較佳
酸性－約含 10%磷酸，醋酸 鹼性－約含 5 – 10% 氫氧化鈉
可编辑ppt
21
一些影響活性碳的因子
活性碳的顆粒大小 溫度 溼度 污染物本身的化學性質 影響吸附型的因子不一定會影響反應型
可编辑ppt
CARBON FILTER
可编辑ppt
1
內容
AMC的來源與分類 AMC之影響 濾材種類與形式 濾網種類 考慮事項 檢測與監測
可编辑ppt
2
AMC : Airborne Molecular Contamination
可编辑ppt
3
無塵室的AMC：來源
製程化學品、反應副產物
溶劑 酸 鹼
Corrosion
Decreased metal pad adhesion
Silicon Carbide formation
可编辑ppt
14
AMC之影響 - I
Deep ultraviolet (DUV) photoresist T-topping PHOTO
•Uncontrolled boron or phosphorus doping DF