磁控溅射仪操作规范
桌面式磁控溅射仪安全操作及保养规程
桌面式磁控溅射仪安全操作及保养规程前言磁控溅射是一种薄膜制备技术。
在实验中，操作规程的遵守和设备的维护是确保实验成功运行和保证操作安全的重要环节。
本文档旨在提供一份完善的磁控溅射仪的操作和保养规范，以便实验人员遵守，在保证实验安全的前提下，取得更好的实验结果。
安全操作规程操作前准备1.磁控溅射仪操作前需要佩戴防护手套，以免触摸表面造成人体损伤或者使样品污染。
2.鼓风机、备料器、真空泵、离子源等附属设备都应该经过检查，确保正常工作。
3.磁控溅射仪应该安装在较为稳固的工作台上, 并连接好地线。
样品放置1.样品的面向离子源的一面需要平整，并保持进行擦洗和超声波清洗，避免各种杂质附着。
2.样品放置的位置需要注意：应该放在离子源正下方，可以选择放置在省略口里、盛装材料的桶里或者浇口前，从而避免样品放置不平或不稳定。
操作过程1.打开磁控溅射仪开关，等待加热棒达到设定的高温。
该过程可能需要等待5-10分钟，实验人员需要关注加热棒的状态，以确保安全操作。
2.向磁控溅射仪的离子源加入稳定的靶材料，通电，让靶材料进行放电。
此时，室内气体将被放电，引起碰撞，使介入到的石墨被离解，最后沉积在样品表面。
3.沉积完成后，应该等待磁控溅射仪的温度降低至正常温度，并将样品从夹具中取下备用。
操作后整理1.在样品取出后，关闭磁控溅射开关，将离子源从磁控溅射仪中拆除，清理靶材料和离子源。
2.将样品送到显微镜下进行检查和测试，并将其保存在样品柜中。
维护保养方法日常维护1.磁控溅射仪禁止长时间不使用，应该在使用之前进行充分检查，以确保正常工作。
2.清洁进入工作室的空气。
在每个操作结束后通风室至少10分钟以上，有效避免氧化或异物回流造成的影响。
3.定期检查磁控溅射仪中压力表、气瓶的液位以及腐蚀和氧化等痕迹，若出现异常，应该立即进行维修或者更换。
涂层异常情况的处理1.表面不平整：如果样品表面出现不均匀、不平整等情况，应该从样品放置和离子源的放置方面加强调整。
实用实验磁控溅射操作规程
磁控溅射操作规程1、开电闸开关D（磁控溅射总电源和空调），E（电风扇和射频电源），F（循环水）。
打开程序控制器，按下“放气”阀，充入N2气。
当指示灯从真空跳到大气时，关闭N2气，把充气罐移走。
2、按按钮“升”，升起腔盖，放时样品和靶材。
一个直流靶位，二个射频靶位。
直流靶只能溅射导体。
（Ar+溅射在绝缘体不中和形成高压）3、按按钮“降”，降腔盖（注意：如果控制失灵，应立即关闭控制器开关）。
盖好的判断是：盖上盖后，能摇动升降柱（送皮带送到头，然后再拉回一个皮带，再试升降柱，如果不行，再试一次）。
4、按按钮“低抽”，机械泵进行抽真空，程序控制器面板上显示从“大气”到“真空”。
当压强小于1.0×10Pa时（一般为8.7Pa左右），打开循环水进出阀（共四个阀门），再打开循环水总开关F，启动隔壁房间内的循环水。
循环水进出阀横是开、纵是关。
5、在程序控制器中打开“高抽”阀。
再启动分子泵电源：先按下启动总开关，到显示屏幕显示450HZ时，再按“启动”键，可以看到转速在上升，直至450HZ。
6、当离子规小于1.0×10－2Pa时，打开程序真空计电源。
7、当程控真空计显示达到1.5×10－3Pa时，打开照明（旋钮打到最大），相当于除气（使腔体内壁上分子脱离），可以看到气压求数变大（真空计）。
同时打开流量显示仪预热和打开射频电源预热，然后关闭照明（旋钮打到最小）。
8、如果要加热样品，则把开关由“照明”切换到“加热”，打开温度显示屏底下的加热开关，并通过旋动温度显示屏下方的小旋钮调节设置温度。
9、到达预计压强8.4×10－4Pa左右时，关闭程控真空计。
打开“充气”阀，关闭“高抽”阀，打开Ar气罐总阀，再打开减压阀（不要超过一小格），控制Ar流量。
真空计打到“contr”档，打开流量计“阀控”，先将真空计拨到0.5，流量计也拨到0.5，当流量计求数开始变动时，再将真空计拨到3.0，同时拨动流量计示数（约在87左右），目的是让求数打到3Pa。
三靶磁控溅射仪安全操作及保养规程
三靶磁控溅射仪安全操作及保养规程一、引言三靶磁控溅射仪是一种常用于薄膜制备的设备，广泛应用于半导体、光电子、材料科学和化学等领域。
本文主要介绍三靶磁控溅射仪的安全操作及保养规程，以确保设备的正常运行和工作环境的安全。
二、设备介绍三靶磁控溅射仪主要由五个部分组成：真空室、真空系统、靶材供应系统、成膜系统和控制系统。
具体的设备结构和工作原理可参考设备的相关说明书和操作手册。
三、安全操作规程3.1 设备操作前的准备工作1.对设备进行仔细检查，确保所有的部件和连接件处于正常状态；2.确认真空系统处于正确的工作状态，并在必要时进行泄漏测试；3.给所有的操作人员提供必要的安全培训，确保他们完全理解该设备的安全操作规程和操作手册。
3.2 设备操作注意事项1.禁止在设备旁吸烟、喝食物或饮料；2.确保所有的电线和管道都正确连接，并保持设备周围的整洁；3.确认设备处于安全的工作状态；若发现任何异常情况，立即停机并进行检修；4.操作时必须佩戴防护手套、眼镜和口罩，避免对人体造成伤害；5.禁止向真空室内部投入任何金属和非金属固体或液体物质。
3.3 设备操作后的注意事项1.关闭所有操作箱和门，以避免不必要的触摸或接触；2.清理设备，包括真空室和靶材区域，确保其保持干燥和清洁；3.关闭所有的电源和气源开关，切断设备电源；4.记录设备的使用时间和维护状态，以方便后续的维护和日常维护。
四、设备保养规程4.1 日常保养1.定期检查真空度并清洁真空室内的灰尘和杂质；2.定期检查靶材状态和替换新的靶材；3.定期检查并更换机械泵的油和耗材，以确保机械泵正常工作；4.定期清理和更换设备过滤器，并确保其正常工作状态；5.定期对设备进行维护和检修。
4.2 清洁保养1.使用干净的布或棉布清洁设备表面以去除油脂和污垢；2.用清洁剂和水分别清洗真空室和靶材区域；3.清洗设备后应彻底擦干并排水，以避免氧化和腐蚀。
五、总结三靶磁控溅射仪是一种高精度的制备设备，为了确保设备的正常工作和工作环境的安全，必须按照本文所述的规程对其进行安全操作和保养。
磁控溅射与分子束外延安全操作及保养规程
磁控溅射与分子束外延安全操作及保养规程1. 引言磁控溅射和分子束外延是一种常用的薄膜生长技术，广泛应用于材料科学、表面工程、光电子学和纳米器件制备等领域。
然而，这些技术涉及高温、高真空和高能量密度等危险因素，因此在操作过程中必须严格遵循安全操作规程，以确保实验人员的人身安全和设备的正常运行。
本文将介绍磁控溅射和分子束外延的安全操作规程和日常保养注意事项。
2. 磁控溅射安全操作规程2.1 准备工作•安全防护：佩戴防护眼镜、手套和防护服，确保人身安全。
•仪器检查：检查溅射装置的各个部件是否完好无损，确保仪器正常工作。
•工作环境：确保操作场所干燥、通风良好，避免引发火灾和爆炸。
2.2 操作步骤1.打开溅射装置的真空泵，并监控真空度的变化，确保达到所需的工作真空度。
2.将待沉积的靶材安装到溅射装置中，并确保靶材表面干净平整。
3.连接电源，确保正负极的接线正确，避免电源短路。
4.打开气体进气阀，将工作气体注入溅射装置，注意控制气体流量和压力。
5.打开溅射源开关，产生磁场并加热靶材，开始溅射过程。
6.溅射结束后，关闭气体进气阀，关闭溅射源开关，待装置冷却后方可停止真空泵运行。
7.清理工作区域，清除沉积物和废气，保持工作区环境整洁。
2.3 安全注意事项•高真空环境下操作时，避免突然打开大气门，以免引起爆炸或损坏真空装置。
•注意靶材的选择和安装，避免使用破损或有毒的靶材。
•在溅射过程中，要随时检查溅射源和真空泵的运行情况，确保仪器正常工作。
•操作过程中禁止随意触碰溅射源和加热装置，以免烫伤。
•操作完成后，尽量将溅射装置恢复至初始状态，避免对下次实验产生影响。
3. 分子束外延安全操作规程3.1 准备工作•安全防护：佩戴防护眼镜、手套和防护服，确保人身安全。
•仪器检查：检查分子束外延装置的各个部件是否完好无损，确保仪器正常工作。
•工作环境：确保操作场所干燥、通风良好，避免引发火灾和爆炸。
3.2 操作步骤1.打开分子束外延装置的真空泵，并监控真空度的变化，确保达到所需的工作真空度。
磁控溅射仪操作手册
磁控溅射仪操作手册一．设备开机：1.确认室内工作环境适合磁控溅射仪工作。
2.开电源。
在总闸打开的情况下，打开控制磁控溅射仪用电的设备开关②；开磁控溅射仪的电源开关。
3.等显示屏上能看见炉腔真空度开冷却循环水。
4.将空气阀开关调至半开状态,开氩气瓶，氧气瓶和氮气瓶至0.1MPa。
5.开分子泵。
显示屏进入正常模式之后，调制AUTO档点“AUTO PUMP”自动开启机械泵和分子泵。
然后仪器自动抽取分子泵待。
前级阀（Backing Valve）和高阀（Hi-Va）依次变绿开始抽取主真空室真空。
二．放样Ⅰ.进样1）在Arm@Home是绿色的情况下，点击“LL AUTO VENT”，送样室开始放气。
2）放完气之后，开送样室的大门，将放有待镀膜的样品的工件盘放入送样线的机械手上，关上送样室的大门，合上大门的开关。
3）点击“LL AUTO PUMP”（根据需要可能需要两次），开始给送样室抽取真空。
待LL AUTO PUMP由绿变红时，抽取真空完毕。
Ⅱ.送样1）点击“LL ISOLATION VALVE”,将进样室和主真空室的阀门打开即可开始送样。
2）传送样品时，将控制进样的“UP-DOWN”开关调到“UP”档,逆时针转动转盘，当带有工件盘的机械手到达主真空室的对应位置。
3）将控制进样的“UP-DOWN”开关调到“DOWN”档，即将工件盘送入主真空室对应工的件台上。
4）顺时针转动转盘，直至机械手移至送样室对应的部位，这时能听到进样室和主真空室的阀门关闭的响动信号，此时机械手已经归位。
三．样品清洗（AUTO模式）1.选择自动模式，依次点击“Navigate”,“AUTO CONFIGURATION”进入自动挡的电源选择界面。
2.在自动挡的电源选择界面选取偏压溅射，设置偏压溅射的参数，可以参考如下图。
设置好偏压功率，溅射时间，工件盘旋转速率，本地真空，气体流量。
3.点击“Overview”进入主界面，观察腔室的真空度，如果真空度未达到5×10-6Torr需要灌液氮辅助抽真空。
磁控溅射操作规程
磁控溅射设备操作规程开机过程1.开电柜A水阀（注意有两水路，阀门上标签为电柜左(A)，电柜右(B)）.2.开电柜A总控制电源.3.开机械泵，打开旁抽阀V1,开低真空计电源，用机械泵抽至机械泵抽压极限(或5Pa 以下).4.关闭旁抽阀V1.开闸板阀G，开前级阀（电磁阀DF1）5.观察低压真空计示数是否稳定(稳定时即为系统不漏气)，待稳定后开分子泵(KYKY)总电源.6.观察分子泵显示窗口为闪动的450Hz时，按下分子泵启动按钮，分子泵加速.7.当分子泵转速稳定，窗口显示为450Hz后，按下高真空计DL-7电源按钮，观察真空室真空度，等待达到溅射所需的本底真空度(一般为10-4Pa).溅射过程1.关闭高真空计DL-7(!进气之前一定要关闭，否则高真空计会被损坏)，然后打开充气阀V2，再打开截止阀V5.2.开氩气瓶总阀，开减压阀，观察其指示小于1.5格(三个大气压)即可.3.开质量流量计电源，将MFC1打到阀控位4.关小闸板阀G，此调节过程配合旋动旋钮调节气体流量，使低压真空计示数（直流溅射一般为2~5Pa之间，射频一般在5-8Pa之间）.5.开电柜B水阀，开电柜B总控制电源.(1).直流溅射：开电柜B中相对应靶位直流溅射电源，调节功率使使靶上方氩气电离启辉.旋转功率调节旋钮，使溅射功率达到所需要的数值.待板压和板流稳定后，转动挡板和转盘，转动挡板和转盘到相应的靶上，开始溅射并计时.溅射完毕后，将功率调节旋钮逆时针调到最小，按下停止按钮.然后关闭电柜B的总控制电源.(2).射频溅射：按下电柜B中射频功率源的Uf按钮，电子管预热5-10分钟.按下Ua的开始按钮，通过Ua粗调和细调增大板压，使靶上方氩气电离启辉.调节SP-II 型射频匹配器的C1,C2(调节一个时，另一个不动)，使反射功率最小，驻波比小于1.5.增大Ua,调节匹配器的电容使反射功率始终最小，如此反复调节使溅射功率达到所需要的数值.预溅射几分钟后，转动挡板和转盘到相应的靶上，即可开始溅射.(3).溅射完毕后，将Ua调到最小，按下Ua的停止按钮.等待几分钟后按下Uf按钮.然后关闭电柜B的总控制电源.（如果需要给衬底加热，方法同退火过程的5，6步骤）.靶挡板和转盘的转动：可通过电脑上的控制软件或手动转动.注意转盘和样品挡板同时转动前一定要检查定位插销，不能使转盘被卡住；只对样品进行转动操作前，需要将样品挡板卡住；为了不使加热电缆缠绕，不能大角度转动转盘.6.溅射完毕后，关闭氩气的过程：先关气瓶总阀，后关减压阀，再将MFC1打到关闭，待流量计显示为0后关闭流量计电源.先关V5后关V2，开大闸板阀G，让分子泵将真空室抽至高真空.退火过程1.开加热控温电源，调节设定退火温度，加热电流初始调至2A，过2分钟左右依次调至4A,6A,8A，注意不要使电流太大.2.温度显示为设定温度时开始计时(退火时间).关机过程1.待真空室抽到高真空（10-4帕），关闭闸板阀G.2.按下分子泵停止按钮，分子泵减速，当频率显示低于50Hz时，关闭前级阀.3.按机械泵按钮，停止机械泵.当分子泵停止频率显示为闪动的450Hz时,关闭分子泵总电源.分子泵显示窗口显示P.OFF后关闭总控制电源.4.关闭水阀，放回排气管，关严窗户.更换样品过程1.打开放气阀(V4)，使真空室和外界压强相等后，关闭放气阀V4.2.打开电柜A水阀及电柜A总控制电源，确保拔出定位插销后，按下升按钮，升起真空室盖到适当高度..3.取下样品托，更换样品.4.将真空室顶盖小心推至真空室正上方，按下“降”按钮.小心缓慢的将真空室顶盖降下，真空室顶盖降到不能自动再降电动机会自动停止.更换靶材过程（起始过程同上述1.2.）1．用螺丝刀拧开固定靶挡板的四个螺丝，将靶挡板小心取出.旋起靶罩并将其取出，后用内六角螺丝刀将靶盖的固定螺丝拧松，取出靶罩和靶材.将新的靶材放在铜靶托上，盖上靶盖，拧上螺丝.重新旋上靶罩，使靶罩和靶盖间留有一定的间隙(1-3mm或稍大)，两者不能接触，因为在溅射电源开时，靶罩为阳极，靶和靶盖为阴极(对直流溅射而言)；对射频溅射电源来说，两极一直在交替.靶罩和靶盖相接触的话，即为短路(这一步骤必须戴布手套操作，避免手汗及油脂对真空室引入污染).5.放入靶挡板，用螺丝刀拧紧固定螺丝.6.将真空室顶盖小心推至真空室正上方，按下“降”按钮.小心缓慢的将真空室顶盖降下，真空室顶盖降到不能自动再降时电动机会自动停止.！！！请各位实验操作人员严格按照此规程操作，如有失误造成损失自行负担责任.磁控溅射设备实验室。
二极磁控溅射仪安全操作及保养规程
二极磁控溅射仪安全操作及保养规程危险性二极磁控溅射仪是一种高压电器，若不按规定操作，可能会对人体和仪器造成危害。
以下是可能的危险性：1.电击2.烧伤3.化学危险4.烟雾危险安全操作规程操作前在进行任何操作之前，必须先浏览仪器的使用手册，并遵守下列安全操作规程：1.进入实验室前，必须穿戴好实验室要求的防护设备，包括但不限于实验服、手套、护目镜等。
2.必须保证二极磁控溅射仪的间隔器都处于关闭状态。
3.切断所有电源。
4.如果需要已经被安装在仪器上的目标材料或样品，必须先检查其是否已经在正确的位置。
操作中在操作过程中，必须遵循下列安全操作规程：1.仅当间隔器处于关闭状态时才能打开操作室门。
在打开操作室门时，需要保证仪器内没有人。
2.在所有的操作过程中，必须佩戴合适的防护服，并且不允许使用任何有飞溅的材料。
3.操作人员需要远离充电电容和电源，并且避免触摸任何电气部件和内部部件。
4.操作人员在操作仪器时，必须始终保持警觉。
不得进行无谓的嬉闹和玩弄。
操作后在操作完成后，必须执行下列安全操作规程：1.所有的控制开关必须拨至“关”位置。
仪器的热部分需要冷却至少20分钟，再进行保养维护。
2.设置读数器的接线端口后，必须断开仪器的电源，并且精心清洁仪器。
3.在保养过程中，必须佩戴手套，并且远离各类化学品，以及与二极磁控溅射仪结构类似的仪器有关的设备。
保养规程二极磁控溅射仪的维修保养是保证仪器稳定运行的重要条件。
以下是二极磁控溅射仪常规的保养规程：1.检查电源电线，以确保所有的电线都处于绝缘状态，没有暴露的导线。
2.定期检查间隔器是否处于绝缘状态。
3.定期检查溅射枪的固定螺钉。
4.定期检查仪器的机械部件是否存在磨损等问题。
5.检查仪器内部是否存在针尖金属、碎片、钢丝等异物。
结论二极磁控溅射仪是一种高压电器，如果不遵循规定操作和保养规程，可能会对人体和仪器造成极大的危害。
在操作和保养二极磁控溅射仪时，一定要慎重。
必须按安全操作规程操作，并按照维护保养规程进行二极磁控溅射仪维护保养。
磁控溅射仪操作手册
磁控溅射仪操作手册一．设备开机：1.确认室内工作环境适合磁控溅射仪工作。
2.开电源。
在总闸打开的情况下，打开控制磁控溅射仪用电的设备开关②；开磁控溅射仪的电源开关。
3.等显示屏上能看见炉腔真空度开冷却循环水。
4.将空气阀开关调至半开状态,开氩气瓶，氧气瓶和氮气瓶至0.1MPa。
5.开分子泵。
显示屏进入正常模式之后，调制AUTO档点“AUTO PUMP”自动开启机械泵和分子泵。
然后仪器自动抽取分子泵待。
前级阀（Backing Valve）和高阀（Hi-Va）依次变绿开始抽取主真空室真空。
二．放样Ⅰ.进样1）在Arm@Home是绿色的情况下，点击“LL AUTO VENT”，送样室开始放气。
2）放完气之后，开送样室的大门，将放有待镀膜的样品的工件盘放入送样线的机械手上，关上送样室的大门，合上大门的开关。
3）点击“LL AUTO PUMP”（根据需要可能需要两次），开始给送样室抽取真空。
待LL AUTO PUMP由绿变红时，抽取真空完毕。
Ⅱ.送样1）点击“LL ISOLATION VALVE”,将进样室和主真空室的阀门打开即可开始送样。
2）传送样品时，将控制进样的“UP-DOWN”开关调到“UP”档,逆时针转动转盘，当带有工件盘的机械手到达主真空室的对应位置。
3）将控制进样的“UP-DOWN”开关调到“DOWN”档，即将工件盘送入主真空室对应工的件台上。
4）顺时针转动转盘，直至机械手移至送样室对应的部位，这时能听到进样室和主真空室的阀门关闭的响动信号，此时机械手已经归位。
三．样品清洗（AUTO模式）1.选择自动模式，依次点击“Navigate”,“AUTO CONFIGURATION”进入自动挡的电源选择界面。
2.在自动挡的电源选择界面选取偏压溅射，设置偏压溅射的参数，可以参考如下图。
设置好偏压功率，溅射时间，工件盘旋转速率，本地真空，气体流量。
3.点击“Overview”进入主界面，观察腔室的真空度，如果真空度未达到5×10-6Torr需要灌液氮辅助抽真空。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
JSD450-Ⅲ型磁控溅射镀膜机
操作步骤及规范
开机
1、打开冷水机。
设定温度：冬天10-15℃，夏天5℃
2、打开放气阀破真空，然后关闭放气阀（之后整个工作过程务必保证放气
阀均是关闭状态。
本机阀门均是逆时针打开，顺时针关闭）
3、打开总控电源
4、打开真空计（电阻单元真空范围10Pa，电离单元0.1-10-6Pa）
5、打开灯，检查镀膜腔是否关紧（观察腔四周是否有光线）
6、打开机械泵电磁阀，此时务必保证放气阀已经关闭！！！
7、打开预抽阀
8、当压强达到10Pa以下打开分子泵→运行→关闭预抽阀→完全打开插板阀工作
1、当腔内压强真空度达到要求后，打开气罐（指针调至刻度1-2之间），关
小插板阀，仪器的工作气压为1-10Pa。
2、关闭电离单元按下“自动”→电离→打开进气阀→流量计（mL/min）
3、在保持输入气体比例基本不变的条件下调节进气量或者调节插板阀使气
压处于1-10Pa，最好是5Pa，流量计开关一般在“阀控”。
4、打开射频开关“ON”观察有无起灰，若无起灰再调节功率或进气量
关机
气体流量计归零→关闭状态→关闭进气阀→关闭控气阀→关闭插板阀→关闭气瓶→射频/直流功率归零→“OFF”→温度电源归零关闭→流量计关闭→分子泵停止待转速归零→关闭开关→关闭电磁阀→关闭机械泵→放气阀打开→放完气以后关闭。