第四章-光学干涉测量技术
光学干涉技术的应用及未来发展趋势
光学干涉技术的应用及未来发展趋势光学干涉技术是一种高精度测量技术，利用光波的干涉现象测量物体的形状、表面误差、扭曲等参数。
随着科技的进步和应用领域的扩展，光学干涉技术的应用范围越来越广泛，未来发展潜力也很大。
一、光学干涉技术的基本原理和分类光学干涉技术的基本原理是通过比较光的干涉效应来实现测量目标的形状和表面状态。
其中，常用的干涉现象有菲涅尔、杨氏、薄膜干涉等。
按照干涉光路的配置可以将光学干涉技术分类为两类：点干涉和面干涉。
点干涉技术又称为单点干涉技术，主要包括：激光干涉仪、石英晶体干涉仪、法布里-珀罗干涉仪等。
这些工具可以实现非常高精度的目标测量，例如，通过激光干涉仪可以测定销轴和端面的径向和切向距离误差、平面和圆度误差等。
面干涉技术又称为全息干涉技术或者纹影干涉技术，常见的应用包括：纳米位移量测量、三维形状重建、表面形态分析、微观结构测量等。
这种技术通常需要复杂的光源和干涉仪器装置，但是测量实现起来非常快速和精准，价值巨大。
二、光学干涉技术的应用光学干涉技术的应用领域非常广泛，涉及机械工程、光学、化工、生物医学、建筑等多个领域。
以下分别讨论不同的应用场景。
1.精度制造业在航天航空、电子硬件、汽车制造等领域中，光学干涉技术是必不可少的。
在航天航空领域，通常需要使用高精度制造机器部件，因此，需要使用光学干涉测量技术确保高精度加工结果。
在汽车制造领域中，光学干涉技术可以帮助厂商确保汽车零件的尺寸和质量。
2.生物医学科研在生物医学研究中，光学干涉技术可以用于检测细胞、组织和体积的形态结构及拓扑性质。
例如，可以应用红外干涉技术测量角膜厚度，提高白内障手术的成功率。
3.电子工业在电子工业中，光学干涉技术可以帮助测试和测定微型器件的误差和半导体材料的缺陷。
三、光学干涉技术未来的发展趋势由于光学干涉技术在现有领域中的应用广泛，我们可以预见到未来它在更多领域中得到开发使用。
以下列举几个未来发展趋势。
1. 3D打印3D打印技术是在早期阶段已经得到了应用，但是未来可能会基于光学干涉技术取得更大的成功。
光学干涉：利用光波的干涉现象进行测量
光学干涉：利用光波的干涉现象进行测量光学干涉是一种利用光波的干涉现象进行测量的方法。
在这种方法中，通过观察光波的干涉条纹模式，可以得到待测物体的某些性质的信息。
在本文中，我将详细介绍光学干涉的原理、实验的准备和过程，以及该方法在科学研究和应用中的专业性角度。
光学干涉的原理可以通过两个关键定律来解释：菲涅尔原理和互补原理。
总结而言，这两个原理都指出光波在不同路径上的干涉会产生明暗相间的干涉条纹。
首先是菲涅尔原理，该原理说明了光波通过一个缝隙或其他纤细的区域时会发生衍射。
当光波通过两个或多个阵列的缝隙时，光波会在不同的路径上发生衍射，并在某些地方产生干涉、增强或减弱。
这样的干涉模式，即干涉条纹，可以通过观察和测量来获取物体的相关信息。
接下来是互补原理，该原理说明了两个不同光源的光波相互干涉时会产生明暗相间的条纹。
这种干涉是由于两个光源的波长不同，当它们在空间中重叠时，会发生相位差，从而形成干涉现象。
通过观察和测量这些干涉条纹，可以研究和测量光源的性质以及中间介质的光学特性。
在进行光学干涉实验之前，我们首先需要做一些准备工作。
这包括选择适当的光源、准备干涉装置、调整和校准实验装置等。
光源的选择是非常关键的，常见的光源有激光器和白光源。
对于一些特殊的应用，我们可以使用光谱辐射源来观察物体的光谱特性。
在实验中，光源经过干涉装置（如双缝装置或分束器）后，会形成干涉条纹。
观察和记录这些条纹的模式是实验的重要步骤。
对条纹模式的研究可以揭示出物体的尺寸、形状以及光学特性等方面的信息。
在实验中经常使用的一种方法是扫描干涉仪。
该仪器通过改变光路差来观察干涉条纹的变化。
通过记录不同条件下的条纹模式，可以计算出待测物体的相关参数。
例如，根据干涉条纹的宽度和间距，可以计算出物体的厚度和折射率，从而实现测量和分析物体的物理特性。
光学干涉在科学研究和应用领域具有广泛的应用。
在材料科学中，通过干涉条纹的形态和变化，可以研究材料的表面形态、薄膜的厚度以及材料的变形等信息。
第4章 光学干涉测量技术
武汉大学 电子信息学院
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§4.1 干涉测量基础
（二）干涉条纹的处理方法 1、数字波面的获取 干涉仪检测光学元件面形，对获得的干涉图进行数字化转换，并 由计算机替代人眼进行判读，即为数字干涉法。在对模拟干涉图像进 行数字化转换后，需要提取干涉图上的条纹信息，即确定干涉条纹的 中心点坐标及干涉级次。一般处理过程需要如下几个步骤： (1)背景滤除：对原始图像进行预处理； (2)二值化：使干涉图变为二值化图像； (3)细化：保留条纹中心曲线，从而提取出条纹上点的坐标； (4)修像：去除细化图像中的干扰信息，修改间断点； (5)标记：对干涉条纹进行跟踪、标记不同条纹的干涉级次； (6)采样：用等间距采样现贯穿干涉图像区间，均匀设置采样点。 采样结束后即完成了对数字化干涉图像的图像处理过程，获得了 离散的、采样点基本均布的波面数据集合（x,y,p）。在经过后续的波 面拟合计算等可以得到波面数字分布。
光学测试技术
第四章 光学干涉测量技术
2013年5月26日
干涉技术和干涉仪在光学测量中占有重要地位。近年来，随 着数字图像处理技术的不断发展，使干涉测量这种以光波长作为 测量尺度和测量基准的技术得到更为广泛的应用。 在光学材料特性参数测试方面，用干涉法测量材料折射率精度 可达10-6；对材料光学均匀性的测量精度则可达10-7； 用干涉法可测量光学元件特征参数，用球面干涉仪测量球面曲 率半径精度达1μm，测量球面面形精度为1/100λ；用干涉法测量 平面面形精度为1/1000λ；用干涉法测量角度时测量精度可达 0.05″以上； 在光学薄膜厚度测试方面，用干涉法测厚的精度可达0.1nm； 在光学系统成像质量检验方面，利用干涉法可测定光学系统的 波像差，精度可达1/20λ，并可利用干涉图的数字化及后续处理 解算出成像系统的点扩散函数、中心点亮度、光学传递函数以 及各种单色像差。
第四章光的干涉
§6 激光谐振腔的选模原理
据相干加强条件 2nh=m m=1,2,3…; ∵ =c/ ∴满足相干加强的频率为 m= mc / 2nh(纵模)
相邻两纵模间隔 q= m+1- m= c / 2nh
相邻两纵模间隔 q= m+1- m= c / 2nh
例: He-Ne激光器中,原子发出的0=4.7×1014HZ （ 0 =632.8nm） 谱线的宽度=1.5×109HZ。 如果He-Ne激光器的腔长h=10cm，n≈1。问有多 少个纵模输出？如果h=30cm呢?
解: 相邻的两纵模间隔 q= m+1- m= c/2nh
1) 若激光器的腔长h=10cm 激光器输出的纵模个数
N= / q=1
2) 若激光器的腔长 h=30cm
N= / q= 3
§7 光学薄膜
镀膜技术
用真空蒸发、沉淀或甩胶的方法,在璃或 光滑的金属表面涂、镀一层很薄的透明电介质 或金属膜层。
空气
三．应用
1． 可测光的波长，透明薄膜的厚度， 折射率等。
2．可测光波的相干长度 max =L0= 2/ 。
§5 法布里—珀罗干涉仪 一．法布里—珀罗干涉仪的结构
扩展源
准直透镜
分束板，内侧镀膜 会聚透镜
G1,G2间,间距h可调—法布里-珀罗干涉仪
G1,G2间,间距h固定—法布里-珀罗标准具
多光束相干光在L2焦平面上形成等倾圆环条纹
h=mmax/2。 若膜厚发生变化dh,干涉级次发生变化dm
等倾条纹
M1
M1⊥M2 M1‖M max ↓ → mmax ↓
b. 若 h↑ → max ↑→ mmax ↑ 若dm=N，则dh=N/2，测量精度数量级
2．等厚条纹
光学实验技术中的干涉测量方法
光学实验技术中的干涉测量方法干涉测量方法是光学实验技术中一种重要的测量手段。
它通过利用光的干涉现象，实现对物体形态、尺寸和表面性质等参数的测量。
在现代科学研究和工程技术中，干涉测量方法得到了广泛的应用，涉及到光学、物理学、医学、材料科学等多个领域。
一、干涉测量方法的基本原理与分类干涉是指两束或多束光线的叠加现象。
当光线经过光学元件或物体后，它们会发生相位差，进而引起干涉现象。
干涉现象通过干涉条纹的变化来揭示光场的信息。
根据干涉条纹的产生原理，干涉测量方法主要分为两类：自发光干涉和外加光干涉。
自发光干涉是利用物体自身的发光特性产生干涉条纹，例如显微镜下的透射干涉、投影干涉和表面形貌干涉等。
外加光干涉是通过外部光源引入干涉现象，例如激光干涉、多波长干涉和相移法干涉等。
二、应用于形貌测量的干涉测量方法1. 二维轮廓测量利用激光干涉技术，可以实现对物体二维轮廓的高精度测量。
通过将物体反射的激光束与参考激光束叠加，利用干涉条纹的变化来推导出物体表面的高程信息。
2. 三维表面形貌测量三维表面形貌测量是干涉测量方法中的一个重要应用领域。
通过使用相移干涉技术，可以获取到物体表面的三维形貌信息。
相移干涉技术通过改变干涉条纹的相位来实现对物体表面形貌的测量。
3. 全息干涉术全息干涉术是一种高分辨率的干涉测量方法，常应用于光学图像的记录和再现。
通过将物体的三维信息录制在全息图上，并利用光学平台进行复原，可以实现对物体形貌的精确测量。
三、应用于材料测量的干涉测量方法1. 膜厚测量膜厚测量是干涉测量方法中的一个重要应用方向。
利用干涉技术可以测量薄膜的厚度和折射率等参数，从而评估薄膜的性能和质量。
2. 表面粗糙度测量表面粗糙度是材料表面质量的一个重要指标。
通过激光干涉技术，可以实现对材料表面粗糙度的快速测量。
激光束在入射和反射过程中会受到表面粗糙度的影响，从而引起干涉条纹的变化。
3. 液体折射率测量干涉测量方法还可以应用于液体折射率的测量。
光学干涉实验技术使用指导
光学干涉实验技术使用指导光学干涉实验是一种重要的实验方法，广泛应用于科学研究和实际应用中。
本文将为您提供一些关于光学干涉实验技术使用的指导，帮助您在实验中取得准确的结果。
1. 实验原理简介光学干涉实验利用光的波动性质，通过光的相位差的变化来观察和测量物体的性质或者直接研究光自身的特性。
通过光的干涉现象，可以测量光的波长、厚度、折射率等物理量。
2. 实验装置搭建光学干涉实验需要使用到一些基本的实验装置，如光源、物镜、平行光管、半反射镜、干涉片等。
在搭建实验装置时，要注意光路的对称性和稳定性，以保证实验的可行性和准确性。
3. 调节光源和平行光管在进行干涉实验前，首先需要调节光源和平行光管，以确保实验装置中的光是平行的。
调节光源的位置和角度，使光线垂直平行地射向平行光管。
调节平行光管的位置和角度，使通过平行光管的光线平行并聚焦于特定位置。
这样可以得到平行的光源，为实验的进行提供基础。
4. 干涉片的选择与使用在干涉实验中，干涉片是一个重要的装置。
干涉片的厚度、材质和透明度等特性将直接影响到实验结果的准确性。
选择合适的干涉片是至关重要的。
如果需要观察干涉条纹，应选择高透明度的干涉片。
选择干涉片时也要根据实验的需求来，如测量物体的折射率需要选择合适的干涉片。
使用干涉片时，要注意保持干涉片的平行和垂直于光路的方向。
在测量折射率时，可以根据干涉片的位置变化来推算出物体的折射率。
5. 数据记录与处理在进行光学干涉实验时，准确的数据记录和处理是非常重要的。
可以使用光探测器等设备来记录干涉条纹的位置和强度等信息。
同时，还要注意实验环境的稳定性，避免外部因素对实验结果的影响。
在数据处理方面，可以使用计算机软件进行数据的拟合和分析。
根据实验需求，可以通过对干涉条纹的分析，得到所需的物理量，并进行更精确的实验结果的推导和分析。
6. 实验安全与注意事项在进行光学干涉实验时，也要注意实验安全和仪器的保护。
避免直接观察强光源，以免对眼睛造成伤害。
光学测量与光学工艺知识点答案
目录第一章基本光学测试技术 (2)第二章光学准直与自准直 (5)第三章光学测角技术 (9)第四章：光学干涉测试技术 (12)第六章：光学系统成像性能评测 (15)第一章 基本光学测试技术• 对准、调焦的定义、目的；对准又称横向对准，是指一个对准目标（？）与比较标志（？）在垂直瞄准轴（？）方向像的重合或置中。
例：打靶、长度度量人眼的对准与未对准：对准的目的：1.瞄准目标（打靶）；2.精确定位、测量某些物理量（长度、角度度量）。
调焦又称纵向对准，是指一个目标像（？）与比较标志（？）在瞄准轴（？）方向的重合。
人眼调焦：调焦的目的 ：1.使目标与基准标志位于垂直于瞄准轴方向的同一个面上，也就是使二者位于同一空间深度；2.使物体（目标）成像清晰；3.确定物面或其共轭像面的位置——定焦。
121'2'1'P 2'2''•人眼调焦的方法及其误差构成；常见的调焦方法有清晰度法和消视差法。
清晰度法是以目标与比较标志同样清晰为准。
调焦误差是由于存在几何焦深和物理焦深所造成的。
消视差法是以眼镜在垂直平面上左右摆动也看不出目标和标志有相对横移为准的。
误差来源于人眼的对准误差。
（消视差法特点：可将纵向调焦转变为横向对准；可通过选择误差小的对准方式来提高调焦精确度；不受焦深影响）•对准误差、调焦误差的表示方法；对准误差的表示法：人眼、望远系统用张角表示；显微系统用物方垂轴偏离量表示；调焦误差的表示法：人眼、望远系统用视度表示；显微系统用目标与标志轴向间距表示；•常用的对准方式；常见的对准方式有压线对准，游标对准，夹线对准，叉线对准，狭缝叉线对准或狭缝夹线对准。
•光学系统在对准、调焦中的作用；提高对准、调焦精度，减小对准、调焦误差。
•提高对准精度、调焦精度的途径；使用光学系统进行对准，调焦；光电自动对准、光电自动调焦；•光具座的主要构造；平行光管（准直仪）；带回转工作台的自准直望远镜（前置镜）；透镜夹持器；带目镜测微器的测量显微镜；底座•平行光管的用途、简图；作用是提供无限远的目标或给出一束平行光。
精密测量中的光学干涉技术
精密测量中的光学干涉技术光学干涉技术是一种基于光的干涉现象实现测量和检测的方法。
在精密测量领域，光学干涉技术被广泛应用于长度、角度、表面形貌等参数的测量。
本文将介绍光学干涉技术在精密测量中的应用以及其原理和发展。
一、光学干涉技术的原理光学干涉是指两束或多束光波相互叠加产生干涉图样的现象。
光学干涉技术利用光的波动性和干涉现象来实现测量和检测。
其原理可以概括为以下几点：1. 波动性：光是一种电磁波，具有波动性质。
光的传播遵循波动方程，根据不同的波长和频率，光可以传播为长波、短波以及可见光等不同类型。
2. 干涉现象：当两束或多束光波相遇时，它们会相互干涉叠加，形成干涉图样。
在干涉图样中，可以观察到明暗交替的条纹，这些条纹代表了两束光波的相位差和干涉程度。
根据干涉图样的变化，可以得到被测量物体的信息。
3. 波前成像：在光学干涉技术中，光波的波前形状是重要的测量对象。
通过测量光波的波前形状，可以得到被测量物体的表面形貌、形状、尺寸等参数。
二、光学干涉技术在精密测量中的应用1. 长度测量：光学干涉技术被广泛应用于长度测量领域。
通过调节参考光路和待测光路的光程差，可以实现高精度的长度测量。
其中，白光干涉仪和激光干涉仪是常用的光学测量仪器。
2. 角度测量：在角度测量中，光学干涉技术可以通过测量旋转的圆盘或平台上条纹的变化来确定角度的大小。
例如，倾斜式干涉仪和角度干涉仪都是常见的用于角度测量的光学装置。
3. 表面形貌测量：光学干涉技术可以用于检测物体表面的形貌和形状，如光学轮廓仪、激光扫描测量仪等。
这些设备能够高精度地测量物体的表面轮廓和几何形状，应用于工业制造、医学、材料科学等领域。
4. 折射率测量：光学干涉技术还可以用于测量光学介质的折射率。
利用干涉图样的变化特征，可以计算出被测介质的折射率值。
三、光学干涉技术的发展随着科技的进步和需求的不断增加，光学干涉技术也在不断发展和改进。
以下是一些光学干涉技术的发展趋势：1. 多波长干涉技术：通过使用多个波长的光源，可以实现更高精度的干涉测量。
《光学干涉测量技术》课件
单缝衍射
经过狭缝或者孔径时，光的波动性 质会表现出来，形成的干涉条纹与 缝孔大小、波长和距离有关。
光学干涉测量的应用
1 压力测量
2 位移测量
3 曲率测量
通过测量物体在力的作用下 的附加形变，计算得到物体 所受的压力大小。
测量物体的位移，用于判断 物体的形变和运动状态等。
通过测量物体曲面光程差的 变化，得到曲率大小。
全息术的出现和发展
全息术的出现使得光学干涉测 量技术可以更加直观的获取信 号，可以把干涉条纹能量全部 记录在一张全息图上。
激光技术的广泛应用
激光技术是现代光学干涉测量 技术中最为重要的技术之一， 提高了干涉信号的质量和稳定 性。
光学干涉测量技术的局限性和展望
环境因素的影响
干扰会随着环境的变化而变化， 例如温度、湿度、振动等环境因 素都可以影响信号的稳定性和精 度。
光学干涉测量技术
光学干涉测量技术是一种测量物体各种物理量(例如热涨缩、重量、位移、形 变等)的高精度非接触式方法，广泛应用于机械制造、光学制造、航空航天、 军工、半导体等领域。
光干涉仪的原理
1
光程差
光束沿不同路径传播，光程差会改变光的相
等厚线干涉
2
位，形成干涉条纹。
当光在具有一定曲率的光学元件(例如透镜)
4 表面质量检测
5 光学材料的折射率测量
检测制件表面的平整度、波纹度、径向误差、椭 圆度等指标。
通过测量光在材料中的传播速度等参数，计算得 到其折射率。
光学干涉测量技术的发展
数字化技术的应用
数字化技术的出现，对光学干 涉测量技术的发展起到了重要 的推动作用，大量传感数据的 分析、存储、处理和可视化等 随之而来。
光学干涉测量技术
光学干涉测量技术——干涉原理及双频激光干涉1、干涉测量技术干涉测量技术和干涉仪在光学测量中占有重要地位。
干涉测量技术是以光波干涉原理为基础进行测量的一门技术。
相干光波在干涉场中产生亮、暗交替的干涉条纹，通过分析处理干涉条纹获取被测量的有关信息。
当两束光亮度满足频率相同，振动方向相同以及相位差恒定的条件，两束光就会产生干涉现象，在干涉场中任一点的合成光强为：122I I I πλ=++式中△是两束光到达某点的光程差。
明暗干涉条纹出现的条件如下。
相长干涉（明）：min 12I I I I ==+， （m λ=）相消干涉（暗）：min 12I I I I ==+-， （12m λ⎛⎫=+ ⎪⎝⎭） 当把被测量引入干涉仪的一支光路中，干涉仪的光程差则发生变化。
通过测量干涉条纹的变化量，即可以获得与介质折射率和几何路程有关的各种物理量和几何量。
按光波分光的方法，干涉仪有分振幅式和分波阵面式两类。
按相干光束传播路径，干涉仪可分为共程干涉和非共程干涉两种。
按用途又可将干涉仪分为两类，一类是通过测量被测面与参考标准波面产生的干涉条纹分布及其变形量，进而求得试样表面微观几何形状、场密度分布和光学系统波像差等，即所谓静态干涉；另一类是通过测量干涉场上指定点干涉条纹的移动或光程差的变化量，进而求得试样的尺寸大小、位移量等，即所谓动态干涉。
下图是通过分波面法和分振幅法获得相干光的途径示意图。
光学测量常用的是分振幅式等厚测量技术。
图一 普通光源获得相干光的途径与一般光学成像测量技术相比，干涉测量具有大量程、高灵敏度、高精度等特点。
干涉测量应用范围十分广泛，可用于位移、长度、角度、面形、介质折射率的变化及振动等方面的测量。
在测量技术中，常用的干涉仪有迈克尔逊干涉仪（图二）、马赫-泽德干涉仪、菲索干涉仪、泰曼-格林干涉仪等；随着激光技术的出现及其在干涉测量领域中应用，使干涉测量技术在量程、分辨率、抗干涉能力、测量精度等方面有了显著的进步。
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逐渐下降。对线宽为Δλ的光源，其最大波列长度为：
2 Lm
表4-1（p77）给出了常用光源的相干长度的理论值。实际 的相干长度往往会小于相干长度的理论值。
精品课件
11
I
合成光强
0 0 1 1 2 2 3 3 4 45 5 6 + (/2)
波像差，精度可达1/20λ，并可利用干涉图的数字化及后续处
理解算出成像系统的点扩散函数、中心点亮度、光学传递函数 以及各种单色像差。
精品课件
2
--在光学检验方面，干涉测量法是一种通用性很好的测量方法，
适用于对材料、元件、系统等各种参量的检测；
--干涉测量法在各种参数的测量中，均具有很高的测试灵敏度和
精品课件
3
§4.1 干涉测量基础
一、干涉测Leabharlann 基本原理1、干涉原理及干涉条件
干涉测量基于光波相干叠加，因此必须满足三个条件：
频率相同； 振动方向相同； 位相差恒定。
2、影响干涉条纹对比度的因素
干涉测量对条纹对比度有较高的要求。通常情况下，要求
K≥0.75。那么干涉条纹对比度究竟与哪些因素有关呢？
(1)两相干光波的相对光强
度是必要的。
精品课件
10
§4.1 干涉测量基础
(3)光源非单色性影响与时间相干性 能够发生干涉现象的最大光程差与光源的谱线宽度成反比。
若干涉测量中用到的光源本身有一定的谱线宽度 ，对应波长为
/2 和λ-Δλ/2两组干涉条纹的强度分布，其他波长的光对应
的干涉条纹强度分布介于两根曲线之间。干涉场中最终形成的干 涉条纹是这些干涉条纹叠加的结果。
精品课件
8
§4.1 干涉测量基础
如图，光源为被均匀照明的直径为r的光阑孔。光阑孔上不同
点S经准直镜后变成与光轴具有不同夹角θ的平行光束。设准直镜 焦距为f’，小孔光阑的中心点为S0，则：
SS0/ f'
不同θ角的平行光束经干涉仪后被分成两束相干光，到达干
涉场中同一点的光程差各不相同，因此各自形成的干涉条纹彼此
光学测试技术
第四章 光学干涉测量技术
2021年3月13日
精品课件
干涉技术和干涉仪在光学测量中占有重要地位。近年来，随 着数字图像处理技术的不断发展，使干涉测量这种以光波长作 为测量尺度和测量基准的技术得到更为广泛的应用。
在光学材料特性参数测试方面，用干涉法测量材料折射率精度 可达10-6；对材料光学均匀性的测量精度则可达10-7；
n 1
若测试光路中混入有杂散光，其强度均为：I'mI1 k 2 n 会导致干涉图像对比度进一步下降 1 n m 见p79图4-4
精品课件
§3.1 干涉测量基础
(2)光源大小的影响及其空间相干性 干涉条纹的照度很大程度上取决于光源的尺寸。而光源的尺
寸大小又会影响到各种干涉条纹的干涉图样对比度。 平行平板的等倾干涉： 对比度与光源大小无关 杨氏干涉：只有利用狭缝限制光源尺寸，才能获得干涉条纹 楔形板形成的等厚干涉：介于上述两种情况之间。
准确度，是一种高精度的测量方法。
实现干涉测量的仪器叫干涉仪。干涉仪有几种不同的分类方式： 按光波分光方式的不同，可分为分振幅型和分波阵面型； 按相干光束的传播途径，可分为共程干涉和非共程干涉； 按用途不同分为静态干涉和动态干涉。其中静态测量通过测量被 测波面与标准波面之间产生的干涉条纹分布及其变形量求得试样 表面微观几何形状或波像差分布；动态测量通过测量干涉场上指 定点的干涉条纹的移动或光程变化来求得试样的位移等。
错位。
精品课件
9
§4.1 干涉测量基础
所有干涉条纹进行强度叠加，形成视场中见到的干涉条纹。 条纹度比度直接取决于光阑大小。
如图所示。设光阑半径为rm0，应用物理光学知识可以证明：
rm0
f' 2
/h
K≥90%
m0
1 2
/h
式中h是虚拟空气楔厚度。可见，为保证干涉仪的空间相干
性，采用长焦准直镜，采用尽可能相等的两臂长，减小空气楔厚
- (/2)
x
7
精品课件
§4.1 干涉测量基础
(4)杂散光对对比度的影响 分束器，以及干涉仪系统中的其他光学器件在把入射光分束
及折转、成像过程中，会引入杂散光。杂散光会影响条纹对比度， 导致对比度的下降。 例：分束镜表面的剩余反射
改善措施： 分束器表面正确镀制增透膜或析
光膜 在光源处设置消除杂散光的小孔
光阑 除此之外，两支相干光束的偏振态
不一致也会影响干涉条纹的对比 度。
精品课件
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§4.1 干涉测量基础
二、干涉条纹的分析判读与干涉图形信号的处理方法 从干涉仪系统中获取稳定、清晰的干涉条纹图样是干涉测量
的第一步。对获取的干涉条纹进行分析判读才能得到被测量的有 用信息。 (一)干涉条纹的分析判读 1、波面偏差的表示方法
用干涉法可测量光学元件特征参数，用球面干涉仪测量球面曲
率半径精度达1μm，测量球面面形精度为1/100λ；用干涉法测 量平面面形精度为1/1000λ；用干涉法测量角度时测量精度可
达0.05″以上；
在光学薄膜厚度测试方面，用干涉法测厚的精度可达0.1nm；
在光学系统成像质量检验方面，利用干涉法可测定光学系统的
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2
Imax I1I2 Imi n I1I2
2 K
I1I2
I1 I2
可以发现：I1=I2时，K取得极大值。K=1；I1、I2相差的越大，
K就越小。
一般干涉仪采用分振幅的方法得到两相干光波，所以条纹对
比度主要取决于分束器的分束比及性能。
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若两支相干光的光强关系为：I 2 nI 1 则： K 2 n
被测波面相对参考波面的峰值与谷底之差，可表示为： PV Ema xEmin
PV是波前最高点与最低点之间的间距，单位通常为波长。因此， PV给出的是波差的极限值。PV通常被用于描述元件或系统的质量， 瑞利曾指出：波前PV值优于λ/4，可以认为系统成完善像。
根据干涉条纹的形成条件，可以知道干涉条纹是干涉场中光
程差相同的点的轨迹；相邻条纹之间的光程差为波长的1/n，其中 n是测试光束通过被测试样的次数。若某处条纹间隔为H，对应的 条纹弯曲量为h，则该处的波面偏差可表示为：
W h
Hn
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§3.1 干涉测量基础
对于非轴对称的情况，则需要绘出二维的波面偏差分布图。 在获取整个表面的波面偏差后，可以用以下几种综合指标描述波 面分布： (1)波峰波谷偏差：