(工艺技术)制绒清洗工艺文件
酸碱制绒工艺
酸碱制绒工艺第一部分碱制绒作业规程一碱制绒作业步骤1、称重每次试制绒片需称重，计算硅片的减薄量，了解制绒液的反应情况。
2、预清洗先精确称量氢氧化钠和清洗剂进行配液，加热，温度稳定在60℃左右，开始定时5min超声预清洗，取出时尽量使硅片表面附着的清洗剂滴回预清洗槽内。
每清洗900片需换液。
3、漂洗漂洗时，片盒上下抖动。
根据实际情况，可以加超声，延长漂洗时间，多次漂洗，用热水漂洗，用有机溶剂如IPA漂洗等等。
确保漂洗干净。
4、制绒配液，制绒液控制在80~83℃范围内，搅拌均匀后定时25min制绒。
制绒过程中的影响因素：①碱液浓度、异丙醇浓度；②溶液温度、制绒时间长短；③槽体密封程度、IPA挥发程度；④制绒槽内硅酸钠的累积量。
5、漂洗制绒完后，取出硅片，放入漂洗槽中漂洗，也将片盒上下抖动，确保漂洗干净。
6、酸洗及后道工序7、制绒补液经验补液量来补液：一般每盒25片单晶（125×125）硅片，补氢氧化钠40克，补异丙醇300毫克。
三绒面分析第二部分酸制绒多晶操作工艺一概述太阳能电池片的生产流程：一次清洗→扩散→刻蚀→二次清洗→PECVD→丝网印刷→烧结→测试分选→检验入库二一次清洗（扩散前清洗）1、一次清洗的目的：a. 去除切割硅片时硅片表面产生的损伤层，清除硅片表面的油类分子及金属杂质。
b.对硅片表面进行织构化处理，降低硅片表面对光的反射率。
2、绒面的作用及其陷光机理：作用：减少光的反射率，提高短路电流（Isc），最终提高电池的光电转换效率。
解释机理：当光入射到一定角度的斜面或粗糙的表面，光会反射到另一角度的斜面，形成二次或者多次吸收，从而增加吸收率。
3、一次清洗工艺流程：酸制绒→漂洗→碱洗→漂洗→HF→漂洗、溢流→酸洗→漂洗、溢流→喷淋4、一次清洗中各反应原理：制绒槽：HF-HNO3溶液，去除表面油污、切割损伤层以及制备绒面；反应如下：3Si + 18HF + 4HNO3→3H2SiF6 + 8H2O + 4NO↑碱洗槽：NaOH溶液，主要中和残留在硅片表面的酸，同时发生下列化学反应：Si+2NaOH+H2O = Na2SiO3+2H2↑酸洗槽：HF去除硅片在清洗过程中形成的很薄的SiO2层，反应如下：SiO2+6HF = H2[SiF6]+2H2OHCL,HF同一些金属离子络合，使金属离子脱离硅片表面。
作业指导书-制绒清洗
2.3.8制绒工序做好各种记录表格，包括：DI水电阻率检查表、制绒槽中定量补药记录表、每个槽的药液和水的更换记录表每个槽生产批次及停止生产时间记录表。
2.3.9当发现单面刻蚀深度低于8μm或高于13μm时，应及时调整该槽中KOH的加入量，通常以0.1L为单位。
4.5发现工艺槽槽体及液体颜色出现异常时，应立即通知设备工程师和工艺工程师。
4.6不允许将片盒或篮ຫໍສະໝຸດ 直接放在地面上并与金属直接接触。4.7每条线制绒与扩散工序之间的在制品在置时间不能超过4小时。
4.8每批测量3片硅片来检查腐蚀厚度，第一片架的第5片，第二片架的第55片，第三片架的第95片。
4.9在更换所有药液做清洗工作时，所有槽只需做一次溢流清洗，然后用水枪清洗干净即可。
3.2工具：防护用品（耐酸碱长袖手套、防酸碱围裙、防护眼镜、防护面罩）、PVC/昵绒手套。
3.2材料：硅片、NaOH、HF、HCL、IPA、DI水。
4.注意事项
4.1检查制绒质量，观察是否出现异常,详细参照代表性样品。若出现异常情况，目测或参考有代表性的样品，在WI规定范围内做调整（见2.2.8）整，问题仍不能解决则通知技术员做工艺调整。
2.3.2每一制绒槽中的溶液必须在十批硅片后更换。
2.3.3如果中间停止生产45分钟的话，制绒槽中加入IPA1.3 L，KOH补0.8 L。
2.3.4如果中间停止生产一小时的话，制绒槽中加入IPA1.7 L,KOH补0.8 L。
作业指导书
制绒清洗
文件号：YLOT-OI-S5D65-TEX
版本：2011.001（试行）
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制绒工序技术文件
生产部：制绒工艺技术文件
每日需做:
1.每次交接班时，对制绒的上料和下料滚轮用无尘布沾酒精擦拭3遍，擦拭后检查滚轮表面无脏污等方可开始生产。
2.制绒后的片子使用片盒装载，上班生产前需将下料装片盒用干净无尘布擦拭。
3.上下料严禁裸手接放片子，手套穿戴时间太长，会将手套上的脏污、灰尘沾在片子上，造成手指印等不合格片。
4.每800片更换一次手套，同时要按要求戴两层手套，下料尽量少接触片子。
5.生产前需检查碱槽的喷淋是否堵塞，确保喷淋口没有堵塞后再行生产。
6.生产制绒后的硅片不能存放超过3分钟,需立即送到传递窗,并一定要把传递窗关上。
7.制绒间的温度需控制在: 20-27℃,湿度需在: 35-75%
8.当班组长可视减薄量情况进行调节制绒带速，允许最大调节范围是±0.3m/min，超过此要调节的带速请通知当班工艺人员。
9.减薄量则依工艺所给的,不同厂家硅片的减薄量来生产,若未制定出来的厂家硅片减重则依单片减重0.33g-0.39g执行
保养时需做:
1. 制绒槽换液时，需同时对各槽体进行清洗，包括清理各槽的碎片等
2. 每次排酸及清洗槽体时，将对应的盖板进行擦拭，清理。
设备部：制绒工艺技术文件
1. 酸槽、碱槽以及水槽的滤芯每一个月更换一次。
2. 制绒槽换液时，需同时对各槽体进行清洗，包括清理各槽的碎片等
3. 每次排酸及清洗槽体时，将对应的盖板进行擦拭，清理。
制绒工艺说明
3.7溶液的定期调节
3.7.1粗抛液3个工作日要彻底换一次液，换液时要彻底清洗槽子，用抹布擦干净槽子边沿、槽底和加热电阻丝上的沉积物。
3.7.2制绒槽从上次调液（或新配液）开始累计生产量达到4000片时，要放掉1/3溶液，加750gNaOH和5瓶无水乙醇，试片，稳定后进行生产。
3.7.3水洗的8、9、10槽要12小时换水一次。
3.8工艺卫生要求
3.8.1制绒车间要保持清洁，地面常有碱液或干碱，要经常打扫。
3.8.2盛过碱液或乙醇的塑料桶要及时刷洗，不可无标识长时间用桶盛碱液或乙醇。
3.8.3物品和工具定点放置，用过的工具要放回原位，严禁乱放。
3.8.4每班下班前要对制绒机进行卫生打扫，擦掉机器上面的碱，擦掉槽盖上的硅胶。
制绒液：按照3.3.1条的浓度计算出170L制绒液所含有的NaOH、Na2SiO3和无水乙醇的量，清洗好制绒槽，关闭排水阀门，打开进水阀门向槽中缓慢放水，同时向槽中倒入NaOH、Na2SiO3和无水乙醇，
过程中用水瓢不断搅拌溶液，待加完NaOH、Na2SiO3和无水乙醇后，放水调整液面至溢水口下方2cm
3操作规程
3.1装片
3.1.1戴好防护口罩和干净的PE手套。
3.1.2将仓库领来的硅片从箱子中取出，以400片为一个生产批次把硅片装入“硅片盒”。
3.1.3在“工艺流程卡”上准确记录硅片批号、生产厂家、电阻率和投入数。
3.1.4在“工序产质量报表”上详细记录领料数、实际投入数、产出数，有缺片现象时要在缺片记录上记录缺片的批号、厂商、箱号和缺片数。
3.1.5装完一个生产批次后把“工艺流程卡”随同硅片一起放在盒架上，等待制绒。
制绒工艺规程
五、制绒工艺流程：
上料→HNO3、HF制绒→风刀1→冲洗1→KOH腐蚀→风刀2→冲洗2→HF、HCl清洗→风刀3→冲洗3→风刀吹干→下料。
六、工艺准备：
1、工艺洁净管理：操作时需戴口罩、洁净手套，并保持室内正压，严禁随便开启门窗,以保持室内洁净度。
4、RENA工艺操作规范：
1)减薄量控制范围：156正常片0.38~0.42g/pcs;返工片0.08~0.12g/pcs,125正常片0.23~0.28g/pcs;返工片0.06~0.09g/pcs。
2)带速控制范围：1.3~1.5m/min,建议控制在1.35m/min。
3)制绒槽温度控制范围：正常片设定值8℃，波动区间7~9℃；返工片设定值5℃，波动区间4~6℃。
9、为防止硅片沾污，制绒后的硅片应尽量避免较长时间暴露在空气中，应尽快转入扩散工序。
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二、原理：
在制绒过程中，首先是硝酸在损伤层与缺陷处将硅片氧化，形成氧化硅，然后氢氟酸与氧化硅反应生长硅的络合物（H2SiF6）与水，这样去损伤层与制绒同时进行，从而缩短了工艺流程。
制绒工艺主要包括三部分：
硝酸与氢氟酸混合液→氢氧化钾→盐酸与氢氟酸混合溶液
在制绒过程中，首先是硝酸在损伤层与缺陷处将硅片氧化，形成氧化硅，然后氢氟酸与氧化硅反应生成硅的络合物（H2SiF6）与水，这样去损伤层与制绒同时进行，从而缩短了工艺流程。
4)循环流量控制范围：120~150L/min，建议设定值：135L/min
5)减薄量记录规范：开线每隔10分钟称测一次，针对温度，带速，填补量做好相应更改；正常生产时每隔一小时称测一次，作好记录。
太阳能制造工艺清洗制绒
太阳能制造工艺清洗制绒1. 引言太阳能是一种可再生能源，其利用太阳能将光转化为电能。
太阳能电池板是太阳能发电的关键组件之一。
该文档将介绍太阳能电池板制造过程中的清洗和制绒工艺。
2. 清洗工艺在太阳能电池板的制造过程中，清洗工艺起着重要的作用。
清洗的目的是去除表面的污垢和污染物，提高太阳能电池板的效率和寿命。
2.1 清洗设备和材料清洗设备主要包括清洗槽、超声波清洗器、喷淋装置等。
清洗剂一般选择无机溶剂或有机溶剂，如去离子水、酒精、甲醛等。
2.2 清洗步骤太阳能电池板的清洗步骤一般包括以下几个环节：2.2.1 预清洗使用喷淋装置将太阳能电池板表面的灰尘和颗粒物清除，减少后续清洗过程中的污染物。
2.2.2 温水清洗将太阳能电池板浸泡在温水中，使用刷子或海绵轻轻擦拭表面。
温水可溶解污垢，并帮助去除粘附在电池板表面的有机物。
2.2.3 超声波清洗将太阳能电池板放入带有清洗剂的清洗槽中，开启超声波清洗器，利用超声波的振动作用，去除电池板表面的污垢和难以清洗的颗粒物。
2.2.4 再次冲洗将电池板从清洗槽中取出，用清水冲洗清洗剂残留物，确保表面彻底清洁。
2.3 清洗注意事项在清洗过程中，需要注意以下几点：•避免使用含有磨粒的清洗剂，以免划伤电池板表面。
•清洗时需轻柔，避免过度施力，以免损坏电池板。
•清洗完毕后，应将电池板放置在清洁的环境中晾干，避免二次污染。
3. 制绒工艺制绒是太阳能电池板制造中的一项重要工艺，其目的是提高电池板的反射率。
制绒可以减少光在电池板表面的反射，提高光吸收率，提高太阳能电池板的效率。
3.1 制绒设备和材料制绒设备主要包括绗缝机、毛毡、胶带等。
制绒材料一般选择质地柔软、具有较好吸水性能的纤维材料。
3.2 制绒步骤太阳能电池板的制绒步骤一般包括以下几个环节：3.2.1 准备工作将太阳能电池板放置在清洁的工作台上，确保表面干净无尘。
3.2.2 母毛膏施加将绗缝机上的毛毡固定在太阳能电池板上，使用母毛膏将毛毡固定在电池板上。
制绒清洗工艺
3.适用范围 适用于无锡市瑞能科技有限公司 DUZQJ-9000 型多晶硅制绒清洗机及 QSJ-03 型清洗
甩干机。 多晶硅片绒面制备(硅片型号：156mm*156mm)
4.定义 多晶硅在去清洗腐蚀后，目视硅片表面呈均匀的灰黑色，没有明显的斑点，多晶晶
界不明显。显微镜下，绒面形貌均匀，硅片表面无明显台阶。
边缘将片子取出，尽量不要用手指接触片子的表面。 5 操作时必须安全使用化学试剂及安全使用清洗机。若皮肤沾到化学试剂则立刻用大
量水冲洗，严重的要立即就医。 6 按规定补充和更换制绒槽内的药液（见附表）、溢流槽内的溢流水，保证槽内无碎
1.每个片架最多可以插片 25 片。插片过程中对硅片进行检验，不合格硅片挑出。每 装 100 片硅片需要更换一次手套，如装片过程中手套破损需及时更换。
2.插片处打开包装箱拿取硅片时，遵循少量多次的原则，不允许一次拿过量的硅片。 3.插片时，手中拿的硅片数量在 50-100 片。 4.确保没有缺陷片流出。 5.确认在单个片槽内没有双片现象；各项数据的准确性和完整性。 装片过程中需及时将碎片、裂纹片以及其它与检验标准 不相符合的硅片挑出，并做 好记录。 6.2 腐蚀清洗 6.2.1 开机 打开氮气阀门、压缩空气阀门、纯水阀门，打开总电源→PLC 电源→各分电源 6.2.2 准备工作 6.2.2.1 确认各机械手是否在原点位置。 6.2.2.2 确认各槽清洗状态正常，各槽内按工艺条件正确配液，见《清洗配液作业指导书》。 6.2.2.3 确认各槽排水阀关闭，无漏液等，各槽内注入规定的溶液。 6.2.2.4 确认各槽控制系统工作正常，程序准确，参数设定准确。
1-2 液面高度不足补液： 液面不足时添加原始制绒液，即硝酸:氢氟酸: 水＝5:1:3.4（体积比）
2清洗制绒作业指导书
清洗制绒作业指导书1.目的规范该岗位的工作流程，确保动作的一致性和连贯性。
2.适用范围清洗制绒岗位作业人员3.参考无4.职责清洗间工序长负责监督执行5.术语和定义5.1 制绒：通过化学反应，去除硅片表面机械损伤层和油污，形成起伏不平类似金字塔的绒面5.2 清洗：通过化学反应，使硅片表面氧化物以及金属离子被腐蚀溶解、脱离硅片。
6.内容6.1 穿戴好工作服、工作帽、乳胶手套、防护眼镜及一次性口罩。
6.2 依次打开控制柜电源开关；打开氮气、压缩空气和纯水的截止阀门。
6.3 将操作界面转为手动操作画面，打开各槽出水阀门，将槽内残液排空，清除槽内碎片和污物，并用纯水冲洗干净。
6.4 关闭出水阀门，打开进水阀门，向相应得水槽内注入纯水。
6.5 根据工艺要求，设定各槽时间，温度以及相关工艺参数。
6.6 制绒6.6.1 制绒槽的纯水液位以及氢氧化钠、异丙醇、硅酸钠的配比必须根据工艺要求进行配液。
6.6.2 根据原材料的特性以及工艺参考，确认硅片是否需要预处理，如需预处理地按照工艺要求进行配比，并设定温度和时间。
6.6.3 以上条件都符合工艺要求后，根据流程卡的数量拿取相应数量，放入花篮中，并摆放整齐。
（注：放入承载盒前必须仔细检查花篮是否有破损，如有破损不可使用）6.6.4 将预处理清洗后的硅片放入制绒槽内，进行制绒。
6.6.5 制绒到一定时间后，从中抽取一片观察外观无问题后，用气枪吹干，拿到金相显微镜下观察绒面，符合工艺要求后，即可以将制绒槽中取出至水槽。
6.6.6 根据每次制绒后绒面的情况，来确定化学品的补充量。
6.6.7 若绒面出现异常后，需及时向工艺人员反映，来确认解决方法。
6.6.8 如硅片不需预处理，将超声清洗后的硅片或不需清洗直接制绒的硅片放入制绒槽内进行制绒，按照6.6.5和6.6.7进行操作。
6.7 酸洗6.7.1 配液前穿上防酸服，防酸鞋，戴上防酸手套和防毒面具。
6.7.2 根据工艺配比要求将适量的氢氟酸、盐酸注入到相应的槽内，并注入适量的纯水做好换液记录。
清洗制绒的工艺流程及每个步骤的作用
清洗制绒的工艺流程及每个步骤的作用下载提示：该文档是本店铺精心编制而成的，希望大家下载后，能够帮助大家解决实际问题。
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制绒清洗工艺文件
制绒清洗工艺文件．
江西天能电力股份有限公司工艺文件
江西天能电力股份有限公司
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入公式。
清洁Ω施防措预
穿戴工作服、帽、口罩、手套防尘手套×Ω=1.33MΩ 1Ω=13OOOK 塑胶围裙
一次性手套长塑胶手套
附表1超声清洗工艺条件8
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（工艺技术）制绒清洗工艺
文件
江西天能电力股份有限公司
合格的多晶硅片
6.1.2工装、设备：
片架（小花蓝）
清洗花篮
美工刀
6.1.3工艺过程
6.1.3.1穿戴好工作服、工作帽、口罩和一次性手套。
6.1.3.2准备好片架、装片记录表以及工序流程卡。
6.1.3.3查看配料单，确认原材料信息以及数量，并填写装片记录和工序流程卡。
6.1.3.4检查硅片包装箱确认包装无撞击破损后打开，取出硅片包装盒，在装片记录上记录相关信息。
6.1.3.5打开硅片包装盒，从中抽取一片，按照检验标准分别检查其外观。
6.1.3.6取出包装盒内的硅片，并撵成扇形轻轻插入片架内。
6.1.3.7将装好硅片的片架分批按顺序整齐摆放在台面上，并将工序流程卡记录准确。
6.1.3.8将片架放入清洗花篮中每个清洗花篮中放置3×4个插片后的片架。
准备下一步腐蚀清洗。
6.1.3.8注意事项
1.每个片架最多可以插片 25 片。
插片过程中对硅片进行检验，不合格硅片挑出。
每装 100 片硅片需要更换一次手套，如装片过程中手套破损需及时更换。
2.插片处打开包装箱拿取硅片时，遵循少量多次的原则，不允许一次拿过量的硅片。
3.插片时，手中拿的硅片数量在 50-100 片。
4.确保没有缺陷片流出。
5.确认在单个片槽内没有双片现象；各项数据的准确性和完整性。
装片过程中需及时将碎片、裂纹片以及其它与检验标准不相符合的硅片挑出，并做好记录。
6.2腐蚀清洗
6.2.1开机
打开氮气阀门、压缩空气阀门、纯水阀门，打开总电源→PLC 电源→各分电源
6.2.2准备工作
6.2.2.1确认各机械手是否在原点位置。
6.2.2.2确认各槽清洗状态正常，各槽内按工艺条件正确配液，见《清洗配液作业指导书》。
6.2.2.3确认各槽排水阀关闭，无漏液等，各槽内注入规定的溶液。
6.2.2.4确认各槽控制系统工作正常，程序准确，参数设定准确。
6.2.2.5点检各设备动力参数在规定范围内。
6.2.3关机
6.2.2.1关机前先把水及药液完全排出（各槽逐个排液，防止副槽水溢流），把机械手打回原点。
6.2.2.2关闭各分电源→PLC电源→总电源→氮气、压缩空气、纯水阀。
6.2.4工艺过程
酸腐蚀制绒：8 槽清洗机中的第 1 槽，工作温度7℃±1℃，时间120±10sec（时间长短根据硅片减薄量控制，156 硅片减薄量控制在每片 0.40～0.55g。
漂洗/喷淋：8 槽清洗机中的第 2 槽，水洗槽时间 2～5min。
KOH 碱洗：8 槽清洗机中的第 3 槽，KOH 百分浓度 2.4%，时间 6～12sec。
漂洗：8 槽清洗机中的第 4 槽，水洗槽时间 2～4sec。
HCl 酸洗：8 槽清洗机中的第 5 槽，HCl＋HF 百分浓度 5～10%，时间 2～4sec。
漂洗：8 槽清洗机中的第 6、7 槽，漂洗槽时间 2～4sec。
喷淋：8 槽清洗机中的第 8 槽，喷淋槽时间 1～3sec。
6.2.5工艺说明
6.2.5.1表面绒面均匀、无亮块、无白斑（干燥硅片在日光灯或聚光灯下检查）。
6.2.5.2去除厚度要求：硅片腐蚀去除厚度范围
7.7～9.4μm，以8～9.1μm（0.47～0.53g/片）为宜。
6.2.5.3工艺条件见附表2
6.2.5.4八槽清洗机的 1、3、5 槽需要经常补液，补液有消耗性补液和液面高度不足补液两种 6.清洗工序制绒质量异常处理见附表3
7.硅片去除厚度及重量与消耗 HNO3 之间的关系见附表5
8.4.1 超声清洗工艺条件见附表1
补液
前清洗补液
1制绒补液：
1-1消耗性补液：
1-1-1补液配方：
硝酸:氢氟酸＝1:2.35（体积比），即10升硝酸加 23.5 升氢氟酸
1-1-2制绒补液时间和量：
每做 300 片 156 硅片后补液一次，1.61L；或者加入硝酸 0.48L 和氢氟酸 1.13L。
1-2 液面高度不足补液：
液面不足时添加原始制绒液，即硝酸:氢氟酸:水＝5:1:3.4（体积比）
1-3 槽液寿命：1 万片（暂定）
2KOH 补液：
配方：45%KOH
补液时间和量：每做 2000 片补液一次，每次加入 0.2 升 45%KOH。
槽液寿命：1 万片（暂定）
3HCl 补液：
配方：37%盐酸
补液时间和量：每做 2000 片补液一次，每次加入 1 升 37%盐酸。
槽液寿命：1 万片（暂定）
后清洗补液
配方：49%氢氟酸
槽液寿命：1 万片（暂定）
6.2.5 注意事项
1操作时，必须按酸、碱清洗要求穿戴好相关的个人防护用品。
2定时检查各槽内的实际温度，温度要在正确范围内，否则汇报工序负责人解决。
3每一批抽一片观察绒面，发现异常情况及时解决，若解决不了的及时反馈。
4抽取片子时，用手在片架的 H 面将片子从片架的底部托起，用另一只手夹住片子两边缘将片子取出，尽量不要用手指接触片子的表面。
5操作时必须安全使用化学试剂及安全使用清洗机。
若皮肤沾到化学试剂则立刻用大量水冲洗，严重的要立即就医。
6按规定补充和更换制绒槽内的药液（见附表）、溢流槽内的溢流水，保证槽内无碎片、无沾污（将槽放满水后排空，循环冲洗一到两次）。
7在硅片准备进行制绒前，制绒槽温度必须在规定范围内。
8初始配制的制绒液或者停止生产两小时以上的制绒液需要活化才能继续进行生产，活化方法是利用低等级硅片经过一个正常工艺流程。
9在接触硅片、片架、花篮等需要保持干净的物品时需要带好一次性手套。
7.3甩干
7.3.1开机
7.3.1.1打开电源开关、及各控制开关；
7.3.1.2打开压缩空气、氮气、纯水总阀门和分阀门。
操作过程见《甩干作业指导书》
7.3.2关机
7.3.2.1关闭电源开关、及各控制开关，关闭压缩空气、氮气、纯水总阀门和分阀门。
7.3.3注意事项
1.当出现故障时，应立刻按下“急停”按钮，在故障清除后，向右旋转“急停”按钮，再重新启动。
2.在盖未完全关闭或打开时切勿将手伸进机器内。
3.甩干后用来装片架的周转箱必须无碎片、无水，保持清洁。
6 注意事项
1.清洗腐蚀所用药品 HNO3、HF、KOH、HCL，去离子水。
2.以损伤层去除干净为准，可适当增加去损伤槽浓度或时间或温度。
3.每隔三小时对制绒槽及温水溢流槽各测温一次，记录在清洗加液记录的备注栏里，
4.如厚度超出或低于工艺规定范围，可适当增加或减少去损伤层或者制绒的时间、浓度等，并及时调整添加量。
HCL:
21L 溶液流动去
离子水
清洗
鼓泡
流动去离
子水清洗
鼓泡
HF:12
L
流动去
离子水
清洗
鼓泡
流动去离
子水清洗
鼓泡
流动去离
子水清洗
鼓泡
每六小时配液每班配
液
每班换液
每六小
时配液
每班换
液
每班换液
附表 7 甩干工艺条件——根据瑞能设备修改
纯水温度（℃）
流量工作气体压力
（MPA）
压缩空
清洗环节烘干环节
氮气时间（S）
气
转速（RPM）时间（S）转速（RPM）
110-120
≥
4LPM 0.5-0.70.4-0.6
220300350650
注：甩干时间、转速只允许技术人员在可调整范围内进行修改，并记录。
11.自检
11.1主要原材料：
甩干的硅片
11.2工装、设备。