清洗制绒操作规程

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酸碱制绒工艺

酸碱制绒工艺

酸碱制绒工艺第一部分碱制绒作业规程一碱制绒作业步骤1、称重每次试制绒片需称重,计算硅片的减薄量,了解制绒液的反应情况。

2、预清洗先精确称量氢氧化钠和清洗剂进行配液,加热,温度稳定在60℃左右,开始定时5min超声预清洗,取出时尽量使硅片表面附着的清洗剂滴回预清洗槽内。

每清洗900片需换液。

3、漂洗漂洗时,片盒上下抖动。

根据实际情况,可以加超声,延长漂洗时间,多次漂洗,用热水漂洗,用有机溶剂如IPA漂洗等等。

确保漂洗干净。

4、制绒配液,制绒液控制在80~83℃范围内,搅拌均匀后定时25min制绒。

制绒过程中的影响因素:①碱液浓度、异丙醇浓度;②溶液温度、制绒时间长短;③槽体密封程度、IPA挥发程度;④制绒槽内硅酸钠的累积量。

5、漂洗制绒完后,取出硅片,放入漂洗槽中漂洗,也将片盒上下抖动,确保漂洗干净。

6、酸洗及后道工序7、制绒补液经验补液量来补液:一般每盒25片单晶(125×125)硅片,补氢氧化钠40克,补异丙醇300毫克。

三绒面分析第二部分酸制绒多晶操作工艺一概述太阳能电池片的生产流程:一次清洗→扩散→刻蚀→二次清洗→PECVD→丝网印刷→烧结→测试分选→检验入库二一次清洗(扩散前清洗)1、一次清洗的目的:a. 去除切割硅片时硅片表面产生的损伤层,清除硅片表面的油类分子及金属杂质。

b.对硅片表面进行织构化处理,降低硅片表面对光的反射率。

2、绒面的作用及其陷光机理:作用:减少光的反射率,提高短路电流(Isc),最终提高电池的光电转换效率。

解释机理:当光入射到一定角度的斜面或粗糙的表面,光会反射到另一角度的斜面,形成二次或者多次吸收,从而增加吸收率。

3、一次清洗工艺流程:酸制绒→漂洗→碱洗→漂洗→HF→漂洗、溢流→酸洗→漂洗、溢流→喷淋4、一次清洗中各反应原理:制绒槽:HF-HNO3溶液,去除表面油污、切割损伤层以及制备绒面;反应如下:3Si + 18HF + 4HNO3→3H2SiF6 + 8H2O + 4NO↑碱洗槽:NaOH溶液,主要中和残留在硅片表面的酸,同时发生下列化学反应:Si+2NaOH+H2O = Na2SiO3+2H2↑酸洗槽:HF去除硅片在清洗过程中形成的很薄的SiO2层,反应如下:SiO2+6HF = H2[SiF6]+2H2OHCL,HF同一些金属离子络合,使金属离子脱离硅片表面。

1-清洗制绒设备操作规程(v8.6)

1-清洗制绒设备操作规程(v8.6)
5 Ready:该槽已做好准备,等待工艺运行 Filling DI:该槽正在添加纯水 Full DI:该槽内已添满纯水 Filling Chem:该槽正在添加化学药品 Full Chemical:该槽已充满化学药品 Empty:该槽没有化学药品或纯水 In Process:表示该槽工艺正在运行中 Draining:该槽正在排放化学药品或纯水 Error:该槽出现错误 Standby:待命。等待硅片的投入 Temp out:腐蚀槽出路温度 Flow:该槽化学药品的流速 Bath quality:腐蚀槽内规定腐蚀重量的当前剩余值 Bath Lifetime:该槽使用寿命 Airknife:风刀工作频率 S、Recipe in Use:当前使用的工艺 Start:自动模式下,开始工艺运行 Stop:自动模式下,停止工艺运行,所有传输、马达停止 Test Lamps:测试报警声音是否正常 5、关于操作: 1)标准开机 打开配电柜电源开关,打开镶在配电柜外面的控制机器照明灯的按钮。 按下操作面板上的On按钮,将显示器的开关打开。 所有紧急制动如无紧急情况,不得按下。如按下紧急制动按钮,机器的所有动作将会停
3 1)信息栏 显示当前时间、日期;显示设备模式(手动或自动模式),与PLC的通讯状况:正常(OK),登录名称:Service(服务)、Operator(操作者)等。 2)报警诊断信息栏 显示当前出现的报警的相关信息: 日期、时间:出现报警的时间; 功能部件:出现报警的部件; 功能:出现报警的部件的执行功能; 错误信息:出现的报警信息,相关错误解释可查阅操作手册; 状态:报警的状态。未解决、已承认等。 3)按钮信息栏 A、软件登录。 B、软件版本信息 C、用户管理 D、关闭操作模式,所有输出信号将被关闭。。 E、将机器切换到手动模式。所有部件的操作模式将切换到手动模式。 F、将机器切换到服务操作模式。此按钮非设备维护人员禁止点击。 G、将机器切换到自动操作模式 H、切换主界面。 I、 进入Service界面,将会显示各种输入、输出信号状态。

清洗制绒作业指导书

清洗制绒作业指导书

格式编号:HCZY 01
样式编号:AAAE02
7.制绒酸洗温度设置
8.制绒
9.开启制绒槽盖
提篮,电子显微镜,天 平,反射率测试仪,量杯
10.抽检
11.目视制绒效果
一次性手套
劳动防护 用品:
防护镜,防毒口罩,耐酸 13.制绒完毕放入水漂洗 碱手套,丁腈手套,耐 酸碱围裙,耐酸碱皮鞋
14.清洗后抽检
15.氮气吹干
改定履历 年 月 日 1 2 3 4 5
11.生产过程中要注意设备运转以及水气供应。
定位置管理说明
1.
2.
3.
管理要点
管理項目
测定法
频度样品数
规定资料及判定标准
金字塔
显微镜
1pcs/30min
2-6um
减重量
天平
1pcs/30min
0.3-0.5g /0.5-0.8g
反射率 改定 确认
测试仪 承认
1pcs/30min
≦14.5%
备 考
改定内容
12.将抽检片放回原处 16.观察制绒效果
文书编号 版本 作成日期 修改日期
HCBZZZ011 01
年月 日 年月 日
承认
确认
作成
应遵守的要点及注意事项
1.穿戴好安防劳保用品。
2.花篮要检查是否完好,放置时不要接触感应器.
3.查看设备是否满足工艺参数要求,或是否达到设定参数值。
4.如有异常则暂停生产!抽检时要注意安全,操作小心。
5.确保制绒清洗槽内液面(一定要淹没硅片)。
6.目视制绒观察有无明显不良情况,有则通知值班工艺员。
7.注意氮气吹干气压适当,不可加大。
8.用50倍显微镜观察时仔细绒面金字塔大小状况,合格流出,

RG-2011-ES-001制绒机作业指导书

RG-2011-ES-001制绒机作业指导书

清洗机作业指导书文件编号:制绒清洗机作业指导书编制:审核:批准:文件批号:高平市融高太阳能开发有限公司清洗机作业指导书文件编号:作业指导书一、目的本程序为清洗工序的生产作业提供文件化的标准作业指导。

二、适用范围本程序规定适用于清洗工序所有操作人员(包括班组长等)的作业流程。

三、职责1、让使用本台机器的所有操作人员都熟悉操作,尽量减少操作失误。

2、清洗工序的相关操作人员要严格按照该程序操作。

工艺人员和班组长管理人员对该工序的生产操作行使管理和监督职能。

四、作业程序简介:该全自动17槽制绒清洗机控制系统采用PLC和人机界面相结合组成,利用触摸屏提供友好的人机操作界面,监控画面按清洗工艺流程设计,对清洗过程实现全自动监视与控制。

㈠、指示灯及操作面板控制器件的含义、功能1.1 三色指示灯黄色:原点指示灯。

绿色:运行指示灯。

红色:故障指示灯。

1.2 ‘自动/手动’开关:自动/手动切换。

‘停止’开关:按下时,机械手完成步骤后,整机停止运作。

‘蜂鸣器停止’开关:按下时,可停止当前正在鸣响的报警。

‘紧急停止’按钮:按下时,整机立即停止运作,不能启动,动力电源被切断,同时红灯闪烁报警。

㈡、触摸屏画面介绍1 、通用现象:1.1 画面中控件检测由其它色变为绿色(或从无显示变为绿色显示),表示该位检测有效。

清洗机作业指导书文件编号:1.2 上下马达条处闪动,表示该设备正在动作。

1.3 画面右上角(或底部)“主菜单”按钮,为画面间切换按钮。

2、主菜单画面说明:此画面共分三个子菜单,分别为〈手动控制菜单〉〈实时监控〉〈参数设置〉,触摸子菜单中的各个子按钮,可进入相应的操作界面。

3、系统启动画面说明:此画面为整机自动启动及相关重负载启动监控界面!当需要自动启动时,按如下步骤进行操作:1)将手/自动转换开关打到手动状态。

2)按住回原点按钮1秒钟以上,系统将自动回原点,等到按钮后显示“OK”字样时,表示回原点完成。

3)回原点完成后,将手/自动转换开关打到自动,再按自动启动,按钮后即出现“OK”字样,表示整机已处于自动状态。

清洗制绒操作规程

清洗制绒操作规程

前清洗&制绒作业指导书前清洗&制绒作业指导书1.目的硅片表面制绒。

2 原理在低浓度NaOH水溶液中,硅片表面发生各向异性腐蚀,产生密集的金字塔型角锥体结构。

化学反应方程式:Si+2NaOH+H2O=Na2SiO3+2H2↑。

3.职责3.1 生产准备3.1.1 穿上工作服,戴上PVC/乳胶手套,加药操作人员需要戴上安全眼镜、防护面具、防酸碱围裙、长袖防酸手套。

3.1.2 确保手套没有粘有油脂性物质,在插片过程中请使用真空吸笔,如有其他取片需要,严禁直接接触硅片的表面,只允许接触硅片的两侧.手套若接触过皮肤、头发或者是带有油脂的物品,请更换手套。

3.1.3 在“工艺流程卡”上准确记录硅片批号、生产厂家、硅片类型,电阻率和投入数。

3.1.4 检查抽风是否正常,检查DI水的电阻率,实际观察值需>2MΩ·cm,上班前并做好相应记录,低于规定数值,立即通知工艺人员。

3.2 生产操作过程A:制绒槽的操作过程3.2.1 把DI水装入制绒槽中,使水位到达预定的刻度,盖上槽盖,开启加热。

3.2.2 当屏幕显示制绒槽温度达到,先按工艺规定的配液比例加入 NaOH, 盖上盖子,无篮循环,鼓泡数分钟,使溶液混合均匀。

3.2.3 制绒槽持续加热溶液,直到控制屏幕实际显示温度达到工艺规定要求。

3.2.4 按工艺配液比例要求加入IPA、添加剂,盖上盖子。

3.2.5 当温度稳定后,开始投料生产,改为有篮鼓泡。

3.2.6 正式生产时,当硅片从制绒槽中提出后,在漂洗槽检查硅片质量(外观与重量检查,标准见质量检查一项)。

3.2.7在每个槽中做完一批后,需要定量补料,补料范围为:根据实际生产出片制绒效果结合工艺参数。

3.2.8 如果当班在下班时制绒槽如果没有做满20批,则不需要将药液放掉,下个班次可以继续使用10个批次。

B:其它辅助槽的操作过程3.2.9 预清洗、HF、HCL槽将水位加到预定刻度处(在相应的槽中有标定刻度),溢流槽加满水。

清绒机安全操作规程

清绒机安全操作规程

清绒机安全操作规程清绒机作为纺织行业中最重要的设备之一,在生产过程中起到了排除杂质和提高毛纺织品成品质量的作用。

但是在操作过程中,如果不按照规定进行操作,就可能会对操作人员造成严重伤害。

为了确保生产过程中的安全,本文将介绍清绒机安全操作规程。

1. 前置知识在操作清绒机之前,必须了解一些基本的前置知识,包括清绒机的构造、性能和操作方法。

了解这些知识有助于您更好地理解操作规程并避免操作失误。

2. 安全注意事项在操作清绒机时,必须对以下几点进行注意:2.1 设备检查在操作清绒机之前,必须进行设备检查,包括电气设备、工作状态、机械部分和甩拷绒机等。

只有在所有设备都正常工作且操作员已熟悉设备的位置和工作程序之后才能开始工作。

2.2 穿着防护装备在操作清绒机时,必须穿戴适合的劳动防护用品,如防护眼镜、手套和紧身工作服等。

这些防护用品有助于保护您的安全并降低意外事故的发生几率。

2.3 注意电气安全清绒机是一种电气设备,因此在操作过程中必须注意电气安全。

特别是在拆卸、装配或维修设备时,必须确保电源已断开。

此外,在操作过程中不得使用潮湿的手或穿着潮湿的衣服以及开关、插头不得受潮等都是要注意的问题。

2.4 防止卡住在操作清绒机时,必须要注意不能让衣物、头发、手指等卡在设备中。

因为一旦卡住,就会给操作员带来严重的伤害。

2.5 预防火灾清绒机的工作温度较高,因此防火是非常重要的。

在操作过程中,必须防范设备和场地内的火源,并对设备和周围区域进行定期检查。

3. 操作规程为了确保清绒机的安全操作,必须按照以下步骤进行操作:3.1 准备工作在开始工作前,必须确保清绒机的设备工作正常,然后穿戴适合的劳动防护用品,并保持工作环境干燥和清洁。

3.2 开始工作将毛纺织品放在清绒机的对应位置上,并根据纺织品用途、要求等选择相应的清毛刀套装进行操作。

在操作过程中,必须按照设备上的操作面板提示进行操作,尤其是清绒机脉冲宽度、速度等参数设置。

制绒工艺规程

冷却水(4bar)、压缩空气(6 bar,除油、除水、除粉尘)、排风(0.01bar)、环境温度常温20℃、相对湿度40%~60%。
五、制绒工艺流程:
上料→HNO3、HF制绒→风刀1→冲洗1→KOH腐蚀→风刀2→冲洗2→HF、HCl清洗→风刀3→冲洗3→风刀吹干→下料。
六、工艺准备:
1、工艺洁净管理:操作时需戴口罩、洁净手套,并保持室内正压,严禁随便开启门窗,以保持室内洁净度。
4、RENA工艺操作规范:
1)减薄量控制范围:156正常片0.38~0.42g/pcs;返工片0.08~0.12g/pcs,125正常片0.23~0.28g/pcs;返工片0.06~0.09g/pcs。
2)带速控制范围:1.3~1.5m/min,建议控制在1.35m/min。
3)制绒槽温度控制范围:正常片设定值8℃,波动区间7~9℃;返工片设定值5℃,波动区间4~6℃。
9、为防止硅片沾污,制绒后的硅片应尽量避免较长时间暴露在空气中,应尽快转入扩散工序。
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二、原理:
在制绒过程中,首先是硝酸在损伤层与缺陷处将硅片氧化,形成氧化硅,然后氢氟酸与氧化硅反应生长硅的络合物(H2SiF6)与水,这样去损伤层与制绒同时进行,从而缩短了工艺流程。
制绒工艺主要包括三部分:
硝酸与氢氟酸混合液→氢氧化钾→盐酸与氢氟酸混合溶液
在制绒过程中,首先是硝酸在损伤层与缺陷处将硅片氧化,形成氧化硅,然后氢氟酸与氧化硅反应生成硅的络合物(H2SiF6)与水,这样去损伤层与制绒同时进行,从而缩短了工艺流程。
4)循环流量控制范围:120~150L/min,建议设定值:135L/min
5)减薄量记录规范:开线每隔10分钟称测一次,针对温度,带速,填补量做好相应更改;正常生产时每隔一小时称测一次,作好记录。

太阳能电池-前清洗制绒工艺指导书

RENA制绒工艺操作规程序言为更好地保证Schmid制绒机的生产正常进行,稳定生产工艺,提高制绒工序产品质量,进一步保证电池产品性能,特制定本作业指导书,以使操作人员的工艺操作有章可循,规范统一,同时,还为新员工的上岗培训提供教材参考。

目录一、工艺目的二、使用范围三、责任四、设备及工具五、工艺原料及工艺要求六、工艺描述1、工艺原理2、制绒工艺流程3、工艺方案4、注意事项七、工艺准备八、工艺操作九、测试及检查十、安全操作附件1 积分球绒面反射率测试仪操作说明制绒工艺操作规程1、工艺目的:制绒工艺就是利用线锯切割时在硅片表面形成的损伤层及硅片表面的缺陷,通过硝酸与氢氟酸的混合溶液对硅片表面进行化学腐蚀。

使硅片在微观上形成高低不平的表面,增加电池片表面的受光面积,降低反射率,从而提高太阳电池的转换效率。

2、设备及工具:SCHIMID制绒机、电子天平、PVC手套、口罩、防护服、防护眼罩、防护套袖、橡胶手套、防酸碱胶鞋、methrohm浓度分析仪、D8绒面反射仪。

3、适用范围:电池车间制绒工序SCHIMID制绒设备4、职责:本工艺操作规程由工艺工程师负责制订、修改、解释5、工艺原料及工艺要求:合格的多晶硅片、HNO3(65%、电子级)、HF(49%、电子级)、KOH(50%、电子级)、HCl(37%、电子级)、DI水(大于15 MΩ·cm、6bar)、冷却水(4bar)、压缩空气(6 bar,除油、除水、除粉尘)、排风(0.01bar)、环境温度20℃~30℃、相对湿度40%~65%。

6、工艺描述:6.1、工艺原理:SCHIMID制绒工艺主要包括三部分:硝酸与氢氟酸混合液腐蚀→氢氧化钾腐蚀→盐酸与氢氟酸混合溶液清洗在制绒过程中,首先是硝酸与硅在损伤层与缺陷处发生化学反应,形成氧化硅,然后氢氟酸与氧化硅反应生成硅的络合物(H2SiF6)与水,这样去损伤层与制绒同时进行,从而缩短了工艺流程。

制绒之后的硅片经过KOH溶液去除硅片表面的多孔硅以及中和腐蚀槽中未清洗干净的酸液,再经过DI水冲洗去掉表面残留的碱液。

清洗制绒

清洗制绒SOP1.开机:1.1开启总电源,打开排风开关。

1.2开启烘干炉电源及面板上开关,打开加热开关。

1.3开启清洗制绒机器电源开关及面板上开关,并打开3#.5#.7#槽相应的加热开关,将15#后槽注入水后打开15#加热开关。

1.4开启去磷硅玻璃机器电源开关及面板上开关,并将4#后槽注入水后打开4#加热开关。

1.5开启石英管清洗机面板上电源开关。

2. 关机:2.1关闭石英管清洗机面板上电源开关。

2.2关闭去磷硅玻璃机器电源开关及面板上开关,并关闭4#加热开关将4#中的水排干。

2.3关闭清洗制绒机器电源开关及面板上开关,关闭15#后槽加热开关并将水排干。

2.4关闭烘干炉面板上电源开关及加热开关,然后关闭机器电源开关。

2.5最后关闭总电源及水的阀门。

3.注意事项:3.1清洗制绒机器3#.5#.7#槽加热前应注意后槽水位,不足应及时补满,10#柠檬酸应时常用PH试纸测试溶液浓度是否达到相应要求。

3.2去磷硅玻璃机器第1#槽氢氟酸也应时常测试浓度是否达到相应要求。

3.3石英管清洗机内氢氟酸也应时常测试溶液浓度是否达到相应要求。

1. 准备工作:1.1穿好工作衣,工作鞋,带好工作帽,隔热手套及口罩。

1.2清洁车间的每个地方,用干净的抹布将机器表面的NaOH擦洗干净。

2. 操作过程:清洗制绒机器:2.1将每日领来的片子插入花篮中待水和溶液浓度到达相应要求后将装有片子的花篮放入1#内用超声波清洗并开启鼓泡开关,1#至14#按要求清洗。

2.2呆花篮中片子到15#槽开启15#槽切水开关,并按要求进行切水。

2.3将切完水的片子拿到烘干炉中烘10分钟。

2.4将烘干的片子取出通过传递窗送到下一道工序。

去磷硅玻璃机器:2.1将刻蚀完的硅片放入1#槽内,开启鼓泡和循环按钮,用HF清洗。

2.2将花篮取出放入2#槽,溢流清洗。

2.3将花篮取出放入3#槽,溢流清洗。

2.4开启4#切水开关进行切水。

2.5将切完水的片子拿到烘干炉中烘10分钟。

2清洗制绒作业指导书

清洗制绒作业指导书1.目的规范该岗位的工作流程,确保动作的一致性和连贯性。

2.适用范围清洗制绒岗位作业人员3.参考无4.职责清洗间工序长负责监督执行5.术语和定义5.1 制绒:通过化学反应,去除硅片表面机械损伤层和油污,形成起伏不平类似金字塔的绒面5.2 清洗:通过化学反应,使硅片表面氧化物以及金属离子被腐蚀溶解、脱离硅片。

6.内容6.1 穿戴好工作服、工作帽、乳胶手套、防护眼镜及一次性口罩。

6.2 依次打开控制柜电源开关;打开氮气、压缩空气和纯水的截止阀门。

6.3 将操作界面转为手动操作画面,打开各槽出水阀门,将槽内残液排空,清除槽内碎片和污物,并用纯水冲洗干净。

6.4 关闭出水阀门,打开进水阀门,向相应得水槽内注入纯水。

6.5 根据工艺要求,设定各槽时间,温度以及相关工艺参数。

6.6 制绒6.6.1 制绒槽的纯水液位以及氢氧化钠、异丙醇、硅酸钠的配比必须根据工艺要求进行配液。

6.6.2 根据原材料的特性以及工艺参考,确认硅片是否需要预处理,如需预处理地按照工艺要求进行配比,并设定温度和时间。

6.6.3 以上条件都符合工艺要求后,根据流程卡的数量拿取相应数量,放入花篮中,并摆放整齐。

(注:放入承载盒前必须仔细检查花篮是否有破损,如有破损不可使用)6.6.4 将预处理清洗后的硅片放入制绒槽内,进行制绒。

6.6.5 制绒到一定时间后,从中抽取一片观察外观无问题后,用气枪吹干,拿到金相显微镜下观察绒面,符合工艺要求后,即可以将制绒槽中取出至水槽。

6.6.6 根据每次制绒后绒面的情况,来确定化学品的补充量。

6.6.7 若绒面出现异常后,需及时向工艺人员反映,来确认解决方法。

6.6.8 如硅片不需预处理,将超声清洗后的硅片或不需清洗直接制绒的硅片放入制绒槽内进行制绒,按照6.6.5和6.6.7进行操作。

6.7 酸洗6.7.1 配液前穿上防酸服,防酸鞋,戴上防酸手套和防毒面具。

6.7.2 根据工艺配比要求将适量的氢氟酸、盐酸注入到相应的槽内,并注入适量的纯水做好换液记录。

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清洗制绒操作规程
1.目的
为规范清洗制绒的操作流程,正确的、有效的、高效的进行生产,特制定本规程。

2.适用范围
上海超日太阳能科技发展有限公司辖区内的清洗车间。

3.职责
3.1操作不规范可能引起原材料硅片的损耗,在进行操作之前,务必仔细阅读
本规程。

3.2熟练掌握每道操作步骤的注意点,精确掌控每道操作步骤的时间。

3.3严格根据本规程对化学品进行合适的操作。

4. 定义
4.1生产车间只负责按规程操作,没有改动化学品含量的权利
4.2对于生产过程中需要改变的参数,必须经由技术部门的授权。

5. 程序
5.1将各槽注满去离子水,打开控制柜上的电源开关,打开1、3、5、7、15
槽的加热开关,打开3、5、7槽的循环泵开关。

5.2将硅片插入花篮,插片时若发现硅片外观不良的挑出,插完一篮后扣好档
条、夹上夹子。

5.3在10槽前槽加入规定量的柠檬酸,用玻璃棒搅拌直至其完全溶解。

5.4待3槽水温达到50℃后,在后槽加入规定量的氢氧化钠。

5.5待5槽水温达到60℃后,在后槽加入规定量的氢氧化钠。

5.6将四篮硅片放入1槽内进行超声波清洗。

花篮在槽内遵循先进先出原则。

5.7将硅片放入2槽进行超声波漂洗。

5.8开启鼓泡开关,氮气流量大小应适中。

5.9将硅片放入3槽进行去损伤,从冒泡反应起开始计时。

5.10将硅片拿出迅速放入4槽进行漂洗。

5.11在5槽后槽加入规定量的异丙醇,10分钟后将4槽的硅片放入5槽进行
制绒。

5.12将硅片拿出迅速放入8槽进行漂洗。

漂洗结束后,取出1~2片观察绒面
情况。

5.13将硅片放入9槽进行漂洗。

5.14打开10槽的超声波电源开关,将硅片放入10槽进行超声波酸洗。

5.15打开11槽的超声波电源开关,将硅片慢慢从10槽拿出,放入11槽进行
超声波漂洗。

5.16将硅片放入13槽进行漂洗。

5.17将硅片放入14槽进行漂洗。

5.18开启15槽前槽注水开关,待前槽水量约有3/4时将硅片放入15槽进行
切水,切水时取下夹子。

5.19将硅片放入烘箱内烘干。

5.20烘干后将硅片送入扩散车间,做好各项记录表单。

5.21操作结束后,关闭鼓泡开关,关闭所有循环泵开关、加热开关和电源开
关。

5.22将各槽的水排放干净并对所有槽子的内外壁彻底清洗干净。

6. 附件
无。

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