扫描电子显微镜钨灯丝技术指标
11-2 JY T 010-1996分析型扫描电子显微镜方法通则
MV_RR_CNJ_0010分析型扫描电子显微镜方法通则1.分析型扫描电子显微镜方法通则的说明编号JY/T 010—1996名称(中文)分析型扫描电子显微镜方法通则(英文)General rules for analytical scanning electron microscopy归口单位国家教育委员会起草单位国家教育委员会主要起草人林承毅 万德锐批准日期 1997年1月22日实施日期 1997年4月1日替代规程号无适用范围本通则适用于各种类型的扫描电子显微镜和X射线能谱仪。
定义主要技术要求 1.2. 方法原理3. 仪器4. 样品5. 分析步骤6. 分析结果表述是否分级无检定周期(年)附录数目无出版单位科学技术文献出版社检定用标准物质相关技术文件备注2.分析型扫描电子显微镜方法通则的摘要本通则适用于各种类型的扫描电子显微镜和X射线能谱仪。
2 定义2.1二次电子 secondary electron在入射电子的作用下，从固体样品中出射的，能量小于50eV的电子，通常以SE表示。
2.2背散射电子 backscattered electron被固体样品中的原子反射回来的入射电子，包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子，通常以BSE表示。
它又称为反射电子(Reflected Electron)，以RE表示。
其中弹性背散射电子完全改变了入射电子的运动方向，但基本上没有改变入射电子的能量；而非弹性背散射电子不仅改变了入射电子的运动方向，在不同程度上还损失了部分能量。
2.3 放大倍数 magnification扫描电镜的放大倍数是指其图像的线性放大倍数，以M表示。
如果样品上长度为L s直线上的信息，在显像管上成像在L c 长度上，则放大倍数为M ＝－L L －c s扫描电镜的有效放大倍数与电子束直径有关。
如果样品上电子束编址的单位区域，即像素，小于电子束直径，每次取样传送的信息包含一个以上的像素，前后传送的信息互相部分重叠。
蔡司扫描电镜EVO 10技术参数
钨灯丝扫描电子显微镜EVO MA 10/LS 10详细描述：品牌：卡尔·蔡司 型号：EVO MA 10/LS 10制造商：德国卡尔蔡司公司 经销商：欧波同纳米技术有限公司免费咨询电话：800-8900-558【品牌故事】世界顶级光学品牌，可见光及电子光学的领导企业----德国蔡司公司始创于1846年。
其电子光学前身为LEO（里奥）,更早叫Cambridge（剑桥），积扫描电镜领域40多年及透射电镜领域60年的经验，ZEISS电子束技术在世界上创造了数个第一：第一台静电式透射电镜 (1949)第一台商业化扫描电镜 (1965)第一台数字化扫描电镜(1985)第一台场发射扫描电镜(1990)第一台带有成像滤波器的透射电镜 (1992)第一台具有Koehler照明的 200kV 场发射透射电镜(2003)第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003)CARL ZEISS以其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼动的王者地位。
自成立至今，一直延续不断创新的传统，公司拥有电镜制造最核心最先进的专有技术，随着离子束技术和基于电子束的分析技术的加入、是全球唯一为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIB and SEM)、透射电子显微镜等全系列解决方案的电镜制造企业。
其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全世界广大用户的信赖与认可。
作为全球电镜标准缔造者的CARL ZEISS将一路领跑高端电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。
【总体描述】EVO系列电镜是高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。
MA 10用于材料领域,LS 10用于生命科学领域。
该系列电镜采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，提供高低真空成像功能，可对各种材料表面作分析，并且具有业界领先的X射线分析技术。
革命性的Beamsleeve的设计，确保在低电压条件下提供高分辨率的锐利图像，同时还可以进行准确的能谱分析。
钨灯丝扫描电镜
二次电子，背散射电子
入射电子
h:散射率
0.6
~10 nm
二次电子
(=背散射电子/入射电子)
0.5 0.4 0.3 0.2
二次电子产生区域
边缘效应
0.1 0 60 80 100 Z 背散射电子的产量取决于原子序数的大小 0 20 40
二次电子的发射率和入射角度的关系
10
Electron Probe Micro Analyzer
扫描电镜观察:
1.样品在真空的环境中，要注意样品容易产生变形，收缩，蒸发。 2.只有导电性好的样品才能在样品仓中进行稳定的观察。 3.如果想进行高放大倍率的观察，必须将样品完全稳固的样品托上.
能谱仪观察:
1.注意样品发生变形. 2.当你制备样品时，请留意流失其他元素。 3.如果你想得到高精度的定量结果，请保证样品表面是平滑的。
17
1 Electron Probe Micro Analyzer 7
二次电子探测器
入射电子束 Collector Scintillator Light pipe PMT
A
B
Preamplifier
样品
18
Electron Probe Micro Analyzer
背散射电子探测器
A 入射电子束 B
BEI 前置放大器
Monitor
A+B
A-B
IMS
样品
A+B; COMP A-B; TOPO
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Electron Probe Micro Analyzer
背散射电子探测器
入射电子 束 Ou tpu Ou tA tpu Dete tB ctor B Specimen
扫描电镜
1.扫描电子显微镜的成像原理：与透射电镜完全不同，它不用电磁透镜放大成像。
而是以类似电视摄影显像的方式。
利用细聚焦高能电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的。
扫描电子显微镜的特点：①高分辨率：普通钨灯丝扫描电镜其二次电子像的分辨率达3～4nm；而场发射扫描电镜可达1～2nm。
②高放大倍数：10倍～50万连续可调，原位放大。
③高景深：适合于粗糙表面及断口形貌的显微分析。
④多功能：可与其它分析仪器相组合，能在同一台仪器上进行形貌、微区成分和晶体结构等多种微观组织结构信息的同位分析。
2电子束与固体样品作用高能入射电子束轰击固体样品，与样品物质中的原子核、核外电子相互作用，而发生散射和吸收。
原子对电子散射：也分弹性散射与非弹性散射。
1)、弹性散射：入射电子与原子核的相互作用。
2). 非弹性散射：入射电子与原子中核外电子作用。
入射电子能量传给原子而发生变化，并引起原子结构变化，产生各种电子激发或辐射。
3)吸收：入射电子在固体中散射比X 射线强得多，固体对电子的“吸收”强烈。
吸收表现：随着激发次数增多，入射电子动能逐渐减小，引起强度衰减，直到耗尽，最终被固体吸收（束缚）。
电子束与固体样品作用时产生的信号1)．背散射电子：指被固体样品中原子核反弹回的一部分入射电子。
含弹性的和非弹性的①弹性背散射电子：指被样品物质中原子核反弹回来，散射角>90o的部分入射电子，其能量基本无损失，只改变方向。
特点：能量高，能达数千～数万电子伏。
②非弹性背散射电子：入射电子和核外电子相互作用，不仅方向改变、能量有不同程度损失，经多次散射后仍能回表面（散射角> 90o ）的电子。
背散射电子特点：能量：从数十eV～数千eV很宽。
数量：弹性的远比非弹性的所占份额多。
来源：样品表层几百nm深度。
产额：随原子序数Z增大而增多。
2)．二次电子：指被入射电子击出，并离开样品表面的样品物质核外电子。
二次电子特点：①大多（90％）是来自样品原子外层的价电子。
钨灯丝扫描电镜原理
钨灯丝扫描电镜原理钨灯丝扫描电镜是一种利用电子束成像技术观察物样表面形貌及微结构的高级显微分析仪器。
其主要原理是利用电子枪发射电子束，扫描物样表面，将经过二次电子转化的电子信号转化为图像信号。
下面从发射电子束、扫描物样表面和信号转换三部分详细介绍钨灯丝扫描电镜的原理。
一、发射电子束电子束是钨灯丝扫描电镜成像的基础，也是其最重要的组成部分之一。
电子束来源于电子枪，电子枪是由加热器、阴极、阳极和网格组成的。
阴极加热后，会发射出一些自由电子，在高电场作用下，这些自由电子会加速并向阳极移动。
在电子枪中，使用网格控制电子束的尺寸和位置，通过调节网格电压和阴极电压可以控制电子束的强度和位置。
二、扫描物样表面扫描物样表面是钨灯丝扫描电镜的核心部分，通过扫描物样表面可以获取到物样表面形貌和微观结构信息。
当电子束照射到物样表面时，表面会产生一些二次电子，这些二次电子会溅射出去，其中一部分可以被收集到二次电子探测器中。
通过探测器收集到的二次电子信号，可以重建出物样表面的形貌和微观结构。
三、信号转换信号转换是将通过二次电子转化的电子信号转化成最终的图像信号。
收集到的二次电子信号会被放大并转化成电压信号，这些信号经过电子学处理后被送入视频控制器，由视频控制器进行数字/模拟转换并存储成图像。
最终，经过数字转换的图像信号被发送到高分辨率显示器或数字储存器中，形成可视化图像或数字数据。
钨灯丝扫描电镜是一种高级显微分析仪器，其基本原理是利用电子束成像技术观察物样表面形貌及微结构。
从电子束发射、扫描物样表面到信号转换，这三个部分构成了钨灯丝扫描电镜的主要原理。
除了基本原理之外，钨灯丝扫描电镜还有一些相关的内容，包括样品准备、成像技术和应用范围等。
一、样品准备样品准备是钨灯丝扫描电镜分析中的重要环节，样品的质量和处理方法对成像效果有非常大的影响。
通常情况下，将样品制成薄片或表面光洁的粒子，用金、银等容易导电的材料涂覆表面，然后通过真空室将样品固定在样品台上。
扫描电子显微镜技术参数
扫描电子显微镜技术参数1. 扫描电镜主机★1.1 分辨率二次电子探测器分辨率：<3.0 nm （30 KV）；<8nm (3 KV )，背散射电子探测器分辨率：<3.5nm（30kv )。
★1.2 放大倍数：最低倍率可达到1倍，最高倍率可达到1000,000。
1.3 真空系统★1.3.1 具有高低真空功能,高低真空自动转换；★1.3.2 样品室真空度：高真空可达到5×10-4 Pa；低真空范围不小于5-500Pa；1.4 电子光学系统1.4.1 电子枪：钨灯丝，具有自动加热及对中的功能；1.4.2 聚光镜：具有自动可变焦功能；1.4.3 加速电压:200V-30kV，10V步进可调；1.4.4电子探针束流：最大束流不小于2uA，并连续可调。
★1.4.5电子光学镜筒可全自动自动调节，可以精确控制束流和束斑尺寸；1.5 样品室和样品台★1.5.1 样品台尺寸：装载直径≥200mm样品；★1.5.2全自动五轴优中心台：具有全自动五轴马达驱动功能；样品台移动范围：X=100 mm，Y=100mm，Z=100 mm旋转：360度连续倾斜：-30度到+90度更换样品后抽真空时间：< 5分钟；1.5.3 样品台具有报警与自动停止功能，具有样品位置感知功能。
1.6 探测器及成像系统★1.6.1具备高灵敏度YAG晶体二次电子探测器具备可伸缩的YAG晶体背散射电子探测器具备用于观察样品室情况的红外摄像机；★1.6.2 成像模式：同时得到二次电子像，背散射电子像，两种图像混合像，也可四幅图像同时成像，BSE可分别成像，并和SE任意叠加混合；1.6.3具备五种电子光学工作模式；★1.6.4扫描速度：从20 ns至10 ms像素，可阶段或连续式的调整，可进行3维电子束扫描，电子束沿X和Y轴倾斜扫描实时立体成像。
1.7电镜控制1.7.1电镜操作控制系统：鼠标、键盘、轨迹球；1.7.2工作站：Intel® Core 3.6GHz，8GB内存，500GB硬盘，nVIDIA GT630 2GB DDR3，Windows81.7.3完善的软件用于SEM控制，图像采集、存档、处理和分析；★1.7.4具备中英文操作系统。
蔡司电镜汇总
【型号】EVO MA 10/LS 10EVO MA 15/LS 15【钨灯丝扫描电子显微镜】【总体描述】放大倍数：7—1000000x 放大倍数：5—1000000x低真空压力范围：10—400Pa (LS10:10-3000Pa)低真空压力范围：10—400Pa (LS15:环扫模式10-3000Pa)工作室：310mm(φ)×220mm(h)工作室：365mm(φ)×275mm(h)5轴优中心自动样品台：X=80mm Y=100mm Z=35mm T=0-90°R=360°5轴优中心自动样品台：X=125mm Y=125mm Z=50mm T=0-90°R=360°最大试样高度：100mm，最大试样直径：200mm 最大试样高度：145mm，最大试样直径：250mm【主要特点】能在可变压力下操作先进X射线和EBSD分析可移动大平台快抽真空未来的保证，可升级在高压和水蒸气下成像和分析高亮度LaB6资源选择光线套选择探针电流：0.5μAX-射线分析工作距离：8.系统控制：基于Windows XP【技术参数】EVO系列电镜是高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。
MA10/15/25用于生命科学领域。
该系列电镜采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，提供高低真空成像功能，可对各种材料表面作分析，并且具有业界领先的X射线分析技术。
革命性的Beamsleeve的设计，确保在低电压条件下提供高分辨率的锐利图像，同时还可以进行准确的能谱分析。
样品台为五轴全自动控制。
标准的高效率无油涡轮分子泵能够满足快速的样品更换和无污染(免维护)成像分析。
OptiBeam®模式:分辨率（Resolution）、景深（Depth）、分可以使用的探测器:BSD －背散射ETSE－Everhart-Thornley 二次电子探测器VPSE－可变压力二次电子探测器SCD －样品电流探测器EPSE－延伸可变压力二次电子探测器图象处理:7种积分加速电压：0.分辨率： 3.0 nm(2nm) @4.5 nm @ 30 kV BSD（VP模式）15nm @ 30 kV 1nA, LaB620nm(15nm) @ 1kV SE和W（LaB6）10nm @ 3kV SE【产品应用】扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非玻璃纤维)等检验和研究。
德国蔡司钨灯丝扫描电镜EVO MA10技术说明
德国蔡司钨灯丝扫描电镜技术文件仪器型号：EVO MA10北京欧波同光学技术有限公司2017年09月07日目录一、聚焦CARL ZEISS (3)二、产品概述 (4)三、技术参数 (5)四、计划进度及培训 (7)五、环境要求 (8)六、质保及其他服务 (9)一、聚焦CARL ZEISS世界可见光及电子光学的领导企业—德国蔡司公司始创于1846年。
其电子光学前身为LEO（里奥）,更早叫Cambridge（剑桥）和Zeiss。
积扫描电镜领域50年及透射电镜领域60多年的经验，ZEISS电子束技术在世界上创造了数个第一：•第一台静电式透射电镜(1949)•第一台商业化扫描电镜(1965)•第一台数字化扫描电镜(1985)•第一台场发射扫描电镜(1990)•第一台带有成像滤波器的透射电镜(1992)•第一台具有Koehler照明的200kV 场发射透射电镜(2003)•第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003)CARL ZEISS其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼动的王者地位。
自成立至今，一直延续不断创新的传统，公司拥有广泛的专有技术，随着离子束技术和基于电子束的分析技术的加入、可为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIB and SEM)、扫描离子显微镜等全系列解决方案。
其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全世界广大用户的信赖与认可。
作为全球电镜标准缔造者的CARL ZEISS将一路领跑高端电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。
欧波同有限公司做为Carl Zeiss 集团显微镜事业部的战略合作伙伴，在北京，上海，广州，鞍山、济南、郑州、西安等地设有营销机构和维修服务站，致力于蔡司电镜的技术咨询，销售和售后服务工作。
二、产品概述扫描电镜是以电子束作为光源，电子束在加速电压的作用下经过三级电磁透镜，在末级透镜上部扫描线圈的作用下，在试样表面做光栅状扫描，产生各种同试样性质有关的物理信息（如二次电子，背散射电子），然后加以收集和处理，从而获得表征试样形貌的扫描电子像。
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扫描电子显微镜（钨灯丝）配置及技术指标
一、主要用途
1、材料显微结构的二次电子像观察
2、材料显微结构的背散射电子像观察
3、材料微区元素的定性和半定量分析
二、扫描电镜组成
1、主机+电制冷X 射线能谱仪
2、计算机控制系统
3、真空系统
4、低真空系统
5、电子光学系统
6、辅助设备（变压器、稳压器、冷却装置等）
7、备品备件（包括灯丝、聚光镜光栏、物镜光栏、保险丝、密封圈、专用工具、
碳、银两种导电胶、导电胶带、真空脂、二次电子探测器等）
8、离子溅射仪
三、技术指标
1、二次电子（高真空）分辨率： 3.0nm （30KV）
2、背散射电子（高真空）分辨率： 4.0nm （30KV）
3、放大倍数：最低倍率w 6倍，最高倍率》300,000倍
4、真空系统
4.1 具有高低真空功能；
4.2 真空泵系统：涡轮分子泵+机械泵
4.4 真空系统阀门：电磁阀或气动阀（配有空压机）
5 电子光学系统
5.1 电子枪：全自动电子枪，具有自动偏压功能
5.2 聚光镜光阑完全安装在长内衬管内，用户可自行拆卸、更换聚光镜光阑
5.3 灯丝：预对中灯丝，灯丝饱和自动调节
6 样品室和样品台
6.1 最大样品尺寸：200mmx75mm
6.2 5 轴自动马达驱动样品台
6.3 非接触报警装置：通过输入的样品尺寸数据，自动避免样品台的危险操作
6.4 具有样品室内部整体观察功能（CCD）
7 探测器及成像系统
7.1 二次电子探测器：二次电子像
7.2 背散射电子探测器：成分像、形貌像或三维像
7.3 成像模式：同时得到二次电子像，背散射电子像，两种图像混合像
7.4 图像捕捉模式：快慢扫描捕捉、积分捕捉
7.5 电镜操作控制系统：鼠标、键盘及具有手动操作功能部件
7.6 软件界面：中英文操作界面（无中文操作界面说明即可），列出标配软件
和外购软件
8 X 射线能谱仪的技术指标（扫描电镜附件）
8.1 电制冷探测器
8.2 分别率：优于129eV
8.3 探测器活区面积：大于或等于20
8.4 元素探测范围：Be（4）—U（92）
8.5 软件界面：中英文界面（无中文操作界面说明即可）
8. 6软件功能：具备点、线、面分析功能，具有标准通用软件包，列出标配软件和
外购软件
8.7 配有专用电脑和显示器四、附件、备件、特殊工具和消耗品
提供五年以上的备品备件（包括各种保险丝、密封圈、各种光栏、专用工具、样品托、金属抛光膏、银导电胶、导电胶带及预对中灯丝80 支）
1 预对中灯丝：80 支
2 聚光镜光阑： 5 套
3 物镜光阑：5 套
4 银导电胶： 2 瓶
5 导电胶带：2 卷五、安装服务
5.1 安装、调试：厂家免费负责仪器的安装、调试，验收合格。
5.2 验收合格后，厂家提供两年的免费服务
5.3 厂家在中国设有专门的应用中心以及固定的维修站，并配有专业维修工程师，
保证提供及时优质的售后服务，并提供操作人员的免费培训。
六、说明
1、仪器上所有零部件均为进口产品，否则，请说明；
2、高低真空扫描电镜和X 射线能谱仪一起报价，低真空系统和离子溅射仪单独报
价；
3、扫描电镜操作和X 射线能谱操作都有独立的电脑。