三氯氢硅1
三氯氢硅安全技术说明书
三氯氢硅安全技术说明书 -标准化文件发布号：（9456-EUATWK-MWUB-WUNN-INNUL-DDQTY-KII三氯氢硅安全技术说明书第1部分化学品及企业标识化学品中文名：三氯氢硅；三氯硅烷；硅仿；硅氯仿化学品英文名：trichlorosilane；silicochloroform产品推荐及限制用途：用于生产有机硅的中间体。
第2部分危险性概述紧急情况概述：遇明火强烈燃烧。
受高热分解产生有毒的氯化物气体。
与氧化剂发生反应，有燃烧危险。
吞咽有害，吸入有害，造成严重的皮肤灼伤和眼损伤，造成严重眼损伤。
GHS危险性类别：根据化学品分类、警示标签和警示性说明规范系列标准，该产品属于易燃液体，类别1；发火液体/自燃液体，类别1；遇水放出易燃气体的物质和混合物，类别1；急性毒性-经口，类别4；急性毒性-吸入，类别4；皮肤腐蚀/刺激，类别1A；严重眼损伤/眼刺激，类别1。
标签要素：象形图：警示词：危险危险性说明：极易燃液体和蒸气，暴露在空气中会自燃，遇水放出可自燃的易燃气体，吞咽有害，吸入有害，造成严重的皮肤灼伤和眼损伤，造成严重眼损伤。
防范说明：预防措施：远离热源/火花/明火/热表面。
禁止吸烟。
不得与空气接触。
因会发生剧烈反应和可能发生闪燃，需避免任何与水接触的可能。
惰性气体中操作。
防潮。
保持容器密闭。
只能使用不产生火花的工具。
采取防静电措施。
处理后要彻底清洗所有外部暴露的身体部位。
避免吸入粉尘/烟/气体/烟雾/蒸气/喷雾。
只能在室外和通风良好处使用。
戴防护手套/穿防护服/戴防护眼罩/戴防护面具。
事故响应：发生火灾时，用干粉、干砂灭火。
食入：饮水，禁止催吐。
如有不适感，就医。
皮肤（或头发）接触：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗20～30分钟。
如有不适感，就医。
如吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。
保持呼吸道通畅。
如呼吸困难，给输氧。
呼吸、心跳停止，立即进行心肺复苏术。
就医。
眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗10～15分钟。
三氯氢硅标准
三氯氢硅标准一、范围本标准规定了三氯氢硅产品的分类、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存、质量证明书内容、订货单内容、供货要求、供货周期和交货地点、供货数量和交货期限、质量保证期、质量问题的处理、合同履行保证及争议解决方式。
二、规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。
凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。
凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
三、术语和定义下列术语和定义适用于本标准。
1.三氯氢硅：由硅与氯元素直接化合生成的化合物，化学式为SiHCl3。
2.技术指标：经双方协商同意，三氯氢硅产品的技术要求。
四、产品分类根据三氯氢硅产品的性能指标，将三氯氢硅产品分为以下类别：1.优等品：符合技术要求且满足特定应用标准的产品。
2.一等品：符合技术要求的产品。
3.合格品：符合基本技术要求的产品。
五、技术要求三氯氢硅产品的技术要求包括以下方面：1.外观：无色透明液体。
2.纯度：符合表1规定。
3.沸点：符合表2规定。
4.水含量：符合表3规定。
5.酸度：符合表4规定。
6.铁含量：符合表5规定。
7.砷含量：符合表6规定。
8.包装：应使用密封良好的金属桶包装，桶身表面应清洁干燥，无锈蚀痕迹。
包装上应标明产品名称、生产厂家名称、地址、生产日期及批号等。
桶盖应密封良好，无泄漏现象。
9.运输和贮存：三氯氢硅产品应贮存在干燥、阴凉、通风良好的地方，避免阳光直射和高温。
运输过程中应防止碰撞和日晒雨淋。
三氯氢硅生产的火灾危险及对策
三氯氢硅生产的火灾危险及对策三氯氢硅是一种具有挥发性的无机化合物，其具有很高的火灾危险性。
在生产和储存过程中，如果不采取适当的措施，很容易引发火灾事故。
本文将介绍三氯氢硅火灾危险及对策。
1.三氯氢硅火灾危险性：三氯氢硅是一种易燃的化合物，接触空气时会迅速分解生成氢氯化物气体和硅酸盐。
这种气体在空气中易燃，形成火焰，引发火灾。
另外，三氯氢硅还具有强烈的腐蚀性，可能引起爆炸。
2.对策：2.1储存和运输安全：在储存和运输三氯氢硅时，需要采取以下措施来降低火灾风险：-使用密封容器储存，并确保容器无损坏或泄漏。
-定期进行容器的安全检查和维护，及时更换老化或损坏的容器。
-尽量避免接触空气，以减少分解产物的形成。
-采用适当的储存温度，通常为恒温储存。
-在运输过程中，使用符合安全标准的专用运输车辆，并遵守相关运输规定。
2.2操作安全：在生产和使用三氯氢硅过程中，需要采取以下操作安全措施：-建立完善的安全操作规程，明确操作流程和注意事项。
-保证操作人员接受充分的培训和安全意识教育，了解三氯氢硅的特性和风险。
-严格执行个人防护措施，包括佩戴防护眼镜、防护手套、防护服等。
-建立紧急应急预案，包括应对火灾事故的紧急措施和逃生计划。
-定期进行设备和仪器的维护和检测，确保正常运行。
2.3灭火设备和防火设施：在工厂或储存场所中，应设置合适的灭火设备和防火设施-安装火灾报警系统，能够对火灾进行及时发现和报警。
-配备适量的灭火器材，包括干粉灭火器、二氧化碳灭火器等。
-设置消防水源和消防栓，并确保正常供水。
-定期检查和保养灭火设备，确保其可靠性和有效性。
-定期进行消防演练，提高员工应对火灾的应急能力。
总之，三氯氢硅是一种具有很高火灾危险性的化合物，需要在生产、储存和使用过程中采取一系列的安全措施来降低火灾风险。
这些措施包括储存和运输安全、操作安全以及灭火设备和防火设施的设置。
通过科学的管理和全面的预防措施，可以降低三氯氢硅火灾事故的发生概率，保障人员和财产的安全。
三氯氢硅简介范文
三氯氢硅简介范文三氯氢硅（化学式：SiHCl3，英文名：Trichlorosilane），又称为氯硅烷，是一种常用的有机硅化合物。
它是由硅和氯气反应生成的，是一种无色挥发性液体，具有刺激性气味。
三氯氢硅是许多其他有机硅化合物的重要原料，广泛应用于化学、电子、光伏等领域。
下面将对三氯氢硅的性质、制备方法、应用以及安全性进行详细介绍。
一、性质：1.外观：三氯氢硅是无色的液体，具有刺激性气味。
2. 密度：三氯氢硅的密度为1.486 g/cm³。
3.熔点：三氯氢硅的熔点为-126.5℃。
4.沸点：三氯氢硅的沸点为31.8℃。
5.溶解性：三氯氢硅可溶于有机溶剂，如苯、甲苯等。
6.不稳定性：三氯氢硅在阳光或高温下易分解。
二、制备方法：1.氯化硅法：将硅与氯气反应生成三氯氢硅。
2.氢化还原法：将二氯硅烷和氢气反应生成三氯氢硅。
3.氯气氢化法：将氯气和氢气在硅表面上反应生成三氯氢硅。
三、应用：1.化学领域：三氯氢硅是合成其他有机硅化合物的重要原料。
它可以与酮、醛等化合物反应生成对硅代醇，并进一步反应生成其他有机硅化合物，如硅氧烷、硅烷等。
这些有机硅化合物广泛应用于涂料、密封剂、油墨、润滑剂等领域。
2.电子领域：三氯氢硅用于制备硅材料，如硅晶片、太阳能电池等。
它可以通过热分解或化学气相沉积的方法制备高纯度的硅材料，用于电子器件的制造。
3.光伏领域：三氯氢硅是光伏电池的重要原料。
它可以通过化学气相沉积的方法在硅基底上制备多层薄膜光伏电池。
这种电池可以将太阳能转化为电能，用于供电或储存能量。
4.其他领域：三氯氢硅还用于杀真菌剂、固化剂、阻燃剂等的制备。
它可以作为辅助材料用于改性塑料、橡胶等的生产。
四、安全性：1.毒性：三氯氢硅具有一定的毒性，可能对呼吸系统、眼睛和皮肤造成刺激和损伤。
使用时应避免吸入、接触皮肤和眼睛。
2.燃爆性：三氯氢硅是易燃液体，与空气中的氧气形成爆炸性混合物。
在储存和运输过程中，应注意防止火源。
三氯氢硅所有的化学性质
三氯氢硅的物化性质三氯氢硅SiHCl31.别名•英文名硅氯仿、硅仿、三氯硅烷；Trichlorosilane、Silicochloroform．2.用途单晶硅原料、外延成长、硅液、硅油、化学气相淀积、硅酮化合物制造、电子气。
3.制法(1)在高温下Si和HCl反应。
(2)用氢还原四氯化硅(采用含铝化合物的催化剂)。
4.理化性质分子量：135.43熔点(101.325kPa)：-134℃；沸点(101.325kPa)：31.8℃；液体密度(0℃)：1350kg/m3；相对密度(气体，空气=1)：4.7；蒸气压(-16.4℃)：13.3kPa；(14.5℃)：53.3kPa；燃点：-27.8℃；自燃点：104.4℃；闪点：-14℃；爆炸下限：6.9%；爆炸上限：70%毒性级别：3；易燃性级别：4；易爆性级别：2三氯硅烷在常温常压下为具有刺激性恶臭易流动易挥发的无色透明液体。
在空气中极易燃烧，在-18℃以下也有着火的危险，遇明火则强烈燃烧，燃烧时发出红色火焰和白色烟，生成SiO2、HCl和Cl2：SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2；三氯硅烷的蒸气能与空气形成浓度范围很宽的爆炸性混合气，受热时引起猛烈的爆炸。
它的热稳定性比二氯硅烷好，在900℃时分解产生氯化物有毒烟雾(HCl)，还生成Cl2和Si。
遇潮气时发烟，与水激烈反应:2SiHCl3+3H2O—→ (HSiO)2O+6HCl；在碱液中分解放出氢气:SiHCl3+3NaOH+H2O—→Si (OH)4+3NaCl+H2；与氧化性物质接触时产生爆炸性反应。
与乙炔、烃等碳氢化合物反应产生有机氯硅烷: SiHCl3+CH≡CH一→CH2CHSiCl3 、SiHCl3+CH2=CH2—→CH3CH2SiCl3 在氢化铝锂、氢化硼锂存在条件下，SiHCl3可被还原为硅烷。
容器中的液态SiHCl3当容器受到强烈撞击时会着火。
可溶解于苯、醚等。
无水状态下三氯硅烷对铁和不锈钢不腐蚀，但是在有水分存在时腐蚀大部分金属。
三氯氢硅合成工艺有关书
三氯氢硅合成工艺有关书一、三氯氢硅概述三氯氢硅（Trichlorosilane，简称TCS）是一种重要的有机硅原料，化学式为SiHCl3。
在化学工业中，三氯氢硅广泛应用于有机硅化合物的研究与生产。
此外，它还具有半导体材料、光导纤维等方面的应用价值。
二、三氯氢硅合成工艺原理三氯氢硅的合成主要采用硅粉与氢气在催化剂作用下，通过高温反应生成。
反应方程式为：Si + 3H2 -> SiHCl3。
在合成过程中，催化剂的选取、反应温度、压力等因素对三氯氢硅的产率和纯度有重要影响。
三、三氯氢硅合成工艺流程1.硅粉准备：选用高纯度的硅粉作为原料，并进行干燥处理，以保证反应的顺利进行。
2.催化剂制备：选择合适的催化剂，如镍、铑等，并进行预处理，使其具有较高的活性。
3.反应釜准备：将硅粉、催化剂和氢气放入反应釜中，并进行密封。
4.反应过程：将反应釜加热至指定温度，保持一定的压力，使硅粉与氢气在催化剂的作用下发生反应。
5.产品分离与提纯：反应生成的三氯氢硅与其他副产品通过分离装置进行分离，然后对三氯氢硅进行提纯，以满足不同应用领域的需求。
6.循环利用与处理：对反应产生的废弃物进行合理处理，遵循环保原则。
四、三氯氢硅的应用领域三氯氢硅在有机硅行业具有广泛的应用，如硅橡胶、硅油、硅树脂等产品的生产。
此外，它还用于制备硅烷偶联剂、硅醇等化学品，广泛应用于建筑、汽车、电子、化工等领域。
五、我国三氯氢硅产业现状与展望近年来，我国三氯氢硅产业发展迅速，产能不断提高，产品质量和应用领域不断拓展。
然而，与国际先进水平相比，我国在三氯氢硅研发、生产等方面仍有一定差距。
未来，我国应加大技术创新力度，提高产业整体水平，满足国内外市场需求。
六、环保与安全措施在三氯氢硅合成工艺中，应重视环保与安全问题。
采取有效措施，如严格控制排放指标、降低能耗、加强设备安全管理等，确保生产过程绿色、安全。
综上所述，三氯氢硅合成工艺具有广泛的应用前景，我国应抓住产业发展机遇，加大研发力度，提高产业竞争力。
三氯氢硅闪点
三氯氢硅闪点三氯氢硅是一种有机硅化合物，其化学式为SiHCl3。
它是一种无色、剧毒的液体，在常温常压下具有刺激性气味。
在实际应用中，三氯氢硅常用作有机合成的重要试剂，也是硅掺杂材料制备的重要原料。
然而，虽然三氯氢硅在很多应用领域有着广泛的用途，但是它的火灾和爆炸性质也使得它在储存和使用过程中需要特别小心。
三氯氢硅的闪点是指其液体在特定条件下遇到点火源时发生自燃的最低温度。
对于三氯氢硅而言，其闪点相对较低，大约在38摄氏度左右。
这意味着只要接触到一定温度的点火源，如明火、高温金属表面、火花等，就可能引发液体的自燃。
因此，在储存和使用三氯氢硅的过程中，需要采取严格的防火措施。
在实际应用中，三氯氢硅会以密封的方式储存在特定的容器中，以降低其与空气中的水蒸气接触的机会，从而减少自燃的风险。
此外，还需要储存于远离火源和高温的地方，以确保其安全。
同时，在使用三氯氢硅的过程中，也要注意避免与可燃物质接触，以避免发生火灾。
除了注意防火措施外，还需要注意防爆措施。
由于三氯氢硅具有剧毒和腐蚀性，因此在操作过程中要避免吸入其蒸汽和接触其液体。
工作人员应穿戴适当的个人防护装备，如化学防护服、护目镜、防护手套等，以保护自己的安全。
此外，操作过程中要保持通风良好，避免蒸汽滞留于室内，从而减少爆炸的风险。
另外，需要注意的是，三氯氢硅还具有蒸汽对空气的爆炸性。
当遇到点火源时，三氯氢硅的蒸汽会产生爆炸，并产生有毒气体，对人体和环境造成危害。
因此，在使用三氯氢硅的过程中，要确保无论是操作还是储存都要保持良好的通风条件，以降低爆炸和中毒的风险。
综上所述，三氯氢硅作为一种有机硅化合物，在储存和使用过程中需要严格遵守防火和防爆措施。
注意防火措施，如储存于远离火源和高温的地方，避免与可燃物接触等。
同时，要注意防爆措施，如保持通风良好，穿戴适当的个人防护装备等。
只有做好这些安全工作，才能更好地保护工作人员的安全，减少火灾和爆炸的风险。
SiHCl3理化
三氯氢硅1、三氯氢硅又称三氯硅烷、硅氯仿2、分子式为SiHCl3用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成，是有机硅烷偶联剂中最基本的单体，也是生产半导体硅、单晶硅的原料，随着有机硅烷偶联剂工业的发展而出现供不应求，生产量越来越大。
3、三氯氢硅的理化特性及生产原理三氯氢硅是采用硅粉与氯化氢气体在流化床反应器中生成。
它是无色液体，易挥发，易潮解，在空气中发生反应产生白烟，遇水分解，溶于苯、醚等有机溶剂。
属一级遇湿易燃物品，易燃易爆，遇水反应产生氯化氢气体；它与氧化剂发生强烈反应，遇明火、高热时发生燃烧或爆炸。
4、其物理特性如下：比重：1．35；相对气体密度：4．7；沸点：31．8℃；饱和蒸气压（14．5℃）53．33Kpa；闪点：－13．9℃（开杯）；自燃温度：175℃；爆炸下限：6．9％；爆炸上限：70％；溶解性：溶于苯、醚等有机溶剂；具有急性毒性。
5、三氯氢硅生产的火灾危险性分析三氯氢硅生产的原料都是不燃物质，但是其生产过程中的产物大都是易燃易爆物质，如氢气、三氯氢硅、氯气等。
1、电解食盐水的火灾危险性（1）电解时有强大的电流通过，如果电气的绝缘不良极易产生电火花，电解车间经常有氢气泄漏，遇到电火花或其它明火会发生燃烧或爆炸。
（2）如氢气与氯气相混，达到爆炸极限范围，遇光也会发生爆炸。
2、三氯氢硅合成的火灾危险性SiHCl3的合成是在280℃～300℃的温度下进行的，已经超过了SiHCl3的自燃温度175℃，在合成过程中如果SiHCl3发生泄漏，或者空气进入反应器，极易引起燃烧、爆炸或中毒事故。
并且SiHCl3有毒、遇水燃烧，给火灾扑救带来一定的困难。
3、三氯氢硅贮罐的火灾危险性SiHCl3的贮罐如果发生泄漏，其危险性远远大于工艺管道泄漏的危险性，因为其贮量大，一旦发生泄漏，如果不及时堵漏，影响会不断扩大。
贮罐区因为冷却用水的需要，经常有水存在，泄漏的SiHCl3遇水发生反应，产生有毒的HCl，向四周扩散，给抢险救援工作带来困难。
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三氯氢硅目录（1）产品名称，物化性质，技术标准及作用；（2）原料名称及质量标准；（3）生产基本原理及反应式；（4）生产工艺流程叙述；（5）岗位操作法及控制：a.岗位操作范围；b.开车前准备；c.开停车操作；d.各岗位控制要点；（6）某些不正常现象及消除方法；（7）安全生产要点；（8 ）生产过程中的三废排放和处理；（一）产品名称，物化性质，技术标准及作用（1）产品名称：三氯氢硅SiHCl3(2) 物理性质：常温下纯净的三氯氢硅是无色、透明、挥发性、可燃液体，有较四氯化硅更强的刺鼻气味。
分子式：SiHCl3，分子量：135.4 ，液体密度：1.318kg/l （常温状态），气体密度：6.5g/l（标准状态），1atm下沸点：31.5℃，1atm下熔点：-128℃（3）化学性质：易水解、潮解、在空气中强烈发烟，生成HCl 和H2，HCl遇水立即转化为盐酸，盐酸具有很强的腐蚀性；H2易燃易爆。
更易挥发、更易气化、更沸点低；易着火、易爆炸、着火点28℃、着火温度220℃，燃烧时产生氯化氢和氢气；其蒸汽具有弱毒性，与无水醋酸和二氯乙烯毒性程度相同。
（二）原料名称及质量标准1.氯化氢（Hcl）：氯化氢含量92%∽94%,氯气不过量；2.硅粉:冶晶级多晶硅（95%∽99%），块密度约2.0×103kg/m3，硬度为7，其颗粒大小为80∽120目。
（三）生产基本原理及反应式1. 基本原理：80∽120目的硅粉与干燥的92%∽94%的氯化氢在催化剂（催化剂用量si:cucl2=100(0.4∽1)）作用下，在280∽320℃、小于0.05Mpa条件下生成三氯氢硅。
合成SiHCl3必须先将硅粉预热到250℃以上。
不过，该反应是放热反应，只要启动后就不再需要补充热能，而是带走热量。
2. 主要反应Si+3HCl→SiHCl3+H2+Q当温度不再上述制控制范围内，怎发生下列副反应：A.温度大于350℃时：Si + 4HCl → SiCl4 + 2H2+ QB.温度小于280℃时：Si + 4HCl → SiH2Cl2+ 2H2+ QC.硅粉与HCl反应过程中，硅粉中的少量杂质Ca、Fe、Al、Zn、Ti、P、B等主要生成CaCl2、FeCl3、AlCl3、ZnCl2、TiCl4、PCl3、BCl3化合物，这些物质大部分以固相在除尘时分离出去，仅少量随SiHCl3的混合气（液滴）进入冷凝器被溶解在料液中，这部分ppm级含量的杂质需通过精馏分离（四）生产工艺流程叙述三氯氢硅合成工艺简图硅粉加料系统是由三个串联的料仓〔一个干燥仓一个硅粉料仓一个计量仓组成〕和一台硅粉自动加料机组成。
根据合成炉设计的参数,连续向合成炉加入硅粉。
干燥的氯化氢气体经缓冲罐稳压压后，由合成塔下部经分布管均匀进入合成塔中。
SiHCl3合成炉由带水冷夹套的反应段，炉的上方带有扩大部分，反应段安装有多个测温口，炉的上部与下部均安装有测压仪表。
合成炉加入干燥的硅粉后,将合成炉加热到250-300℃，通入HCL气体，在炉内进行化学反应，生成SiHCl3、SiCl4、SiH2Cl2，反应的混合气送到旋风干法除尘器，经除尘器出去其中的硅粉及催化剂颗粒。
除尘后的气体通入冷凝器中，将气体中的三氯氢硅冷凝下来，经计量器计量后通入三氯氢硅储存罐中储存。
其余气体进入尾气吸收塔中去除。
（五）岗位操作法及控制a.岗位操作范围：温度、压力、流量。
b.合成炉开车前准备：○1.检查整个系统管道、阀门、设备、仪表、电路和压力表等是否正常好用。
○2.用N（1.5*105∽2*105Pa）试压，用氨水（或用肥皂水）检查系统所有的连2接处，确保无漏气和堵塞现象。
○3.沸腾炉升温（用电加热器）至200℃左右烘干，同时自炉底通N,流经全系2统至水淋洗中排出，使系统处于干燥和正压状态。
c. 开车操作:○1.向合成炉中投入竟是当温度干燥好的硅粉。
○2.沸腾炉继续升温，使中、下部温度维持在380∽400℃之间，除尘器保持在100℃左右。
○3.水冷却器中通入自来水，冷凝器中通入-60∽-40℃的盐水，随后向合成炉内通入HCl气体。
○4.反应后停止送点，靠反应放出的热量维持炉内的温度。
在炉内换热器中通入热水以带走多余热量，使炉内温度控制在280∽320℃范围内。
正常情况下，操作人员可根据各个测量点的压力和压差、炉内各点温度、产量的变化来判断炉内反应情况。
定时加入硅粉以维持炉内有足够的硅粉料层，保证沸腾床的形成。
每隔固定时间用压力为（2.5*105∽3*105Pa）氮气吹渣一次，残渣吹至除渣罐水封口排出。
d. 停炉操作：○1.停止加入硅粉。
当炉内剩余硅粉不在反应后，温度自行下降，同时不再有看、冷凝产物流出。
炉内降温可以采用自然降温和通入自来水降温两种方法。
○2.关闭器和HCl控制阀门，炉内维持正压（2.5*105∽3*105Pa）或者通入N2以赶出炉内气体。
吹渣赶气，关闭尾气。
○3.停止系统送电。
○4.停止输送冷却水和冷冻盐水。
e. 各岗位控制要点○1.反应温度的反应对温度的选择性很高，反应由前面的分析可知，硅粉与HCl合成SiHCl3温度对生产影响较大。
温度过低则反应缓慢，达不到足够的启动温度就有使炉内的反应平衡崩溃的可能，要维持反应必须使炉温控制在220℃以上。
反应温度过高，则SiCl的含量会明显增加，这是因为它的结构具有高度的对称性，有很好4的分子结构是不对称的，的热稳定性，高达600℃也不会引起热裂解。
而SiHCl3热稳定性差，在400℃就开始分解，550℃剧烈分解。
因此，为了获得高含量的SiHCl3产品，温度宜控制在280～320℃。
○2.1.5.2，氧和水份的影响氧和水份对合成反应为害很大。
因为Si－O键比Si－Cl键更稳定，进入系统的氧元素都会与硅合成硅胶或硅氧烷类物质，一方面在硅粉表面形成一层致密的氧化膜，影响反应的正常进行，使产物中的SiHCl含量降低（见下图），此外还3形成硅胶类物质堵塞管道，使系统发生故障○3游离氯的控制游离氯对合成炉的影响主要是两方面：一是含量过高有爆炸危险，另外是影响合成的质量。
通过HCl合成炉反应时氢过量4%左右来控制游离氯，并用含量检测仪连续检测合成HCl质量来确保游离氯含量低于要求。
○4.硅粉粒度硅粉与HCl气体反应是在硅的表面进行的，硅粉比表面积越大越有利于反应，即要求硅粉粒度应该较小。
但是，粒度过小，流化时容易形成聚式流化床，有较多的气泡，将抑制传质的进行，使HCl的一次转化率降低。
同时，较小的颗粒迅速反应，很快就达到带出粒径范围，使硅粉的利用率降低。
因此，选用粒度适中的硅粉是很重要的。
○5.硅粉料层高度和HCl流量产量和质量的重要因素，料层过硅粉料层高度和HCl流量是影响SiHCl3高压力降增加，要求进气压力相应提高。
过高的压力降造成炉内的稳定性变差，有形成“喷泉”或“沟流”的可能，更有形成“管涌”的可能性，这都会影响设备和原料的利用率，不利于生产的正常进行。
如果料层过低，产生不均匀沸腾，反应的接触时间也缩短，产量会降低。
HCl的流量决定了颗粒床的流化状态。
具体的床层高度和HCl流量需通过生产实践确定。
（六）某些不正常现象及消除方法○1.沸腾床层不沸腾。
出现该种情况可能有两种情况：a.气流量正常，但料层过厚。
此时就要适当减小进料量，同时增加一定气流量，以保证床层沸腾，然后逐步减小进气量、增加进料量至正常水平。
b.床层高度正常，但气流量过小。
此时是，只要怎加气流量到床层发生沸腾。
c.床层高度过低，气流量过小。
此时气体与硅粉接触不好，无法是床层沸腾。
这就需要同时逐步调节进料量和进气量至正常水平。
○2.床层沸腾过于剧烈。
出现该现象，一般是由于气流量过大，但床层高度正常，使硅粉被气体大量带出合成塔。
此时要逐步调节气流量至正常水平。
（七）安全生产要点（1）.可能发生的危险情况○1.HCl气体的泄漏；○2.SiHCl泄露、燃烧甚至爆炸；3○3.硅粉粉尘泄露；○4.HF腐蚀；○5.管路、设备高空维修作业坠落伤人；○6.水解物撞击着火伤人；○7.维修过程机械伤人。
（2）预防、处理措施○1.生产SiHCl3车间内、储料区应防火、防爆、通风，严禁烟火。
○2.上班前必须按照各岗位特点佩戴相应劳保用品及专用工具才能上岗作业，并定期检查劳保包用品是否正常，发现过期或有损伤的劳保用品应及时更换。
○3.若发生故障必需马上时停车维修时，应先断电，将SiHCl3、HCl等气体排净，在淋洗塔内用大量水吸收或水解，直至气体浓度较小时，方能拆开检修。
○4.操作室内严禁烟火，设备不许敲打撞击。
○5.由于三氯氢硅物性限制，生产过程中一旦发生爆炸，首先切断三氯氢硅料源，隔离着火点，然后用CCl4、CO2灭火器灭火，少量可用大量水水注灭。
○6.系统和管路均应密封闭，操作人员应定期检查，不容许设备发生跑、冒、滴、漏等情况；一旦发现泄露，应立即且断源，及时进行处理。
○7.一旦发现皮肤沾染化学品时，应先用抹布将化学品擦掉，让后用大量清水冲洗，然后按医嘱治疗。
○8.设备、场地需动火时，应先检查动火地是否有易燃易爆的气、液体，只有当空间环境低于爆炸极限时，并且准备好相应的灭火装置才能动火。
○9.检查尾气淋洗塔时应先用N2吹扫或水淋洗后，在进行检修，以防着火伤人。
○10.高空作业时，要先做好安全防护措施才能作业。
(八) 生产过程中的三废排放和处理三氯氢硅合成过程中主要产生四氯化硅、氯化氢、二氯二氢硅、硅渣等废料，其中，四氯化硅、二氯二氢硅经气液分离后回流送入三氯氢硅合成塔中，与氯化氢、氢气反应继续生成三氯氢硅；氯化氢气体经干燥后也送入合成塔中参加反应；硅渣用3%盐酸浸泡后，经过滤器过滤，将其中的硅粉过滤出来，干燥后投入合成塔中循环利用；过滤下的无用废渣进行深度掩埋处理。