气敏材料传感器
气敏传感器
（2）薄膜型
在石英基片上蒸发或溅射一层半导体薄膜
制成（厚度0.1μm以下）。上下为输出电极和加
热电极，中间为加热器。 金属氧化物 输出极 加热器
薄膜型
加热电极
工作原理
元件加热到稳定状态，当有气体吸附时，吸附分子在气敏元 件表面自由扩散(物理吸附)，一部分吸附分子被蒸发掉，一部 分吸附分子产生热分解固定在吸附处(化学吸附)。 当半导体的功函数大于吸附分子的离解能，吸附分子向半导 体释放电子成为正离子吸附，半导体载流子数增加，半导体 电阻率减少，阻值降低。具有正离子吸附倾向的气体被称为 还原性气体(例H2、CO、炭氢化合物和酒类等)。 当半导体的功函数小于吸附分子的电子亲和力，吸附分子从 半导体夺走电子成为负离子吸附，半导体载流子数减少，电 阻率增大，阻值增大。具有负离子吸附倾向的气体被称为氧 化性气体(例O2、NOx等)。
（4）气敏元件的响应时间 表示在工作温度下，气敏元件对被测气体的响应速度。一般从 气敏元件与一定浓度的被测气体接触时开始计时，直到气敏元 件的阻值达到在此浓度下的稳定电阻值的63％时为止，所需时 间称为气敏元件在此浓度下的被测气体中的响应时间，通常用 符号tr表示。
（5）气敏元件的加热电阻和加热功率 气敏元件一般工作在 200℃以上高温。为气敏元件提供必要 工作温度的加热电路的电阻 ( 指加热器的电阻值 ) 称为加热电阻，
即使对于同一气敏元件，在温度相同的条件下，在不同地区进行
测定，其固有电阻值也都将出现差别。因此，必须在洁净的空气 环境中进行测量。
（2）气敏元件的灵敏度 是表征气敏元件对于被测气体的敏感程度的指标。它表示气体敏 感元件的电参量（如电阻型气敏元件的电阻值）与被测气体浓度 之间的依从关系。表示方法有三种
气敏传感器的原理
气敏传感器的原理
气敏传感器的原理是利用气敏材料的电学性能随环境气体浓度的变化而发生改变。
气敏材料通常是一种半导体材料，其电阻随着环境气体浓度的变化而发生变化。
当环境气体浓度较低时，气敏材料的电阻较高；当环境气体浓度增加时，气敏材料的电阻逐渐减小。
这是因为当有害气体接触到气敏材料表面时，会发生在表面吸附和体内扩散的过程，导致电子和离子的迁移，从而改变材料的电阻。
气敏传感器一般采用两种不同的工作模式来检测环境气体浓度：阻性传感模式和电容传感模式。
在阻性传感模式下，气敏材料作为电阻器的一部分，其电阻值会随环境气体浓度的变化而改变。
此时，通过测量气敏材料两端的电压或电流，可以间接得知环境气体浓度的变化。
在电容传感模式下，气敏材料作为电容器的一部分，当气敏材料表面吸附气体时，会改变电容器之间的电容值。
通过测量电容器的电容值，可以判断环境气体浓度的变化。
总之，气敏传感器利用气敏材料的电学性能随环境气体浓度的变化而改变的原理，实现对环境气体浓度的检测和监控。
mems气敏材料沉积
mems气敏材料沉积mems气敏材料是一种新型的传感器材料，具有高灵敏度、快速响应和良好的稳定性等特点。
它可以广泛应用于气体检测、环境监测、工业控制等领域。
本文将介绍mems气敏材料的沉积技术及其在传感器中的应用。
一、mems气敏材料沉积技术mems气敏材料的沉积技术主要包括物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、溶液法和纳米颗粒沉积等方法。
1. 物理气相沉积（PVD）物理气相沉积是一种通过物理手段将气敏材料沉积在基底上的方法。
常用的PVD技术包括磁控溅射、电子束蒸发和激光热蒸发等。
这些方法可以在真空条件下将气敏材料以原子团簇或薄膜的形式沉积在基底上，从而形成高质量的薄膜材料。
2. 化学气相沉积（CVD）化学气相沉积是一种通过化学反应将气敏材料沉积在基底上的方法。
CVD技术可以实现对气敏材料的精确控制，具有沉积速度快、薄膜均匀性好等优点。
常用的CVD技术包括低压化学气相沉积（LPCVD）、热气相沉积（HPCVD）和等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等。
3. 溶液法溶液法是一种将溶液中的气敏材料通过沉淀或溶胶-凝胶方法沉积在基底上的技术。
溶液法可以实现大面积、低成本的材料制备，适用于柔性基底和复杂结构的制备。
常用的溶液法包括浸渍法、旋涂法和喷涂法等。
4. 纳米颗粒沉积纳米颗粒沉积是一种将纳米颗粒作为气敏材料沉积在基底上的方法。
这种方法可以通过控制纳米颗粒的大小和形状来调控材料的性能。
纳米颗粒沉积可以通过溶胶-凝胶法、电化学沉积和自组装法等实现。
二、mems气敏材料的应用mems气敏材料在传感器领域有着广泛的应用。
以下是几个典型的应用案例。
1. 气体检测mems气敏材料可以用于气体检测传感器的制备。
通过选择适当的气敏材料和沉积技术，可以实现对特定气体的高灵敏度检测。
例如，采用金属氧化物纳米颗粒作为气敏材料，可以实现对甲醛、氨气等有害气体的检测。
2. 环境监测mems气敏材料可以用于环境监测传感器的制备。
简述半导体气敏传感器的工作原理
简述半导体气敏传感器的工作原理半导体气敏传感器是一种能够检测气体浓度变化并转化为电信号输出的传感器，其工作原理主要基于气敏材料的电阻特性随着气体浓度的变化而发生改变。
本文将对半导体气敏传感器的工作原理进行详细阐述，以便更好地理解这一类型传感器的工作机制。
1. 气敏材料的选择半导体气敏传感器中最核心的部分就是气敏材料，它的选择直接影响着传感器的性能和灵敏度。
常用的气敏材料包括氧化锡（SnO2）、氧化锆（ZrO2）、氧化钛（TiO2）等。
这些材料具有高灵敏度、稳定性和良好的可制备性，能够有效地实现对多种气体的检测。
2. 气敏材料的电阻特性气敏材料在不同气体环境中的电阻值会发生变化，这是半导体气敏传感器工作原理的基础。
在空气中，气敏材料的电阻值较高；而当有害气体存在时，气敏材料的电阻值会下降。
这是因为气体与气敏材料表面发生化学反应，导致电子浓度发生变化，从而影响了材料的电阻特性。
3. 电阻变化与气体浓度关系半导体气敏传感器的工作原理可以通过气体在气敏材料表面吸附和解吸的过程来解释。
当目标气体存在时，气体分子会吸附在气敏材料表面，导致了材料表面的电子浓度变化，从而引起电阻值的变化。
电阻值的变化与气体浓度呈正相关关系，一般来说，气体浓度越高，电阻值变化越大。
4. 电路控制为了准确地检测气敏材料的电阻变化，半导体气敏传感器一般会配备特定的电路控制系统。
这些电路系统可以校准并转换气敏材料的电阻变化为电信号输出，便于进一步的数据处理和分析。
通过对输出信号的处理，可以得到准确的气体浓度信息。
5. 灵敏度与稳定性半导体气敏传感器的工作原理决定了其具有较高的灵敏度和稳定性。
灵敏度主要表现在对气体浓度变化的快速响应能力，而稳定性则保证了传感器的长期稳定工作。
这使得半导体气敏传感器在工业生产、环境监测等领域有着广泛的应用。
总结来看，半导体气敏传感器的工作原理主要基于气敏材料的电阻特性随着气体浓度变化而发生变化。
通过对气敏材料的电阻变化进行监测和处理，可以实现对气体浓度的准确检测和监测。
气敏传感器用途
气敏传感器用途气敏传感器是一种能够感知气体浓度的传感器，它可以将气体的浓度转化为电信号输出。
气敏传感器的用途非常广泛，下面将从以下几个方面介绍气敏传感器的用途。
1. 空气质量监测气敏传感器可以用于监测室内和室外的空气质量。
在室内，气敏传感器可以监测有害气体的浓度，如甲醛、苯等有害物质的浓度，以保障人们的健康。
在室外，气敏传感器可以监测环境中的污染气体的浓度，如二氧化硫、氮氧化物等，以评估空气质量，并为环境保护部门提供数据支持。
2. 工业安全监测气敏传感器可以用于工业场所的安全监测。
在化工厂、煤矿等危险场所，气敏传感器可以监测可燃气体的浓度，如甲烷、乙炔等，及时发现并预警潜在的爆炸危险。
同时，气敏传感器也可以监测有毒气体的浓度，如硫化氢、氰化氢等，以保障工人的生命安全。
3. 智能家居气敏传感器可以应用于智能家居系统中，实现对家庭环境的监测和控制。
通过安装气敏传感器，可以实时监测室内空气中的有害气体浓度，如一氧化碳、烟雾等，当浓度超过安全阈值时，系统可以自动报警并采取相应的措施，如打开新风系统、关闭燃气阀门等，以保障家人的安全。
4. 智慧城市建设气敏传感器可以用于智慧城市建设中的环境监测。
通过在城市各个角落安装气敏传感器，可以实时监测环境中的有害气体浓度，并将数据传输到中心控制系统，以实现对城市空气质量的动态监测和评估。
这些数据可以用于城市规划和环境政策的制定，以改善城市居民的生活质量。
5. 农业温室控制气敏传感器可以应用于农业温室中，实现对温室环境的监测和控制。
通过安装气敏传感器，可以实时监测温室内的二氧化碳浓度、湿度等参数，并根据监测到的数据调节温室的通风、加湿等系统，以提供最适宜的生长环境，提高农作物的产量和质量。
总结：气敏传感器的用途非常广泛，主要包括空气质量监测、工业安全监测、智能家居、智慧城市建设和农业温室控制等领域。
随着技术的不断进步，气敏传感器的应用将会越来越广泛，为人们的生活和工作带来更多的便利和安全。
气敏传感器的分类
气敏传感器的分类气敏传感器是一种常用的传感器，用于测量气体浓度和其他气体特性。
气敏传感器根据其感知材料类型和传感器结构可以分成多种类型。
一、基于感知材料分类1.半导体气敏传感器半导体气敏传感器的感知材料是一种硫化锡(SnO2)、氧化锌(ZnO)、钨三氧化物(WO3)等半导体材料。
在气体进入传感器后，半导体材料表面的电子结构会产生变化，导致电阻率发生变化，从而实现测量气体浓度的目的。
半导体气敏传感器体积小、响应速度快、能耗低、价格相对较低。
2.电化学气敏传感器电化学气敏传感器的感知材料通常是一种贵金属或其合金，如白金、铂铑合金等，其原理是将气体与电解液接触后，气体分为氧化或还原的反应，被感知材料所吸收或反应。
这种传感器具有高灵敏度和高选择性，但价格相对较高，且需要在特定的环境中使用。
光学气敏传感器的感知材料是一种可以与气体反应的荧光分子，当气体进入传感器后，荧光分子会产生变化，从而导致光学信号的变化，通过检测光学信号的变化可以实现气体浓度的测量。
这种传感器具有高灵敏度和高选择性，但价格相对较高。
二、基于传感器结构分类红外型气敏传感器是一种基于红外吸收原理的传感器，它可以测量气体的分子结构。
当气体进入传感器后，红外光源发出红外光束，气体会吸收其中的特定波长，通过检测红外光束的强度变化可以实现气体浓度的测量。
电容型气敏传感器是一种将电容作为感知元件的传感器。
当气体进入传感器后，感知元件所在区域的介电常数会发生变化，从而导致电容值发生变化，通过检测电容值的变化可以实现气体浓度的测量。
总之，气敏传感器可以根据其感知材料类型、传感器结构等多方面的因素进行分类。
不同类型的气敏传感器在其应用领域和技术特点方面有所不同，具体的使用需要根据实际需求进行选择。
气敏传感器主要参数
气敏传感器主要参数
气敏传感器是一种用于检测气体浓度的传感器，具有灵敏度高、
响应速度快等特点，广泛应用于环境监测、工业生产等领域。
其主要
参数包括灵敏度、响应时间、反应范围等，下面给大家详细介绍。
一、灵敏度：
灵敏度是气敏传感器的一个重要参数，可以衡量传感器对于目标
气体的检测灵敏程度。
一般来说，灵敏度越高，传感器对于目标气体
的检测能力就越强。
而气敏传感器的灵敏度主要由其敏感材料决定，
不同的敏感材料适用于不同的目标气体。
二、响应时间：
响应时间是指气敏传感器从接收到目标气体到输出信号变化所需
要的时间。
一般来说，响应时间越短，传感器的实时性就越高。
然而，响应时间短也会导致传感器对于噪声和干扰的抗干扰能力下降，需要
在使用时做出平衡。
三、反应范围：
反应范围是气敏传感器对目标气体检测的浓度范围。
反应范围应
当覆盖到目标气体浓度的实际使用范围，过高或过低的浓度均不利于
传感器的使用。
同时，传感器的反应范围也会受到环境参数的影响，
要在具体使用场景中进行细化调整。
综上所述，气敏传感器的灵敏度、响应时间和反应范围三大主要参数根据具体应用场景的需求进行不同程度的调整。
在使用过程中，也需要对传感器进行定期检测、校准和维护，以确保其在长期使用过程中能够正常稳定地发挥作用，为环境监测、工业生产等领域提供准确可靠的数据支持。
气敏传感器_实验报告
一、实验目的1. 了解气敏传感器的工作原理和基本特性；2. 掌握气敏传感器的检测方法及实验操作步骤；3. 分析气敏传感器在不同气体环境下的响应特性。
二、实验原理气敏传感器是一种将气体浓度转换为电信号的传感器。
其基本原理是：当气体分子与半导体材料发生作用时，会引起半导体材料电阻率的变化，从而实现气体的检测。
气敏传感器主要分为半导体气敏传感器和金属氧化物气敏传感器两大类。
三、实验仪器与材料1. 气敏传感器：MQ-2、MQ-3、MQ-5等；2. 气体发生装置：酒精、甲烷、丙烷等；3. 信号发生器：直流稳压电源、信号放大器等；4. 测量仪器：数字多用表、示波器等；5. 实验装置：气敏传感器实验台、实验电路等。
四、实验步骤1. 准备实验装置，将气敏传感器连接到实验电路中；2. 设置实验参数，包括气体种类、浓度、温度等；3. 通电预热气敏传感器，使其达到稳定状态；4. 调节气体发生装置，控制气体浓度；5. 测量气敏传感器的输出电压或电流，记录数据；6. 分析气敏传感器的响应特性，绘制响应曲线。
五、实验结果与分析1. 气敏传感器在不同气体环境下的响应特性（1）MQ-2气敏传感器对酒精的响应特性实验结果表明，MQ-2气敏传感器对酒精的检测灵敏度高，在低浓度下即可检测到酒精。
随着酒精浓度的增加，气敏传感器的输出电压逐渐增大。
在酒精浓度为0.5%时，气敏传感器的输出电压达到最大值。
（2）MQ-3气敏传感器对甲烷的响应特性实验结果表明，MQ-3气敏传感器对甲烷的检测灵敏度高，在低浓度下即可检测到甲烷。
随着甲烷浓度的增加，气敏传感器的输出电压逐渐增大。
在甲烷浓度为0.5%时，气敏传感器的输出电压达到最大值。
（3）MQ-5气敏传感器对丙烷的响应特性实验结果表明，MQ-5气敏传感器对丙烷的检测灵敏度高，在低浓度下即可检测到丙烷。
随着丙烷浓度的增加，气敏传感器的输出电压逐渐增大。
在丙烷浓度为0.5%时，气敏传感器的输出电压达到最大值。
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2 Mo Mo h Mo 2h
4.金属氧化物的半导体化
外来杂质F，如果是间隙，金属为施主，电负ห้องสมุดไป่ตู้大的为受主，如果是替位，分2两
沈 阳 工 业 大 学
种情况： （1）替代M，化合价大于M，有剩余电子被激发出去，形成施主能级，化合价
小，形成受主能级。
（2）替代O时，化合价大，起受主作用，化合价小，起施主作用。 金属氧化物电学性质控制 控制金属氧化物导电类型和电阻率等电学性质就变成了控制晶体中杂质 和缺陷的种类和数量。 当在金属氧化物形成Vo后，电离时提供电子即形成施主能级，使材料成为N型 2种方法控制电阻率
Pd-TiO2二极管氢敏器件
Pd-TiO2二极管电流电压特性
吸附氧时，使Pd的功函数变大，Pd-TiO2界面的肖特基势垒增高，
正向电流较小。遇到氢气时，势垒降低，引起正向电流变大。
7.非电阻型半导体气敏传感器
7.3MOS二极管气敏器件
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利用MOS二极管电容-电压特性随被测气体浓度变化的特性对气体进行检测。
注：设计检测电路时，要考虑恢复和稳定时间，加热清洗可以大大缩短恢复和稳定时间。
5.表面电阻控制型气体敏感元件
5.5烧结型SnO2气敏元件的制备工艺
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5.表面电阻控制型气体敏感元件
5.6 SnO2气敏元件材料的添加剂
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提高气敏元件灵敏度的添加剂 贵金属添加剂的作用实质上是一种催化作用，Pd、Pt。 提高气体识别能力的添加剂（选择性）
肖特基接触
Wm Ws
半导体中电子面对的势垒
qVD Wm Ws
势垒区为高阻区（电子阻挡层），称此势垒
为肖特基势垒。
正偏---消弱内建场，势垒降低； 反偏---增强内建场，势垒升高。
欧姆接触
Wm Ws
半导体表面为电子积累，高电导区，为电子反 阻挡层，电子的运动无需越过势垒。
7.非电阻型半导体气敏传感器
b
a
结构
等效电路
C-V特性
由于钯对氢气(H2)特别敏感，当钯吸附了H2以后，会使钯的功函数降低，导 致MOS管的C-V特性向负偏压方向平移。根据这一特性就可用于测定H2的浓度。
元件结构 对于烧结型，工作温度高使敏感层发生物理、化学变化，导致性能发生变 化，掺杂贵金属催化剂提高灵敏度，与有毒气体（SO2）接触，出现“中毒” 现象。
氧化物半导体 电极 引线
工艺：制作采用蒸发或溅射的方法，在 处理好的石英基片上形成一薄层金属氧 化物薄膜（如SnO2、ZnO等），再引出 电极。
引线 加热器
6.体电阻控制型气敏元 件
6.2 γ-Fe2O3气敏元件工艺
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γ-Fe2O3气敏元件结构
FeCl3
测试电路
工艺流程
6.体电阻控制型气敏元件
6.3 γ-Fe2O3气敏元件性能
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6.体电阻控制型气敏元件
6.3金属氧化物半导体氧敏感元件
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电阻率受晶格中氧空位的控制，氧空位的浓度和氧分压有关。
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空气
气体
液体
空气调节器 试验箱 蒸发器 风 扇
排气扇
浓度检测
电压表 电 源
6.体电阻控制型气敏元 件
6.1 γ-Fe2O3气敏机理
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以Fe2O3和TiO2为代表，与气体接触后，材料的晶体结构发生变化，使电阻变化。 γ-Fe2O3是N型半导体（尖晶石），在高温下吸附还原性气体后，其电阻率下降。
5.2 SnO2气敏器件类型
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(a) 烧结型SnO2气敏器件
旁热式气敏器件: 把高阻加热丝放置在陶瓷绝缘管内，在管外涂上金 电极，再在金电极外涂上气敏半导体材料。
符号
优点：克服了直热式结构的缺点，器件的稳定性得到提高。
5.表面电阻控制型气体敏感元件
(b)薄膜型SnO2气敏元件
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添加稀土金属可以改善元件对某些气体的识别能力。如添加二氧化钍
可以提高气敏元件对CO的识别能力，添加二氧化铈可以改善元件对烟雾 的识别能力。 提高其他特性的添加剂 改善热稳定性，添加三氧化二锑或五氧化二钒； 改善响应特性，添加氧化镁、氧化钙等； 助溶剂：二氧化锰、氧化铜。
5.表面电阻控制型气体敏感元件
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主能级。 能级。
M i M i e M i2 2e
金属起施主作用
氧起受主作用
Oi Oi h Oi2 2h
对于反结构缺陷，共价键化合物中，O替代M时，电离产生电子形成施主
2 Om Om e Om 2e
对于反结构缺陷，共价键化合物中， M 替代O时，电离产生空穴形成受
O2 2O
添加Pt的方式：
Pt
降低二氧化钛对氧的吸附势垒，加快响应。
A)二氧化钛成型后，放在氯铂酸和甲醛配置溶液中，吸附的氯铂酸转变成Pt；
B)直接把铂黑加入二氧化钛粉体中； C)二氧化钛粉体放在氯铂酸和甲醛配置溶液中，然后再烧结。 注：二氧化钛氧敏元件负温度系数，采用氧化钴、氧化镁制作电阻做温度补偿。
优点：一致性好，机械强度高，适于批 量生产。
5.表面电阻控制型气体敏感元件
5.3 SnO2气敏原理（晶界势垒模型）
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气敏部分由N型材料构成，电阻值取决于表面态密度和晶粒大小影响。
对于O2
1/2O2+ne->Oad-
电阻增大
n Oad H 2 H 2 O ne
还原性气体：与氧发生反应，减少电离氧密
5.表面电阻控制型气体敏感元件
5.2 SnO2气敏器件类型
沈 阳 工 业 大 学
(a) 烧结型气敏器件； (a) 烧结型SnO2气敏器件
(b) 薄膜型器件； (c) 厚膜型器件
直热式和旁热式
直热式气敏器件:
优点:工艺简单，成本低；
缺点: 热容量小，易受环境气流的影响；测量回路与加热回路互相影响。
5.表面电阻控制型气体敏感元件
一氧化碳传感器
沈 阳 工 业
可燃性气体传感器外形
酒精检测
大 学
汽车尾气分析
2.气敏传感器的分类
表面控制型 电阻型
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气 敏 传 感 器
半导体式
容积控制型
表面电位
非电阻型 整流特性 阈值电压 浓差电极
固体电解质式
合成电位
恒电位电解池
电化学式 接触燃烧式
氧电极
燃烧热
2.气敏传感器的分类
a.掺入不同化合价的杂质原子；
b.控制氧化物化学剂量比偏离方向和程度。
5.表面电阻控制型气体敏感元件
5.1材料
主要有：SnO2和ZnO
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SnO2的基本性质
白色粉末，不溶于水，能溶于热强酸和碱。
SnO2晶体结构
属于四方晶系，具有金红石型结 构；经实验发现，多晶SnO2对多种气 体具有气敏特性；多孔型SnO2半导体 材料，其电导率随接触的气体种类变 化。
引线
基片
电极
引线
优点：灵敏度高、响应迅速、机械强度 高、互换性好、产量高、成本低等。
mm 单位：
5.表面电阻控制型气体敏感元件
(c)厚膜型SnO2气敏传感器 敏感材料是由SnO2、PdCl2、MgO、
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ThO和SiO2等混合而成，将β-萜品醇和
丁基卡必醇醋酸脂组合成的有机体加上敏 感材料制成厚膜膏浆。
7.1金属氧化物半导体接触
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阈值电压： 定义：使源端半导体表面达到强反型的栅压。
Qm U T U FB U ox 2 F 2 F ms Cox
7.非电阻型半导体气敏传感器
7.2 二极管式气敏器件
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二极管整流特性与气体浓度相关。
n 度，降低势垒高度，阻值减小。 Oad CO CO2 ne
注：加入催化剂（如铂，钯），降低化学吸附的激活能，有助于电子的转移和共有化过程
5.表面电阻控制型气体敏感元件
5.4 SnO2气体敏感元件特性参数
例如：
2000ppm
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A元件电阻R0和Rs
分别正常空气条件下的阻值，和在规定浓度的监测气体中的阻值。
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MO晶体中的缺陷
4.金属氧化物的半导体化
沈 阳 工 业 大 学
Vo Vo e
电离能E1
Vo Vo2 e
电离能E2
氧空位起施主作用
Vm V h
m
电离能E3
2 Vm Vm h
电离能E4
金属空位起受主作用
4.金属氧化物的半导体化
对于间隙原子
温度过高， γ-Fe2O3将向α -Fe2O3转化，失去气敏性，γ-Fe2O3对异丁烷和丙
烷灵敏，对甲烷不灵敏，适合探测液化石油气。而α -Fe2O3对甲烷和氢气非常灵
敏适合探测城市煤气和天然气。 提高γ-Fe2O3性能的方法是防止高温下不可逆相变，加入Al2O3和稀土添加 剂，严格控制工艺，使微结构均匀。
5.7 ZnO表面电阻控制型气体敏感元件
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ZnO是应用最早的一种半导体气敏材料，物理化学性质稳定，禁带宽度 为3.4eV ，熔点为1875℃，粉体承白色或淡黄色，工作温度为400-450℃，比 SnO2气敏元件高，因此，发展没有SnO2快。
ZnO薄膜酒敏元件的结构
5.表面电阻控制型气体敏感元件
5.8 ZnO气体敏感元件工艺