第2章_PN结

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第2章_PN结机理与特性

第2章_PN结机理与特性

PN结隧道击穿示意图
雪崩击穿
雪崩击穿示意图
2.5.2 PN结雪崩击穿电压
雪崩击穿条件

Xm
0
α eff dx = 1
单边突变结的雪崩击穿电压
1ε ε UB = S 0 2 q
3/4
8 Ci
−3/4 ND
线性缓变结的雪崩击穿电压
ε ε 2 6.29 −1/5 4 U B = S 0 qa j 3 Ci
第二章 PN结机理与特性
2.1 平衡PN结的机理与特性
2.1.1 PN结的制备与杂质分布
在N型(或P型)半导体单晶片衬底上,分别采用不同的 掺杂方法,使原来半导体的一部分变成P型,(或N 型),那么在P型半导体与N型半导体的交界面处就形 成了PN结,如图
合金法及其杂质分布 合金法制备PN结的基本过程如图所示
平衡PN结载流子浓度分布 a) U(x)分布 b)能带 c)载流子浓 度分布
2.2 正向PN结机理与特性
2.2.1 正向偏置与正向注入效应
正向偏置时PN结势垒变化及其能带图
2.2.2 正向PN结边界少子浓度和少子浓度 分布
1.边界少子浓度
正向PN结少子浓度分布示意图
边界少子浓度是指在空间电荷区靠N区边界XN处的空穴 浓度p(XN)和靠近P区边界XP处的电子浓度n(XP)。
平衡PN结费米能级时处处相等的(证明见教材)
2.1.3 平衡PN结的接触电势差
由于平衡PN结空间电荷区内存在自建电场, 使得N区和P区之间存在电势差,把这个电势 差称为PN结的接触电势差,用UD表示。
ND N A UD = ln q ni2
κT
2.1.4 平衡PN结的载流子浓度分布

第二章pn结.

第二章pn结.


xnEm(2 q (s2qsN D N(N N AN AA N A N DN DD V)D V )12D)1 2
xp(2q sNA(N N AD ND)VD)1 2
W xnxp(2qs(N N AD N N A D )V D )1 2
xn
Na Na Nd
W
xp
Nd Na Nd
W
➢ 缓变pn结的电场、电位分布
)
nn0
ni
exp(
EF kT
Ei
)
pn0
ni2 nn0
x xn x xn
电中性条件
qAxpNA qAxnND xpNA xnND
平衡态PN结空间电荷区内:
n(x)p(x)ni2
3.非平衡态pn结能,称非平 衡态pn结。
空间电荷区外侧的载流子浓度分布(假设pn结杂质分布均
匀、稳态直流条件下):
n区外侧非平衡空穴浓度分布:
p n (x ) p n (x ) p n 0 p n 0 [ e x p (q k V T ) 1 ]e x p (x n L p x ) ( x xn )
若以 x n 为坐标原点,则非平衡空穴浓度分布:
Ei
kT
ln
nn0 ni
nn0
n
i
e
x
p
(
E
F kT
E
i
)
VD
1 q {(Ei
EF )p区
(EF
Ei )n区 }
kT q
ln
pp0nn0
n
2 i
kT q
ln
NAND
n
2 i
2.平衡pn结的载流子浓度分布
本征费米能级是位置x的函数,即 E i ( x ) ,对非简并半导体而 言,pn结空间电荷区内的电子、空穴浓度为:

第2章 PN结

第2章 PN结

T 300K
对于锗PN结,通常可取VD=0.3—0.4V
对于硅PN结,通常可取 VD=0.6—0.7V
23
2.1.2 PN结的形成过程
扩散法制造PN结过程
N P
N-Si P-Si
杂 质 浓 度
ND -NA
PN结两边的杂质浓度是非均匀的 常按照一定的函数规律而变化。
xj
x
在一块N型硅片上用化学方法涂敷一层含有Al2O3的乙醇 溶液,在红外线灯下干燥后,置于1250℃的扩散炉中进行高 温处理若干小时,然后缓慢降温。 24
35
2.1.3平衡PN结的载流子浓度分布
平衡PN结势垒区两侧载流子浓度 Eip Ein qVD nn 0 exp P区电子浓度 n p 0 nn 0 exp kT kT

qVD N区空穴浓度 pn 0 p p 0 exp kT

空间电荷不能移动,也不能传导电流。
10
一、空间电荷区的形成
2.1.1 平衡PN结能带图
内建电场E内: 空间电荷所产生的电场, 此电场不是由外部因素引起的,而是由PN结内部 载流子运动形成的,由N区指向P区。
PN结的内建电势(接触电势)VD 由内建电场所导致的N区和P区的电位差。
11
平衡PN结能带图
ND N A
杂 质 浓 度
2.1.2 PN结的形成过程
杂 质 浓 度
ND -NA
xj
x
0
x
xj
dN ( x) a j dx
x x j
ND N A a j x x j
x
26
缓变结
A.线性缓变结近似

第二章 PN结

第二章 PN结

半导体特征长度,德拜长度
LD =
(19)
ε s kT
q NB
2
=
qN B β
εs
能有效屏蔽外场的电 荷分布范围宽度
(20)
Si的德拜长度与掺杂浓度的关系
Si单边突变结耗尽层宽度和单位面积耗尽层电容 与掺杂浓度的关系。
W =
2ε s (Vbi ± V ) qN B
(21)
6) 耗尽层电容: 单位面积的耗尽层电容定义为: 单边突变结,单位面积电容:
5) 能带,载流子浓度: 内建势与载流子浓度间的关系:
qVbi = E g − (qVn + qV p )
NC NV N C NV ) − [kT ln( ) + kT ln( )] = kT ln( 2 nn 0 Pp 0 ni nn0 p p0 N AND = kT ln( ) ≈ kT ln( ) 2 2 ni ni
x V ( x) = Em ( x − ) 2W
2
0 ≤ x ≤ xn
内建势
V bi = V ( x n ) − V ( − x p )
电场对应的面积 (1)
1 1 Vbi = E mW ≡ E m ( x n + x p ) 2 2
| E m |=
(16)
qN D x n
εs
=
qN A x p
εs
C ≡ dQ / dV
εs d (qN BW ) = C ≡ dQ / dV = 2 d [(qN B / 2ε s )W ] W
= qε s N B (Vbi ± V − 2kT / q ) −1 / 2 2
1/C2~V 直线, 斜率:衬底杂质浓度, 1/C2=0时截距:内建势。

PN结

PN结

硅平面工艺的主体
国家级精品课程——半导体器件物理与实验
第二章 PN结

4-1 氧化工艺:

1957年,人们发现硅表面的二氧化硅层具有阻止杂质向硅内 扩散的作用。这一发现直接导致了氧化工艺的出现。 二氧化硅薄膜的作用: (1)对杂质扩散的掩蔽作用; (2)作为MOS器件的绝缘栅材料; (3)器件表面钝化作用;
二、电场和电势分布:
1. 内建电势差(势垒):
EC
漂移
扩散
EFp
ห้องสมุดไป่ตู้
Ei
EV
扩散
q 0 E C
EV
q 0 k T ln
EFn Ei
Na Nd ni2
( 2 1 1) ( 2 1 2)
两种证明方法:
(1)费米能级法:
漂移
Na Nd 0 VT ln ni2
q 0 ( Ei E Fp ) ( E Fn Ei ) , ( 2 1 3) Ei E Fp k T ln E Fn Ei k T ln p0 N k T ln a , ( 2 1 4) ni ni n0 N k T ln d , ( 2 1 5) ni ni
国家级精品课程——半导体器件物理与实验
第二章 PN结
2.1 热平衡(无偏压) PN结
二、电场和电势分布:
1. 内建电势差(势垒):
(2)静电势法: 取费米势为电势能的零点。
P型电 中性区 -xp 边界区
qNd


-qNa
xn
N型电 中性区
x
p0 ni exp / VT (1 10 10 )
在《半导体器件指南》一书中,定义了67种主要的半导体器 件及其相关的110多个变种。然而,所有这些器件都只由以 下的少数几种器件单元组成。

最新第二章-PN结

最新第二章-PN结
达几百千欧以上)。
漂移电流大于扩散电

内电场
外电场 U

流,可忽略扩散电流
UB+U 在一定的温度条件下,
由本征激发决定的少
E
R
子浓度是一定的
故少子形成 的漂移电流是恒定的,基本上与所加反向 电压的大小无关,这个电流也称为 反向饱和电流IS。
《半导体器件》中国计量学院光电学院
综上所述:PN结加正向电压时,呈现低 电阻,具有较大的正向扩散电流;PN结加反 向电压时,呈现高电阻,具有很小的反向漂 移电流。 即PN结具有单向导电特性。
第二章-PN结
一、PN结的形成 二、PN结的单向导电性 三、PN结的击穿特性 四、PN结的电容效应 五、 PN结的隧道效应
《半导体器件》中国计量学院光电学院
P型半导体和N型半导体相结合——PN结
PN结是构造半导体器件的基本单元。其 中,最简单的晶体二极管就是由PN结构 成的。
PN
异质结、同质结
《半导体器件》中国计量学院光电学院
发生击穿并不一定意味着PN结被损坏。 当PN结反向击穿时, 只要注意控制反向
电流的数值(一般通过串接电阻R实现),
不使其过大, 以免因过热而烧坏PN结, 当反向电压(绝对值)降低时, PN结的性 能就可以恢复正常。 稳压二极管正是利用了PN结的反向击 穿特性来实现稳压的, 当流过PN结的电 流变化时, 结电压基本保持不变。
关键在于耗尽层的存在
《半导体器件》中国计量学院光电学院
PN结的伏安特性
UD
I
伏安特性方程 ID IS(eUT 1)
ID
UBR U B
O
U
加正向电压时,UD只要大
于UT几倍以上,IDISeUD/UT

第2章_2_PN结

第2章_2_PN结

2.反向偏压作用 2.反向偏压作用
外加偏压几乎全落在空 间电荷区上. 间电荷区上.方向与空间 电荷区内建电场一致, 电荷区内建电场一致,使 空间电荷区变宽,相应 势垒高度也由qV 势垒高度也由qVD增至 q(VD+V)。 +V)。 由于电场增强,加强了 载流子的漂移运动,打 破了原先已达成的扩散 电流和漂移运动之间的 平衡。
2.3.4 pn结电容 pn结电容
PN结在交流条件下呈现出电容效应,限制了PN PN结在交流条件下呈现出电容效应,限制了PN 结的高频应用。
1. pn结势垒电容 pn结势垒电容
(1)pn结势垒电容定性分析 pn结势垒电容定性分析 随着外界电压的变化,出现了载流子电荷在势垒 区中的存入和取出,此现象相当于一个电容的充 放电。这种与势垒区相联系的电容称为势垒电容, 记为C 记为CT。势垒电容大小与结上所加直流偏压有关, 是一个可变电容。 dQ CT = dV
由于少子浓度很低,扩散长度为一定值, 所以当反偏时空间电荷区边界处少子梯度 较小,相应的反向电流也小。 当反向电压很大时,空间电荷区边界处少 子浓度趋于零后不再变化,该处少子浓度 梯度趋于常数,电流就基本保持不变。 所以PN结反偏时表现为电流较小,而且随 所以PN结反偏时表现为电流较小,而且随 外加电压的增加电流趋于饱和。
I = A(
qDnnp0 Ln
qDPP 0 kT n + )(e −1) = IS (ek pn结饱和电流 Np0和pn0分别为P区和N区平衡时的少子电子浓度和 分别为P区和N 少子空穴浓度。 Ln 和 Lp分别为电子和空穴的扩散长度。
Ln = Dnτ n
PN结在平衡状态下,在N型半导体中电子是多子, PN结在平衡状态下,在N 空穴是少子,在P 空穴是少子,在P型半导体中空穴是多子,电子 是少子 当形成PN结后,其交界面两侧的电子和空穴浓度 当形成PN结后,其交界面两侧的电子和空穴浓度 存在较大差异,这就导致P型区的空穴向N 存在较大差异,这就导致P型区的空穴向N型区扩 散,N型区的电子向P型区扩散。P 散,N型区的电子向P型区扩散。P区边界处因只 剩下失去了空穴的离化受主杂质而带负电,N 剩下失去了空穴的离化受主杂质而带负电,N区 边界处因只剩下失去了电子的离化施主杂质而带 正电,这些离化的杂质位于晶格之中不能运动, 它们就在P 它们就在P 结附近形成了一个带电区域,称为空 间电荷区。

半导体器件物理(第二章-PN结)

半导体器件物理(第二章-PN结)
PN结载流子浓度分布
n(x) n n 0
p p0
p(x)
n p0 xP
pn0 xN
空间电荷区中载流子浓度分 布是按指数规律变化的,变化 非常显著,绝大部分区域的载 流子浓度远小于两侧的中性区 域,即空间电荷区的载流子基
x 本已被耗尽,所以空间电荷区
又叫耗尽层。
2.2 PN结的直流特性
2.2.1 PN结的正向特性
2.1 平衡PN结
2.1.3 PN结的接触电势差与载流子分布
PN结的接触电势差
U (x)
UD
P区
N区
达到平衡状态时,如果P
区和N区的电势差为UD,则 两个区的电势能变化量为
qUD,其中UD称为PN结的接 触电势差,qUD就是势垒高 度。
xP
0 xN
x
UD kqTlnND niN2 A
2.1 平衡PN结
np(xP)np0expqk(U T) pn(xN)pn0expqk(U T)
我们看到,正向偏置的PN结边界处的少子浓度,等 于体内平衡少子浓度乘上一个指数因子。也就是说,势 垒区边界积累的少数载流子浓度随外加电压按指数规律 增加。
2.2 PN结的直流特性 3.PN结正向电流电压关系
空穴扩散电流密度
J Jp
n n(xP )
p
p(xN )
pn0
Ln
0 0 Lp
x
J Jn Jp Jn
0
xP xN
x
非平衡少子注入后,在 边界附近积累,形成从边 界到内部浓度梯度,并向 体内扩散,同时进行复合, 最终形成一个稳态分布。
扩散区中的少子扩散电 流都通过复合转换为多子 漂移电流。
2.2 PN结的直流特性
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kT dn 由爱因斯坦关系 可得 Edx q n
kT 上式在整个势垒区积分 Edx xp q
xn
E
dV dx
n xn kT kT nn 0 V xn V x p ln ln q np0 n xp q
V xn V x p VD N D nn 0 N A p p0
第2章 PN 结
1
第2章 PN 结

PN 结是构成各种半导体器件的基本单元。 PN结中的载流子既有漂移运动,又有扩散运动; 既有产生,又有复合,这些性质集中反映在半导体 的导电特性中。
P区 NA
N区 ND
2
第2章 PN 结
1、PN 结的形成
在同一块N型(或P型)半导体单晶上,用特定 的工艺方法把P型(或N型)杂质掺入其中,使这块 单晶相连的二个不同区域分别具有N型区和P型区的 导电类型,在二者交界面以及交界面两侧的过渡区 即称为PN结。
40
(4)玻尔兹曼边界条件
即在势垒区两端,载流子分布满足玻尔兹曼分布。
(5)忽略半导体表面对电流的影响。
(6)只考虑一维情况。
41
理想PN结的伏安特性
正向偏压V>0时,P区边界-xp处的非平衡少子浓度
qV qVD qV n p x p n p 0 exp nn 0 exp kT kT P区边界 x x p 处的过剩载流子浓度
(1)小注入条件
满足下列条件的PN结)
即注入的非平衡少子浓度比平衡多子浓度小得多;
(2)耗尽层近似
即外加电压都降落在耗尽层(势垒区)上,耗尽层 以外的半导体是电中性的,因此注入的少子在 P区 和N区只作扩散运动;
(3)忽略势垒区载流子的产生-复合作用。
通过势垒区的电流密度不变。不考虑耗尽层中载流 子的产生与复合,通过势垒区的电流密度不变;
区或者耗尽层。
17
N
XN
XP
P
空间电荷区XM

一个平衡PN结中,空间电荷区以外的区域都是电中性的。 P区一侧的中性区称为P型中性区; N区一侧的中性区称为N型中性区。
18
1、中性区(电阻率很低)

dn qn n E 0 与漂移电流之和应为零,即 qDn dx

在平衡条件下,PN结空间电荷区中电子的扩散电流源自P-+ -+ -+
N -


正向PN结
-- ++ -- ++ -- ++
P
N


反向PN结
26
正向电压VF
外加电场与内建电场方向相反 空间电荷区中的电场减弱 势垒区宽度变窄 势垒高度变低 qVD0 ↓ q(V-VF) D0 破坏扩散与漂移运动间的平衡 扩散运动 强于 漂移运动 形成较大的电流, 正向偏压给PN结形成了低阻的 电流通路
W =xn

20 1/2 qN D
空间电荷区的自建电场强度是非均匀电场, 电场强度是x的函数
24
2.2 加偏压的PN结
2.2.1 PN结的单向导电性 2.2.2 少数载流子的注入与输运
25
2.2.1 PN结的单向导电性
非平衡PN结

处于一定偏置状态下的 PN结称为非平衡PN结
当PN结两端加正向偏 压VF,即P区接电源的 正极,N区接电源的负 极,称为正向PN结。 反之,当PN结两端加反 向偏压VR则称反向PN结。

T 300 K

PN结的势垒高度与两边的掺杂浓度有关。 掺杂浓度越高,势垒高度越大。
从能带图可以看出: N区掺杂浓度越高,N型区费米能级(EF)n越靠近导带底 P区掺杂浓度越高,P型区费米能级(EF)p越靠近价带顶 PN结势垒高度qVD也越大。
20
思 考 题
1、PN结的扩散电势与哪些因素有关?
正向注入--少子注入
非平衡载流子的电注入: 由于外加正向偏压的作用 使非平衡载流子进入半导 体的过程。
正向注入的过程(扩散近似)

N区注入P区电子→势垒边界 xp积累→P区的非平衡少子→ 浓度梯度→P区扩散→边扩散 边复合→形成空穴扩散电流。 P区注入N区空穴→势垒边界 xn积累→N区的非平衡少子→ 浓度梯度→N区扩散→边扩散 边复合→形成电子扩散电流。
扩散电流的大小可以根据连续性方程求出,

IP qADpdpn / dx In qADndnp / dx
33
2、空间电荷区边界的少数载流子浓度
空间电荷区的边缘的少数载流子浓度值 与偏压成e的指数关系 与热平衡时少数载流子浓度值成正比, 与杂质浓度成反比。 单边注入:例如P+N 主要是P区注入到N区的空穴为主要的过剩载流 子,这种现象称为单边注入 载流子的反响抽取 当PN结加上反响偏压时,非平衡时的少数 载流子浓度小于平衡时的少数载流子浓度,这 种现象称为载流子的反向抽取
思考题
35
36
37
38
2.3 理想PN结二极管的伏安特性
正向特性
P
-+ -+ -+
N
反向特性
P
-- ++ -- ++ -- ++
N





正向注入使边界少子浓度 增加,形成少子的积累过 剩,载流子浓度为正值;

反向抽取使边界少子浓度 减少,形成少子的欠缺, 过剩载流子浓度为负值。
39
一、理想PN结模型(
可由下式求出
n p x p n p x p n p 0
同样可以得到N区边界 x x n 处少数载流子浓度为
qV n p 0 exp 1 kT
qV qVD qV p n x n p n 0 exp p p 0 exp kT kT
dn n xp n
n xn

利用
ni2 n p 0 p p 0
得到PN结的扩散电势
ND N A kT 0 ln 2 q ni
19
扩散电势差 0
kT N A N D 0 ln q ni2
NA:P区受主掺杂浓度 ND:N区施主掺杂浓度 ni :本征载流子浓度
kT 0.026 V q
PN结的内建电势(接触电势) 0 由内建电场所导致的N区和P区的电位差。
15
平衡PN结能带图
P

2.1.1 平衡PN结能带图
空间电荷区
N
xp
内建电场
0
xn
: 接触电势差 (内建电势)
电位 电子的电势能
0
q 0

空间电荷区又称 势垒区 耗尽层
qVD EFN
EC Ei EF EV Ei EV
kT N A N D 答:由扩散电势表达式 0 q ln n 2 可知 i
扩散电势与PN结两边半导体材料的参杂浓度ND和 NA有关,以及该材料的本征载流子浓度ni有关 由本征载流子浓度ni又与材料的禁带宽度和温 度有关,并且不同的材料又具有不同的禁带宽度, 所以,扩散电势还与材料有关。
21

EC
能带 能带
EFP
16
2.1.2电场分布与电势分布
PN结分为三部分:
1、中性区:远离空间电荷区P型和N型区多子浓度等于电离杂质 浓度,因而保持电中性。这时这部分区域称为 “中性区”。
2、边界层:既存在失去电子的空穴的杂质电离中心,又存在一
些自由载流子,电荷分布很复杂,可以推得边界层的宽度远小于 空间电荷区的宽度,通常可以忽略 3、耗尽区:在空间电荷区,杂质电离中心浓度较大,远大于自 由载流子浓度,相当于载流子浓度被耗尽,所以该区域称为耗尽
P区 N区
杂 质 浓 度
NA ND xj x
7
突变结

单边突变结:当一侧的浓度远大于另一侧时

N+ P结: ND >> NA N0 ≈ NA

P+ N结: NA >> ND N0 ≈ ND
ND N A
ND
0
NA
x
8
扩散法制造PN结过程
N P
N-Si P-Si PN结两边的杂质浓度是非均匀的 常按照一定的函数规律而变化。
N
P
ND -NA
xj
x
10
2.1 热平衡PN 结
2.1.1 PN结空间电荷区 2.1.2 电场分布于电势分布
11
2.1.1 PN结空间电荷区
平衡PN结:指半导体在零偏压条件下的PN结。
PN 结内温度均匀、稳定,不存在外加 电压、光照、磁场、辐射等外作用平衡 状态。
12
◎平衡PN结能带图
平衡PN结有统一的费密能级EF
13
空间电荷区的形成

空间电荷:带正电的电离施主和带负电荷的电离 受主都是固定在晶格点上不可移动, 称之为空间电荷。 空间电荷区:空间电荷所在的区域。

空间电荷不能移动,也不能传导电流。
14
一、空间电荷区的形成
内建电场E内: 空间电荷所产生的电场, 此电场不是由外部因素引起的,而是由PN结内部 载流子运动形成的,由N区指向P区。
27
正向偏压PN结中费密能级的变化 图中的电子准费米能级如何随位置变化的?
28
PN结的反向特性 反向PN结
P区接负,N区接正 外加电场与内建电场方向相同 空间电荷区中的电场增强 反向电压使: 势垒区宽度变宽 势垒高度变高 0 qV0D↑q(VD+VR)
破坏扩散漂移运动平衡 漂移运动 强于 扩散运动
解:对硅PN结,室温下ni=1.5*1010cm-3,对锗 PN结ni=2.4*1013cm-3
kT N A N D 5 1015 1017 0 硅 ln 0.026 ln 0.739V 2 10 2 q ni (1.5 10 ) kT N A N D 5 1015 1017 0 锗 ln 0.026 ln 0.356V 2 13 2 q ni (2.4 10 )
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