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第2章 PN结

第2章 PN结

T 300K
对于锗PN结,通常可取VD=0.3—0.4V
对于硅PN结,通常可取 VD=0.6—0.7V
23
2.1.2 PN结的形成过程
扩散法制造PN结过程
N P
N-Si P-Si
杂 质 浓 度
ND -NA
PN结两边的杂质浓度是非均匀的 常按照一定的函数规律而变化。
xj
x
在一块N型硅片上用化学方法涂敷一层含有Al2O3的乙醇 溶液,在红外线灯下干燥后,置于1250℃的扩散炉中进行高 温处理若干小时,然后缓慢降温。 24
35
2.1.3平衡PN结的载流子浓度分布
平衡PN结势垒区两侧载流子浓度 Eip Ein qVD nn 0 exp P区电子浓度 n p 0 nn 0 exp kT kT

qVD N区空穴浓度 pn 0 p p 0 exp kT

空间电荷不能移动,也不能传导电流。
10
一、空间电荷区的形成
2.1.1 平衡PN结能带图
内建电场E内: 空间电荷所产生的电场, 此电场不是由外部因素引起的,而是由PN结内部 载流子运动形成的,由N区指向P区。
PN结的内建电势(接触电势)VD 由内建电场所导致的N区和P区的电位差。
11
平衡PN结能带图
ND N A
杂 质 浓 度
2.1.2 PN结的形成过程
杂 质 浓 度
ND -NA
xj
x
0
x
xj
dN ( x) a j dx
x x j
ND N A a j x x j
x
26
缓变结
A.线性缓变结近似

第2章_PN结

第2章_PN结

kT dn 由爱因斯坦关系 可得 Edx q n
kT 上式在整个势垒区积分 Edx xp q
xn
E
dV dx
n xn kT kT nn 0 V xn V x p ln ln q np0 n xp q
V xn V x p VD N D nn 0 N A p p0
第2章 PN 结
1
第2章 PN 结

PN 结是构成各种半导体器件的基本单元。 PN结中的载流子既有漂移运动,又有扩散运动; 既有产生,又有复合,这些性质集中反映在半导体 的导电特性中。
P区 NA
N区 ND
2
第2章 PN 结
1、PN 结的形成
在同一块N型(或P型)半导体单晶上,用特定 的工艺方法把P型(或N型)杂质掺入其中,使这块 单晶相连的二个不同区域分别具有N型区和P型区的 导电类型,在二者交界面以及交界面两侧的过渡区 即称为PN结。
40
(4)玻尔兹曼边界条件
即在势垒区两端,载流子分布满足玻尔兹曼分布。
(5)忽略半导体表面对电流的影响。
(6)只考虑一维情况。
41
理想PN结的伏安特性
正向偏压V>0时,P区边界-xp处的非平衡少子浓度
qV qVD qV n p x p n p 0 exp nn 0 exp kT kT P区边界 x x p 处的过剩载流子浓度
(1)小注入条件
满足下列条件的PN结)
即注入的非平衡少子浓度比平衡多子浓度小得多;
(2)耗尽层近似
即外加电压都降落在耗尽层(势垒区)上,耗尽层 以外的半导体是电中性的,因此注入的少子在 P区 和N区只作扩散运动;

第二章pn结.

第二章pn结.
➢ 反偏pn结空间电荷区内载流子浓度np < ni2, 有电 子-空穴对的净产生,出现产生电流,pn结的反向电 流特性应进行修正。
相向的箭头表示电子-空穴对的复合 相去的箭头表示电子-空穴对的产生
假设: 1. 半导体复合中心能级与本征费米能级重合; 2. 电子与空穴寿命相同;
可由公式(1.111) 净复合率
正向偏置 :偏置电压为p区电位高于n区电位(p正n负) 反向偏置:偏置电压为n区电位高于p区电位(p负n正)
特征:与平衡pn结相比,空间电荷区内电场发生变化----破坏了载流子扩散、漂移的动态平衡;空间电荷区 宽度变化;能带结构变化;载流子分布变化;
结论:形成电流
正偏pn结
正偏pn结空间电荷区变窄
n(x)
ni
exp[
EF
Ei kT
(x)]
p(
x)
ni
exp[
Ei
(x) kT
EF
]
n(x)p(x)ni2
n(xp)np0nn0exp(k qT V D) n(xn)pn0pp0exp(k qT V D)
总结:平衡态时PN结的载流子浓度分布
pp0
ni
exp(
Ei EF k。
② 空间电荷区外是电中性的,与空间电荷区内相比,电阻率很小, 可近似为零。
③ 空间电荷区边界是突变的。
➢ 平衡态pn结能带图及载流子浓度分布
1.平衡态pn结的接触电势差
在 p区 中 性 区
Ei
EF
kT
ln
pp0 ni
在 n区 中 性 区
pp0
ni
e
x
p
(
E
i
kT
E
F

第2章_2_PN结

第2章_2_PN结

2.反向偏压作用 2.反向偏压作用
外加偏压几乎全落在空 间电荷区上. 间电荷区上.方向与空间 电荷区内建电场一致, 电荷区内建电场一致,使 空间电荷区变宽,相应 势垒高度也由qV 势垒高度也由qVD增至 q(VD+V)。 +V)。 由于电场增强,加强了 载流子的漂移运动,打 破了原先已达成的扩散 电流和漂移运动之间的 平衡。
2.3.4 pn结电容 pn结电容
PN结在交流条件下呈现出电容效应,限制了PN PN结在交流条件下呈现出电容效应,限制了PN 结的高频应用。
1. pn结势垒电容 pn结势垒电容
(1)pn结势垒电容定性分析 pn结势垒电容定性分析 随着外界电压的变化,出现了载流子电荷在势垒 区中的存入和取出,此现象相当于一个电容的充 放电。这种与势垒区相联系的电容称为势垒电容, 记为C 记为CT。势垒电容大小与结上所加直流偏压有关, 是一个可变电容。 dQ CT = dV
由于少子浓度很低,扩散长度为一定值, 所以当反偏时空间电荷区边界处少子梯度 较小,相应的反向电流也小。 当反向电压很大时,空间电荷区边界处少 子浓度趋于零后不再变化,该处少子浓度 梯度趋于常数,电流就基本保持不变。 所以PN结反偏时表现为电流较小,而且随 所以PN结反偏时表现为电流较小,而且随 外加电压的增加电流趋于饱和。
I = A(
qDnnp0 Ln
qDPP 0 kT n + )(e −1) = IS (ek pn结饱和电流 Np0和pn0分别为P区和N区平衡时的少子电子浓度和 分别为P区和N 少子空穴浓度。 Ln 和 Lp分别为电子和空穴的扩散长度。
Ln = Dnτ n
PN结在平衡状态下,在N型半导体中电子是多子, PN结在平衡状态下,在N 空穴是少子,在P 空穴是少子,在P型半导体中空穴是多子,电子 是少子 当形成PN结后,其交界面两侧的电子和空穴浓度 当形成PN结后,其交界面两侧的电子和空穴浓度 存在较大差异,这就导致P型区的空穴向N 存在较大差异,这就导致P型区的空穴向N型区扩 散,N型区的电子向P型区扩散。P 散,N型区的电子向P型区扩散。P区边界处因只 剩下失去了空穴的离化受主杂质而带负电,N 剩下失去了空穴的离化受主杂质而带负电,N区 边界处因只剩下失去了电子的离化施主杂质而带 正电,这些离化的杂质位于晶格之中不能运动, 它们就在P 它们就在P 结附近形成了一个带电区域,称为空 间电荷区。

第二章 PN结

第二章 PN结
(3)推论(tuīlùn)
pP0
nN 0
qVD
e kT
pN 0 nP0
精品资料
2.1. 6 平衡(pínghéng)PN结耗尽层的厚度和电场、 电势分布
突变结近似: N型一侧有ND=常数,P型一 侧有NA=常数,在界面处突 变。 耗尽层近似: 空间电荷区的载流子完全
(wánquNánD),耗尽。0n=px=0 xn NA, xp x 0 0, x xn or x xp
为电中性区。 (3)忽略势垒区载流子的产生-复合作用。通
过势垒区的电流(diànliú)密度不变。 (4)忽略半导体表面对电流(diànliú)的影响。 (5)只考虑一维情况。
精品资料
2.2.4、V-I 特性(tèxìng)方程
2.坐标 以耗尽层中N、P交界处 为原点建立坐标系。
步骤: →求“非少子”浓度的边界值; 求解“非少子”的连续性方程; →求“非少子”浓度梯度; →分别求电子、空穴的扩散
N区 jp
Lp
精品资料
正偏电流方向
空穴(kōnɡ xué)漂移 电子漂移
P
N
电子(diànzǐ)扩散
空穴扩散
精品资料
2.2.2、反向(fǎn xiànɡ)PN结
(1)反向PN结势垒变化
反向电压使 势垒区宽度变宽 势垒高度变高
外加电场与内建电场方向相同 增强空间电荷区中的电场 破坏扩散漂移(piāo yí)运动平衡 漂移(piāo yí)运动强于扩散运动 抽取少子
利用Poisson方程,可求出空间电荷区的电场、电势分布及厚度。
精品资料
2.1. 6 平衡PN结耗尽层的厚度和电场、电势 (diànshì)分布
精品资料
2.1. 6 平衡PN结耗尽层的厚度和电场(diàn chǎng)、 电势分布

半导体器件物理(第二章-PN结)

半导体器件物理(第二章-PN结)
PN结载流子浓度分布
n(x) n n 0
p p0
p(x)
n p0 xP
pn0 xN
空间电荷区中载流子浓度分 布是按指数规律变化的,变化 非常显著,绝大部分区域的载 流子浓度远小于两侧的中性区 域,即空间电荷区的载流子基
x 本已被耗尽,所以空间电荷区
又叫耗尽层。
2.2 PN结的直流特性
2.2.1 PN结的正向特性
2.1 平衡PN结
2.1.3 PN结的接触电势差与载流子分布
PN结的接触电势差
U (x)
UD
P区
N区
达到平衡状态时,如果P
区和N区的电势差为UD,则 两个区的电势能变化量为
qUD,其中UD称为PN结的接 触电势差,qUD就是势垒高 度。
xP
0 xN
x
UD kqTlnND niN2 A
2.1 平衡PN结
np(xP)np0expqk(U T) pn(xN)pn0expqk(U T)
我们看到,正向偏置的PN结边界处的少子浓度,等 于体内平衡少子浓度乘上一个指数因子。也就是说,势 垒区边界积累的少数载流子浓度随外加电压按指数规律 增加。
2.2 PN结的直流特性 3.PN结正向电流电压关系
空穴扩散电流密度
J Jp
n n(xP )
p
p(xN )
pn0
Ln
0 0 Lp
x
J Jn Jp Jn
0
xP xN
x
非平衡少子注入后,在 边界附近积累,形成从边 界到内部浓度梯度,并向 体内扩散,同时进行复合, 最终形成一个稳态分布。
扩散区中的少子扩散电 流都通过复合转换为多子 漂移电流。
2.2 PN结的直流特性

第二章 PN结

第二章 PN结
p pokTຫໍສະໝຸດ p po Vbi ln q pno
由于 p po
ni2 ni2 N A ,pno ,故得: nno N D
kT N A N D Vbi ln q ni2
由上式可见,Vbi 与掺杂浓度、ni (或EG 及温度T )有关。 在常用的掺杂浓度范围和室温下,硅的 Vbi 约为 0.75V ,锗的 约为 0.35V 。最后可得: 1
xd

3. 平衡的p-n结能带与载流子分布
1)平衡PN结能带
自建场和自建势
P区 N区
NApp0
NA-
ND+
nn0
x
xn
xp
dx C
dp J p qD p q p p 0 dx
dE f dx 0
1)p区导带底比n区高qVbi, P区价带顶比N区高qVbi 2)禁带宽度Eg保持处处相等 3)势垒区内能带弯曲 4)有统一的费米能级
可见:
空穴扩散:P 区 电子扩散:P 区
p po ni pno nno ni n po
N区 N区
扩散电流方向为:P 区
N区
P区留下 N A ,N区留下 N D ,形成 空间电荷区。空间电 荷区产生的电场称为 内建电场,方向为由N 区指向P 区。电场 的存在会引起漂移电流,方向为由N 区指向P 区。 扩散电流: P 区 漂移电流: P 区 N区 N区
0 max
q
s
xn N D
q
s
s
xp NA

由上式可求出 N 区与P 区的耗尽区宽度:
xn
s
qN D
max ,
xp
qN A

002第二章 PN结

002第二章 PN结

2-1.P N +结空间电荷区边界分别为p x -和n x ,利用2T V V i np n e =导出)(n n x p 表达式。

给出N 区空穴为小注入和大注入两种情况下的)(n n x p 表达式。

解:在n x x =处 ()()⎪⎪⎩⎪⎪⎨⎧⎪⎭⎫ ⎝⎛-=⎪⎭⎫⎝⎛-=KT E E n x n KT E E n x p i Fn in n FP i i nn exp exp()()VT V i Fp Fn i n n n n e n KT E E n x n x p 22exp =⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛-= 而()()()000n n n n nn n n n n n n p x p p p n x n n n p x =+∆≈∆=+∆=+ (n n n p ∆=∆)()()TTV Vin n n V V in n n en p n p e n n n p 2020=∆+⇒=∆+2001TV V n i n n n p n p e n n ⎛⎫⇒+=⎪⎝⎭ T V V 22n n0n i p +n p -n e =0n p =(此为一般结果) 小注入:(0n n n p <<∆)T T V V n V V n i n e p e n n p 002== ()002n n i p n n =大注入: 0n n n p >>∆ 且 n n p p ∆= 所以 TV V inen p 22=或 TV Vi n en p 2=2-2.热平衡时净电子电流或净空穴电流为零,用此方法推导方程20lni ad T p n n N N V =-=ψψψ。

解:净电子电流为()n nn nI qA D n xμε∂=+∂ 处于热平衡时,I n =0 ,又因为 d dxψε=-所以nn d n n D dx x ψμ∂=∂,又因为n T nDV μ=(爱因斯坦关系) 所以dn nV d T=ψ, 从n p x x →-作积分,则2002ln ln ln ln ln i a d n p T n T po T d T T a in N NV n V n V N V V N n ψψψ=-=-=-=2-3.根据修正欧姆定律和空穴扩散电流公式证明,在外加正向偏压V 作用下,PN 结N 侧空穴扩散区准费米能级的改变量为qV E FP =∆。

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达几百千欧以上)。
漂移电流大于扩散电

内电场
外电场 U

流,可忽略扩散电流
UB+U 在一定的温度条件下,
由本征激发决定的少
E
R
子浓度是一定的
故少子形成 的漂移电流是恒定的,基本上与所加反向 电压的大小无关,这个电流也称为 反向饱和电流IS。
《半导体器件》中国计量学院光电学院
综上所述:PN结加正向电压时,呈现低 电阻,具有较大的正向扩散电流;PN结加反 向电压时,呈现高电阻,具有很小的反向漂 移电流。 即PN结具有单向导电特性。
第二章-PN结
一、PN结的形成 二、PN结的单向导电性 三、PN结的击穿特性 四、PN结的电容效应 五、 PN结的隧道效应
《半导体器件》中国计量学院光电学院
P型半导体和N型半导体相结合——PN结
PN结是构造半导体器件的基本单元。其 中,最简单的晶体二极管就是由PN结构 成的。
PN
异质结、同质结
《半导体器件》中国计量学院光电学院
发生击穿并不一定意味着PN结被损坏。 当PN结反向击穿时, 只要注意控制反向
电流的数值(一般通过串接电阻R实现),
不使其过大, 以免因过热而烧坏PN结, 当反向电压(绝对值)降低时, PN结的性 能就可以恢复正常。 稳压二极管正是利用了PN结的反向击 穿特性来实现稳压的, 当流过PN结的电 流变化时, 结电压基本保持不变。
关键在于耗尽层的存在
《半导体器件》中国计量学院光电学院
PN结的伏安特性
UD
I
伏安特性方程 ID IS(eUT 1)
ID
UBR U B
O
U
加正向电压时,UD只要大
于UT几倍以上,IDISeUD/UT
PN结U-I特性曲线
加反向电压时,|UD|只要大于 UT几倍以上,则 ID≈–IS
UT热电势。室温下即T=300K时,UT=26mV
扩散法是将半导体晶片暴露于高浓度杂质(杂质的类型与 晶片原有的杂质类型是相反的),在高温下,形成P-N结。 扩散法能精确控制结的位置,其杂质分布是缓变的,扩散 结亦称缓变(渐变)结。
《半导体器件》中国计量学院光电学院
PN结的形成
P
N
耗尽层
势垒区
P
空间电荷区
N
(a)
扩散运动:空间电荷区展宽
漂移运动:空间电荷区变窄
《半导体器件》中国计量学院光电学院
齐纳击穿
在重掺杂的PN结中,耗尽区相对很窄,所以 不大的反向电压就能在耗尽区内形成很强的电 场。当反向电压大到一定值时,强电场足以将 耗尽区内中性原子的价电子直接拉出共价键, 产生大量电子、空穴对,使反向电流急剧增大。 这种击穿称为齐纳击穿或场致击穿。
一般来说,对硅材料的PN结,UBR>7V时为雪 崩击穿; UBR <4V时为齐纳击穿; UBR介于 4~7V时,两种击穿都有。
《半导体器件》中国计量学院光电学院
PN结的击穿特性
当反向电压超过UBR后稍有增加时, 反向电流会急剧增大,这种现象称 为PN结击穿,并定义UBR为PN结的 反向击穿电压。
电击穿 热击穿 PN结发生电击穿的机理可以分为两
种——雪崩击穿和齐纳击穿
《半导体器件》中国计量学院光电学院
雪崩击穿
在轻掺杂的PN结中,当外加反向电压时, 耗尽区较宽,少子漂移通过耗尽区时被 加速,动能增大。当反向电压大到一定 值时,在耗尽区内被加速而获得高能的 少子,会与中性原子的价电子相碰撞, 将其撞出共价键,产生电子、空穴对。 新产生的电子、空穴被强电场加速后, 又会撞出新的电子、空穴对。如此链锁 反应, 使反向电流迅速增大。这种击穿称 为雪崩击穿。

散电流起支配作用

电 流 + 外电场
内电场 - 少数载流子形成的漂
IF
U
移电流方向相反,很
UB-U
小,可忽略。
E
R
PN结处于导通状态, 表现为一个很小的电阻
《半导体器件》中国计量学院光电学院
PN结加反向电压
将电源的正极接N区, 负极接P区——PN结加反 向电压或反向偏置(简称反偏)
耗尽区
PN 结 处 于 截 止 状 态 ,
势垒电容CB
势垒电容是由耗尽区的空间电荷区引起的。
当外加反向电压增大时,耗尽层变宽,空间电荷
内电场促使少子漂移
内电场阻止多子扩散
《半导体器件》中国计量学院光电学院
不对称PN结
耗尽区
耗尽区
P+
N
P
N+
(a)
(b)
➢P区和N区的掺杂浓度相同——对称结;
➢如果P区和N区一边掺杂浓度大(重掺杂),一边掺杂浓度小 (轻掺杂)——不对称结,用P+N或PN+表示(+号表示重掺杂 区)。这时耗尽区主要伸向轻掺杂区一边.
多子的扩散和少子漂移运动 达到动态平衡。
内电场 (b)

UD

U


qU D


《半导体器件》中国计量学院光电学院
在一块本征半导体在两侧通过扩散不同的杂质,
分别形成N型半导体和P型半导体。此时将在N型半 导体和P型半导体的结合面上形成如下物理过程:
因浓度差
多子的扩散运动由杂质离子形成空间电荷区
空间电荷区形成内电场
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PN结的电容特性
按电容的定义 CQ 或C dQ
U
dU
即电压变化将引起电荷变化, 从而反映出 电容效应。而PN结两端加上电压, PN 结内就有电荷的变化, 说明PN结具有电 容效应。
PN结的电容效应势垒电容CB和扩散电容 CD两部分组成。
《半导体器件》中国计量学院光电学院
《半导体器件》中国计量学院光电学院
平衡PN结能带图
《半导体器件》中国计量学院光电学院
PN结的单向导电特性
PN结的单向导电性只有在外 加电压时才会表现出来
《半导体器件》中国计量学院光电学院
PN结加正向电压 P-正, N-负。正向电压或正向偏置(简称正偏)
耗尽区
扩散运动大于漂移运动
多数载流子形成的扩
《半导体器件》中国计量学院光电学院
PN结的制备方法及杂质分布
将杂质掺入半导体常用的方法:合金法、扩散法、外延 生长法、离子注入法等。
合金法是将一个含有所需杂质的小球(如铝球)放在半导体 晶片上(如N型硅片),在真空中将它们一起加热到小球熔化, 杂质即以合金的形式掺入到半导体晶片内,冷却后,小球 下面就形成了一个与半导体晶片导电类型相反的(如P型)区 域,得到了所需的P-N结。用合金法制得的P-N结称为合金 结。在理想的合金结中,N区的施主及P区的受主都是均匀 分布的,在N区和P区的交界处发生突变。因此理想化的合 金结被称作突变结。
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